JP5546104B2 - GaN系電界効果トランジスタ - Google Patents
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Description
12 AlN層
13 バッファ層
14 p−GaN層
15 電子走行層
16 n−AlGaN層
17 絶縁膜
S ソース電極
D ドレイン電極
G ゲート電極
Claims (6)
- ソース電極と、
ドレイン電極と、
p−GaN半導体材料によって形成されるチャネル層と、
前記ソース電極直下および前記ドレイン電極直下にそれぞれ隔離して形成されたn−AlGaN半導体材料層と、
前記ソース電極直下および前記ドレイン電極直下の前記n−AlGaN半導体材料層と前記チャネル層と間にそれぞれ隔離して形成された電子走行層と、
前記隔離して形成された前記n−AlGaN半導体材料層および前記電子走行層の間から表出している前記チャネル層の表面上に形成される絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成されるゲート電極と、
を備えたことを特徴とするGaN系電界効果トランジスタ。 - 前記電子走行層中に形成された2次元電子ガスは、前記電子走行層が隔離して形成されていることによって前記ゲート電極直下で遮断されていることを特徴とする請求項1に記載のGaN系電界効果トランジスタ。
- 前記電子走行層は、アンドープGaNからなることを特徴とする請求項1または2に記載のGaN系電界効果トランジスタ。
- 前記n−AlGaN半導体材料層は、n型不純物としてSiをドーピングしたAlGaN半導体材料によって形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のGaN系電界効果トランジスタ。
- 前記Siのドーピング濃度は、1.0E18cm−3以上1.0E19cm−3以下であることを特徴とする請求項4に記載のGaN系電界効果トランジスタ。
- 前記チャネル層上に形成された電子走行層およびn−AlGaN半導体材料層のうちゲート電極形成領域に対応した領域の電子走行層およびn−AlGaN半導体材料層をエッチング処理によって取り除き、該電子走行層およびn−AlGaN半導体材料層が取り除かれた領域に前記絶縁膜を形成してから、該形成した絶縁膜上にゲート電極を形成することによって製造されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のGaN系電界効果トランジスタ。
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