JP5230912B2 - 半導体集積回路装置の製造方法 - Google Patents
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Description
このような問題を解消するために、半導体集積回路装置間を接続するPCB(Printed Circuit Boad)上でデカップリング容量素子を挿入するだけでなく、半導体集積回路装置内の空いた領域に容量セルを配置することで電源ノイズを低減するようにしている(例えば、特許文献1参照)。
またさらに、論理セルの配置よりも半導体集積回路装置中央部の容量セルの配置を優先すると半導体集積回路装置中央部の論理セルによって構成される集積回路においては不要な遅延等が生じ、集積回路自体の動作速度が低下することがあるという問題がある。
また、半導体集積回路装置全体の電源ノイズをより効果的に抑制することができるとともに半導体集積回路装置中央部の論理セルによって構成される集積回路の動作速度の低下を防止することができるという効果が得られる。
図1において、1は電源主幹線、2はグランド主幹線、3は電源幹線、4はグランド幹線であり、電源幹線3は電源主幹線1に接続され、またグランド幹線4はグランド主幹線2に接続されたものである。
5は容量セルであり、電源主幹線1やグランド主幹線2の近傍に配置されたものである。この容量セル5は、単位面積あたりの容量が1よりも大きい容量セルであり、その容量セル5は電源主幹線1やグランド主幹線2の近傍に配置されている。また、図示してはいないが、半導体集積回路を構成するための論理セルは、容量セル5の配置を優先した上で、容量セル5の配置された領域以外の領域に配置される。
そして、容量セル5を電源幹線3およびグランド幹線4に接続することにより、効果的なデカップリング容量を実現することができる。
以下に、この容量セル5の配置手順を説明する。
図2は実施例における容量セルの配置手順を示すフローチャート、図3は実施例における容量セルの配置位置設定手順を示すフローチャートである。
S1:半導体集積回路装置に配置する容量セルの数量および位置を設定する。この手順の詳細な説明は後述する。
S2:半導体集積回路装置に配置する容量セルの数量および位置を設定すると論理セルの配置に先行してその設定した位置に容量セルを電源幹線およびグランド幹線に接続して配置する。
S4:論理セルを配置するとステップS2およびS3で配置された容量セルや論理セルの隙間にさらに容量セルを追加配置する。
次に、上述したステップS1の容量セルの配置位置設定手順を図3のSで表すステップにしたがって説明する。
S11:半導体集積回路装置のゲート規模から必要な論理セルの面積を算出し、半導体集積回路装置の面積から算出した論理セルの面積を減算して容量セルを配置することができる面積を算出する。その容量セルを配置することができる面積を配置するひとつの容量セルの面積で除算して配置可能なすべての容量セルの数量を算出する。このとき、配置される容量セルは、算出された容量セルを配置することができる面積の大きさを勘案しつつ、面積の大きいものが選択されるものとする。
ここで、容量セルの容量について説明する。
例えば、図5に示すように、容量セルの面積(サイズ)が「×1」の場合の単位面積あたりの容量を1とすると、容量セルの面積(サイズ)が「×2」の場合の単位面積あたりの容量は5、容量セルの面積(サイズ)が「×4」の場合の単位面積あたりの容量は7、容量セルの面積(サイズ)が「×8」の場合の単位面積あたりの容量は7、容量セルの面積(サイズ)が「×16」の場合の単位面積あたりの容量は8となる。
S13:半導体集積回路形成領域11を複数のブロック12に分割するとステップS11で見積もった電源幹線の電圧降下値から各ブロック12での電圧降下の平均値を算出する。
例えば、図4(b)に示すように電源幹線(VDD)の電圧と半導体集積回路装置内の論理セルが動作可能な許容電圧との間を5分割し、図4(a)における上から3行目の5個のブロック12の電圧降下の平均値を図4(b)に当てはめ、左端のブロック12から順に、1、2、3、2、1の係数値を得るものとする。
例えば、図4(a)において係数値の合計は35となる。
S15:係数値の合計を算出すると、「(S11で算出した容量セルの数量)×(各ブロック係数値)÷(係数の合計値)」の数式で各ブロック12に配置する容量セルの数量を算出する。すなわち、ブロック領域毎の電源幹線の電圧降下値に応じて容量セルの数量を算出して決定する。
S16:各ブロック12に配置される容量セルの数量が算出されるとその数量に相当する容量セルを論理セルの配置に優先して各ブロック12内の電源主幹線の近傍に配置する。
なお、本実施例では電源幹線における電圧降下が大きい領域に容量セルを先行して配置する例で説明したがグランド幹線における電圧上昇に対しても適用することができる。
また、容量セルを電源主幹線の近傍に先行して配置することで効果的なデカップリング効果が得られる例で説明したが、電源主幹線に限られることなく外周リング幹線やIO電源幹線に適用することができる。
またさらに、電源幹線を配置した後、その電源幹線の電圧降下値を見積もり、ブロック毎の容量セルの係数値を算出するようにしたが、容量セルならびに論理セルの配置および配線を行った後、詳細な電圧降下値を求め、その電圧降下値を使用して容量セルの係数値を算出して容量セルの数量を設定するようにしてもよい。
また、半導体集積回路装置の中心部や周辺部を含む全体の電圧降下を考慮し、容量セルを半導体集積回路装置全体に配置するようにしたため、半導体集積回路装置全体の電源ノイズをより効果的に抑制することができるとともに半導体集積回路装置中央部の論理セルによって構成される集積回路の動作速度の低下を防止することができるという効果が得られる。
2 グランド主幹線
3 電源幹線
4 グランド幹線
5 容量セル
11 半導体集積回路形成領域
12 ブロック
Claims (1)
- 半導体集積回路形成領域に備えられた電源主幹線に接続された複数の電源幹線に対して、容量セルと複数の論理セルとを接続して配置する半導体集積回路装置の製造方法において、
前記電源主幹線の近傍に容量セルを配置させ、
前記容量セルの配置の後に、前記容量セルよりも前記電源主幹線から離れた領域に前記複数の論理セルを配置し、
前記容量セルの配置は、
前記電源主幹線および電源幹線を含むように半導体集積回路形成領域を複数のブロック領域に分割し、
前記ブロック領域毎の電源幹線の電圧降下値の平均値を算出し、
前記半導体集積回路形成領域の中央部の前記ブロック領域に配置する容量セルの数量を、前記ブロック領域毎の電源幹線の電圧降下値の平均値に応じて前記半導体集積回路形成領域の周辺部より多くし、
前記論理セルの配置に先行して、最小面積の容量セルの単位面積当たりの容量を1としたときに、単位面積あたりの容量が1よりも大きい前記容量セルを前記電源主幹線の近傍に配置することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
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