JP2007087785A - 印刷体の製造方法及び印刷体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基体と、基体上に設けられた隔壁と、隔壁に区画された領域内に形成された有機機能性薄膜を具備する印刷体の製造方法であって、前記隔壁は第一直線に平行な第一隔壁と第二直線に平行な第二隔壁から形成された格子状であり、第一隔壁に対応した画線部を有する印刷版を用い有機機能性薄膜を印刷法により形成することを特徴とする印刷体の製造方法とする。
【選択図】図8
Description
有機EL素子は有機発光材料を含む発光層を、第一の電極と第二の電極で挟んだ単純な基本構造をしている。この電極間に電圧を印加し、一方の電極から注入されるホールと、他方の電極から注入される電子とが発光層内で再結合する際に生じる光を画像表示や光源として用いるというものである。
従って、それぞれの第一電極形状に沿って、パッシブ型の有機EL素子の場合はストライプ状に、アクティブ型の有機EL素子の場合は格子状に隔壁が形成されている(特許文献1参照)。
基板11は本発明の印刷体の支持体となるものである(図1(a))。基板としては絶縁性を有し寸法安定性に優れた基板であれば如何なる基板も使用することができる。例えば、ガラスや石英、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシート、または、これらプラスチックフィルムやシートに酸化珪素、酸化アルミニウム等の金属酸化物や、弗化アルミニウム、弗化マグネシウム等の金属弗化物、窒化珪素、窒化アルミニウムなどの金属窒化物、酸窒化珪素などの金属酸窒化物、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリエステル樹脂などの高分子樹脂膜を単層もしくは積層させた透光性基材や、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、シート、板や、前記プラスチックフィルムやシートにアルミニウム、銅、ニッケル、ステンレスなどの金属膜を積層させた非透光性基材などを用いることができる。光取出しをどちらの面から行うかに応じて基材の透光性を選択すればよい。これらの材料からなる基板は、有機EL素子内への水分の侵入を避けるために、無機膜を形成したり、フッ素樹脂を塗布したりして、防湿処理や疎水性処理を施してあることが好ましい。特に、有機発光媒体への水分の侵入を避けるために、基板における含水率およびガス透過係数を小さくすることが好ましい。
本発明の印刷体をアクティブ駆動型有機EL素子とする場合には、TFT120上に、平坦化層117が形成してあるとともに、平坦化層117上に有機EL素子の下部電極(第一電極12)が設けられており、かつ、TFTと下部電極とが平坦化層117に設けたコンタクトホール118を介して電気接続してあることが好ましい。このように構成することにより、TFTと、有機EL素子との間で、優れた電気絶縁性を得ることができる。
支持体上に設ける薄膜トランジスタ120は、公知の薄膜トランジスタを用いることができる。具体的には、主として、ソース/ドレイン領域及びチャネル領域が形成される活性層、ゲート絶縁膜及びゲート電極から構成される薄膜トランジスタが挙げられる。薄膜トランジスタの構造としては、特に限定されるものではなく、例えば、スタガ型、逆スタガ型、トップゲート型、コプレーナ型等が挙げられる。
ゲート電極114としては、通常、ゲート電極として使用されているものを用いることができ、例えば、アルミ、銅等の金属;チタン、タンタル、タングステン等の高融点金属;ポリシリコン;高融点金属のシリサイド;ポリサイド;等が挙げられる。
薄膜トランジスタ120は、シングルゲート構造、ダブルゲート構造、ゲート電極が3つ以上のマルチゲート構造であってもよい。また、LDD構造、オフセット構造を有していてもよい。さらに、1つの画素中に2つ以上の薄膜トランジスタが配置されていてもよい。
薄膜トランジスタ120とドレイン電極116と有機EL素子の画素電極12との接続は、平坦化膜117を貫通するコンタクトホール118内に形成された接続配線を介して行われる。
基板11の上に第一電極12を成膜し、必要に応じてパターニングをおこなう(図1(a))。本発明では第一電極は第一隔壁及び第二隔壁によって区画され、各画素に対応した画素電極となる。第一電極の材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物や、金、白金などの金属材料や、これら金属酸化物や金属材料の微粒子をエポキシ樹脂やアクリル樹脂などに分散した微粒子分散膜を、単層もしくは積層したものをいずれも使用することができる。第一電極を陽極とする場合にはITOなど仕事関数の高い材料を選択することが好ましい。下方から光を取り出す、いわゆるボトムエミッション構造の場合は透光性のある材料を選択する必要がある。必要に応じて、第一電極の配線抵抗を低くするために、銅やアルミニウムなどの金属材料を補助電極として併設してもよい。第一電極の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの乾式成膜法や、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などの湿式成膜法などを用いることができる。第一電極のパターニング方法としては、材料や成膜方法に応じて、マスク蒸着法、フォトリソグラフィー法、ウェットエッチング法、ドライエッチング法などの既存のパターニング法を用いることができる。基板としてTFTを形成した物を用いる場合は下層の画素に対応して導通を図ることができるように形成する。
本発明の隔壁13は画素に対応した発光領域を区画するように形成する。基体が第一電極12を備えている場合は第一電極の端部を覆うように形成するのが好ましい(図1(a)、(b))。隔壁は第一直線に平行な第一隔壁24、33と、第二直線に平行な第二隔壁23、32から構成され、それぞれが交わることで格子形状となっている(図2、図3)。第一直線及び第二直線は印刷版及び被印刷基板の移動方向と、それぞれのパターンに対応して便宜上定めた架空の直線であり、通常は直交する。
本発明では有機機能性薄膜の印刷に用いる印刷版の画線部は第一隔壁のみに対応して形成され、第二隔壁を乗り越えて印刷がなされる。第一隔壁と第二隔壁は同じように、同じ高さ、同じ幅、同じ方法で、例えば一回で形成することもできるが、好ましくは第二隔壁は第一隔壁よりも印刷に影響を与えない構成とするのがよい。
具体的には、第二隔壁は第一隔壁よりも低いか、幅が狭いか、撥液性を付与しないものとすることができる。
隔壁の形状としては図示した直線状の他に、開口部にインクが回りやすくするために第一隔壁と第二隔壁の交点を発光領域側に丸めることもできる。また、第二隔壁の一部を細くしたり、低くしたりすることもできる。
次に、有機発光媒体層14を形成する(図1(a))。本発明における有機発光媒体層14としては、発光物質を含む単層膜、あるいは多層膜で形成することができる。多層膜で形成する場合の構成例としては、正孔輸送層、電子輸送性発光層または正孔輸送性発光層、電子輸送層からなる2層構成や正孔輸送層、発光層、電子輸送層からなる3層構成、さらには、必要に応じて正孔(電子)注入機能と正孔(電子)輸送機能を分けたり、正孔(電子)の輸送をプロックする層などを挿入することにより、さらに多層形成することがより好ましい。なお、本発明中の有機発光層とは有機発光材料を含む層を指し、電荷輸送層とは正孔輸送層等それ以外の発光効率を上げるために形成されている層を指す。
本発明の印刷体が具備する有機機能性薄膜は印刷法によって形成される。本発明で用いることのできる印刷法としては、凸版印刷法、グラビア印刷法、平版(オフセット)印刷法等を挙げることができる。有機機能性薄膜を形成する被印刷基板としての基体はガラスやプラスチックフィルムを使用することが多い。従って局所的な圧力に弱く、破損する恐れが高いため、被印刷基板に当たる面がゴムなどの樹脂で形成されているオフセット印刷法や凸版印刷法の中でも樹脂やゴムの版を用いるタイプを好ましく選択することができる。オフセット印刷法を用いる場合は、膜厚が均一に形成できることから凸版反転オフセット法が好ましい。
本発明で好ましく用いることができる印刷法である凸版印刷法について詳細に説明する。
有機機能性薄膜の形成に用いることのできる凸版としては水現像タイプの樹脂凸版を用いることが好ましい。このような樹脂版を構成する水現像タイプの感光性樹脂としては、例えば親水性のポリマーと不飽和結合を含むモノマーいわゆる架橋性モノマー及び光重合開始剤を構成要素とするタイプが挙げられる。このタイプでは、親水性ポリマーとしてポリアミド、ポリビニルアルコール、セルロース誘導体等が用いられる。また、架橋性モノマーとしては、例えばビニル結合を有するメタクリレート類が挙げられ、光重合開始剤としては例えば芳香族カルボニル化合物が挙げられる。中でも、印刷適性の面からポリアミド系の水現像タイプの感光性樹脂が好適である。
本発明で好ましく用いることができる他の印刷法である凸版反転オフセット法について詳細に説明する。
図5に有機機能性薄膜の形成に用いることができる凸版反転オフセット印刷装置の一例を模式的に示した。凸版反転オフセット印刷装置は積層材料の支持体であるブランケットと、ブランケットにインク状の積層材料を供給するインク供給機構(図示せず)と、支持体上の積層材料から不要部を除去するための凸刷版とを備える。また、被転写体(被印刷基板)は転写体の下方のステージ上に配置され、印刷の進行に応じて送り出される。
ブランケットはブランケット胴51とブランケット胴に巻きつけられ表面を構成するシリコーンブランケット52から構成されている。
図示しないインク供給手段からブランケット胴に設置したシリコーンブランケットの有効面にインク状の積層材料53を塗布、乾燥させ塗膜を形成する(図5(a))。
次に、ブランケット胴51を回転させ、被印刷基板55とシリコーンブランケット52を圧着させ、被印刷基板を固定したステージをブランケット胴の回転に合わせて移動させる。このとき、シリコーンブランケット上にあるパターニング済みの積層材料53aは被印刷基板に印刷される(図5(c))。
次に、第二電極15を形成する(図1(a))。第二電極を陰極とする場合には有機発光媒体層14への電子注入効率の高い、仕事関数の低い物質を用いる。具体的にはMg,Al,Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体と接する界面にLiや酸化Li,LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いてもよい。または電子注入効率と安定性を両立させるため、仕事関数が低いLi,Mg,Ca,Sr,La,Ce,Er,Eu,Sc,Y,Yb等の金属1種以上と、安定なAg,Al,Cu等の金属元素との合金系を用いてもよい。具体的にはMgAg,AlLi,CuLi等の合金が使用できる。第二電極側から光を取り出す、いわゆるトップエミッション構造とする場合には透光性を有する材料を選択することが好ましい。この場合、仕事関数が低いLi,Caを薄く設けた後に、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物を積層してもよく、前記有機発光媒体層4に、仕事関数が低いLi,Caなどの金属を少量ドーピングして、ITOなどの金属酸化物を積層してもよい。
有機EL素子としては電極間に発光材料を挟み、電流を流すことで発光させることが可能であるが、有機発光材料は大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまうため通常は外部と遮断するための封止体を設ける。
封止体16は例えば封止材16a上に樹脂層16bを設けて作成することができる(図1(a))。
封止材16aとしては、水分や酸素の透過性が低い基材である必要がある。また、材料の一例として、アルミナ、窒化ケイ素、窒化ホウ素等のセラミックス、無アルカリガラス、アルカリガラス等のガラス、石英、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、耐湿性フィルムなどを挙げることができる。耐湿性フィルムの例として、プラスチック基材の両面にSiOxをCVD法で形成したフィルムや、透過性の小さいフィルムと吸水性のあるフィルムまたは吸水剤を塗布した重合体フィルムなどがあり、耐湿性フィルムの水蒸気透過率は、10−6g/m2/day以下であることが好ましい。
基板として10cm四方のガラス基板を用いた。この基板61の一方の辺を第一直線と定め、第一直線に直交する辺を第二直線と定める(図(a))。図6及び図7において特に断りのない限り基板の向きは変わらないものとする。この上に第一電極62として第二直線に平行なストライプ状のITOパターンを64本形成し、基体として用いる(図(b))。なお、図では簡略化して第一電極は8本で示してある。
次に、スリットコート法により感光性ポリイミド樹脂を0.8μm積層し、露光・現像工程を経て第一隔壁下部631aの上方にストライプ状の第一隔壁上部631bを形成した。これを第一隔壁下部と合わせて第一隔壁631とした(図(d))。
O2プラズマ処理により第一電極の表面処理を行った後、CF4プラズマにより有機材料からなる第一隔壁上部の撥液処理を行った。後述する有機発光媒体層用インクの第一隔壁上部に対する接触角は、撥液処理前は正孔輸送材料に対しては80度、有機発光材料に対しては40、撥液処理後は正孔輸送材料、有機発光材料に対して120度であった。
次いで、電荷輸送層65a上に有機発光層65bを80nmの厚みで形成し、電荷輸送層と合わせて有機発光媒体層65を完成させた(図(f))。この形成には、有機発光材料として高分子発光材料であるポリフルオレン材料をトルエン(実施例なので具体的な溶媒名を入れました)に溶解して調整したインクをポリアミド系水現像型感光性樹脂を印刷版として用いた凸版印刷法により行った。
ここで用いた印刷版81である凸版は第一隔壁に対応したライン状の画線部81aである凸部を具備しており、インキング後、第一隔壁631との位置合わせを行って印刷した。第一隔壁に対応した画線部81aを形成した印刷版81を印刷胴82の曲線方向と第一隔壁(すなわち第一直線)方向が一致するようにセットした。また、被印刷基板である隔壁を備えた基体は、第一隔壁が印刷方向となるように凸版印刷機にセットした。図8(b)は図8(a)のA−A’ラインでの断面図であるとともに、図7(f)のB−B’ラインあるいはC−C’ラインでの断面図である。
この際、凸版の画線部81aは第二隔壁632を乗り越えて印刷を行うが、第二隔壁は第一隔壁631に比べて低いため印刷版81への影響が少なく、印刷版81と被印刷基板85との距離を近づけることができ、印刷版上にインクが残るのを抑えることができた。また、第二隔壁632によって画線部81a上のインキは自然にきれるようになっているので、隔壁上にインクが残ってしまうことはなかった。
本発明の方法では第二直線方向の位置合わせは必要としないので、製造工程の短縮が図れると共に得られる印刷体の歩留まりが向上する。
こうして形成した画素数4096のパッシブマトリクス駆動型有機発光EL素子をガラスキャップで封止し、第一電極を陽極として、第二電極を陰極として発光させ第一電極側から発光を観察したところ、発光ムラ(最大輝度部分と最小輝度部分の差or面積?)は5%以下であった。
第一隔壁と第二隔壁に区画された領域である開口部に、実施例1と同様に調整したインク状の高分子正孔輸送材料を配置し、乾燥して膜厚50nmの電荷輸送層を形成した。次いで、実施例1と同様に調整したインク状の高分子発光材料を配置し、乾燥して膜厚80nmの有機発光層を形成して、電荷輸送層と合わせて有機発光媒体層を完成させた。
ここで電荷輸送層及び有機発光媒体層の形成は実施例1で有機発光媒体層の形成に用いた凸版印刷法により行った。
こうして形成された有機発光媒体層上に実施例1と同様に第二電極を形成し、ガラスキャップで封止後、実施例1と同様に発光させ観察したところ、発光ムラは20%以下であった。
その後、実施例1と同様に撥液処理等を行い、実施例1と同様に有機発光媒体層を形成した。
この際、凸版の画線部は第二隔壁を乗り越えて印刷を行うが、第二隔壁は第一隔壁に比べて細いため印刷版への影響が少なく、印刷版と被印刷基板との距離を近づけることができ、印刷版上にインクが残るのを抑えることができた。また、第二隔壁によって印刷版上のインキは自然にきれるようになっているので、隔壁上にインクが残ってしまうことはなかった。
その後、第二電極の形成を行い、ガラスキャップ封止後、実施例1と同様に発光させ観察したところ、発光ムラは5%以下であった。
その後、実施例1と同様に第二電極を形成し、ガラスキャップ封止後、実施例1と同様に発光させ観察したところ、発光ムラは5%以下であった。
次いで、凸版反転オフセット法によって電荷輸送層および有機発光層からなる有機発光媒体層を形成した。
高分子正孔輸送材料としてポリアニリンを用い、プロパノールを溶媒としてインク状に調整したものを用い電荷輸送層を形成した。また、有機発光材料として高分子発光材料であるポリフルオレンをCHB(シクロヘキシルベンゼン)に溶解して調整したインクを用い有機発光層を形成した。
画線部が残されたブランケットを被印刷基板に接触させ、これを密着させて、被印刷基板に積層材料を転写した。この際、凸版印刷法による場合と同様、ブランケット上に残された第一隔壁に対応したパターンと、被印刷基板に設けられている第一隔壁との位置合わせを行って印刷した。
この際、ブランケット上の画線部は第二隔壁を乗り越えて転写されるが、第二隔壁は第一隔壁に比べて低いためブランケットへの影響が少なく、ブランケットと被印刷基板との距離を近づけることができ、ブランケット上にインクが残るのを抑えることができた。また、第二隔壁によってブランケット上のインキは自然にきれるようになっているので、隔壁上にインクが残ってしまうことはなかった。
次に、スリットコート法により第二隔壁及び第一隔壁下部を形成したものと同じ感光性樹脂を0.8μm積層し、露光・現像工程を経て第一電極下部の上方にストライプ状の第一電極上部を形成した。これを第一電極下部と合わせて第一隔壁とした。
その後、実施例1と同様に撥液処理等を行い、実施例1と同様に有機発光媒体層、第二電極の形成を行い、ガラスキャップ封止後、実施例1と同様に発光させ観察したところ、発光ムラは5%以下であった。
111:支持体 112:活性層 113:ゲート絶縁膜 114:ゲート電極 115:層間絶縁膜 116:ドレイン電極 117:平坦化層 118:コンタクトホール 119:データ線 120:薄膜トランジスタ
20、30:基体 21:基板 22、31:第一電極 23、32:第二隔壁 24、33:第一隔壁
41:インクタンク 42:インクチャンバー 43:アニロックスロール 44:インク 45:凸版 46:版胴 47:ステージ 48:被印刷基板
51:ブランケット胴 52:シリコーンブランケット 53:積層材料 53a:積層材料 53b:積層材料 53c:有機機能性薄膜 54:凸刷版 54a:凸部 55:被印刷基板
61:基板 62:第一電極 631:第一隔壁 631a:第一隔壁下部 631b:第一隔壁上部 632:第二隔壁 64:開口部 65:有機発光媒体層 65a:電荷輸送層 65b:有機発光層
81:印刷版(凸版) 81a:画線部(凸部) 81b:非画線部(凹部) 82:印刷胴 83:支持体 84:インク 85:被印刷基板
Claims (9)
- 基体と、基体上に設けられた隔壁と、隔壁に区画された領域内に形成された有機機能性薄膜を具備する印刷体の製造方法であって、
前記隔壁は第一直線に平行な第一隔壁と第二直線に平行な第二隔壁から形成された格子状であり、
第一隔壁に対応した画線部を有する印刷版を用い有機機能性薄膜を印刷法により形成することを特徴とする印刷体の製造方法。 - 前記第一隔壁よりも前記第二隔壁の幅が狭いことを特徴とする請求項1記載の印刷体の製造方法。
- 前記第一隔壁よりも前記第二隔壁の厚みが薄いことを特徴とする請求項1または2記載の印刷体の製造方法。
- 前記印刷版は凸版であることを特徴とする請求項1乃至3記載の印刷体の製造方法。
- 前記第一隔壁に対応した画線部を有する印刷版を用いた印刷法は
1)支持体上にインク状の積層材料を積層し、
2)前記支持体上に積層材料を備えた転写体と、前記積層材料の不要部に対応する凸部を備えた凸刷版とを、前記積層材料と前記凸刷版の凸部とが対面するように接触させ、これを密着させて、前記転写体から、前記積層材料の不要部を除去することによって積層材料のパターニングを行い、
3)前記支持体上にパターニング済みの積層材料を備えた転写体と、被転写体とを、前記積層材料と前記被転写体とが対面するように接触させ、これを密着させて、前記転写体から、前記パターニング済みの積層材料を前記被転写体上に転写する、
凸版反転オフセット法であることを特徴とする請求項1乃至3記載の印刷体の製造方法。 - 前記有機機能性薄膜の下方に第一電極を、上方に第二電極をさらに備え、当該有機機能性薄膜は有機発光媒体層であることを特徴とする請求項1乃至5記載の印刷体の製造方法。
- 前記有機発光媒体層は電荷輸送層であることを特徴とする請求項6記載の印刷体の製造方法。
- 前記有機発光媒体層は発光層であることを特徴とする請求項6または7記載の印刷体の製造方法。
- 請求項1乃至8記載の方法により製造されたことを特徴とする印刷体。
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