JP2007043164A - 窒化物系化合物半導体の発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
n−電極、n型化合物半導体層、活性層、p型化合物半導体層、及びp−電極を含み、n−電極へのオーミック接触特性が向上した窒化物系化合物半導体の発光素子が提供される。前記n−電極は、Pd、Pt、Ni、Co、Rh、Ir、Fe、Ru、Os、Cu、Ag、及びAuからなる群から選択される少なくとも一種の元素からなる第1電極層と;前記第1電極層上に、Ti、V、Cr、Zr、Nb、Hf、Ta、Mo、W、Re、Ir、Al、In、Pb、Ni、Rh、Ru、Os、及びAuからなる群から選択される少なくとも一種の元素を含む伝導性物質を用いて形成される第2電極層と、を含む。
【選択図】図1
Description
10a 第1面、
10b 第2面、
11 サファイア基板、
12 n型化合物半導体層、
14 活性層、
16 p型化合物半導体層、
20 p−電極、
30 n−電極(熱処理前)、
30a 第1電極層、
30b 第2電極層、
31 n−電極(熱処理後)、
31a 第1電極層、
31b 第2電極層。
Claims (17)
- n−電極、n型化合物半導体層、活性層、p型化合物半導体層、及びp−電極を含む窒化物系化合物半導体の発光素子であって、
前記n−電極は、
Pd、Pt、Ni、Co、Rh、Ir、Fe、Ru、Os、Cu、Ag、及びAuからなる群から選択される少なくとも一種の元素からなる第1電極層と;
前記第1電極層上に、Ti、V、Cr、Zr、Nb、Hf、Ta、Mo、W、Re、Ir、Al、In、Pb、Ni、Rh、Ru、Os、及びAuからなる群から選択される少なくとも一種の元素を含む伝導性物質を用いて形成される第2電極層と、
を含む、前記窒化物系化合物半導体の発光素子。 - 前記n−電極は、200乃至900℃の温度範囲でアニーリングされてなる、請求項1に記載の素子。
- 前記n型化合物半導体層の第1面上に、前記活性層、前記p型化合物半導体層、及び前記p−電極が順次に配置され、
前記n型化合物半導体層の第2面上に前記n−電極が配置される、請求項1または2に記載の素子。 - 前記n型化合物半導体層は、n−GaN層である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の素子。
- 前記n−GaN層の第2面は、Ga−極性面、N−極性面、半極性面、または無極性面である、請求項4に記載の素子。
- GaN基板をさらに含み、
前記GaN基板の第1面上に、前記n型化合物半導体層、前記活性層、前記p型化合物半導体層、及び前記p−電極が順次に形成され、
前記GaN基板の第2面上に前記n−電極が形成される、請求項1に記載の素子。 - 前記GaN基板の前記第2面は、Ga−極性面、N−極性面、半極性面、または無極性面である、請求項6に記載の素子。
- サファイア基板をさらに含み、
前記サファイア基板上に、前記n型化合物半導体層、前記活性層、前記p型化合物半導体層、及びp−電極が順次に形成され、
前記n型化合物半導体層は段差面を有し、前記段差面上に前記n−電極が形成される、請求項1に記載の素子。 - 前記n型化合物半導体層は、n−GaN層である、請求項8に記載の素子。
- n−GaN層の前記段差面は、Ga−極性面、N−極性面、半極性面、または無極性面である、請求項8または9に記載の素子。
- 前記第1電極層は、1乃至1,000Åの範囲の厚さに形成される、請求項1に記載の素子。
- 前記p型化合物半導体層は、p−GaN層を含む、請求項1に記載の素子。
- 窒化物系化合物半導体の発光素子の製造方法であって、前記方法は、
GaN基板を準備する工程と;
前記GaN基板の第1面上に、n型化合物半導体層、活性層、p型化合物半導体層、及びp−電極を順次に形成する工程と;
前記GaN基板の第2面上にn−電極を形成する工程と、
を含み、
前記n−電極を形成する工程は、
Pd、Pt、Ni、Co、Rh、Ir、Fe、Ru、Os、Cu、Ag、及びAuからなる群から選択される少なくとも一種の元素で第1電極層を形成する工程と;
前記第1電極層上にTi、V、Cr、Zr、Nb、Hf、Ta、Mo、W、Re、Ir、Al、In、Pb、Ni、Rh、Ru、Os、及びAuからなる群から選択される少なくとも一種の元素を含む伝導性物質を用いて第2電極層を形成する工程と;
前記第1電極層及び前記第2電極層をアニーリングする工程と、
を含む、前記窒化物系化合物半導体の発光素子の製造方法。 - 前記GaN基板の前記第2面は、Ga−極性面、N−極性面、半極性面、または無極性面である、請求項13に記載の製造方法。
- 前記第1電極層は、1乃至1,000Åの範囲の厚さに形成される、請求項13または14に記載の製造方法。
- 前記アニーリングは、200乃至900℃の温度範囲で行われる、請求項13〜15のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記n型化合物半導体層はn−GaN層を含み、前記p型化合物半導体層はp−GaN層を含む、請求項13〜16のいずれか1項に記載の製造方法。
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