JP5175111B2 - ダイシング用基体フイルム及びダイシングフイルム - Google Patents
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また、ダイシング後には、ダイシングフイルムは、半導体ウエハチップをピックアップし易いように拡張され該チップに一定の隙間がつくられ、ピッカ−によって該チップがピックアップされて工程が終了する。使用済みのダイシングフイルムは、所定温度の加熱(温風)により収縮させてフイルム回収容器(ラック)内へ回収・収納される。この際、ダイシングフイルムは、フイルムの回収性を考慮して、少なくともラックに容易に収納できるサイズにまで加熱収縮し得るフイルムであることが必要とされる。 しかし、公知のダイシングフイルムでは、加熱による収縮率が小さいために、ラック内に回収することが容易ではなかった。しかも、ウエハがより小サイズにカット化される場合には、該フイルムの拡張は大きくなるため、フイルムの回収はより一層困難になり、現実にはこの加熱による回収は不可能であった。そのため、より低温で、より大きく収縮復元する特性を有するダイシングフイルムが切望されている。
本発明のダイシング用基体フイルムは、A層/B層/C層の順に積層されてなるダイシング用基体フイルムであって、A層はビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物50〜10重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体50〜90重量%とを含み、B層はビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含み、C層はビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物50〜10重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体50〜90重量%とを含むことを特徴とする。A層とC層の組成は同一又は異なっていてもよい。
A層は、ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物50〜10重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体50〜90重量%とを含んでいる。かかる組成であれば、ダイシング用基体フイルムをロール状に巻いてもフイルム同士のブロッキングを効果的に防止することができる。また、切削屑の発生がほとんど発生せず、ダイシングフイルムのラック回収性が向上し、A層上に形成される粘着剤層との接着性も良好となる。
B層は、ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含んでいる。
C層は、ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物50〜10重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体50〜90重量%とを含んでいる。かかる組成であれば、ダイシング用基体フイルムをロール状に巻いてもフイルム同士のブロッキングを効果的に防止することができる。また、ダイシングフイルムのラック回収性が向上する。
は、前記いずれの層の樹脂とも相溶性が良く、ブリードアウトするような現象は一切ない。
ダイシング用基体フイルムの厚さは、ダイシングブレードの切り込み深さよりも厚くし、且つ容易にロ−ル状に巻くことができる程度であれば良く、例えば50〜300μmであり、好ましくは60〜250μm、より好ましくは70〜200μmである。
II.ダイシング用基体フイルムの製法
本発明の3層構成のダイシング用基体フイルムは、A層、B層及びC層用樹脂を多層共押出成形して製造する。具体的には、ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物50〜10重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体50〜90重量%とを含むA層用樹脂、ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含むB層用樹脂、及びビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物50〜10重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体50〜90重量%とを含むC層用樹脂を、A層/B層/C層の順に共押出成形することにより製造することができる。
III.ダイシングフイルム
上記により得られるダイシング用基体フイルムは、そのフイルム上に公知のアクリル系粘着剤をコートして粘着剤層が形成され、さらに必要に応じ該アクリル系粘着剤層(粘着剤層)上に離型フイルムが設けられて、ダイシングフイルムが製造される。つまり、ダイシング用基体フイルムのA層上に、アクリル系粘着剤層及び離型フイルムが形成される。
・スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物:クレイトンポリマージャパン株式会社製 MD6945
・スチレン−イソプレンブロック共重合体水素添加物:株式会社クラレ製 ハイブラー7311
・エチレン−メタアクリル酸共重合体:三井デュポンポリケミカル株式会社製 ニュクレルN1207C
・親水性PO樹脂系帯電防止剤:三洋化成株式会社製 ペレスタット230
実施例1
スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物40重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体60重量%をブレンドしてA層用樹脂とした。スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物40重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体60重量%をブレンドしてB層用樹脂とした。スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物40重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体60重量%をブレンドしてC層用樹脂とした。
スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物80重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体20重量%をブレンドしてB層用樹脂とした以外は、実施例1と同様にして多層フイルムを得た。得られた多層フイルムの厚さは、A層20μm、B層100μm、C層30μm、全体厚み150μmであった。
スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物20重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体80重量%をブレンドしてA層用樹脂とした。スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物80重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体20重量%をブレンドしてB層用樹脂とした。スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物20重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体80重量%をブレンドしてC層用樹脂とした。
スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物に代えて、スチレン−イソプレンブロック共重合体水素添加物を使用した以外は実施例1と同様にして多層フイルムを得た。得られた多層フイルムの厚さは、A層20μm、B層100μm、C層30μm、全体厚み150μmであった。
エチレン−メタアクリル酸共重合体100重量%をA層用樹脂とした。スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物40重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体60重量%をブレンドしてB層用樹脂とした。エチレン−メタアクリル酸共重合体100重量%をC層用樹脂とした。
スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物70重量%とエチレン−メタアクリル酸共重合体30重量%をブレンドしてA層用樹脂及びC層用樹脂とした以外は、実施例3と同様にして多層フイルムを得た。得られた多層フイルムの厚さは、A層20μm、B層100μm、C層30μm、全体厚み150μmであった。
エチレン−メタアクリル酸共重合体100重量%をB層用樹脂とした以外は、実施例1と同様にして多層フイルムを得た。得られた多層フイルムの厚さは、A層20μm、B層100μm、C層30μm、全体厚み150μmであった。
上記実施例1〜4及び比較例1〜3で得られた多層フイルムの一部を直径180mmの大きさの円形にカットして測定用試料とし、研削装置(株式会社ディスコ製 AUTOMATIC DICING SAW DAD-2H/6)にセットし、以下の条件で基体フイルムへの切削を行い、次に試料を研削装置から取り外し、クリーンブース内で24時間常温乾燥させた後、株式会社キーエンス製デジタルマイクロスコープ(VHX−100)を用いて、倍率150倍で切削屑の有無の評価を行った。
(切削条件)
回転数:30000rpm
速度:80mm/sec
カットモード:10mm□のフルオートダイシング
カット深さ:100μm
ブレード:株式会社ディスコ製 B1A801 SDC 400N50M51(外径56mm×厚み0.2mm×内径40mm)
水量:1.2L/min
試験例2(復元性)
実施例1〜4及び比較例1〜3で得られたフイルムの温風復元性(復元率)は、次のようにして測定した。
幅10mmで縦方向(MD)及び横方向(TD)にカットしたフイルムをサンプルとする。サンプルを、株式会社島津製作所製の引張試験機(AGS100A)にチャック間距離40mm(サンプルの標線間距離40mmと同じ意味)でセットし、引張速度200mm/分にて、まず40%伸長する。その伸長で1分間保持した後、伸長状態を解放する。解放したサンプルに60℃の温風を10秒間吹き付ける。常温に戻して長さを測定し、40%伸長に対する縦及び横方向の復元率(%)を求める。
上記実施例1〜4及び比較例1〜3で得られた多層フイルムの一部を30×100mmの大きさに2枚カットしてサンプルを得た。図1に示すように、2枚のサンプルを両端部40mmの位置で重ね合わせ、その重ね合わせた部分の面積30×40mmに、50g/cm2の錘を載せ加圧する。この状態で40℃の部屋に24時間放置しておく。次にその加圧状態を解放し、両端を把持し、引張試験機(株式会社島津製作所製 タイプAGS100A)にて200mm/分の速度で引っ張る。重ね合わせた部分が離れた瞬間の強度(kg/30mm)を測定する。6kg/30mm以下であれば実用上問題のないブロッキングであるとして「○」とし、6kg/30mmを超えれば問題のあるブロッキングとして「×」とする。結果を表1にまとめた。
Claims (4)
- A層/B層/C層の順に積層されてなるダイシング用基体フイルムであって、A層はビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物50〜10重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体50〜90重量%とを含み、B層はビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含み、C層はビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物50〜10重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体50〜90重量%とを含むダイシング用基体フイルム。
- 前記ダイシング用基体フイルムの全厚さが50〜300μmであり、ダイシング用基体フイルムの全厚さに対し、A層の厚さが5〜40%であり、B層の厚さが20〜90%である請求項1に記載のダイシング用基体フイルム。
- 前記請求項1又は2に記載のダイシング用基体フイルムのA層上にさらに粘着剤層を有するダイシングフイルム。
- A層/B層/C層の順に積層されてなるダイシング用基体フイルムの製造方法であって、ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物50〜10重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体50〜90重量%とを含むA層用樹脂、ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物90〜30重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体10〜70重量%とを含むB層用樹脂、及びビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物50〜10重量%とエチレン−(メタ)アクリル酸共重合体50〜90重量%とを含むC層用樹脂を、A層/B層/C層の順に共押出成形することを特徴とする製造方法。
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