JP2007134468A - 半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】多層配線構造を有する半導体集積回路において、最上層のメタル配線層MTOPと該メタル配線層MTOPの一層下のメタル配線層MTOP−1とが、半導体基板上に形成された回路に異なる電位を供給する、同一方向に配列されたそれぞれ複数の電源配線により構成され、上方から見た場合に前記メタル配線層MTOPを構成する電源配線と、前記メタル配線層MTOP−1を構成する電源配線とが絶縁膜を挟んで交差するように配置されると共に、前記回路に供給する電位が同じである電源配線により挟まれる領域の前記絶縁膜には接続孔を設けて同電位の電源配線同士を導通させ、前記回路に異なる電位を供給する電源配線により挟まれる領域にキャパシタを形成することを特徴とする半導体集積回路。
【選択図】図1
Description
2 素子
3c、3s 接続孔
4、5 層間絶縁膜
6 SiO2膜
7 溝
8 金属膜
Claims (4)
- 多層配線構造を有する半導体集積回路において、
最上層のメタル配線層MTOPと該メタル配線層MTOPの一層下のメタル配線層MTOP−1とが、半導体基板上に形成された回路に異なる電位を供給する、同一方向に配列されたそれぞれ複数の電源配線により構成され、
上方から見た場合に前記メタル配線層MTOPを構成する電源配線と、前記メタル配線層MTOP−1を構成する電源配線とが絶縁膜を挟んで交差するように配置されると共に、
前記回路に供給する電位が同じである電源配線により挟まれる領域の前記絶縁膜には接続孔を設けて同電位の電源配線同士を導通させ、
前記回路に異なる電位を供給する電源配線により挟まれる領域にキャパシタを形成することを特徴とする半導体集積回路。 - 前記メタル配線層MTOPを構成する電源配線とメタル配線層MTOP−1を構成する電源配線との間に形成される単位対向面積当たりの容量が、前記メタル配線層MTOPを構成する電源配線及びメタル配線層MTOP−1を構成する電源配線以外の2つの配線層の配線間に形成される単位対向面積当たりの容量のいずれよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
- 前記メタル配線層MTOPとメタル配線層MTOP−1との間に形成された単位対向面積当たりの容量が、1[nF/mm2]以上であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体集積回路。
- 前記メタル配線層MTOP及びメタル配線層MTOP−1が、信号用の配線を構成しないことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の半導体集積回路。
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