JP2007043070A - ダイシング用基体フイルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(1)(i)ガラス転移温度が40〜60℃でありスチレン比率が70〜90重量%のスチレン系エラストマー樹脂(SE樹脂A)100〜20重量%、及び(ii)ガラス転移温度が30℃以下でありスチレン比率が7〜80重量%のスチレン系エラストマー樹脂(SE樹脂B)0〜80重量%からなるスチレン系エラストマー樹脂組成物(SE樹脂組成物)、並びに(2)該スチレン系エラストマー樹脂組成物100重量部に対し10〜30重量部の帯電防止剤を含む。
【選択図】なし
Description
(2)該スチレン系エラストマー樹脂組成物100重量部に対し10〜30重量部の帯電防止剤
を含むダイシング用基体フイルム。
I.ダイシング用基体フイルム
本発明のダイシング用基体フイルムは、(1)(i)ガラス転移温度が40〜60℃でありスチレン比率が70〜90重量%のスチレン系エラストマー樹脂(以下、「SE樹脂A」とも呼ぶ)100〜20重量%、及び(ii)ガラス転移温度が30℃以下でありスチレン比率が7〜80重量%のスチレン系エラストマー樹脂(以下、「SE樹脂B」とも呼ぶ)0〜80重量%からなるスチレン系エラストマー樹脂組成物(以下、「SE樹脂組成物」とも呼ぶ)、並びに、(2)該スチレン系エラストマー樹脂組成物100重量部に対し10〜30重量部の帯電防止剤を含む、単層又は多層のフイルムである。
本発明のダイシング用基体フイルムに含まれるSE樹脂組成物について説明する。該SE樹脂組成物は、SE樹脂A及びSE樹脂Bからなり、これらはスチレン系単量体とジエン系単量体との共重合体の水素添加物(以下、「水添共重合体」とも呼ぶ)からなる。
ここで、水添ランダム共重合体の具体例としては、式:−CH(C6H5)CH2−で示されるスチレン系単量体単位と、式:−CH2CH2CH2CH2−で示されるエチレン単位と、式:−CH(C2H5)CH2−で示されるブチレン単位とがランダムに結合している水添ランダム共重合体が挙げられる。
本発明のダイシング用基体フイルムには、帯電防止剤を含んでいる。帯電防止剤の含有量は、上記スチレン系エラストマー(SE)樹脂組成物100重量部に対し10〜30重量部、好ましくは15〜25重量%程度であればよい。
本発明のダイシング用基体フイルムの製造方法は、次の通りである。上記した所定量のSE樹脂A、SE樹脂B、及び帯電防止剤をドライブレンド又は溶融混練して均一に混合分散する。次に、得られた混合物をスクリュー式押出機に供給し、200〜225℃で単層Tダイからフイルム状に押出し、これを50〜70℃の冷却ロ−ルに通しながら冷却して実質的に無延伸で引き取る。
以上のように、SE樹脂組成物及び帯電防止剤を含む単層のダイシング用基体フイルムについて述べてきたが、同種又は異種の複数のSE樹脂組成物を含むSE樹脂組成物層を積層してなる多層のダイシング用基体フイルムとすることも可能である。この場合でも、各層には、SE樹脂組成物100重量部に対し10〜30重量部の帯電防止剤が含まれていることが好ましい。
SE樹脂組成物層/ポリオレフィン系樹脂層、
SE樹脂組成物層/SE樹脂組成物層/ポリオレフィン系樹脂層、
MS2元樹脂層/SE樹脂組成物層、
MS2元樹脂層/SE樹脂組成物層/ポリオレフィン系樹脂層、
MBS3元樹脂層/SE樹脂組成物層、
MBS3元樹脂層/SE樹脂組成物層/ポリオレフィン系樹脂層、
PS樹脂層/SE樹脂組成物層、
PS樹脂層/SE樹脂組成物層/ポリオレフィン系樹脂層、
ポリオレフィン系樹脂層/SE樹脂組成物層/ポリオレフィン系樹脂層
等が挙げられる。
II.ダイシングフイルム
上記により得られるダイシング用基体フイルムは、そのフイルム上に公知の粘着剤をコートして粘着剤層が形成され、さらに該粘着剤層上に離型層が形成されて、本発明のダイシングフイルムが製造される。このフイルムは、通常テープ状にカットされたロール巻き状態で取得される。
内容積が10Lの攪拌装置及びジャケット付き槽型反応器を2基使用して連続重合を行った。1基目の反応器の底部から、ブタジエン濃度が24重量%のシクロヘキサン溶液を4.51L/hrの供給速度で、スチレン濃度が24重量%のシクロヘキサン溶液を5.97L/hrの供給速度で,またn−ブチルリチウムをモノマ−100gに対して0.077gになるような濃度に調整したシクロヘキサン溶液を2.0L/hrの供給速度で、更にN,N,N’,N’−テトラメチルエチレンジアミンのシクロヘキサン溶液をn−ブチルリチウム1モルに対して0.44モルになるような供給速度でそれぞれ供給し、90℃で連続重合した。反応温度はジャケット温度で調整し、反応器の底部付近の温度は約88℃、反応器の上部付近の温度は約90℃であった。重合反応器における平均滞留時間は、約45分であり、ブタジエンの転化率はほぼ100%,スチレンの転化率は99%であった。
1基目と2基目に供給するスチレンの供給量を変えること以外は、製造例1と同様に処理して、水添ランダム重合体(SE樹脂Aに相当)を製造した。スチレン含有量は75重量%、水添率99%、重量平均分子量21万、分子量分布1.9であった。また,DSCで求めたガラス転移温度(Tg)は,50℃であった。得られた水添重合体(SE樹脂Aに相当)の特性を表1に示す。
製造例1で得られた水添共重合体50重量部、及び製造例2で得られた水添共重合体50重量部とをドライブレンドした樹脂100重量部に対して、PEEA樹脂(三洋化成株式会社製、品種ペレスタットNC6321)18重量部添加し、これをドライブレンドした。これをバレル温度180〜220℃のスクリュ−式押出機に供給して、220℃の単層Tダイから押出し、60℃冷却ロ−ルを通しながら冷却固化して、無延伸状態で巻き取った。
実施例1と同じSE樹脂をドライブレンドした樹脂を、層(A)用樹脂とした。
実施例1と同じSE樹脂のドライブレンドした樹脂を、層(A)用樹脂とした。
実施例1と同じSE樹脂のドライブレンドした樹脂を、層(A)用樹脂とした。
製造例1で得られた水添共重合体75重量部、軟質アクリル系樹脂(株式会社クラレ製、SA−D、Tg60〜65℃)25重量部、及び親水性PP樹脂(三洋化成株式会社製、品種ペレスタット230)25重量部をドライブレンドした樹脂を、層(E)用樹脂とした。
製造例1で得られた水添共重合体50重量部、及び製造例2で得られた水添共重合体50重量部をドライブレンドした樹脂100重量部に対して、PEEA樹脂(三洋化成株式会社製、品種ペレスタットNC6321)5重量部添加し、これをドライブレンドした。これをバレル温度180〜220℃のスクリュ−式押出機に供給して、220℃の単層Tダイから押出し、60℃冷却ロ−ルを通しながら冷却固化して、無延伸状態で巻き取った。
比較例1と同じSE樹脂のドライブレンドした樹脂を、層(A’)用樹脂とした。
実施例及び比較例で得られたフイルムの一部をカットして測定用サンプルとし、帯電防止性及び温風復元性(復元率)を次のようにして測定し、その結果を表2にまとめた。
<帯電防止性>
シシド静電気株式会社製スタティックオネストメーターにて、印加電圧を10kvとしサンプルの飽和帯電圧と半減時間で評価した。飽和帯電圧1500v以下、及び半減時間10秒以下を「○」、それ以外を「×」とした。上記の基準は、ダイシングフイルムとして実用上要求される特性に基づく。
<温風復元性>
幅10mmで縦方向(MD)及び横方向(TD)にカットしたフイルムをサンプルとした。サンプルを、株式会社島津製作所製の引張試験機(AGS100A)にチャック間距離40mm(サンプルの標線間距離40mmと同じ意味)でセットし、引張速度200mm/分にて、40%伸長した。その伸長で1分間保持した後、伸長状態を解放した。解放したサンプルに60℃の温風を10秒間吹き付け、常温に戻して長さを測定し、40%伸長に対する縦及び横方向の復元率(%)を求めた。
Claims (6)
- (1)(i)ガラス転移温度が40〜60℃でありスチレン比率が70〜90重量%のスチレン系エラストマー樹脂(SE樹脂A)100〜20重量%、及び(ii)ガラス転移温度が30℃以下でありスチレン比率が7〜80重量%のスチレン系エラストマー樹脂(SE樹脂B)0〜80重量%からなるスチレン系エラストマー樹脂組成物(SE樹脂組成物)、並びに
(2)該スチレン系エラストマー樹脂組成物100重量部に対し10〜30重量部の帯電防止剤
を含むダイシング用基体フイルム。 - 前記帯電防止剤が、ポリエーテルエステルアミド樹脂又は親水性ポリオレフィン樹脂である請求項1に記載のフイルム。
- 前記SE樹脂組成物中のスチレン比率が40〜90重量%である請求項1又は2に記載のダイシング用基体フイルム。
- 前記SE樹脂組成物と帯電防止剤とを含むSE樹脂組成物層を少なくとも1層有する多層構成からなる請求項1〜3のいずれかに記載のダイシング用基体フイルム。
- 前記SE樹脂組成物層以外の他の層が、ポリエチレン系樹脂層、ポリプロピレン系樹脂層、(メタ)アクリル酸アルキルエステル系単量体とジエン系単量体とスチレン系単量体との3元共重合樹脂層、(メタ)アクリル酸アルキルエステル系単量体とスチレン系単量体との2元共重合樹脂層、及びポリスチレン系樹脂層からなる群より選ばれる少なくとも1層である請求項4に記載のダイシング用基体フイルム。
- 前記ダイシング用基体フイルム上にさらに粘着剤層を有する請求項1〜5のいずれかに記載のダイシング用基体フイルム。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008066496A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Gunze Ltd | ダイシング用基体フイルム |
JP2009231759A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Gunze Ltd | バックグラインド用基体フィルム及びその製造方法 |
JP2013153088A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ウエハ加工用テープ |
JP2020522898A (ja) * | 2017-12-14 | 2020-07-30 | エルジー・ケム・リミテッド | ダイシングダイボンディングフィルム |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08217917A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-08-27 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | ゴム組成物及びその製造方法 |
JPH08225775A (ja) * | 1994-10-20 | 1996-09-03 | Nippon Carbide Ind Co Inc | 表面保護フィルム |
JPH11199840A (ja) * | 1998-01-16 | 1999-07-27 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 粘着テープ用基材、粘着テープ及び離型テープ付き粘着テープ |
JP2003218077A (ja) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Toyo Chem Co Ltd | 半導体ウエハの固定方法 |
JP2003221564A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-08 | Gunze Ltd | 半導体ウエハ固定用粘着テープ基材フィルム |
JP2004035642A (ja) * | 2002-07-01 | 2004-02-05 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体基板加工用粘着シート |
JP2004059741A (ja) * | 2002-07-29 | 2004-02-26 | Asahi Kasei Chemicals Corp | 共重合体及びその組成物 |
JP2004106409A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Toyobo Co Ltd | 易接着性柔軟ポリエステルシート |
JP2005023188A (ja) * | 2003-07-01 | 2005-01-27 | Nitto Denko Corp | ダイシング用粘着シート用粘着剤、ダイシング用粘着シート、半導体素子の製造方法、半導体素子 |
JP2005033059A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Lintec Corp | ダイシング用粘着シート |
JP2006332207A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Gunze Ltd | ダイシング用基体フイルム |
-
2006
- 2006-03-10 JP JP2006066323A patent/JP5159045B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08225775A (ja) * | 1994-10-20 | 1996-09-03 | Nippon Carbide Ind Co Inc | 表面保護フィルム |
JPH08217917A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-08-27 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | ゴム組成物及びその製造方法 |
JPH11199840A (ja) * | 1998-01-16 | 1999-07-27 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 粘着テープ用基材、粘着テープ及び離型テープ付き粘着テープ |
JP2003218077A (ja) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Toyo Chem Co Ltd | 半導体ウエハの固定方法 |
JP2003221564A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-08 | Gunze Ltd | 半導体ウエハ固定用粘着テープ基材フィルム |
JP2004035642A (ja) * | 2002-07-01 | 2004-02-05 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体基板加工用粘着シート |
JP2004059741A (ja) * | 2002-07-29 | 2004-02-26 | Asahi Kasei Chemicals Corp | 共重合体及びその組成物 |
JP2004106409A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Toyobo Co Ltd | 易接着性柔軟ポリエステルシート |
JP2005023188A (ja) * | 2003-07-01 | 2005-01-27 | Nitto Denko Corp | ダイシング用粘着シート用粘着剤、ダイシング用粘着シート、半導体素子の製造方法、半導体素子 |
JP2005033059A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Lintec Corp | ダイシング用粘着シート |
JP2006332207A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Gunze Ltd | ダイシング用基体フイルム |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008066496A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Gunze Ltd | ダイシング用基体フイルム |
JP2009231759A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Gunze Ltd | バックグラインド用基体フィルム及びその製造方法 |
JP2013153088A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ウエハ加工用テープ |
JP2020522898A (ja) * | 2017-12-14 | 2020-07-30 | エルジー・ケム・リミテッド | ダイシングダイボンディングフィルム |
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