JP2008244161A - Iii族窒化物系化合物半導体発光素子の電極形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】III族窒化物系化合物半導体発光素子100は、サファイア基板10、n型GaN層11、n型AlGaN層12、GaN/InGaN多重量子井戸構造の発光層13、p型AlGaN層14、p型GaN層15、p+型GaN層16を有する。p+型GaN層16には、ITOから成る透光性電極21がほぼ全面に形成され、透光性電極21上の一部に金から成るパッド電極22が形成されている。n型GaN層11には、Ti層31とAl層32とから成るn電極30が形成されている。III族窒化物系化合物半導体発光素子100は、n電極30が光反射電極層であり、透光性電極21を通過した光の取り出しを行うフェイスアップ型LEDである。Ti層31の厚さが1nm未満であり、Ti層31で光吸収が生じない。
【選択図】図3
Description
p+型GaN層16には、ITOから成る透光性電極21がほぼ全面に形成され、透光性電極21上の一部に金から成るパッド電極22が形成されている。n型GaN層11には、バナジウム(V)層91とアルミニウム(Al)層92とから成るn電極90が形成されている。III族窒化物系化合物半導体発光素子900は、透光性電極21を通過した光の取り出しを行うフェイスアップ型LEDである。
請求項2に係る発明は、第1電極層を、0.2nm/秒以下の速度で形成することを特徴とする。
請求項4に係る発明は、第2電極層は、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、ロジウム(Rh)、白金(Pt)又はそれらの合金、或いはそれらの少なくとも1種を主成分とする合金から成り、膜厚が0.03〜5μmであることを特徴とする。
請求項5に係る発明は、電極は、n型のIII族窒化物系化合物半導体層上に形成されるn電極であることを特徴とする。
これにより、チタン(Ti)その他の材料から成る第1電極層を形成する時間が短時間であり、当該形成中には平坦化が十分おこなわれず、起伏(凹凸)の多い表面となる。詳細は後に示すが、第1電極層の平均膜厚乃至その1/2程度の起伏(凹凸)が生じるようにする。これにより、チタン(Ti)その他の材料から成る第1電極層のIII族窒化物系化合物半導体層との接合強度を確保しながら、アルミニウム(Al)等の材料から成る第2電極層との接触面積を多くとることで、チタン(Ti)その他の材料から成る第1電極層を超薄膜とすることが可能となる。第1電極層を超薄膜とすることで、第1電極層における光吸収を十分に抑制し、且つ電極全体としてのIII族窒化物系化合物半導体層との接合強度を確保できる。即ち、電極としての接合強度を確保しながら、光取り出し効率の良いIII族窒化物系化合物半導体発光素子を実現できる。
尚、接合強度は、例えば20nm(200Å)程度に蒸着したものと比較して3/4程度であって、実用上の問題を生じる1/2以下には減少しない。
第1電極層を形成した際に表面に生ずる起伏(凹凸)は、仮想的な平均厚さ面に対して、5Å以上高い凸部を有する様に形成すると良い。第1電極層の平均膜厚は、実質的には0.3nm(3Å)を下回らないことが望ましい。
第2電極層の膜厚は、0.03〜5μmとすると良い。0.03μm未満では光反射の効果が十分でない。5μm以上とすることには特に利点が無いが、設計上、安価なアルミニウム等を厚膜に形成する必要がある場合は所望の厚さに形成して良い。第2電極層の膜厚は、0.05〜3μmとすると良く、0.1〜2.5μmで十分な光反射効果を得られる。
尚、素子の実装性その他を考慮して、第2電極層の上に更に電極層を積層しても良い。
図1.Aは測定に用いた電極の形状を示す平面図、図1.Bは電極を形成する下部構造を示す断面図である。図1.Bのように、サファイア基板10に図示しない窒化アルミニウム(AlN)から成るバッファ層を介して、MOVPEにより厚さ約4μm、Siを4×1018/cm3ドープしたGaN層1を形成し、電極C及びRを、n−GaN層1の表面に真空蒸着(EB)で形成した。尚、スパッタリング法で形成しても良い。
図1.Aの電極Cは、直径400μmの円板状であり、電極Rは、電極Cと間隔24μmを隔てて環状に形成されている。
電極C及びRは、厚さ0.5nm(5Å)のチタン(Ti)と、厚さ2μmのアルミニウム(Al)を順に積層したものを用いた(実施例1)。
比較のため、電極C及びRとして厚さ17.5nm(175Å)のバナジウム(V)と、厚さ2μmのアルミニウム(Al)を順に積層した他は、実施例1と同様の構成のものを用意した(比較例1)。
電極CとRの間隔を変化させて同様の測定を行い、TLM法により実施例1のTi/Al電極のn−GaNに対する接触抵抗は1.9×10-5Ω/cm2と算出された。同様に、比較例1のV/Al電極のn−GaNに対する接触抵抗は6.5×10-5Ω/cm2と算出された。即ち、本発明によれば、従来のn電極よりも、n−GaNに対する接触抵抗を1/3未満に低減したn電極を提供できることが示された。
厚さ400μmのサファイア基板に、厚さ0.5nm(5Å)のチタン(Ti)と、厚さ2μmのアルミニウム(Al)を順に積層したものを用いた(実施例2)。
比較のため、厚さ400μmのサファイア基板に、厚さ17.5nm(175Å)のバナジウム(V)と、厚さ2μmのアルミニウム(Al)を順に積層したものを用意した(比較例2)。
更に、サファイア基板に、厚さ2μmのアルミニウム(Al)のみを蒸着したものも用意した。
これらについて波長350nm〜600nmの範囲で、サファイア基板を介して金属層に光を照射し、反射された光量を測定して反射率を算定した。測定された反射率は、厳密には電極の反射率そのものではないが、サファイア基板と大気界面における反射等の影響は十分に小さいため、これらの値を基板/電極界面の反射率の評価に用いた。
このうち、実施例2と比較例2については、570℃のアニールの前後でそれぞれ波長350nm〜600nmの範囲で反射率を測定した。この結果を図2.Aに示す。
まず、サファイア基板にアルミニウムのみを蒸着させた場合、波長350nm〜600nmの範囲において反射率は87〜89%であった。
次に、実施例2の場合、加熱処理前は波長350nm〜600nmの範囲において反射率は82〜84%であった。この後、加熱処理によりチタンとアルミニウムの界面における合金化を行うと、波長350nm〜600nmの範囲において反射率は85〜86%と若干向上した。即ち、実施例2の厚さ0.5nm(5Å)のチタン(Ti)と、厚さ2μmのアルミニウム(Al)を順に積層し、加熱処理した構成においては、厚さ2μmのアルミニウム(Al)のみを形成した場合と比して反射率がほとんど低下しなかった。
一方、比較例2については、加熱処理前は波長350nm〜600nmの範囲において反射率は38〜48%と極めて低かった。この後、加熱処理によりバナジウム(V)とアルミニウム(Al)の界面における合金化を行うと、波長350nm〜600nmの範囲において反射率は55〜60%と大きく向上したが、上記実施例2の反射率には全く及ばなかった。
図2.Bの結果から、次のことが言える。
実施例2の厚さ0.5nm(5Å)のチタン(Ti)と、厚さ2μmのアルミニウム(Al)を順にエピタキシャル層上に積層し、加熱処理した構成においては、波長380nm以上で反射率50%以上、波長430nm以上で反射率70%以上であり、波長が変化すると反射率が上下するものの、概ね75%程度(71〜82%)の反射率であるといえる。
一方、比較例2の厚さ17.5nm(175Å)のバナジウム(V)と、厚さ2μmのアルミニウム(Al)を順にエピタキシャル層上に積層し、加熱処理した構成においては、波長380nm以上600nmの範囲において反射率46%を上回らず、エピタキシャル層の厚さにより大きく干渉が生じる場合が生じている。つまり、LED構造のエピタキシャル層上に電極を設けた場合、実施例2が比較例2の1.8倍〜2.4倍の反射率を有する結果が得られた。このように、本発明により、高反射性電極である第2電極層の光反射の効果を十分に引き出す電極が得られる。
図3は本実施例に係るIII族窒化物系化合物半導体発光素子100の構成を示す断面図である。III族窒化物系化合物半導体発光素子100は、サファイア基板10に図示しない窒化アルミニウム(AlN)から成るバッファ層を形成した後、Siをドープしたn型GaN層11、Siをドープしたn型AlGaNクラッド層12、GaN/InGaN多重量子井戸構造の発光層13、Mgをドープしたp型AlGaNクラッド層14、Mgをドープしたp型GaN層15及びp+型GaN層16をMOCVD(MOVPE)で順に積層したものである。
p+型GaN層16には、ITOから成る透光性電極21がほぼ全面に形成され、透光性電極21上の一部に金から成るパッド電極22が形成されている。n型GaN層11には、Ti層31とAl層32とから成るn電極30が形成されている。III族窒化物系化合物半導体発光素子100は、n電極30が光反射電極層であり、透光性電極21を通過した光の取り出しを行うフェイスアップ型LEDである。
次に、サファイア基板10の温度を1150℃に保持し、H2を20L/分、NH3を10L/分、TMGを1.7×10-4モル/分、H2ガスにより0.86ppmに希釈されたシランを20×10-8モル/分で40分間供給し、膜厚約4.0μm、電子濃度2×1018/cm3、シリコン濃度4×1018/cm3のn型GaN層11を形成した。
以下、各々必要部分に窓を有するフォトレジストマスクを形成して、電極材料を形成し、当該フォトレジストマスクをリフトオフして不要部分の電極材料を除去し、各電極層を成形した。
透光性電極21の上にはリフトオフの技術により金から成るパッド電極22を形成した。次に、真空蒸着(EB)により、形成速度6.0nm/分(60Å/分)でチタン(Ti)から成る第1電極層31を0.5nm(5Å)形成し、続けて厚さ2μm(20000Å)のアルミニウム(Al)から成る第2電極層32を形成した後、リフトオフの技術によりn型電極30を成形した。この後、570℃で5分熱処理して、各電極のアロイ化を行った。
比較例3のIII族窒化物系化合物半導体発光素子900の全放射束に比較して、実施例3のIII族窒化物系化合物半導体発光素子100の全放射束は1.07倍であり、7%の光取り出し効率の向上が見られた。
20mA通電時の駆動電圧は、比較例3のIII族窒化物系化合物半導体発光素子900に対し、実施例3のIII族窒化物系化合物半導体発光素子100は同等以下となった。
次に、金ワイヤをn電極30及び90にそれぞれボンディングして電極の引き剥がし試験(シェア強度試験)を行った。この際、シェア速度は200μm/秒とした。比較例3のIII族窒化物系化合物半導体発光素子900の強度に比較して、実施例3のIII族窒化物系化合物半導体発光素子100の強度は0.76倍であり、若干の強度低下が認められたが、最低基準である0.4倍を大きく上回るものであって、十分に実用に耐えるものであった。
また、上記実施例においては、n型GaN層に第1電極層として厚さ1nm未満のチタン(Ti)層を、第2電極層としてアルミニウム(Al)層を設ける例を示したが、第2電極層としては任意の高反射性材料を用いて良い。金属単体であれば銀(Ag)、白金(Pt)、ロジウム(Rh)が特に好適に用いることが可能であり、それらの合金やそれらの積層構造を用いるものでも良い。高反射性材料から成る第2電極層の膜厚も、所望の薄膜又は厚膜として良く、30nm以下の厚さで用いる場合や5μm以上の厚さで用いる場合も本願発明に包含される。
10:サファイア基板
11:n型GaN層
12:n型Al0.08Ga0.92Nから成るnクラッド層
13:MQWから成る発光層
14:p型Al0.15Ga0.85Nから成るpクラッド層
15:p型GaN層
16:p+型GaN層
19:高ドナー濃度n+型GaN層
21:ITOから成る透光性電極
22:Auパッド電極
25:Rhから成る高反射性電極
26:パッド電極
31、31’:第1電極層(Ti)
32、32’:第2電極層(Al)
Claims (5)
- III族窒化物系化合物半導体発光素子に電極を形成する方法において、
III族窒化物系化合物半導体層上に、当該層との接合度が強い、又は当該層との接触抵抗が低い材料から成る第1電極層を平均厚さ1nm未満に形成し、
前記第1電極層の上に、高反射性の金属から成る第2電極層を形成することを特徴とするIII族窒化物系化合物半導体発光素子の電極形成方法。 - 前記第1電極層を、0.2nm/秒以下の速度で形成することを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物系化合物半導体発光素子の電極形成方法。
- 前記第1電極層は、チタン(Ti)、バナジウム(V)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、インジウム(In)、コバルト(Co)、銅(Cu)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、スズ(Sn)、ハフニウム(Hf)、ジルコニウム(Zr)、マンガン(Mn)、マグネシウム(Mg)、若しくはそれらの合金、或いはそれらの少なくとも1種を主成分とする合金、又は、それらの窒化物若しくは炭化物から成ることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のIII族窒化物系化合物半導体発光素子の電極形成方法。
- 前記第2電極層は、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、ロジウム(Rh)、白金(Pt)又はそれらの合金、或いはそれらの少なくとも1種を主成分とする合金から成り、膜厚が0.03〜5μmであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体発光素子の電極形成方法。
- 前記電極は、n型のIII族窒化物系化合物半導体層上に形成されるn電極であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体発光素子の電極形成方法。
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