JP4868821B2 - 窒化ガリウム系化合物半導体及び発光素子 - Google Patents
窒化ガリウム系化合物半導体及び発光素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4868821B2 JP4868821B2 JP2005306773A JP2005306773A JP4868821B2 JP 4868821 B2 JP4868821 B2 JP 4868821B2 JP 2005306773 A JP2005306773 A JP 2005306773A JP 2005306773 A JP2005306773 A JP 2005306773A JP 4868821 B2 JP4868821 B2 JP 4868821B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- metal layer
- gallium nitride
- electrode
- light emitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
発光素子を得ることができる。また、第1の金属層に、InまたはTlを含むことにより、応力を緩和しつつ、電極の剥がれを抑制することができる。さらに、第2の金属層にNdまたはBiを含むことにより、第2の金属層の耐熱性を向上させることがき、電極形成のための熱処理時やパッケージへの実装時のハンダ接続のための熱処理時に生じる、Ag等のマイグレーションを抑制することができる。
12:n型半導体層
13:発光層
14:p型半導体層
15:n型電極
16:p型電極
20:窒化ガリウム系化合物半導体
21:第1の金属層
22:第2の金属層
23:第3の金属層
24:第4の金属層
30:基板
32:n型半導体層
33:発光層
34:p型半導体層
35:n型電極
36:p型電極
Claims (2)
- 表面に、Taを含むとともにInまたはTlを含む第1の金属層、Ag,Al及びRhのうちのいずれかから成るとともにNdまたはBiを含む第2の金属層、Ni,Ti,Nb及びMoのうちのいずれかから成る第3の金属層、及びAuを含む第4の金属層が順次積層されて成る電極が形成されていることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体。
- 基板上に、窒化ガリウム系化合物半導体から成る第1導電型半導体層、窒化ガリウム系化合物半導体から成る発光層、及び窒化ガリウム系化合物半導体から成る第2導電型半導体層を含むとともにこの順でこれらの層が積層されている半導体層が形成されており、前記第2導電型半導体層上に形成された第2導電型電極と、前記第2導電型半導体層の一部を前記第1導電型半導体層まで除去してなる前記第1導電型半導体層の露出部に形成された第1導電型電極とが設けられている発光素子において、前記第1及び第2導電型電極の少なくとも一方が、Taを含むとともにInまたはTlを含む層からなる第1の金属層、Ag,Al及びRhのうちのいずれかから成るとともにNdまたはBiを含む第2の金属層、Ni,Ti,Nb及びMoのうちのいずれかから成る第3の金属層、及びAuを含む第4の金属層が順次積層されて成ることを特徴とする発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005306773A JP4868821B2 (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 窒化ガリウム系化合物半導体及び発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005306773A JP4868821B2 (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 窒化ガリウム系化合物半導体及び発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007115941A JP2007115941A (ja) | 2007-05-10 |
JP4868821B2 true JP4868821B2 (ja) | 2012-02-01 |
Family
ID=38097854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005306773A Expired - Fee Related JP4868821B2 (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 窒化ガリウム系化合物半導体及び発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4868821B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20100065147A (ko) * | 2007-08-31 | 2010-06-15 | 라티스 파워(지앙시) 코포레이션 | 저온에서 p-형 ⅲ-v 질화물 반도체 물질과의 저저항률 옴 접촉부를 제작하기 위한 방법 |
JP5258272B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2013-08-07 | 三菱電機株式会社 | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
JP5258275B2 (ja) * | 2007-12-07 | 2013-08-07 | 三菱電機株式会社 | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
JP4963301B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2012-06-27 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体発光素子の製造方法 |
KR101568624B1 (ko) * | 2011-09-30 | 2015-11-11 | 소코 가가쿠 가부시키가이샤 | 질화물 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
CN113257973B (zh) * | 2020-12-07 | 2022-05-27 | 南昌大学 | 一种具有p面反射电极结构的深紫外led及其制备方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000082843A (ja) * | 1998-07-01 | 2000-03-21 | Toyoda Gosei Co Ltd | 窒化ガリウム系化合物半導体素子 |
JP2003031895A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-01-31 | Sharp Corp | 半導体発光装置およびその製造方法 |
JP3778425B2 (ja) * | 2001-10-03 | 2006-05-24 | 日立金属株式会社 | 表示装置に用いられる電子部品用Ag合金膜および表示装置に用いられる電子部品用Ag合金膜形成用スパッタリングターゲット材 |
JP2004281553A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 発光ダイオード |
JP2005062802A (ja) * | 2003-07-28 | 2005-03-10 | Advanced Display Inc | 薄膜トランジスタアレイ基板の製法 |
KR100586948B1 (ko) * | 2004-01-19 | 2006-06-07 | 삼성전기주식회사 | 질화물 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
JP2005217112A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 窒化物半導体発光素子 |
-
2005
- 2005-10-21 JP JP2005306773A patent/JP4868821B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007115941A (ja) | 2007-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI528588B (zh) | 半導體發光元件及半導體發光裝置 | |
JP4956928B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5000612B2 (ja) | 窒化ガリウム系発光ダイオード素子 | |
JP5857786B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JP5162909B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP5526712B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP4987398B2 (ja) | 窒化物系半導体発光素子 | |
JP4572597B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2007335793A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP2005347728A (ja) | フリップチップ用窒化物半導体発光素子 | |
JPWO2006082687A1 (ja) | GaN系発光ダイオードおよび発光装置 | |
JP2009049267A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP2019207925A (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 | |
JP2006108161A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP4868821B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体及び発光素子 | |
JP4857883B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP5353809B2 (ja) | 半導体発光素子及び発光装置 | |
JP2008016629A (ja) | 3族窒化物系発光ダイオード素子の製造方法 | |
JP2006041284A (ja) | 窒化物半導体装置 | |
JP5221166B2 (ja) | ZnO系半導体素子とその製造方法及び光半導体素子 | |
KR101534846B1 (ko) | 수직구조의 그룹 3족 질화물계 반도체 발광다이오드 소자및 제조방법 | |
KR101499954B1 (ko) | 수직구조 그룹 3족 질화물계 반도체 발광다이오드 소자 및제조방법 | |
JP2007201046A (ja) | 化合物半導体及び発光素子 | |
KR101510382B1 (ko) | 수직구조의 그룹 3족 질화물계 반도체 발광다이오드 소자및 제조방법 | |
JP4622426B2 (ja) | 半導体発光素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080415 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110222 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110621 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110711 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111018 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4868821 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141125 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |