JP2007109936A - チップピックアップ装置およびチップピックアップ方法ならびにチップ剥離装置およびチップ剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート5に貼り付けられたチップ6を取出しノズル20によって吸着保持してピックアップするチップピックアップ装置において、剥離ツール22の上面の当接支持面にゴムなどの可撓性の弾性体を球面状に成形したシート押上部材24を装着し、取出しノズル20の下降状態においてシート押上げ部材24の押上面をシート5の下面に平面状に倣わせて当接させ、取出しノズル20がチップ6とともに上昇する上昇動作において押上面を上に凸形の曲面状に変形させながらシート5の下面を押し上げる。これにより、シート5とチップ6とをチップ外縁側から剥離させることができる。
【選択図】図7
Description
設けられた取出しノズルと、前記シート保持部の下方に配設され前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させる剥離促進機構とを備えたチップピックアップ装置によって前記シートから前記チップをピックアップするチップのピックアップ方法であって、前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側から吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部を押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させ、前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側から剥離させ、次いで前記シートから剥離したチップを前記取出しノズルによって取り出す。
図1は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ装置の構成を示すブロック図、図2は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ装置における取り出しノズルの部分断面図、図3は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の斜視図、図4は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の部分断面図、図5は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の平面図、図6、図7は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ方法の工程説明図、図8は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の構造説明図である。
当接支持面22aから上方に突出した部分は、シート5によって押圧されて変形する。そしてさらに剥離ツール22をシート5に対して押し付けて当接支持面22aがシート5の下面に当接するまでシート押上部材24が変形した状態においては、シート押上部材24は、上面をシート5の下面に平面状に倣わせて上部が平坦となった状態で当接する。
側のみにおいてチップ6とシート5との剥離が開始される。
図9は本発明の実施の形態2のチップのピックアップ装置における取り出しノズルの部分断面図、図10、図11は本発明の実施の形態2のチップのピックアップ方法の工程説明図、図12は本発明の実施の形態2のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の構造説明図である。
5 シート
6 チップ
7 剥離促進機構
8 ピックアップヘッド
20 取出しノズル
22、22A、122、122A 剥離ツール
22a 当接支持面
22b 吸着孔
24、124 シート押上部材
Claims (14)
- シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップピックアップ装置であって、
前記シートを保持するシート保持部と、ノズル昇降機構によって前記シート保持部に対して相対的に昇降し、前記チップの上面に当接してこのチップを吸着保持するとともに平坦な状態に保つ保持面が設けられた取出しノズルと、前記シート保持部の下方に配設され前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させる剥離促進機構とを備え、
前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側から吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、
前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部は押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接し、前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側から剥離させることを特徴とするチップピックアップ装置。 - 前記押上部は、可撓性の弾性体を上に凸形の曲面を有する形状に成形してなることを特徴とする請求項1記載のチップピックアップ装置。
- 前記押上部を複数配置したことを特徴とする請求項1または2記載のチップピックアップ装置。
- 前記押上部は前記昇降部に対して昇降自在に設けられており、予め前記取出しノズルを下降させて前記チップを吸着保持した後に前記押上部を上昇させることにより、前記押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接することを特徴とする請求項1乃至3記載のチップピックアップ装置。
- シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップのピックアップ装置において、取出しノズルによって前記チップをシート保持部に保持された前記シートから取り出す際に、前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進するチップ剥離装置であって、
前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側から吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、
前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部は押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接し、前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側から剥離させることを特徴とするチップ剥離装置。 - 前記押上部は、可撓性の弾性体を上に凸形の曲面を有する形状に成形してなることを特徴とする請求項5記載のチップ剥離装置。
- 前記押上部を複数配置したことを特徴とする請求項5または6記載のチップ剥離装置。
- 前記押上部は前記昇降部に対して昇降自在に設けられており、予め前記取出しノズルを下降させて前記チップを吸着保持した後に前記押上部を上昇させることにより、前記押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接することを特徴とする請求項5乃至7記載のチップ剥離装置。
- 板状のチップが貼り付けられたシートを保持するシート保持部と、ノズル昇降機構によって前記シート保持部に対して相対的に昇降し、前記チップの上面に当接してこのチップを吸着保持するとともに平坦な状態に保つ保持面が設けられた取出しノズルと、前記シート保持部の下方に配設され前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させる剥離促進機構とを備えたチップピックアップ装置によって前記シートから前記チップをピックアップするチップのピックアップ方法であって、
前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側から吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、
前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部を押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させ、
前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側から剥離させ、
次いで前記シートから剥離したチップを前記取出しノズルによって取り出すことを特徴とするチップピックアップ方法。 - 前記押上部は、可撓性の弾性体を上に凸形の曲面を有する形状に成形してなり、前記取出しノズルの下降状態において、前記取出しノズルによって前記チップおよびシートを介して前記押上部を弾性変形させることにより、押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させることを特徴とする請求項9記載のチップピックアップ方法。
- 前記押上部は前記昇降部に対して昇降自在に設けられており、予め前記取出しノズルを下降させて前記チップを吸着保持した後に前記押上部を上昇させることにより、前記押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接することを特徴とする請求項9または10記載のチップピックアップ方法。
- シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップピックアップ装置において、取出しノズルによって前記チップをシート保持部に保持された前記シートから取り出す際に、前記シートの下面に剥離促進機構を当接させて前記チップとシートとの剥離を促進するチップ剥離方法であって、
前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側から吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、
前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部を押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させ、
前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動
作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側から剥離させることをことを特徴とするチップ剥離方法。 - 前記押上部は、可撓性の弾性体を上に凸形の曲面を有する形状に成形してなり、前記取出しノズルの下降状態において、前記取出しノズルによって前記チップおよびシートを介して前記押上部を弾性変形させることにより、押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させることを特徴とする請求項12記載のチップ剥離方法。
- 前記押上部は前記昇降部に対して昇降自在に設けられており、予め前記取出しノズルを下降させて前記チップを吸着保持した後に前記押上部を上昇させることにより、前記押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接することを特徴とする請求項12または13記載のチップ剥離方法。
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