JP2008182058A - 半導体装置および半導体装置形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】LSI特に多層メッシュ電源構造を有するLSIにおいて電源ノイズを効率良く抑制する。
【解決手段】半導体装置100は、第1の配線層と第2の配線層を備える。第1の配線装置において、第1の電位の電源電圧供給線が論理セルに沿って第1の配線方向に配置されている。第2の配線層は、第1の配線層の上層に位置し、複数の第2の電位の電源電圧供給線が隣接して組となり第1の配線方向とは異なる第2の配線方向で配置されている。第1の配線層の上層に位置し、第2の配線層の複数の第2の電位の電源電圧供給線のうちの少なくとも2つを接続する第2の電位の配線があり、この第2の電位の配線は、第1の電位の電源電圧供給線と重なる位置に配置されて、第1の電位の電源電圧供給線とで容量を形成する。
【選択図】図2
【解決手段】半導体装置100は、第1の配線層と第2の配線層を備える。第1の配線装置において、第1の電位の電源電圧供給線が論理セルに沿って第1の配線方向に配置されている。第2の配線層は、第1の配線層の上層に位置し、複数の第2の電位の電源電圧供給線が隣接して組となり第1の配線方向とは異なる第2の配線方向で配置されている。第1の配線層の上層に位置し、第2の配線層の複数の第2の電位の電源電圧供給線のうちの少なくとも2つを接続する第2の電位の配線があり、この第2の電位の配線は、第1の電位の電源電圧供給線と重なる位置に配置されて、第1の電位の電源電圧供給線とで容量を形成する。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体装置特に多層メッシュ構造の電源配線を有する半導体装置およびその形成方法に関する。
近年、半導体LSI(集積回路)の集積度がますます高くなっている。LSIにおいて、電源を供給するための配線が占める面積の削減や、配線設計の柔軟性などのために、電源については多層メッシュ電源配線の手法が多く用いられている。多層メッシュ電源配線の手法は、具体的には、論理素子の上に電源配線層を上下に複数設け、各電源配線層において電源電圧供給線(以下VDD線という)と基準電圧供給線(例えば接地電圧線すなわちGND線)を、異なる層では異なる並び方向(配線方向)で配線し、層間でGND線同士とVDD線同士とをビアなどで接続する。
また、LSIにおいて、ノイズの軽減が重要な課題であり、様々な試みがなされている。例えば電源ノイズを軽減するために、LSI内部において容量素子を論理素子と同様に配置し、容量素子を電源と接続することによって電源の安定を図ることが行われている。しかし、この方法は、容量素子のための配置面積が必要であるため、高集積度のLSIでは、多くの容量素子を配置することができない。
特許文献1には、2層メッシュ電源配線構造を用いるLSIにおける電源ノイズを軽減する技術が開示されている。この技術は、2層のうちの第1の電源配線層におけるVDD線と、第2の電源配線層におけるGND線との重なる部分で容量を形成するとともに、第1の電源配線層におけるGND線と、第2の電源配線層におけるVDD線との重なる部分で容量を形成する。こうすることによって、容量が電荷を蓄積して両端の電圧を安定に保ち、電源の揺れからなる電源ノイズを軽減することができる。また、2つの配線層の供給線の重なり部分で容量を形成するので、LSIの配置面積を使わずにノイズの軽減を図ることができる。
特開2006−173418号公報
図5は、特許文献1に開示された技術によるLSIチップの配線を示す。なお、図5は、特許文献1における図1(b)である。このLSIチップは、第1の配線層にGND線a1、a2、・・・、VDD線b1、b2、・・・がX方向に沿って配線されている。第1の配線層の上に第2の配線層があり、この第2の配線層にGND線A1、A2、・・・、VDD線B1、B2、・・・がX方向と直交するY方向に配線されている。第2の配線層にあるGND線と第1の配線層にあるVDD線との重なる部分、および第2の配線層にあるVDD線と第1の配線層にあるGND線との重なる部分において容量dが形成されている。
図5から分かるように、特許文献1に開示された技術では、配線の交差する部分でのみ容量を形成している。これでは、容量値を大きくすることができないため、ノイズの軽減効果が大きく制限される。
また、交差する部分の面積を大きくして容量を大きくする方法も考えられるが、高集積度のLSIではそれが困難であると共に、交差する部分を大きくすることによってLSIの配置面積が減り、本末顛倒の結果になりかねないという問題がある。
本発明の一つの態様は、半導体装置である。論理セルに沿って第1の配線方向に配置された第1の電位の電源電圧供給線を備える第1の配線層と、第1の配線層の上層に位置し、複数の第2の電位の電源電圧供給線が隣接して組となり第1の配線方向とは異なる第2の配線方向で配置されている第2の配線層と、第1の配線層の上層に位置し、複数の第2の電位の電源電圧供給線のうちの少なくとも2つを接続する第2の電位の配線とを備える。この第2の電位の配線は、第1の電位の電源電圧供給線と重なる位置に配置されて、該第1の電位の電源電圧供給線とで容量が形成されている。
本発明の別の態様は、半導体装置の形成方法である。この形成方法は、第1の配線層に、論理セルに沿って第1の配線方向に第1の電位の電源電圧供給線を配置し、第1の配線層の上層に位置する第2の配線層に、複数の第2の電位の電源電圧供給線が隣接してなる組を前記第1の配線方向とは異なる第2の配線方向で配置し、第1の配線層の上層に、第2の配線層における複数の第2の電位の電源電圧供給線のうちの少なくとも2つを接続する第2の電位の配線を、第1の電位の電源電圧供給線と重なる位置に配置し、該第2の電位の配線と、第1の電位の電源電圧供給線とで容量を形成する。
なお、上記各態様をシステムとして表現したものも、本発明の態様としては有効である。
本発明の技術によれば、LSI特に多層メッシュ電源構造を有するLSIにおいて電源ノイズを効率良く抑制することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の実施の形態を具体的に説明する前に、まず図1を参照してLSIにおける論理セルと配線の通常の構造について説明する。
図1において、点線により囲まれた部分は論理セル20である。論理セルは、半導体基板上に配置される複数のトランジスタの組み合わせであり、AND、OR、バッファなどの基本的な論理から構成される。複数の論理セルを配置し、これらの論理セルに配線を行うことで所望の動作をする半導体回路を得ることができる。なお、図1では簡略化して論理セルを1つしか示していないが、実際には複数の論理セルが並べられることになる。図1に示すように、論理セル20は、斜線部分が示す拡散層22と、ゲート28を有するトランジスタで構成されている。論理セルを構成する各トランジスタへの電源電圧、接地電圧は、トランジスタが位置する層の上層の配線層(図示の例では、メタル層M1)に配置されたVDD線、GND線から配線層間のコンタクトを介して接続される。
論理セルと配線層のVDD線、GND線の配置構造は、一般的に図1に示すように、X方向にVDD線、GND線が配置され、これらの配線に沿った形で各論理セルが配置される。また、多層配線の半導体回路であれば、さらに上層にVDD線、GND線が配置され、配線層間のビアを介して接続された電源電圧、接地電圧が供給されることになる。図1に示す例では、論理セルが位置する層の上に、M1〜M4の4つのメタル層があり、M1層とM4層にVDD線、GND線が配置されており、層間において、VDD線同士、GND線同士がビア40を介して接続される。
以下の説明において、論理素子の構造、論理素子が位置する層と配線層の関係が図1に示すものと同じであり、それらの説明については省略し、層間の配線を接続するビアについては同じ符号を付与する。
<第1の実施の形態>
図2は、本発明の第1の実施の形態の半導体装置100を上から見た平面図である。半導体装置100は、メモリ素子やCPUコアなどのハードマクロと共にLSIチップを構成するものであり、図示のように、論理素子と、これらの論理素子に電源電圧と基準電圧(ここの例では接地電圧GND)をそれぞれ供給するVDD線とGND線を有する。
図2は、本発明の第1の実施の形態の半導体装置100を上から見た平面図である。半導体装置100は、メモリ素子やCPUコアなどのハードマクロと共にLSIチップを構成するものであり、図示のように、論理素子と、これらの論理素子に電源電圧と基準電圧(ここの例では接地電圧GND)をそれぞれ供給するVDD線とGND線を有する。
半導体装置100において、論理素子への電源供給の配線は2層メッシュ構造を成す。図中VDD線A11、A12、A13とGND線B11、B12、B13は、論理素子の上にある配線層(以下第1の配線層という)において交互に配線されている。これらの供給線の配線方向は、論理素子の配置方向であるX方向と同じである。
第1の配線層の上に第2の配線層があり、第2の配線層において、図示VDD線A21、A22、A23、GND線B21、B22、B23が配線されている。これらの供給線の配線方向は、第1の配線層における供給線の配線方向と直交するY方向である。
図2に示すように、第2の配線層において、VDD線とGND線の2種類の供給線は配線方向に沿って、同一の電源電位の配線が隣接して組となるように配置されている。さらに、図2では、隣接する組の電源電位が異なるように配置されている。すなわち、GND、GND、VDD、VDD、GND、・・・のように配置されている。
図2の例では、2つの配線で組(VDD−VDD、GND−GND)を構成しているが、1つの組に含まれる配線の数は2つに限られることがない。例えば、VDD−VDD−VDD、GND−GND−GNDと3つの配線で組を構成してもよく、VDD−VDD−VDD、GND−GND、VDD−VDD、GND−GND−GNDのようにそれぞれの組に含まれる配線の数が異なってもよい。本願発明の半導体装置は、これらの同一の電源電位の配線が隣接してなる組を少なくとも1つを含む。
第2の配線層で組を形成しているGND線B21とGND線B22、および第1の配線層におけるVDD線A11に注目してみる。GND線B21とGND線B22間の、VDD線A11と重なる部分において容量Cが形成されている。
また、同じように、GND線B21とGND線B22間の、第1の配線層におけるVDD線A12およびVDD線A13と重なる部分においても容量Cが形成されており、VDD線A22とVDD線A23間の、第1の配線層におけるGND線B11、GND線B12、GND線B13と重なる部分においても容量Cが形成されている。
すなわち、第2の配線層において隣接して配線された同種類の供給線間の、第1の配線層における、これらの供給線と異なる種類の供給線と重なる部分においてそれぞれ容量Cが形成されている。
次いで、図2において点線により囲まれた部分50を切り出して容量Cの構造を詳細に説明する。以下の説明においてこの部分50を切出部という。
図3は、切出部50を示す立体図である。なお、この部分は論理素子の配置層より上に位置しており、分かりやすくするために、論理素子については図示を省略する。
図3に示すように、切出部50は、4つのメタル層M1〜M4を有し、GND線B12、VDD線A13、GND線B13が配線される第1の配線層はメタル層M1に該当し、GND線B22、VDD線A22、VDD線A23、GND線B23が配線される第2の配線層はメタル層M4に該当する。
メタル層M4における各供給線と、メタル層M1における各供給線との間に、同種類の供給線の重なる部分にビア40が設けられている。具体的には、GND線B22とGND線B23は、ビア40によりGND線B12、GND線B13と接続され、VDD線A22とVDD線A23は、ビア40によりVDD線A13と接続されている。
また、メタル層M4に配置されたVDD線A22とA23は、ビア30を介してメタル層M2に配置されたVDD線D31とVDD線D32に接続される。VDD線D31は、メタル層M2において、VDD線A22とA23の間であり、かつ、GND線B12と重なる位置に配置される。VDD線D32も同様に、メタル層M2において、VDD線A22とA23の間であり、かつGND線B13と重なる位置に配置される。そして、本願発明の特徴である容量Cは、VDD線A22とA23に接続されているVDD線D31とGND線B12との間と、VDD線A22とA23に接続されているVDD線D32とGND線B13との間とで形成される。容量Cの形成にあたっては、メタル層M1とM2間の層間絶縁膜(図示せず)が誘電体の役目を果たす。
ここで、容量Cの大きさについて考える。容量Cの大きさは上述の重なる部分の面積の大きさに依存し、重なる部分の面積が大きければ、形成できる容量Cの容量値も大きくなる。また、重なる部分の面積の大きさは、第2の配線層において隣接して配線された同種類の2つの供給線間の間隔によって決まる。そのため、半導体装置100では、第2の配線層において隣接して配線された供給線間の間隔について、異なる種類の供給線間の間隔より、同種類の供給線間の間隔が広くなっている。容量Cをなるべく大きくする視点から、隣接して配線された異種類の供給線間の間隔を、設計や配線上においてとり得る最小値にすることが好ましい。
図3では、VDD線D31、D32は、VDD線A22とA23との間に配置されているが、X軸方向にさらに延長、すなわち、VDD線A22よりもGND線B22側に、VDD線A23よりもGND線B23側に延長することも可能である。延長することによって、容量Cの容量値を増やすことができる。
このように、本実施の形態の半導体装置100では、論理セルに沿って形成されているメタル層M1の電源供給線(VDDまたはGND)と、このメタル層M1の電源供給線と異電位であるメタル層M4において隣接して組となるように配置されている同一の電源電位の供給線間に、メタル層M1の電源供給線と重なるように配置された電源供給線(GNDまたはVDD)との間で容量Cが形成される。このため、容量セルを配置するといった場合に比べ、半導体装置の配置面積に影響を与えずに大きな容量を論理セルの近傍に配置することができる。
また、論理素子のスイッチング動作時のピーク電流に起因するスイッチングノイズはLSIにおける電源ノイズの大きな部分を占める。また、容量は論理素子に近いほどスイッチングノイズを効率良く抑制することができる。半導体装置100では、第1の配線層における各供給線の配線方向が論理素子の配置方向と同じX方向であり、第2の配線層における各供給線の配線方向が論理素子の配置方向と直交するY方向である。そのため、容量Cは論理素子の配置方向に沿って延びるように形成され、効率良くスイッチングノイズを抑制することができる。
<第2の実施の形態>
図4は、本発明の第2の実施の形態の半導体装置において、図3に示す切出部50に対応する切出部60であり、切出部50の各要素と同じものについては同じ符号を付与するとともに、それらの詳細な説明を省略する。
図4は、本発明の第2の実施の形態の半導体装置において、図3に示す切出部50に対応する切出部60であり、切出部50の各要素と同じものについては同じ符号を付与するとともに、それらの詳細な説明を省略する。
第1の実施の形態の半導体装置100において、メタル層がM1〜M4層ある場合で説明したが、メタル層M2、M3がなくても、すなわち、M1とM4の2層であっても本発明の半導体装置を実現できる。図4に示す第2の実施の形態では、メタル層が2層であるが、説明を簡略にするため、メタル層M1、M4の名称をそのまま使用する。
図4のように2層の場合には、VDD線D31とD32は、2層目のメタル層M4に配置され、メタル層M4のVDD線A22、A23と直接接続されることになる。そして、容量Cは(図示せず)は、2層目のメタル層M4のVDD線D32、D31と、1層目のメタル層M1のGND線B12、B13との間で形成される。
このような構成を有する半導体装置は、図2に示す半導体装置100と同じ効果を得ることができる。
また、LSIチップの製造プロセスでは、通常、電源を形成してから、論理素子の配線をする。図4の例で見れば、メタル層M1とメタル層M4の各供給線の配線およびビアの接続が完了した状態で論理素子の配線がなされる。図4に示す構成では、容量を形成するためのVDD線D31とD32は、向かい合う2つの配線A22とA23の内側間に接続されるので、論理素子の配線が完了した後にでも設けることもできる。そのため、論理素子の配線を行った後に、追加可能な領域にのみ容量Cを形成することができ、LSIチップの配線の柔軟性を高めることができる。
以上、実施の形態をもとに本発明を説明した。実施の形態は例示であり、本発明の主旨から逸脱しない限り、さまざまな変更、増減を加えてもよい。これらの変更、増減が加えられた変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。
例えば、図2に示す実施の形態において、容量を形成するためのVDD線D31、D32をメタル層M2に設けているが、電源電圧供給線および基準電圧供給線が配線された2つの配線層間に本発明の技術による容量を形成することができれば、容量を形成するための配線の位置は、ここで例挙したものに限られることがない。
また、図2に示す実施の形態において、電源電圧供給線および基準電圧供給線が配線された2つの配線層(メタル層M1とメタル層M4)の間に2つのメタル層M2とM3がある。本発明の技術による容量を形成することができれば、電源電圧供給線および基準電圧供給線が配線された2つの配線層間のメタル層数がここで例挙した数に限られることが無い。
また、第1の配線層と第2の配線層の上下関係を、上述した実施の形態における関係と逆にしてもよい。
A VDD線
B GND線
C 容量
D VDD線
M メタル層
20 論理セル
22 拡散層
28 ゲート
30 ビア
40 ビア
50 切出部
60 切出部
100 半導体装置
B GND線
C 容量
D VDD線
M メタル層
20 論理セル
22 拡散層
28 ゲート
30 ビア
40 ビア
50 切出部
60 切出部
100 半導体装置
Claims (12)
- 論理セルに沿って第1の配線方向に配置された第1の電位の電源電圧供給線を備える第1の配線層と、
前記第1の配線層の上層に位置し、複数の第2の電位の電源電圧供給線が隣接して組となり前記第1の配線方向とは異なる第2の配線方向で配置されている第2の配線層と、
前記第1の配線層の上層に位置し、前記複数の第2の電位の電源電圧供給線のうちの少なくとも2つを接続する第2の電位の配線と、を備え、
前記第2の電位の配線は、前記第1の電位の電源電圧供給線と重なる位置に配置されて、該第1の電位の電源電圧供給線とで容量が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の電位の配線は、前記第1の配線層と前記第2の配線層との間の配線層に配置され、前記第2の電位の電源電圧供給線とはビアを介して接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2の電位の配線は、前記第2の配線層に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記論理セルは複数行配置されており、
前記第1の配線層は、前記論理セルに沿って第1の配線方向に交互に配置された複数の前記第1の電位の電源電圧供給線と複数の第2の電位の電源電圧供給線を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1の配線層は更に前記論理セルに沿って前記第1の配線方向に配置された第2の電位の電源電圧供給線を有し、
前記第2の配線層には更に複数の第1の電位の電源電圧供給線が隣接して組となり前記第2の配線方向に配置されており、
前記第1の配線層の上層において、前記第2の配線層の前記複数の第1の電位の電源電圧供給線のうちの少なくとも2つを接続する第1の電位の配線を更に備え、
前記第1の電位の配線は、前記第1の配線層の第2の電位の電源電圧供給線と重なる位置に配置されて、該第2の電位の電源電圧供給線とで容量を形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2の配線層において、前記第1の電位の電源電圧供給線の組と、前記第2の電位の電源電圧供給線の組とは隣接して配置され、それぞれの組内の電源電圧供給線間の配線間隔は、組間の電源電圧供給線間の配線間隔よりも広いことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 第1の配線層に、論理セルに沿って第1の配線方向に第1の電位の電源電圧供給線を配置し、
前記第1の配線層の上層に位置する第2の配線層に、複数の第2の電位の電源電圧供給線が隣接してなる組を前記第1の配線方向とは異なる第2の配線方向で配置し、
前記第1の配線層の上層に、前記複数の第2の電位の電源電圧供給線のうちの少なくとも2つを接続する第2の電位の配線を、前記第1の電位の電源電圧供給線と重なる位置に配置し、
該第2の電位の配線と、前記第1の電位の電源電圧供給線とで容量を形成することを特徴とする半導体装置形成方法。 - 前記第2の電位の配線を、前記第1の配線層と前記第2の配線層との間の配線層に配置して、ビアを介して前記第2の電位の電源電圧供給線と接続することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置形成方法。
- 前記第2の電位の配線を、前記第2の配線層に配置することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置形成方法。
- 前記論理セルは複数行配置されており、
前記第1の配線層に、前記論理セルに沿って第1の配線方向に複数の前記第1の電位の電源電圧供給線と複数の第2の電位の電源電圧供給線を交互に配置することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置形成方法。 - 前記第1の配線層に、前記論理セルに沿って前記第1の配線方向に更に第2の電位の電源電圧供給線を配置し、
前記第2の配線層に、複数の第1の電位の電源電圧供給線が隣接してなる組を前記第2の配線方向に更に配置し、
前記第1の配線層の上層において、前記第2の配線層の前記複数の第1の電位の電源電圧供給線のうちの少なくとも2つを接続する第1の電位の配線を、前記第1の配線層の第2の電位の電源電圧供給線と重なる位置に更に配置し、
該第1の電位の配線と、前記第1の配線層の第2の電位の電源電圧供給線とで容量を形成することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置形成方法。 - 前記第2の配線層において、前記第1の電位の電源電圧供給線の組と、前記第2の電位の電源電圧供給線の組を、それぞれの組内の電源電圧供給線間の配線間隔が、組間の電源電圧供給線間の配線間隔よりも広くなるように隣接して配置することを特徴とする請求項11に記載の半導体装置形成方法。
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