JP2007201046A - 化合物半導体及び発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 窒化ガリウム系の化合物半導体20は、ゲルマニウムから成る層を有する電極が窒化ガリウム系の化合物半導体20の表面にゲルマニウムから成る層が接するようにして形成されている。具体的には電極は、ゲルマニウムから成る第1の層21、銀,アルミニウム及びロジウムのうちのいずれかから成る第2の層22、ニッケル,チタン,ニオブ及びモリブデンのうちのいずれかから成る第3の層23、及び金を含む第4の層24が順次積層されて成る構成である。
【選択図】 図2
Description
21:第1の層
22:第2の層
23:第3の層
24:第4の層
30:基板
32:n型半導体層
33:発光層
34:p型半導体層
35:n型電極
36:p型電極
Claims (3)
- ゲルマニウムから成る層を有する電極が窒化ガリウム系化合物半導体の表面に前記ゲルマニウムから成る層が接するようにして形成されていることを特徴とする化合物半導体。
- 前記電極は、ゲルマニウムから成る第1の層、銀,アルミニウム及びロジウムのうちのいずれかから成る第2の層、ニッケル,チタン,ニオブ及びモリブデンのうちのいずれかから成る第3の層、及び金を含む第4の層が順次積層されて成ることを特徴とする請求項1記載の化合物半導体。
- 基板上に、窒化ガリウム系化合物半導体から成る第1導電型半導体層、窒化ガリウム系化合物半導体から成る発光層、及び窒化ガリウム系化合物半導体から成る第2導電型半導体層を含むとともにこの順でこれらの層が積層されている半導体層が形成されており、前記第2導電型半導体層上に形成された第2導電型電極と、前記第2導電型半導体層の一部を前記第1導電型半導体層まで除去してなる前記第1導電型半導体層の露出部に形成された第1導電型電極とが設けられている発光素子において、前記第1及び第2導電型電極の少なくとも一方が、ゲルマニウムから成る第1の層、銀,アルミニウム及びロジウムのうちのいずれかから成る第2の層、ニッケル,チタン,ニオブ及びモリブデンのうちのいずれかから成る第3の層、及び金を含む第4の層が順次積層されて成ることを特徴とする発光素子。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110140173A1 (en) * | 2009-12-16 | 2011-06-16 | National Semiconductor Corporation | Low OHMIC contacts containing germanium for gallium nitride or other nitride-based power devices |
WO2013005391A1 (ja) * | 2011-07-06 | 2013-01-10 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 |
JP2013093441A (ja) * | 2011-10-26 | 2013-05-16 | New Japan Radio Co Ltd | 窒化物半導体装置の製造方法 |
CN111128710A (zh) * | 2020-01-15 | 2020-05-08 | 桂林理工大学 | GaN HEMT无金低粗糙度欧姆接触电极的制备方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62256473A (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-09 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JPH0669546A (ja) * | 1992-08-21 | 1994-03-11 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 発光ダイオード |
JPH0878788A (ja) * | 1994-09-05 | 1996-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体層の製造方法、半導体レーザの製造方法、及び半導体レーザ |
JPH0897510A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-04-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザの製造方法,及び半導体レーザ |
JP2000049114A (ja) * | 1998-07-30 | 2000-02-18 | Sony Corp | 電極およびその形成方法ならびに半導体装置およびその製造方法 |
JP2002026392A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-25 | Toshiba Corp | 半導体発光素子とその製造方法、及び半導体発光装置 |
JP2002319703A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
JP2003051614A (ja) * | 2001-05-26 | 2003-02-21 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2004014587A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物系化合物半導体エピタキシャルウエハ及び発光素子 |
JP2004266287A (ja) * | 2004-04-06 | 2004-09-24 | Showa Denko Kk | 半導体素子 |
JP2004311973A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-11-04 | Sanyo Electric Co Ltd | 発光素子および照明装置 |
-
2006
- 2006-01-25 JP JP2006016047A patent/JP2007201046A/ja active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62256473A (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-09 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JPH0669546A (ja) * | 1992-08-21 | 1994-03-11 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 発光ダイオード |
JPH0897510A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-04-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザの製造方法,及び半導体レーザ |
JPH0878788A (ja) * | 1994-09-05 | 1996-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体層の製造方法、半導体レーザの製造方法、及び半導体レーザ |
JP2000049114A (ja) * | 1998-07-30 | 2000-02-18 | Sony Corp | 電極およびその形成方法ならびに半導体装置およびその製造方法 |
JP2002026392A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-25 | Toshiba Corp | 半導体発光素子とその製造方法、及び半導体発光装置 |
JP2002319703A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
JP2003051614A (ja) * | 2001-05-26 | 2003-02-21 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2004014587A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物系化合物半導体エピタキシャルウエハ及び発光素子 |
JP2004311973A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-11-04 | Sanyo Electric Co Ltd | 発光素子および照明装置 |
JP2004266287A (ja) * | 2004-04-06 | 2004-09-24 | Showa Denko Kk | 半導体素子 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110140173A1 (en) * | 2009-12-16 | 2011-06-16 | National Semiconductor Corporation | Low OHMIC contacts containing germanium for gallium nitride or other nitride-based power devices |
CN102576729A (zh) * | 2009-12-16 | 2012-07-11 | 国家半导体公司 | 用于基于氮化镓或其它氮化物的功率装置的含有锗的低欧姆触点 |
WO2013005391A1 (ja) * | 2011-07-06 | 2013-01-10 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 |
JP5373230B2 (ja) * | 2011-07-06 | 2013-12-18 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 |
US8895419B2 (en) | 2011-07-06 | 2014-11-25 | Panasonic Corporation | Nitride semiconductor light-emitting element and method for fabricating the same |
JP2013093441A (ja) * | 2011-10-26 | 2013-05-16 | New Japan Radio Co Ltd | 窒化物半導体装置の製造方法 |
CN111128710A (zh) * | 2020-01-15 | 2020-05-08 | 桂林理工大学 | GaN HEMT无金低粗糙度欧姆接触电极的制备方法 |
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