JP2006041284A - 窒化物半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 シリコン基板1の上にn型半導体層6と活性層7とp型半導体層8とから成る発光機能を有する主半導体領域3を配置する。主半導体領域3は窒化物半導体で形成する。主半導体領域3のp型半導体層8の上にAg合金からなる光透過性電極10を設ける。Ag合金に酸化又は硫化を抑制するための添加元素を混入する。Ag合金は安定性が高く、且つ光透過性及びオーミック性において優れている。
【選択図】 図1
Description
また、請求項3に示すように、窒化物半導体領域と、該窒化物半導体領域の主面に形成された電極とを有し、前記電極が、Agと、Cu、Au、Pd、Ir及びNiから選択された少なくとも1つの第1の添加元素と、Nd、Si、W、Zn、Ga、Ti、Mg、Y、In及びSnから選択された少なくとも1つの第2の添加元素との合金であることが望ましい。
また、請求項4に示すように、前記Agに対する前記第1の添加金元素の割合は0.5重量%よりも大きく且つ10重量%よりも小さい値であり、前記Agに対する前記第2の添加元素の割合は0.5重量%よりも大きく且つ10重量%よりも小さい値であり、前記Agに対する前記第1及び第2の添加元素の合計の割合が0.5〜10重量%であることが望ましい。
また、請求項5に示すように、前記窒化物半導体領域は半導体発光素子を形成するための複数の半導体層を含み、前記電極は前記複数の半導体層の内の光取り出し面側の半導体層に形成され、且つ光を透過させることができる厚さに形成されていることが望ましい。
化学式 AlxInyGa1-x-yN、
ここでx及びyは0≦x<1、
0≦y<1、を満足する数値、
で示される窒化物半導体にn型不純物をドーピングしたものであることが望ましく、n型GaNであることがより望ましい。
化学式 AlxInyGa1-x-yN、
ここでx及びyは0≦x<1、
0≦y<1、を満足する数値、
で示される不純物非ドープの窒化物半導体であることが望ましく、InGaNであることがより望ましい。なお、図1では活性層7が1つの層で概略的に示されているが、実際には周知の多重量子井戸構造を有している。勿論、活性層7を1つの層で構成することもできる。また、活性層7を省いてn型半導体層6をp型半導体層8に直接に接触させる構成にすることもできる。また、この実施例では活性層52に導電型決定不純物がドーピングされていないが、p型又はn型不純物をドーピングすることができる。
化学式 AlxInyGa1-x-yN、
ここでx及びyは0≦x<1、
0≦y<1、を満足する数値、
で示される窒化物半導体にp型不純物をドーピングしたものであることが望ましく、p型GaNであることがより望ましい。
Ag 90〜99.5重量%
添加元素 0.5〜10重量%
から成ることが望ましい。
酸化と硫化との両方を抑制するために前記添加元素としてAu(金)が使用される。
酸化を抑制するためにCu(銅)、Au(金)、Pd(パラジウム)、Ir(イリジウム)及びNi(ニッケル)から選択された1つ又は複数の第1の添加元素が使用される。
硫化を抑制するためにAu(金)、Nd(ネオジウム)、Si(シリコン)、W(タングステン)、Zn(亜鉛)、Ga(ガリウム)、Ti(チタン)、Mg(マグネシウム)、Y(イットリウム)、In(インジウム)及びSn(スズ)から選択された1つ又は複数の第2の添加元素が使用される。
酸化と硫化との両方を抑制するために上記第1の添加元素と第2の添加元素両方が使用される
もし、Ag又はAg合金から成る光透過性電極10の酸化又は硫化又はこれ等の両方が生じると、光透過性電極10と主半導体領域3との間のオーミック接触が悪くなり、アノード電極4とカソード電極5との間の順方向電圧降下が大きくなる。
上記添加元素の内のIn(インジウム)、Sn(スズ)、Ti(チタン)、Pd(パラジウム)及びNi(ニッケル)から選択された1つ又は複数を使用すると、光透過性電極10と主半導体領域3及びパッド電極11との間の密着性が改善される。従って、密着性の改善が要求される時には、酸化又は硫化の抑制のための元素の他に上記の密着性の改善効果を有する元素をAgに対して添加する。
また、Cuを2重量%、Znを2重量%含むAg合金を使用して上記のAuを含むAg合金の場合と同様に光透過性電極10を形成し、同様に順方向電圧を測定したところ、3.6Vであつた。
また、Cuを4重量%含むAg合金を使用して上記のAuを含むAg合金の場合と同様に光透過性電極10を形成し、同様に順方向電圧を測定したところ、3.55Vであつた。
また、Znを4重量%含むAg合金を使用して上記のAuを含むAg合金の場合と同様に光透過性電極10を形成し、同様に順方向電圧を測定したところ、3.65Vであつた。
比較のためにAgのみで光透過性電極を上記のAuを含むAg合金の場合と同様に形成し、順方向電圧を測定したところ、3.7Vであつた。
また、比較のためにAg層の上にTiO2層を設けた光透過性電極を上記のAuを含むAg合金の場合と同様に形成し、順方向電圧を測定したところ、3.8Vであつた。
また、光反射層20が主半導体領域3及びシリコン基板1に良好にオーミック接触するので、特開2002−217450号公報に示されているように光反射層と主半導体領域との間にコンタクト用合金層を分散配置することが不要になり、光反射層20を主半導体領域3及びシリコン基板1の主面の実質的に全体に接触させることができる。従って、本実施例の半導体発光素子は、前記特開2002−217450号のものよりも大きい光反射量を有し、且つ小さい順方向電圧を有する。また、前記特開2002−217450号のものではオーミックコンタクト合金層と反射層との両方を設けることが要求されたが、本実施例では光反射層20を設けるのみで反射層とオーミック接触との両方を得ることができ、製造工程が簡略化される。また、光透過性電極10と光反射層20とを同一のAg合金で形成することにより、製造コストの低減を図ることができる。
(1)トランジスタ、FET, 高電子移動度トランジスタ即ちHEMT(High Electron Mobility Transistor)半導体レーザ、フォトディテクタ、太陽電池等の別の窒化物半導体装置の電極にも本発明に従うAg合金を使用することができる。
(2) 光反射層20とn型半導体層6との間にAlInGaN等から成るバッファ層を介在させることができる。
(3) シリコン基板1の代りに導電性を有するSiC基板、金属基板等の別の導電性基板又はサファイア等の絶縁基板を使用することができる。
(4) 基板1を金属基板とする場合には、これを電極として使用して第2の電極5を省くことができる。
(5) 主半導体領域3の各層の導電型を各実施例と逆にすることができる。
(6) 図2において基板1をAg又はAg合金と拡散接合することができる金属で形成し、基板1側の貼合せ層20bを省くことができる。
(7) 図1及び図3においてシリコン基板1とカソード電極5との間に周知に光反射層を配置することができる。
3 主半導体領域
4 アノード電極
5 カソード電極
10 Ag合金から成る光透過性電極
Claims (5)
- 窒化物半導体領域と、該窒化物半導体領域の主面に形成された電極とを有し、前記電極が、Agと、Au、Cu、Pd、Nd、Si、Ir、Ni、W、Zn、Ga、Ti、Mg、Y、In及びSnから選択された少なくとも1つの添加元素との合金から成ることを特徴とする窒化物半導体装置。
- 前記Agに対する前記添加元素の割合は、0.5〜10重量%であることを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体装置。
- 窒化物半導体領域と、該窒化物半導体領域の主面に形成された電極とを有し、前記電極が、Agと、Cu、Au、Pd、Ir及びNiから選択された少なくとも1つの第1の添加元素と、Nd、Si、W、Zn、Ga、Ti、Mg、Y、In及びSnから選択された少なくとも1つの第2の添加元素との合金であることを特徴とする窒化物半導体装置。
- 前記Agに対する前記第1の添加元素の割合は0.5重量%よりも大きく且つ10重量%よりも小さい値であり、前記Agに対する前記第2の添加元素の割合は0.5重量%よりも大きく且つ10重量%よりも小さい値であり、前記Agに対する前記第1及び第2の添加元素の合計の割合が0.5〜10重量%であることを特徴とする請求項3記載の窒化物半導体装置。
- 前記窒化物半導体領域は半導体発光素子を形成するための複数の半導体層を含み、前記電極は前記複数の半導体層の内の光取り出し面側の半導体層に形成され、且つ光を透過させることができる厚さに形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の窒化物半導体装置。
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