JP2007180202A - 可変抵抗素子とその製造方法ならびにそれを備えた半導体記憶装置 - Google Patents
可変抵抗素子とその製造方法ならびにそれを備えた半導体記憶装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007180202A JP2007180202A JP2005375852A JP2005375852A JP2007180202A JP 2007180202 A JP2007180202 A JP 2007180202A JP 2005375852 A JP2005375852 A JP 2005375852A JP 2005375852 A JP2005375852 A JP 2005375852A JP 2007180202 A JP2007180202 A JP 2007180202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- resistance element
- variable resistance
- variable resistor
- variable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/101—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including resistors or capacitors only
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/30—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having three or more electrodes, e.g. transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/021—Formation of the switching material, e.g. layer deposition
- H10N70/026—Formation of the switching material, e.g. layer deposition by physical vapor deposition, e.g. sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/021—Formation of the switching material, e.g. layer deposition
- H10N70/028—Formation of the switching material, e.g. layer deposition by conversion of electrode material, e.g. oxidation
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
- H10N70/24—Multistable switching devices, e.g. memristors based on migration or redistribution of ionic species, e.g. anions, vacancies
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
- H10N70/8833—Binary metal oxides, e.g. TaOx
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49082—Resistor making
Abstract
【解決手段】 上部電極1と下部電極3とに狭持された領域に可変抵抗体2を有する構成であって、この可変抵抗体2を、結晶粒径30nm以下の酸化チタン又は酸窒化チタンで構成する。特に、可変抵抗体2を成膜する際に、基板温度を150℃〜500℃の条件下で行うことにより、結晶粒径が30nm以下のアナターゼ型結晶が形成される。このような構成の可変抵抗体2を有する可変抵抗素子によれば、電圧パルスを印加することで、可変抵抗体の結晶状態が変化することによって抵抗値が変化するため、フォーミングプロセスが不要であり、これによって安定した抵抗スイッチング動作が可能であるとともに、スイッチング回数を繰り返しても抵抗変動が少なく、又、高温下で長期間保管しても抵抗変動が小さいという優れた効果を備える。
【選択図】 図1
Description
本発明素子及びその製造方法の第1の実施形態(以下、適宜「本実施形態」と呼称する)について、図1〜図19を参照して説明する。尚、本発明素子は、構成要素である可変抵抗体に利用する材料に特徴があり、全体的な構成としては、背景技術で上述した図1に示される従来構成の可変抵抗素子と同一である。
2dsinθ=λn(nは整数)
以下に、本発明素子及びその製造方法の第2の実施形態(以下、適宜「本実施形態」と呼称する)について説明を行う。本実施形態は、可変抵抗体2の材料として、アナターゼ型の酸化チタンの酸素が一部、窒素に置換された酸窒化チタンで構成されるものであり、図10に示される第1の実施形態の製法と比較して、可変抵抗体膜を堆積するステップS2のみが異なる構成である。
以下に、本発明の第3の実施形態(以下、適宜「本実施形態」と呼称する)について図20〜図22を参照して説明を行う。本実施形態は、第1或いは第2の実施形態で説明した本発明素子を備える半導体記憶装置の構成に関するものである。
り読み出し電圧+1Vとする。この読み出し電圧は、+1Vの値に限られるものではなく、非選択セルの可変抵抗素子Rがスイッチングしてデータが書き換わらないように、可変抵抗素子Rがスイッチングする電圧(スイッチングの閾値電圧)以下の電圧値であればよい。例えば、第1の実施形態において、可変抵抗素子のI−V特性を測定するために抵抗値を変化させない範囲内でパラメータアナライザ23が測定対象可変抵抗素子に印加するとした電圧値である+0.7Vを読み出し電圧値とすることができる。
2: 可変抵抗体
3: 下部電極
4: 層間絶縁膜
5: 導電膜
10: 可変抵抗素子
11: コンタクトホール
12: コンタクトホール
20: 測定装置
21: パルスジェネレータ
22: デジタルオシロスコープ
23: パラメータアナライザ
24: 切替スイッチ
21a、21b: 端子
22a、22b、22g: 端子
23a: 端子
24a、24b、24c: 端子
30: 半導体記憶装置
31: メモリセルアレイ
32: 制御回路
33: 読み出し回路
34: ビット線デコーダ
35: ワード線デコーダ
36: 電圧パルス発生回路
40: 半導体基板
41: 素子分離領域
42: ゲート絶縁膜
43: ゲート電極
44: ドレイン拡散層領域
45: ソース拡散層領域
46: 層間絶縁膜
47: コンタクトホール
48: オーミックコンタクト層
49: 下部電極
50: 可変抵抗体
51: 上部電極
52: 層間絶縁膜
53: コンタクトホール
54: コンタクトホール
55: 配線
56: 配線
57: 層間絶縁膜
58: 配線
59: 表面保護膜
R: 可変抵抗素子
T: 選択トランジスタ
W1、W2、・・・、Wn: ワード線
B1、B2、・・・、Bm: ビット線
S: ソース線
Claims (10)
- 第1電極と第2電極と可変抵抗体とを備え、前記可変抵抗体が前記第1電極と前記第2電極とに狭持された領域に存し、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧パルスを印加することにより、前記第1電極と前記第2電極との間の電気抵抗が変化する可変抵抗素子において、
前記可変抵抗体が結晶粒径30nm以下の酸化チタン又は酸窒化チタンで構成されることを特徴とする可変抵抗素子。 - 前記可変抵抗体の結晶構造がアナターゼ型であることを特徴とする請求項1に記載の可変抵抗素子。
- 前記第1電極と前記第2電極との間に電圧パルスを印加することにより、前記可変抵抗体の結晶の101面が変化することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の可変抵抗素子。
- 前記可変抵抗体が、前記101面が増加することで抵抗値が増加し、前記101面が減少又は消滅することで抵抗値が減少することを特徴とする請求項3に記載の可変抵抗素子。
- 前記第1電極と前記第2電極の少なくとも一つの電極が、Pt、Ir、Os、Ru、Rh、Pd、Ti、Co、W、及びTiとWの合金の中から選択される元素を含む構成、又は窒化チタンを含む構成であることを特徴とする請求項1〜請求項4の何れか1項に記載の可変抵抗素子。
- 請求項1に係る可変抵抗素子の製造方法であって、
前記第2電極を形成する第1工程と、
前記第2電極上面に結晶粒径30nm以下の酸化チタン膜又は酸窒化チタン膜を成膜することで前記可変抵抗体を形成する第2工程と、
前記可変抵抗体の上面に前記第1電極を形成する第3工程と、を有する製造方法。 - 前記第2工程が、基板温度150℃〜500℃の下で前記酸化チタン膜を成膜する工程であることを特徴とする請求項6に記載の製造方法。
- 前記第2工程が、前記酸化チタン膜を成膜後、酸素又は酸素を含む雰囲気下で250℃〜500℃の熱処理を施す工程を含むことを特徴とする請求項6に記載の製造方法。
- 前記第1工程が、前記第2電極として窒化チタンを形成する工程であり、
前記第2工程が、前記第2電極の表面を酸素又は酸素を含む雰囲気下で250℃〜500℃の熱処理を施すことで、前記第2電極表面に前記酸化チタン膜又は前記酸窒化チタン膜を形成する工程であることを特徴とする請求項6に記載の製造方法。 - 請求項1〜請求項5の何れか1項に記載の可変抵抗素子を含むメモリセルを複数配列してなるメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイを構成する複数のメモリセルから特定の対象メモリセルを選択する選択手段と、
パルス電圧を発生するパルス電圧発生手段と、を備え、
前記パルス電圧発生手段から発生されるパルス電圧が前記選択手段に選択された前記対象メモリセルの前記可変抵抗素子に印加されることで、当該可変抵抗素子の抵抗値が変化することで情報の書き換えが行われることを特徴とする半導体記憶装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005375852A JP3989506B2 (ja) | 2005-12-27 | 2005-12-27 | 可変抵抗素子とその製造方法ならびにそれを備えた半導体記憶装置 |
US12/092,766 US7796416B2 (en) | 2005-12-27 | 2006-12-13 | Variable resistance element, its manufacturing method and semiconductor memory device comprising the same |
PCT/JP2006/324802 WO2007074642A1 (ja) | 2005-12-27 | 2006-12-13 | 可変抵抗素子とその製造方法ならびにそれを備えた半導体記憶装置 |
TW095148014A TW200737187A (en) | 2005-12-27 | 2006-12-20 | Variable resistance element, its fabrication method, and semiconductor storage device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005375852A JP3989506B2 (ja) | 2005-12-27 | 2005-12-27 | 可変抵抗素子とその製造方法ならびにそれを備えた半導体記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007180202A true JP2007180202A (ja) | 2007-07-12 |
JP3989506B2 JP3989506B2 (ja) | 2007-10-10 |
Family
ID=38217863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005375852A Expired - Fee Related JP3989506B2 (ja) | 2005-12-27 | 2005-12-27 | 可変抵抗素子とその製造方法ならびにそれを備えた半導体記憶装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7796416B2 (ja) |
JP (1) | JP3989506B2 (ja) |
TW (1) | TW200737187A (ja) |
WO (1) | WO2007074642A1 (ja) |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008149484A1 (ja) | 2007-06-05 | 2008-12-11 | Panasonic Corporation | 不揮発性記憶素子およびその製造方法、並びにその不揮発性記憶素子を用いた不揮発性半導体装置 |
JP2008311666A (ja) * | 2007-06-18 | 2008-12-25 | Samsung Electronics Co Ltd | 可変抵抗不揮発性メモリセル及びそれの製造方法 |
JP2009049183A (ja) * | 2007-08-20 | 2009-03-05 | Fujitsu Ltd | 抵抗変化素子、抵抗変化メモリおよびそれらの作製方法 |
WO2009072201A1 (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-11 | Fujitsu Limited | 抵抗変化素子とその製造方法、及び抵抗変化素子を用いた半導体記憶装置 |
JP2009135489A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Samsung Electronics Co Ltd | 不揮発性メモリ素子及びその製造方法、並びにその動作方法 |
US7791119B2 (en) | 2006-04-19 | 2010-09-07 | Panasonic Corporation | Electro-resistance element and electro-resistance memory using the same |
JP4653260B2 (ja) * | 2009-04-10 | 2011-03-16 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶素子の駆動方法 |
WO2011109019A1 (en) * | 2010-03-03 | 2011-09-09 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Resistive switches |
US8094485B2 (en) | 2008-05-22 | 2012-01-10 | Panasonic Corporation | Variable resistance nonvolatile storage device with oxygen-deficient oxide layer and asymmetric substrate bias effect |
US8264865B2 (en) | 2008-07-11 | 2012-09-11 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element, manufacturing method thereof, and nonvolatile semiconductor device incorporating nonvolatile memory element |
US8279657B2 (en) | 2008-12-04 | 2012-10-02 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element and nonvolatile memory device |
US8338816B2 (en) | 2007-10-15 | 2012-12-25 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element, and nonvolatile semiconductor device using the nonvolatile memory element |
JP2014038984A (ja) * | 2012-08-20 | 2014-02-27 | Nec Corp | 抵抗変化素子、および抵抗変化素子の形成方法 |
US9082479B2 (en) | 2011-10-06 | 2015-07-14 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Nonvolatile memory element and nonvolatile memory device |
JP2015185842A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | 華邦電子股▲ふん▼有限公司 | メモリ素子およびその形成方法 |
KR101570620B1 (ko) | 2014-10-27 | 2015-11-20 | 한양대학교 산학협력단 | 저항변화 메모리 소자 및 그 제조방법 |
US10147874B2 (en) | 2017-03-17 | 2018-12-04 | Toshiba Memory Corporation | Memory device |
KR20210084398A (ko) * | 2019-10-25 | 2021-07-07 | 인제대학교 산학협력단 | 멤리스터 소자 및 이의 제조방법 |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130082232A1 (en) | 2011-09-30 | 2013-04-04 | Unity Semiconductor Corporation | Multi Layered Conductive Metal Oxide Structures And Methods For Facilitating Enhanced Performance Characteristics Of Two Terminal Memory Cells |
US8565003B2 (en) | 2011-06-28 | 2013-10-22 | Unity Semiconductor Corporation | Multilayer cross-point memory array having reduced disturb susceptibility |
JP4228033B2 (ja) * | 2006-03-08 | 2009-02-25 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶素子、不揮発記憶装置、及びそれらの製造方法 |
CN101542632B (zh) | 2007-06-01 | 2012-12-26 | 松下电器产业株式会社 | 电阻变化型存储装置 |
US20100188884A1 (en) * | 2008-05-08 | 2010-07-29 | Satoru Mitani | Nonvolatile memory element, nonvolatile memory apparatus, and method of writing data to nonvolatile memory element |
US7615459B1 (en) * | 2008-08-12 | 2009-11-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Manufacturing method for variable resistive element |
US8445885B2 (en) * | 2008-12-04 | 2013-05-21 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element having a thin platinum containing electrode |
US8390100B2 (en) * | 2008-12-19 | 2013-03-05 | Unity Semiconductor Corporation | Conductive oxide electrodes |
KR101127236B1 (ko) * | 2008-12-29 | 2012-03-29 | 주식회사 하이닉스반도체 | 저항성 메모리 소자의 제조 방법 |
JP4881400B2 (ja) * | 2009-03-23 | 2012-02-22 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置、及びそのスクリーニング方法 |
US8441837B2 (en) * | 2009-04-15 | 2013-05-14 | Panasonic Corporation | Variable resistance nonvolatile memory device |
CZ2009279A3 (cs) * | 2009-05-04 | 2010-12-08 | Fyzikální ústav AV CR, v.v.i. | Zpusob úpravy a/nebo kontroly funkcních mechanických vlastností zejména transformacní deformace a/nebo pevnosti kovových vláken z materiálu s tvarovou pametí a zarízení k provádení tohoto zpusobu |
JP2010267784A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
JPWO2011052239A1 (ja) * | 2009-11-02 | 2013-03-14 | パナソニック株式会社 | 抵抗変化型不揮発性記憶装置およびメモリセルの形成方法 |
US9012307B2 (en) * | 2010-07-13 | 2015-04-21 | Crossbar, Inc. | Two terminal resistive switching device structure and method of fabricating |
US8466443B2 (en) | 2010-06-30 | 2013-06-18 | International Business Machines Corporation | Voltage sensitive resistor (VSR) read only memory |
US8241944B2 (en) | 2010-07-02 | 2012-08-14 | Micron Technology, Inc. | Resistive RAM devices and methods |
US8804398B2 (en) * | 2010-08-20 | 2014-08-12 | Shine C. Chung | Reversible resistive memory using diodes formed in CMOS processes as program selectors |
US8377718B2 (en) * | 2010-11-10 | 2013-02-19 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming a crystalline Pr1-xCaxMnO3 (PCMO) material and methods of forming semiconductor device structures comprising crystalline PCMO |
CN102544049B (zh) * | 2010-12-22 | 2014-04-16 | 中国科学院微电子研究所 | 三维半导体存储器件及其制备方法 |
EP2490012A1 (en) * | 2011-02-16 | 2012-08-22 | Stichting IMEC Nederland | Sensor and method for sensing of at least one analyte comprising using such sensor |
US8642985B2 (en) | 2011-06-30 | 2014-02-04 | Industrial Technology Research Institute | Memory Cell |
WO2013080452A1 (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-06 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶素子および不揮発性記憶装置 |
JP2013201276A (ja) | 2012-03-23 | 2013-10-03 | Toshiba Corp | 抵抗変化素子及び不揮発性記憶装置 |
US9076519B2 (en) | 2012-07-31 | 2015-07-07 | Freescale Semiconductor, Inc. | Reram device structure |
US9214228B1 (en) * | 2013-08-22 | 2015-12-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor memory device and method of forming thereof |
TW201738888A (zh) * | 2016-04-18 | 2017-11-01 | Univ Chang Gung | 記憶體之結構 |
JP2019021784A (ja) | 2017-07-18 | 2019-02-07 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
JP2020043240A (ja) | 2018-09-11 | 2020-03-19 | キオクシア株式会社 | 記憶装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6204139B1 (en) * | 1998-08-25 | 2001-03-20 | University Of Houston | Method for switching the properties of perovskite materials used in thin film resistors |
AU1887000A (en) | 1999-02-17 | 2000-09-04 | International Business Machines Corporation | Microelectronic device for storing information and method thereof |
US7402851B2 (en) * | 2003-02-24 | 2008-07-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Phase changeable memory devices including nitrogen and/or silicon and methods for fabricating the same |
KR100773537B1 (ko) * | 2003-06-03 | 2007-11-07 | 삼성전자주식회사 | 한 개의 스위칭 소자와 한 개의 저항체를 포함하는비휘발성 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
JP3752589B2 (ja) * | 2003-06-25 | 2006-03-08 | 松下電器産業株式会社 | 不揮発性メモリを駆動する方法 |
-
2005
- 2005-12-27 JP JP2005375852A patent/JP3989506B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-12-13 US US12/092,766 patent/US7796416B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-13 WO PCT/JP2006/324802 patent/WO2007074642A1/ja active Application Filing
- 2006-12-20 TW TW095148014A patent/TW200737187A/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7791119B2 (en) | 2006-04-19 | 2010-09-07 | Panasonic Corporation | Electro-resistance element and electro-resistance memory using the same |
US8022502B2 (en) | 2007-06-05 | 2011-09-20 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element, manufacturing method thereof, and nonvolatile semiconductor apparatus using the nonvolatile memory element |
US8445319B2 (en) | 2007-06-05 | 2013-05-21 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element, manufacturing method thereof, and nonvolatile semiconductor apparatus using the nonvolatile memory element |
WO2008149484A1 (ja) | 2007-06-05 | 2008-12-11 | Panasonic Corporation | 不揮発性記憶素子およびその製造方法、並びにその不揮発性記憶素子を用いた不揮発性半導体装置 |
JP2008311666A (ja) * | 2007-06-18 | 2008-12-25 | Samsung Electronics Co Ltd | 可変抵抗不揮発性メモリセル及びそれの製造方法 |
JP2009049183A (ja) * | 2007-08-20 | 2009-03-05 | Fujitsu Ltd | 抵抗変化素子、抵抗変化メモリおよびそれらの作製方法 |
US8338816B2 (en) | 2007-10-15 | 2012-12-25 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element, and nonvolatile semiconductor device using the nonvolatile memory element |
JP2009135489A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Samsung Electronics Co Ltd | 不揮発性メモリ素子及びその製造方法、並びにその動作方法 |
US8350244B2 (en) | 2007-12-06 | 2013-01-08 | Fujitsu Limited | Variable resistance device, method for manufacturing variable resistance device, and semiconductor storage device using variable resistance device |
JP5110088B2 (ja) * | 2007-12-06 | 2012-12-26 | 富士通株式会社 | 抵抗変化素子とその製造方法、及び抵抗変化素子を用いた半導体記憶装置 |
WO2009072201A1 (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-11 | Fujitsu Limited | 抵抗変化素子とその製造方法、及び抵抗変化素子を用いた半導体記憶装置 |
US8094485B2 (en) | 2008-05-22 | 2012-01-10 | Panasonic Corporation | Variable resistance nonvolatile storage device with oxygen-deficient oxide layer and asymmetric substrate bias effect |
US8233311B2 (en) | 2008-05-22 | 2012-07-31 | Panasonic Corporation | Variable resistance nonvolatile storage device having a source line formed of parallel wiring layers connected to each other through vias |
US8472238B2 (en) | 2008-05-22 | 2013-06-25 | Panasonic Corporation | Variable resistance nonvolatile storage device with oxygen-deficient oxide layer and asymmetric substrate bias effect |
US8264865B2 (en) | 2008-07-11 | 2012-09-11 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element, manufacturing method thereof, and nonvolatile semiconductor device incorporating nonvolatile memory element |
US8553446B2 (en) | 2008-07-11 | 2013-10-08 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element, manufacturing method thereof, and nonvolatile semiconductor device incorporating nonvolatile memory element |
US8279657B2 (en) | 2008-12-04 | 2012-10-02 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element and nonvolatile memory device |
US8565005B2 (en) | 2008-12-04 | 2013-10-22 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory element and nonvolatile memory device |
JP4653260B2 (ja) * | 2009-04-10 | 2011-03-16 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶素子の駆動方法 |
US8391051B2 (en) | 2009-04-10 | 2013-03-05 | Panasonic Corporation | Method of programming nonvolatile memory element |
WO2011109019A1 (en) * | 2010-03-03 | 2011-09-09 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Resistive switches |
US8570138B2 (en) | 2010-03-03 | 2013-10-29 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Resistive switches |
US9082479B2 (en) | 2011-10-06 | 2015-07-14 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Nonvolatile memory element and nonvolatile memory device |
JP2014038984A (ja) * | 2012-08-20 | 2014-02-27 | Nec Corp | 抵抗変化素子、および抵抗変化素子の形成方法 |
JP2015185842A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | 華邦電子股▲ふん▼有限公司 | メモリ素子およびその形成方法 |
US9356235B2 (en) | 2014-03-25 | 2016-05-31 | Winbond Electronics Corp. | Structure and formation method of memory device |
KR101570620B1 (ko) | 2014-10-27 | 2015-11-20 | 한양대학교 산학협력단 | 저항변화 메모리 소자 및 그 제조방법 |
US10147874B2 (en) | 2017-03-17 | 2018-12-04 | Toshiba Memory Corporation | Memory device |
KR20210084398A (ko) * | 2019-10-25 | 2021-07-07 | 인제대학교 산학협력단 | 멤리스터 소자 및 이의 제조방법 |
KR102395031B1 (ko) * | 2019-10-25 | 2022-05-06 | 인제대학교 산학협력단 | 멤리스터 소자 및 이의 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI322428B (ja) | 2010-03-21 |
JP3989506B2 (ja) | 2007-10-10 |
US7796416B2 (en) | 2010-09-14 |
TW200737187A (en) | 2007-10-01 |
WO2007074642A1 (ja) | 2007-07-05 |
US20090097300A1 (en) | 2009-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3989506B2 (ja) | 可変抵抗素子とその製造方法ならびにそれを備えた半導体記憶装置 | |
JP3889023B2 (ja) | 可変抵抗素子とその製造方法並びにそれを備えた記憶装置 | |
JP4805865B2 (ja) | 可変抵抗素子 | |
JP5438707B2 (ja) | 可変抵抗素子及びその製造方法、並びに、当該可変抵抗素子を備えた不揮発性半導体記憶装置 | |
US7786459B2 (en) | Memory element and memory device comprising memory layer positioned between first and second electrodes | |
US7259387B2 (en) | Nonvolatile semiconductor memory device | |
JP5259435B2 (ja) | 不揮発性記憶素子の製造方法 | |
JP5156060B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JP4733233B2 (ja) | 電流抑制素子の製造方法 | |
JP4460646B2 (ja) | 不揮発性記憶素子、不揮発性記憶装置、および不揮発性半導体装置 | |
US20110189819A1 (en) | Resistive Memory Structure with Buffer Layer | |
TWI313044B (en) | Method for manufacturing a resistor random access memory with reduced active area and reduced contact areas | |
JP2013157469A (ja) | 可変抵抗素子、及び、不揮発性半導体記憶装置 | |
JP2004342843A (ja) | 半導体記憶素子及びこれを用いた半導体記憶装置 | |
JP2008034641A (ja) | 抵抗変化型不揮発性メモリ素子及び不揮発性半導体記憶装置 | |
JPWO2007086325A1 (ja) | 電気素子,メモリ装置,および半導体集積回路 | |
JP2007049156A (ja) | リセット電流の安定化のためのメモリ素子の製造方法 | |
JP5680927B2 (ja) | 可変抵抗素子、及び、不揮発性半導体記憶装置 | |
JP2014022660A (ja) | 可変抵抗素子、及び、可変抵抗素子を備えた不揮発性半導体記憶装置 | |
JP5357532B2 (ja) | 可変抵抗素子及びその製造方法 | |
WO2013057912A1 (ja) | 不揮発性記憶素子、不揮発性記憶装置、及び不揮発性記憶素子の書き込み方法 | |
CN113228254A (zh) | 电阻变化型非易失性存储元件及使用了其的电阻变化型非易失性存储装置 | |
JP2009295944A (ja) | 可変抵抗素子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070508 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070605 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070608 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070628 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070717 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070717 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130727 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |