JP5640438B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
半導体基板の上に配置された第1の配線と、
前記半導体基板の上であって、前記第1の配線とは異なる高さに配置された第2の配線と、
前記第1の配線と前記第2の配線とを高さ方向に接続する第1のビアと、
高さ方向に関して前記第1のビアとは反対側において前記第1の配線に接続された第2のビアと
を有し、
前記第1の配線は、前記第1のビアとの接続点から基板面内の第1の方向に延在し、前記第2のビアは、前記第1のビアよりも前記第1の方向にずれた位置に配置されており、前記第2のビアは、高さ方向に電流を流す電流路として作用しない半導体装置が提供される。
半導体基板の上に配置された第1の配線と、
前記半導体基板の上であって、前記第1の配線とは異なる高さに配置された第2の配線と、
前記第1の配線と前記第2の配線とを高さ方向に接続する第1のビアと、
平面視において前記第1のビアと重なり、前記第1の配線との間に絶縁膜を介して配置されて前記第1の配線と容量結合し、電気的にフローティング状態にされた第1の導電膜と
を有する半導体装置が提供される。
半導体基板の上に、相互に異なる高さに配置された第1の配線、第2の配線、及び第3の配線であって、高さ方向に関して前記第1の配線が前記第2の配線と前記第3の配線との間に配置されている前記第1、第2、第3の配線と、
前記第1の配線と前記第2の配線とを高さ方向に接続する第1のビアと、
前記第1の配線と前記第3の配線とを高さ方向に接続する第2のビアと
を有し、
前記第1の配線は、前記第1のビアとの接続箇所から基板面内の第1の方向に延びており、
平面視において、前記第2のビアは前記第1の方向に長い形状を有し、前記第1のビアと少なくとも一部において重なり、かつ、前記第1のビアよりも前記第1の方向に突出している半導体装置が提供される。
半導体基板の上に配置された第1の配線と、
前記半導体基板の上であって、前記第1の配線とは異なる高さに配置された第2の配線と、
前記第1の配線と前記第2の配線とを高さ方向に接続する第1のビアと、
高さ方向に関して前記第1のビアとは反対側において前記第1の配線に接続された第2のビアと
を有し、
前記第1の配線は、前記第1のビアとの接続点から基板面内の第1の方向に延在し、前記第2のビアは、前記第1のビアよりも前記第1の方向にずれた位置に配置されていることを特徴とする半導体装置。
前記第1のビアの中心に対する前記第2のビアの中心のずれ量は、前記第1のビアの前記第1の方向に関する寸法の0.5倍〜1.5倍の範囲内であることを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
さらに、前記半導体基板の上に形成され、前記第1の配線から前記第1のビアを介して前記第2の配線に電流を流す電気回路を有することを特徴とする付記1または2に記載の半導体装置。
さらに、
高さ方向に関して前記第1のビアとは反対側において前記第2の配線に接続された第3のビアを有し、
前記第2の配線は、前記第1のビアとの接続点から基板面内の第2の方向に延在し、前記第3のビアは、前記第1のビアよりも前記第2の方向にずれた位置に配置されていることを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置。
半導体基板の上に配置された第1の配線と、
前記半導体基板の上であって、前記第1の配線とは異なる高さに配置された第2の配線と、
前記第1の配線と前記第2の配線とを高さ方向に接続する第1のビアと、
平面視において前記第1のビアと重なり、前記第1の配線との間に絶縁膜を介して配置されて前記第1の配線と容量結合し、電気的にフローティング状態にされた第1の導電膜と
を有することを特徴とする半導体装置。
さらに、平面視において前記第1のビアと重なり、前記第2の配線との間に絶縁膜を介して配置されて前記第2の配線と容量結合し、電気的にフローティング状態にされた第2の導電膜を有することを特徴とする付記5に記載の半導体装置。
半導体基板の上に、相互に異なる高さに配置された第1の配線、第2の配線、及び第3の配線であって、高さ方向に関して前記第1の配線が前記第2の配線と前記第3の配線との間に配置されている前記第1、第2、第3の配線と、
前記第1の配線と前記第2の配線とを高さ方向に接続する第1のビアと、
前記第1の配線と前記第3の配線とを高さ方向に接続する第2のビアと
を有し、
前記第1の配線は、前記第1のビアとの接続箇所から基板面内の第1の方向に延びており、
平面視において、前記第2のビアは前記第1の方向に長い形状を有し、前記第1のビアと少なくとも一部において重なり、かつ、前記第1のビアよりも前記第1の方向に突出していることを特徴とする半導体装置。
11 素子分離絶縁膜
12 電子素子
13 層間絶縁膜
20 第1の配線層
20A 第1の配線層内の配線
21 第2の配線層
21A 第2の配線層内の配線
22 第3の配線層
22A 追加ビアを相互に接続する配線
23 第4の配線層
30、31 ビア
32 追加ビア
35 第1の方向
36 第2の方向
37 第3の方向
40 第5の配線層
42、43、45、46 追加ビア
50、51 孤立導電膜
55、56 電流波形
100 電源配線
101、102 電子素子
110、111 インバータ
Claims (5)
- 半導体基板の上方に配置され、第1の方向に延在する第1の配線と、
前記半導体基板の上方であって、前記第1の配線の下方に配置され、前記第1の方向と直交する第2の方向に延在する第2の配線と、
前記第1の配線と前記第2の配線とを接続する複数の第1のビアであって、平面視において前記第1の配線と前記第2の配線とが重なる領域を配線重複領域としたときに、該配線重複領域内において、前記第1の方向を列方向とし、前記第2の方向を行方向とする行列状に配置される複数の第1のビアと、
前記配線重複領域内において前記第1の配線の上方側に接続し、前記複数の第1のビア各々に対して前記第1の方向にずれた位置に配置される複数の第2のビアと、
前記配線重複領域内において前記第2の配線の下方側に接続し、前記複数の第1のビア各々に対して前記第2の方向にずれた位置に配置される複数の第3のビアと、
を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のビアの中心に対する前記第2のビアの中心のずれ量は、前記第1のビアにおける前記第1の方向の寸法の0.5倍〜1.5倍の範囲内であり、前記第1のビアの中心に対する前記第3のビアの中心のずれ量は、前記第1のビアにおける前記第2の方向の寸法の0.5倍〜1.5倍の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2のビアは前記第1の配線以外には接続されておらず、前記第3のビアは前記第2の配線以外には接続されていないことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 半導体基板の上方に配置され、第1の方向に延在する第1の配線と、
前記半導体基板の上方であって、前記第1の配線の下方に配置され、前記第1の方向と直交する第2の方向に延在する第2の配線と、
前記第1の配線と前記第2の配線とを接続する複数の第1のビアであって、平面視において前記第1の配線と前記第2の配線とが重なる領域を配線重複領域としたときに、該配線重複領域内において、前記第1の方向を列方向とし、前記第2の方向を行方向とする行列状に配置される複数の第1のビアと、
前記配線重複領域において前記第1の配線の上方側に接続し、前記複数の第1のビアのうち最も前記第1の方向側に配列する第1のビア群にのみ対応して設けられており、該第1のビア群に含まれる第1のビア各々に対して前記第1の方向にずれた位置に配置される複数の第2のビアと、
を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のビアの中心に対する前記第2のビアの中心のずれ量は、前記第1のビアにおける前記第1の方向の寸法の0.5倍〜1.5倍の範囲内であることを特徴とする請求項1または4に記載の半導体装置。
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JP2001044196A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-16 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JP2003031677A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-01-31 | Nec Microsystems Ltd | 半導体集積回路の製造方法および設計方法ならびに半導体集積回路 |
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