JP6978149B1 - El表示装置の製造方法および製造装置、並びに、電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、有機EL素子が高精細になるほど、有機EL素子間を区画する隔壁により形成される隔離領域は狭くなり、狭い領域に正確に位置合せしたマスクを形成することは非常に困難になる傾向が強い。その結果、歩留まりが低下し、製品の品質が低下するとともに、製造コストが嵩むという問題があった。
第一電極、前記第一電極に対向して設けられた第二電極、前記第一電極と前記第二電極とにより通電可能に挟持された状態で各々が発光する複数のEL材料層、前記複数のEL材料層のうち隣り合うEL材料層間を隔てる隔壁、を備え、
前記複数のEL材料層の厚さ方向から見た場合、前記複数のEL材料層のそれぞれからの光を前記第二電極を透過して射出する複数のEL素子領域と、前記複数のEL素子領域のうち隣り合う前記EL素子領域間を前記隔壁により隔てる隔離領域と、を含む表示領域を含むEL表示装置の製造方法であって、
前記隔壁は、前記複数のEL素子領域よりも前記厚さ方向に突出しており、
前記隔壁の突端部である隔壁天面部は前記第二電極の一部を含み、
円筒状周壁を有する転写媒体上の転写領域に、導電性粒子を溶媒に分散させた導電性インクを塗布して、導電性インク皮膜を形成する供給工程を行い、
前記円筒状周壁の軸心周りに前記転写媒体を回転させつつ、前記円筒状周壁の前記転写領域上に形成された前記導電性インク皮膜を前記表示領域に圧接して前記隔壁の前記隔壁天面部に転写することにより、当該隔壁天面部に前記第二電極と電気的に接続される補助配線を形成する転写工程を行う、点にある。
第一電極、前記第一電極に対向して設けられた第二電極、前記第一電極と前記第二電極とにより通電可能に挟持された状態で各々が前記第二電極を透過して光を射出する複数のEL材料層、前記複数のEL材料層のうち隣り合うEL材料層間を隔てるとともに突出している隔壁、を備えたEL基材を載置する載置台と、
前記載置台の上方に、導電性粒子を溶媒に分散させた導電性インクを含有する導電性インク皮膜を保持した状態で、軸心周りで回転自在にかつ前記載置台に対して近接離間移動自在に横架して配置されている転写媒体と、
前記載置台上に載置した前記EL基材と前記転写媒体との相対距離を制御して、前記載置台上の前記EL基材と前記転写媒体との接触度を調整する圧接機構と、
前記載置台の前記EL基材が水平になるように、前記載置台の前記EL基材を載置する載置面を保持する保持機構と、
前記転写媒体を軸心周りに回転させる回転機構、および、前記転写媒体の回転に同期して、前記転写媒体と前記載置台上に載置された前記EL基材との少なくとも一方を相対的に水平移動させる水平移動機構を有する転写位置合せ機構と、を備えた点にある。
基板および前記基板上の所定の領域内に設けられた隔壁を備えた電子デバイスの製造方法であって、
前記隔壁は、前記基板の前記厚さ方向に突出しており、突端部である隔壁天面部を有し、
円筒状周壁を有する転写媒体上の転写領域に、導電性粒子を溶媒に分散させた導電性インクを塗布して、導電性インク皮膜を形成する供給工程を行い、
前記円筒状周壁の軸心周りに前記転写媒体を回転させつつ、前記円筒状周壁の前記転写領域上に形成された前記導電性インク皮膜を前記領域に圧接して前記隔壁の前記隔壁天面部に転写することにより、当該隔壁天面部に配線を形成する転写工程を行う、点にある。
このような場合は、表示領域の周辺に設けた駆動回路等から給電することができ、問題なくEL表示装置の高精細、大画面要求に対応できる。
図1に、本発明の実施形態にかかるEL表示装置を示す。このEL表示装置1は、有機EL表示装置として用いられるものであり、基板11上の表示領域11Aには、複数の有機EL素子10R、10G、10Bが2次元マトリクス状に配置されている。有機EL素子10R、10G、10Bは、それぞれ赤色の光(波長620nm〜750nm)、緑色の光(波長495nm〜570nm)、青色の光(波長450nm〜495nm)を発生する。有機EL素子10R、10G、10Bはサブピクセル(R画素、G画素、B画素)に相当するものであり、これら3つのR画素、G画素、B画素の組を1つのピクセル(画素)として画像表示がなされる。表示領域11Aの周辺には、映像表示用の信号線駆動回路11Bおよび走査線駆動回路11Cが設けられている。
これらの有機EL素子10R、10G、10B上には、封止層19を間にして対向基板21が貼り合わされている。乱反射を抑止する必要がある場合には、対向基板21にブラックマトリクス層20(遮光層)を形成してもよい。更に、ブラックマトリクスの間には、乱反射防止機能を有する平坦化膜23を形成しても良い。
EL材料層17は、例えば有機EL素子10R、10G、10B毎に異なる材料から構成されている。有機EL素子10Rでは赤色光を発する赤色EL材料層17Rが、有機EL素子10Gでは緑色光を発する緑色EL材料層17Gが、有機EL素子10Bでは青色光を発する青色EL材料層17Bが、それぞれ形成されている。
電子輸送層は、8−ヒドロキシキノリンアルミニウム(Alq3)により構成されている。
この第二電極18の膜厚は、例えば50nm〜1000nmであり、好ましくは100nm〜500nmである。この第二電極18は、例えば蒸着法により形成可能である。
補助配線22を形成するEL表示装置の製造装置は、図5および図6に示すように、基体30と、この基体30に設けられた載置台31と、載置台31の上方に配置され、円筒状周壁を有するドラム状の転写媒体(例えばローラ)32と、を具備する。なお、転写媒体32は、導電性粒子を溶媒に分散させた導電性インクを含有する導電性インク皮膜aを保持した状態で、軸心周りで回転自在にかつ載置台31に対して近接離間移動自在に横架して配置されている。
次に、このEL表示装置の製造装置を用いてEL基材1Aに補助配線22を形成するEL表示装置の製造方法について、図5に従って説明する。
上記実施形態では、補助配線22の対向基板21側に直接封止層19を設けたが、さらに、補助配線22に対する保護層を設けておくこともできる。このような保護層により補助配線22の耐候性を向上させ、劣化を抑制したり、各層間等での光の反射を抑制する反射防止膜として機能させることができる。また、さらに、その他公知の機能層が基板11および対向基板21の間に設けられていてもよい。
1A :EL基材
11A :表示領域
11Aa :EL素子領域
11Ab :隔離領域
15 :第一電極
16 :隔壁
16a :隔壁天面部
17 :EL材料層
18 :第二電極
22 :補助配線
30b :アーム
31 :載置台
31a :載置面
32 :転写媒体
32a :転写領域
41 :スリットダイ
43 :浮上機構
43a :気体噴射部
43b :気体噴射機構
43c :気体噴射口
43d :気体供給配管
43e :フィッティング
a :導電性インク皮膜
Claims (12)
- 第一電極、前記第一電極に対向して設けられた第二電極、前記第一電極と前記第二電極とにより通電可能に挟持された状態で各々が発光する複数のEL材料層、前記複数のEL材料層のうち隣り合うEL材料層間を隔てる隔壁、を備え、
前記複数のEL材料層の厚さ方向から見た場合、前記複数のEL材料層のそれぞれからの光を前記第二電極を透過して射出する複数のEL素子領域と、前記複数のEL素子領域のうち隣り合う前記EL素子領域間を前記隔壁により隔てる隔離領域と、を含む表示領域を含むEL表示装置の製造方法であって、
前記隔壁は、前記複数のEL素子領域よりも前記厚さ方向に突出しており、
前記隔壁の突端部である隔壁天面部は前記第二電極の一部を含み、
円筒状周壁を有する転写媒体上の転写領域に、導電性粒子を溶媒に分散させた導電性インクを塗布して、導電性インク皮膜を形成する供給工程を行い、
前記円筒状周壁の軸心周りに前記転写媒体を回転させつつ、前記円筒状周壁の前記転写領域上に形成された前記導電性インク皮膜を前記表示領域に圧接して前記隔壁の前記隔壁天面部に転写することにより、当該隔壁天面部に前記第二電極と電気的に接続される補助配線を形成する転写工程を行う、EL表示装置の製造方法。 - 前記転写工程において、前記導電性インク皮膜を、前記表示領域において前記隔壁天面部の全領域に形成する、請求項1に記載のEL表示装置の製造方法。
- 前記EL材料層が有機EL材料により形成されている請求項1または2に記載のEL表示装置の製造方法。
- 前記EL素子領域において、前記第二電極は、前記複数のEL材料層に対向する第1の面と前記第1の面の反対側の第2の面とを有し、
前記隔離領域において、前記第二電極は、前記隔壁に対向する第3の面と前記第3の面の反対側の第4の面とを有し、
前記EL素子領域の少なくとも一部において、前記第2の面に対する前記第4の面の高さが、10μm以下である請求項1〜3のいずれか一項に記載のEL表示装置の製造方法。 - 前記隔離領域における前記隔壁天面部の少なくとも一部の幅が、20μm以下である請求項1〜4のいずれか一項に記載のEL表示装置の製造方法。
- 前記転写工程は、前記EL表示装置が載置される載置面から前記EL表示装置を浮かせた状態で実行される請求項1〜5のいずれか一項に記載のEL表示装置の製造方法。
- 第一電極、前記第一電極に対向して設けられた第二電極、前記第一電極と前記第二電極とにより通電可能に挟持された状態で各々が前記第二電極を透過して光を射出する複数のEL材料層、前記複数のEL材料層のうち隣り合うEL材料層間を隔てるとともに突出している隔壁、を備えたEL基材を載置する載置台と、
前記載置台の上方に、導電性粒子を溶媒に分散させた導電性インクを含有する導電性インク皮膜を保持した状態で、軸心周りで回転自在にかつ前記載置台に対して近接離間移動自在に横架して配置されている転写媒体と、
前記載置台上に載置した前記EL基材と前記転写媒体との相対距離を制御して、前記載置台上の前記EL基材と前記転写媒体との接触度を調整する圧接機構と、
前記載置台の前記EL基材が水平になるように、前記載置台の前記EL基材を載置する載置面を保持する保持機構と、
前記転写媒体を軸心周りに回転させる回転機構、および、前記転写媒体の回転に同期して、前記転写媒体と前記載置台上に載置された前記EL基材との少なくとも一方を相対的に水平移動させる水平移動機構を有する転写位置合せ機構と、を備えたEL表示装置の製造装置。 - 前記圧接機構は、前記転写媒体を横架支持する一対のアームを備え、各アームの転写媒体支持高さを独立に制御して、前記EL基材と前記転写媒体との相対距離を制御する、請求項7に記載のEL表示装置の製造装置。
- 前記転写媒体に導電性インクを供給し、前記導電性インク皮膜を形成する成膜用ノズルを備える、請求項7または8に記載のEL表示装置の製造装置。
- 前記載置台は、前記EL基材を前記載置面から浮かせる浮上機構を備え、
前記圧接機構は、前記転写媒体と前記浮上機構により浮かされた状態で前記載置台上に載置された前記EL基材との相対距離を制御して、前記転写媒体と前記EL基材との接触度を調整する構成であり、
前記水平移動機構は、前記転写媒体の回転に同期して、前記転写媒体と前記浮上機構により浮かされた状態で前記載置台上に載置された前記EL基材との少なくとも一方を相対的に水平移動させる構成である、請求項7から9のいずれか一項に記載のEL表示装置の製造装置。 - 基板および前記基板上の所定の領域内に設けられた隔壁を備えた電子デバイスの製造方法であって、
前記隔壁は、前記基板の厚さ方向に突出しており、突端部である隔壁天面部を有し、
円筒状周壁を有する転写媒体上の転写領域に、導電性粒子を溶媒に分散させた導電性インクを塗布して、導電性インク皮膜を形成する供給工程を行い、
前記円筒状周壁の軸心周りに前記転写媒体を回転させつつ、前記円筒状周壁の前記転写領域上に形成された前記導電性インク皮膜を前記領域に圧接して前記隔壁の前記隔壁天面部に転写することにより、当該隔壁天面部に配線を形成する転写工程を行う、電子デバイスの製造方法。 - 前記転写工程は、前記基板が載置される載置面から前記基板を浮かせた状態で実行される請求項11に記載の電子デバイスの製造方法。
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