JP5441456B2 - バックグラインドフィルム及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェハの裏面研削（以下、「バックグラインド」という）する際に、該半導体ウェハに貼着して使用されるバックグラインドフィルムに関する。

半導体を製造する場合には、半導体ウェハの表面にイオン注入、エッチング等で回路を形成した後、ウェハを所定の厚さにするためにウェハの回路形成面とは反対の面をグラインダー等で研削するバックグラインド工程を経るのが一般的である。

この半導体ウェハのバックグラインド時に、半導体ウェハの破損を防止し、研削加工を容易にするため、半導体ウェハの回路形成面（表面）に裏面研削用表面保護フィルム（バックグラインドフィルム）を貼着して保護する方法がとられている。

バックグラインドフィルムは、バックグラインド時の摩擦熱により加熱され、バックグラインド終了後は常温まで冷却される。従来用いられているバックグラインドフィルムは、バックグラインド終了後の冷却過程で収縮するため半導体ウェハ側に反りが発生することが知られている。

近年、半導体ウェハの超薄型化（５０μｍ以下）により、バックグラインドフィルムの反りに追随して貼着された半導体ウェハにも反りが発生しやすくなり、ひいては半導体ウェハチップに欠けが発生するという問題が生じている（例えば、図１参照）。そのため、薄型半導体ウェハのバックグラインド工程で反りが生じにくい寸法安定性に優れるバックグラインドフィルムが望まれてきている。

かかるウェハの反りの問題を解決するべく、種々のバックグラインドフィルムが開発されており、例えば、粘着剤層上にエチレン−ビニルアルコール共重合体（ＥＶＡ）フィルムをラミネートし、さらに粘着剤及びポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムをラミネートして得られる半導体ウェハ加工用保護シートが知られている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、特許文献１に記載された保護シートでは、極めて引張り弾性率の低い層を別途中間層として設けることにより、基材のわずかな寸法変化を緩和し、ウェハの反りを抑制することが提案されているが、緩和しきれない寸法変化が発生した場合には、反りが大きくなる等の問題があった。

さらに、エチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリオレフィン系共重合体からなる基材フィルムの片表面に粘着剤を塗布した半導体ウェハ表面保護用粘着フィルム（例えば、特許文献２参照）や、ジエン系ブロック重合体の水素添加物及び極性基変性オレフィン系重合体から選ばれる少なくとも１種を含むエラストマーからなるバックグラインドテープ（例えば、特許文献３参照）が知られている。しかしながら、これらの特許文献においては、５０μｍ程度の薄型半導体ウェハに使用される場合については十分な検討がなされておらず、その結果、これらの文献の保護材料では、薄型半導体ウェハの反り抑制という点では十分ではなかった。

特開２００６−１２８２９２号公報 特開２００６−２６１４８２号公報 特開２００５−１９１２９６号公報

本発明は、薄型半導体ウェハのバックグラインド工程において、該半導体ウェハに反りが生じにくい優れた寸法安定性を有し、かつ、フィルム巻き取り時におけるブロッキングが抑制できるバックグラインド用基体フィルム、該バックグラインド用基体フィルムを含むバックグラインドフィルムを提供することを目的とする。

本発明者は、上記の課題を解決するために鋭意研究を行った結果、ポリプロピレン系樹脂１００〜５０重量％及び熱可塑性エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物からなる表裏層と、軟質ポリエステル樹脂１００〜５０重量％及びポリエステル系エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物からなる中間層と変性ポリエチレン系樹脂を含む樹脂組成物からなる接着層を含む少なくとも５層からなるバックグラインド用基体フィルムとすることで、バックグラインド工程において寸法安定性に優れ、かつ、フィルム巻き取り時におけるブロッキングが抑制できることを見いだした。かかる知見に基づき、さらに研究を重ねて本発明を完成するに至った。

即ち、本発明は下記のバックグラインド用基体フィルム、該基体フィルムを含むバックグラインドフィルム、半導体ウェハのバックグラインド方法、及びバックグラインド用基体フィルムの製造方法を提供する。
項１．表裏層、中間層及び接着層を含む少なくとも５層からなるバックグラインド用基体フィルムであって、
表裏層が、ポリプロピレン系樹脂１００〜５０重量％及び熱可塑性エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物からなり、
中間層が、軟質ポリエステル樹脂１００〜５０重量％及びポリエステル系エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物からなり、
接着層が、変性ポリエチレン系樹脂を含む樹脂組成物からなる
バックグラインド用基体フィルム。
項２．前記熱可塑性エラストマーが、スチレン系熱可塑性エラストマー又はオレフィン系熱可塑性エラストマーである上記項１に記載のバックグラインド用基体フィルム。
項３．厚みが５０〜３００μｍである上記項１又は２に記載のバックグラインド用基体フィルム。
項４．上記項１〜３いずれか１項に記載のバックグラインド用基体フィルムの表面に粘着剤層及び離型フィルムを有するバックグラインドフィルム。
項５．上記項４に記載のバックグラインドフィルムを半導体ウェハの表面に貼着し、該半導体ウェハの裏面を研削し、半導体ウェハからバックグラインドフィルムを除去することを特徴とする半導体ウェハのバックグラインド方法。
項６．表層／接着層／中間層／接着層／裏層の順で共押出成形することを特徴とするバックグラインド用基体フィルムの製造方法であって、
表裏層が、ポリプロピレン系樹脂１００〜５０重量％及び熱可塑性エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物からなり、
中間層が、軟質ポリエステル樹脂１００〜５０重量％及びポリエステル系エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物からなり、
接着層が、変性ポリエチレン系樹脂を含む樹脂組成物からなる
バックグラインド用基体フィルムの製造方法。

本発明のバックグラインド用基体フィルムは、薄型半導体ウェハのバックグラインド工程において、該半導体ウェハに反りが生じにくく寸法安定性に優れている。また、基体フィルム巻き取り時におけるブロッキングを効果的に抑制することができる。

バックグラインド用基体フィルムの反りに追随して半導体ウェハにも反りが発生し欠けが発生することを模式的に示した図である。 バックグラインド用基体フィルムの反りの測定方法を模式的に示した図である。

１．バックグラインド用基体フィルム
本発明のバックグラインド用基体フィルムは、表裏層、中間層及び接着層を含む少なくとも５層からなり、表裏層が、ポリプロピレン系樹脂１００〜５０重量％及び熱可塑性エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物からなり、中間層が、軟質ポリエステル樹脂１００〜５０重量％及びポリエステル系エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物からなり、接着層が変性ポリエチレン系樹脂を含む樹脂組成物からなるものである。以下、本発明のバックグラインド用基体フィルムについて詳述する。

１．１ 中間層
バックグラインド用基体フィルムの中間層は、軟質ポリエステル樹脂１００〜５０重量％及びポリエステル系エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物（以下、中間層用樹脂組成物という）からなる。

（１）軟質ポリエステル樹脂
本発明で用いる軟質ポリエステル樹脂は、酸成分とジオール成分からなるものである。ここで、軟質とは、ショア硬度Ｄ（ＪＩＳ Ｋ ７２１５）で６０以下である。

（１−１）酸成分
酸成分としては、テレフタル酸、イソフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、ジフェニルジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸；アジピン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、アゼライン酸、セバシン酸、ダイマー酸（オレイン酸、リノール酸、リノレン酸等の不飽和脂肪酸が二量化して生成する化合物）等の脂肪族ジカルボン酸；シクロヘキサンジカルボン酸等の脂環族ジカルボン酸等を挙げることができる。これらは１種単独又は２種以上混合して使用することもできる。

また、本発明においては、酸成分として、テレフタル酸を必須成分とし、その他のジカルボン酸を含む酸成分混合物を用いることが好ましいが、その他のジカルボン酸としては、特に限定されるものではなく、上記酸成分から適宜選択することができる。

（１−２）ジオール成分
ジオール成分としては、２−メチル−１，３−プロパンジオール又は１，４−シクロヘキサンジメタノールを含むジオール成分が好ましく、２−メチル−１，３−プロパンジオールと１，４−シクロヘキサンジメタノールの両方を含むジオール成分がより好ましい。

２−メチル−１，３−プロパンジオールの配合量としては、全ジオール成分中、１０〜９０モル％であることが好ましく、５０〜７０モル％であることがより好ましい。

また、１，４−シクロヘキサンジメタノールの配合量としては、全ジオール成分中、１０〜９０モル％であることが好ましく、３０〜５０モル％であることがより好ましい。１，４−シクロヘキサンジメタノールの配合量が１０モル％未満であると、得られる軟質ポリエステル樹脂の耐熱性および耐衝撃性が不十分となる傾向があり、９０モル％を超えると、結晶化速度が速くなるために得られるフィルムの透明性が低下する傾向がある。

本発明の軟質ポリエステル樹脂の製造方法としては、特に限定されるものではなく、公知の直接重合法やエステル交換法等を採用することができる。

本発明で用いる軟質ポリエステル樹脂の密度は、１．３０ｇ／ｃｍ³以下であることが好ましい。また、密度の下限値は特に限定されるものではないが、例えば、０．５ｇ／ｃｍ³以上を挙げることができる。密度がこの範囲にあることで、結晶化しにくく透明性に優れたフィルムが得られるため好ましい。

本発明で用いる軟質ポリエステル樹脂の比重は、１〜２であることが好ましく、１〜１．５であることがより好ましい。

本発明で用いる軟質ポリエステル樹脂のメルトフローレート（ＭＦＲ（ＪＩＳ Ｋ ７２１０ １９０℃ ２１．２Ｎ)）は、１〜１０ｇ／１０分であることが好ましく、３〜９ｇ／１０分であることがより好ましい。

本発明で用いる軟質ポリエステル樹脂のヘーズ値は、０．１〜５％であることが好ましく、０．１〜１％であることがより好ましい。なお、このヘーズ値は、ＪＩＳ Ｋ ７１０５に準じて測定したものである。

（２）ポリエステル系エラストマー
本発明で用いるポリエステル系エラストマーは、少なくとも１種のポリエステルハードセグメントと、少なくとも１種のポリエーテルソフトセグメントからなる共重合体である。

ハードセグメントとソフトセグメントの比率は、ハードセグメント：ソフトセグメント＝１５〜９０：８５〜１０（重量％）であることが好ましい。

（２−１）ポリエステルハードセグメント
ポリエステルハードセグメントを構成するジカルボン酸成分としては、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸；１，４−シクロヘキサンジカルボン酸、シクロペンタンジカルボン酸、４，４−シクロへキサンジカルボン酸等の脂環族ジカルボン酸；アジピン酸、セバシン酸、アゼライン酸、ダイマー酸（オレイン酸、リノール酸、リノレン酸等の不飽和脂肪酸が二量化して生成する化合物）等の脂肪族ジカルボン酸等を挙げることができ、これらを１種単独で又は２種以上を混合して用いることができる。これらの中でも、機械的性質や耐熱性の点から、芳香族ジカルボン酸が好ましく、特にテレフタル酸が好ましい。

ジカルボン酸成分として、芳香族ジカルボン酸を含む場合、その配合量は５０モル％以上であることが好ましい。

また、ハードセグメントを構成するジオール成分としては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール等の炭素数２〜１２の脂肪族ジオール；シクロヘキサンジメタノール等の脂環族ジオール等を挙げることができ、これらを１種単独で又は２種以上を混合して用いることができる。これらの中でも、炭素数２〜１２の脂肪族ジオールが好ましく、エチレングリコール又は１，４−ブタンジオールがより好ましい。

（２−２）ポリエーテルソフトセグメント
ポリエーテルソフトセグメントを構成するポリエーテルとしては、ポリ（アルキレンオキシド）グリコールが好ましい。

ポリ（アルキレンオキシド）グリコールとしては、たとえば、ポリエチレングリコール、ポリ（１，３−プロピレングリコール）、ポリ（１，２−プロピレングリコール）、ポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール等を挙げることができ、これらを１種単独で又は２種以上を混合して用いることができる。これらの中でも、特にポリ（テトラメチレンオキシド）グリコールが好ましい。

本発明で用いるポリエステル系エラストマーとしては、ポリエステルハードセグメントが、テレフタル酸／エチレングリコール又は１，４−ブタンジオール共重合体からなるセグメントであり、ポリエーテルソフトセグメントが、ポリ（テトラメチレンオキシド）グリコールからなるセグメントであることが好ましい。

本発明で用いるポリエステル系エラストマーは、ポリエステルハードセグメントとポリエーテルソフトセグメントがブロックやグラフトの形態で結合したポリエステル系エラストマーであることが好ましく、その製造方法としては、特に限定されるものではなく、公知のいかなる方法も採用することができる。

本発明で用いるポリエステル系エラストマーの融点は、１５０〜３００℃であることが好ましく、１８０〜２３０℃であることがさらに好ましい。

本発明で用いるポリエステル系エラストマーのガラス転移温度は、−４０〜６０℃であることが好ましく、−３０〜３０℃であることがより好ましく、０〜２０℃であることがさらに好ましい。

本発明で用いるポリエステル系エラストマーの硬度は、ショア硬度Ｄ（ＪＩＳ Ｋ ７２１５）４０〜７５であることが好ましい。

（３）中間層用樹脂組成物
本発明のバックグラインド用基体フィルムの中間層を形成する中間層用樹脂組成物は、前記軟質ポリエステル樹脂１００〜５０重量％及び前記ポリエステル系エラストマー０〜５０重量％を含むものであり、前記軟質ポリエステル樹脂１００〜７０重量％及び前記ポリエステル系エラストマー０〜３０重量％を含むことが好ましく、前記軟質ポリエステル樹脂１００〜８０重量％及び前記ポリエステル系エラストマー０〜２０重量％を含むことがより好ましい。樹脂組成物の組成が前記範囲内であることにより、薄型半導体ウェハのバックグラインド工程における寸法安定性が優れ、かつ、基体フィルム巻き取り時のブロッキングを抑制できるため好ましい。

また、中間層用樹脂組成物には、前記軟質ポリエステル樹脂又はポリエステル系エラストマー以外にも酸化防止剤、耐候性剤等を含むことができる。その添加範囲としては、特に限定されるものではないが、中間層用樹脂組成物全固形分中１０重量％以下であることが好ましく、１〜５重量％がより好ましい。

中間層の厚みは、６０〜２２０μｍであることが好ましく、８０〜１５０μｍであることがより好ましい。

１．２ 表裏層
バックグラインド用基体フィルムの表裏層は、ポリプロピレン系樹脂１００〜５０重量％及び熱可塑性エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物（以下、表裏層用樹脂組成物という）からなる。

（１）ポリプロピレン系樹脂
本発明で用いるポリプロピレン系樹脂は、結晶性のものが好ましい。結晶性プロピレン系樹脂としては、プロピレンの単独重合体あるいはプロピレンと少量のα−オレフィン及び／又はエチレンとのランダム又はブロック共重合体が挙げられる。

ポリプロピレン系樹脂が共重合体である場合には、α−オレフィン及び／又はエチレンの共重合割合は以下に示す割合であることが好ましい。

ランダム共重合体の場合、該共重合体中に、プロピレン以外のα−オレフィン及び／又はエチレンが、一般に合計で１０重量％以下であり、好ましくは０．５〜７重量％である。また、ブロック共重合体の場合、該共重合体中に、プロピレン以外のα−オレフィン及び／又はエチレンが、一般に合計で４０重量％以下であり、好ましくは１〜４０重量％であり、より好ましくは１〜２５重量％、さらに好ましくは２〜２０重量％、特に好ましくは３〜１５重量％である。

これらのポリプロピレン系重合体は、２種以上の重合体を混合したものであってもよい。

ポリプロピレンの結晶性の指標としては例えば、融点、結晶融解熱量等が用いられ、融点は１２０〜１７６℃、結晶融解熱量は６０〜１２０Ｊ／ｇの範囲にあることが好ましい。

該ポリプロピレン系樹脂は、気相重合法、バルク重合法、溶媒重合法及び任意にそれらを組み合わせて多段重合を採用することができ、また、重合体の数平均分子量についても特に制限はないが、好ましくは１０，０００〜１，０００，０００に調整される。

この結晶性ポリプロピレン系樹脂としては、ＪＩＳ Ｋ７２１０に準拠して、温度２３０℃で、荷重２１．１８Ｎで測定したときのＭＦＲ（メルトフローレート）が、一般に０．５〜２０ｇ／１０分であり、好ましくは０．５〜１０ｇ／１０分である。

（２）熱可塑性エラストマー
本発明で用いる熱可塑性エラストマーとしては、スチレン系熱可塑性エラストマー又はオレフィン系熱可塑性エラストマーが好ましい。

（２−１）スチレン系熱可塑性エラストマー
本発明で用いるスチレン系熱可塑性エラストマーとしては、ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物が好ましい。

ここで、ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物とは、ビニル芳香族炭化水素と共役ジエン炭化水素との共重合体を水素添加した化合物である。該化合物は市販されているか、或いは公知の方法により容易に製造ですることができる。

ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体は、ランダム、ブロックのいずれでもよいが、好ましくはブロックである。

ビニル芳香族炭化水素としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ジビニルベンゼン、１，１−ジフェニルエチレン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−ｐ−アミノエチルスチレン、Ｎ，Ｎ−ジエチル−ｐ−アミノエチルスチレン等が挙げられ、これらは一種のみならず二種以上を使用してもよい。これらの中でも、特にスチレンが好適である。

共役ジエン炭化水素とは、１対の共役二重結合を有するジオレフィンであり、例えば、１，３−ブタジエン、２−メチル−１，３−ブタジエン（イソプレン）、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエン、１，３−ペンタジエン、２−メチル−１，３−ペンタジエン、１，３−ヘキサジエン等であるが、特に一般的なものとしては、１，３−ブタジエン、イソプレンが挙げられる。これらは一種のみならず二種以上を使用してもよい。これらの中でも、特にブタジエンが好適である。

ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物におけるビニル芳香族炭化水素単位の含有量は、通常５〜４０重量％、好ましくは５〜１５重量％であり、また、共役ジエン炭化水素単位の含有量は、通常６０〜９５重量％、好ましくは８５〜９５重量％である。スチレン系単量体単位の含有量は、紫外分光光度計又は核磁気共鳴装置（ＮＭＲ）を用いて、ジエン系単量体単位の含有量は、核磁気共鳴装置（ＮＭＲ）を用いて測定することができる。水素を添加するのは、水素添加したスチレン−ブタジエン共重合体がプロピレンとの相溶性が良く且つブタジエン中の二重結合の存在により起こる酸化劣化等に起因してもろくなるのを防止するためである。

ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物の硬度（ＪＩＳ Ｋ６２５３、デュロメータータイプＡ）は４０〜９０程度、好ましくは、５５〜８５程度である。その比重（ＡＳＴＭ Ｄ２９７）は、０．８５〜１．０程度であり、ＭＦＲ（ＡＳＴＭ Ｄ１２３８：２３０℃、２１．２Ｎ）は２〜６ｇ／１０分程度である。

ビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物の重量平均分子量（Ｍｗ）は、例えば、１００，０００〜５００，０００程度、好ましくは１５０，０００〜３００，０００程度であればよい。重量平均分子量は、市販の標準ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて測定できる。

使用するビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物は、共役ジエン炭化水素に由来の二重結合を、公知の方法により水素添加（例えば、ニッケル触媒等）して飽和にしておくのがよい。これにより、耐熱性、耐薬品性、耐久性等に優れたより安定な樹脂になるからである。

そのビニル芳香族炭化水素−共役ジエン炭化水素共重合体の水素添加物の水添率は、共重合体中の共役ジエン炭化水素に基づく二重結合の８５％以上であることが好ましく、９０％以上がより好ましく、９５％以上がさらに好ましい。この水添率は、核磁気共鳴装置（ＮＭＲ）を用いて測定できる。

（２−２）オレフィン系エラストマー
本発明で用いるオレフィン系熱可塑性エラストマーとしては、ポリプロピレン系樹脂成分と、プロピレンとエチレンとの共重合体ゴム成分を含有するものが好ましく、ポリプロピレン系樹脂（マトリックス相）中に、プロピレンとエチレンとの共重合体ゴムが微分散している海−島構造を有するエラストマーであることがより好ましい。

オレフィン系熱可塑性エラストマーは、ポリプロピレン系樹脂成分が１０〜８０重量％であることが好ましく、２０〜７０重量％がより好ましい。また、プロピレンとエチレンとの共重合体ゴム成分は、２０〜９０重量％であることが好ましく、３０〜８０重量％であることがより好ましい。

（ｉ）ポリプロピレン系樹脂成分
ポリプロピレン系樹脂としては、アイソタクチックインデックスが９０％以上のプロピレン単独重合体が好ましく、９５％以上であるプロピレン単独重合体であることがより好ましい。ポリプロピレン系樹脂のアイソタクチックインデックスが９０％未満では、オレフィン系熱可塑性エラストマーの耐熱性が劣る傾向にある。アイソタクチックインデックスは、ＮＭＲ等の公知の方法で測定することができる。

（ｉｉ）プロピレンとエチレンとの共重合体ゴム成分
プロピレンとエチレンの共重合割合は、特に限定されるものではないが、例えば、プロピレン／エチレン＝１０〜９０／９０〜１０（重量％）の範囲を挙げることができる。

共重合体ゴムには、プロピレンとエチレン以外にも共重合成分を含んでもよい。共重合成分としては、例えば、１，４−ヘキサジエン、５−メチル−１，５−ヘキサジエン、１，４−オクタジエン、シクロヘキサジエン、シクロオクタジエン、ジシクロペンタジエン、５−エチリデン−２−ノルボルネン、５−ブチリデン−２−ノルボルネン、２−イソプロペニル−５−ノルボルネン等の非共役ジエンを挙げることができる。これらの添加量は特に限定されるものではなく、本発明の効果を損なわない範囲で添加することができる。

（ｉｉｉ）オレフィン系熱可塑性エラストマーの製造方法
本発明で用いるオレフィン系熱可塑性エラストマーの製造方法は、特に限定されるものではなく、公知のいかなる方法であってもよいが、下記に製造方法の一例を示す。

第一段階で、反応容器にプロピレンを供給して、触媒の存在下に温度５０〜１５０℃（好ましくは、５０〜１００℃）、プロピレン分圧０．５〜４．５ＭＰａ（好ましくは、１．０〜３．５ＭＰａ）の条件で、プロピレン単独重合体の重合を実施する。

引き続いて、第二段階で、プロピレンとエチレンを供給して、触媒の存在下に温度５０〜１５０℃（好ましくは５０〜１００℃）、プロピレン及びエチレン分圧各０．３〜４．５ＭＰａ（好ましくは０．５〜３．５ＭＰａ）の条件で、プロピレン−エチレン共重合体の重合を実施して製造する。

（３）表裏層用樹脂組成物
本発明のバックグラインド用基体フィルムの表裏層を形成する表裏層用樹脂組成物は、前記ポリプロピレン系樹脂１００〜５０重量％及び前記熱可塑性エラストマー０〜５０重量％を含むものであり、前記ポリプロピレン系樹脂１００〜７０重量％及び前記熱可塑性エラストマー０〜３０重量％を含むことが好ましく、前記ポリプロピレン系樹脂１００〜８０重量％及び前記熱可塑性エラストマー０〜２０重量％を含むことがより好ましい。樹脂組成物の組成が前記範囲内であることにより、薄型半導体ウェハのバックグラインド工程における寸法安定性が優れ、かつ、基体フィルム巻き取り時のブロッキングを抑制できるため好ましい。

また、表裏層用樹脂組成物には、前記ポリプロピレン系樹脂又は熱可塑性エラストマー以外にも酸化防止剤、耐候性剤等の添加剤を含むことができる。その添加範囲としては、特に限定されるものではないが、表裏層用樹脂組成物全固形分中１０重量％以下であることが好ましく、５〜０．０１重量％がより好ましい。

表裏層の厚みは、５〜７０μｍであることが好ましく、５〜５０μｍであることがより好ましい。表裏層の厚みがこの範囲にあることで、中間層での反り抑止効果とともに、表裏層でのブロッキング防止効果が発現できるため好ましい。

１．３ 接着層
バックグラインド用基体フィルムの接着層は、変性ポリオレフィン樹脂を含む樹脂組成物（以下、接着層用樹脂組成物という）からなる。

本発明で用いる変性ポリエチレン系樹脂としては、不飽和カルボン酸又はその誘導体をグラフト変性させたポリエチレン系樹脂である。

ポリエチレン系樹脂としては、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、エチレン−α−オレフィン共重合体及びエチレン−酢酸ビニル共重合体であることが好ましい。

ここでエチレン−α−オレフィン共重合体を構成するα−オレフィンとしては、炭素数３〜２０のα−オレフィンが用いられ、具体的には、プロピレン、１−ブテン、１−ヘキセン、４-メチル−１−ペンテン、１−オクテン、１−デセン、１−テトラデセン、１−オクタデセン等が用いられる。

不飽和カルボン酸又はその誘導体としては、具体的には、アクリル酸、マレイン酸、フマール酸、テトラヒドロフタル酸、イタコン酸、シトラコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸等の不飽和カルボン酸、又はその誘導体、例えば、酸ハライド、アミド、イミド、無水物、エステル等が用いられる。

変性ポリエチレン系樹脂は、ポリエチレン系樹脂の一部又は全部を不飽和カルボン酸又はその誘導体でグラフト変性することにより得られる。不飽和カルボン酸又はその誘導体のグラフト量は、０．０５〜１５重量％である。

接着層の厚みは、１〜２０μｍであることが好ましく、５〜１５μｍであることがより好ましい。接着層の厚みがこの範囲にあることで、表裏層と中間層とが良好に接着されるため好ましい。

１．４ 層構成
本発明のバックグラインド用基体フィルムは、前述のように表裏層、中間層及び接着層を含む少なくとも５層からなるものである。具体的には、表層／接着層／中間層／接着層／裏層の順番で積層されたフィルムである。

反り抑止効果を最大限に機能させるためには、バックグラインド用基体フィルムの総厚みに対する中間層の厚みを３０〜８０％の範囲にすることが好ましい。

本発明のバックグラインド用基体フィルムの総厚みは、容易にロ−ル状に巻くことができる程度であれば良く、特に限定されないが、例えば、８０〜２３０μｍであることが好ましく、１００〜１８０μｍであることがより好ましい。

本発明のバックグラインド用基体フィルムは、いずれも、薄型半導体ウェハのバックグラインド工程において、該半導体ウェハに反りが生じにくく寸法安定性に優れており、さらに、基体フィルム巻き取り時におけるブロッキングを効果的に抑制することができるものである。

また、本発明のバックグラインド用基体フィルムは、前記樹脂組成物からなる層を含むものであるが、本発明の効果を損なわない範囲で前記樹脂組成物からなる層以外の層を含んでいてもよい。

２．バックグラインド用基体フィルムの製造方法
本発明のバックグラインド用基体フィルムの製造方法は、前述の表層用樹脂組成物、中間層用樹脂組成物、裏層用樹脂組成物を、表層／接着層／中間層／接着層／裏層の順で共押出成形する工程を含むものであり、共押出成形方法としては、Ｔダイスまたは環状ダイスを使用した押出法等、従来から用いられている方法を適宜用いることができる。これらの中でも、基材フィルムの厚み精度の点から、Ｔダイスを使用した押出法が好ましい。

以下、Ｔダイスを使用した押出法について説明する。

複数の押出機を用い、それぞれの原料樹脂をそれぞれの押出機に投入し、上記と同様にしてロール状の多層基体フィルムを得る。具体的には、表層／接着層／中間層／接着層／裏層からなる５層のバックグラインド用基体フィルムを成形する場合、上記の各層の原料樹脂を用いて成形する。

上記の原料樹脂組成物は、ドライブレンド又は溶融混練し調製することができる。原料樹脂組成物をスクリュー式押出機に供給し、１８０〜２２５℃でＴダイからフィルム状に押出し、これを５０〜７０℃の冷却ロ−ルに通しながら冷却して実質的に無延伸で引き取る。あるいは、原料樹脂を一旦ペレットとして取得した後、上記の様に押出成形してもよい。

なお、引き取りの際に実質的に無延伸とするのは、バックグラインド工程において、延伸したことによるフィルムの収縮を抑制するためである。この実質的に無延伸とは、無延伸、あるいは、バックグラインド時のウェハの反りに影響を与えない程度の僅少の延伸を含むものである。通常、フィルム引き取りの際に、たるみの生じない程度の引っ張りであればよい。

上記で得られるバックグラインド用基体フィルムの表面に粘着剤層及び離型フィルムを設ける方法は、公知の方法を採用することができる。バックグラインドフィルムは、通常テープ状にカットされたロール巻き状態で取得される。

３．バックグラインドフィルム
本発明のバックグラインドフィルムは、前述のバックグラインド用基体フィルムの表面に粘着剤層及び離型フィルムを有するものである。より具体的には、前述のバックグラインド用基体フィルムの片方の表面上に公知の粘着剤をコートして粘着剤層が形成され、さらに該粘着剤層上に離型フィルムが設けられて、バックグラインドフィルムが製造される。

粘着剤層の厚さは、例えば、１０〜２００μｍ程度であり、離型フィルムの厚さは、例えば、１０〜１００μｍ程度であればよい。

粘着剤層で用いられる粘着剤成分としては、公知の粘着剤を特に制限なく使用できる。例えば、特開２００６−１２８２９２号公報等に記載された粘着剤成分を用いることができる。なお、離型フィルムも公知のものが用いられる。

粘着剤としては、たとえば、一般的に使用されている感圧性粘着剤を使用でき、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の適宜な粘着剤を用いることができる。これらのなかでも、半導体ウェハヘの接着性、剥離後の半導体ウェハの超純水やアルコール等の有機溶剤による清浄洗浄性等の点から、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤が好ましい。

具体的には、（メタ）アクリル酸エステルを主たる構成単量体単位とする単独重合体および共重合体から選ばれたアクリル系重合体、その他の官能性単量体との共重合体、およびこれら重合体の混合物が用いられる。例えば、（メタ）アクリル酸エステルとしては、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸グリシジル、アクリル酸２−ヒドロキシエチル等が好ましく使用できる。

バックグラインドフィルムは、通常テープ状にカットされたロール巻き状態で取得される。

４．半導体ウェハのバックグラインド方法
本発明のバックグラインド方法は、バックグラインドフィルムを半導体ウェハの表面（回路面）に貼着し、該半導体ウェハの裏面を研削し、半導体ウェハからバックグラインドフィルムを除去する。

具体的には、該バックグラインドフィルムの粘着剤層から離型フィルムを剥離して、粘着剤層の表面を露出させて、その粘着剤層を介して集積回路が組み込まれた側の半導体ウェハの表面に貼着する。半導体ウェハの研削前の厚みは、通常、３００〜１０００μｍ程度である。次いで、半導体ウェハを固定して、その裏面を常法により研削する。研削後の半導体ウェハの厚みは、得られるチップのサイズ、回路の種類、用途等に応じて選択されるが、例えば、５０〜２００μｍ程度となる。裏面研削が終了した後、必要に応じケミカルエッチング工程やＣＭＰ（メカノケミカルポリッシング）工程を追加してもよい。その後、バックグラインドフィルムを剥離（除去）する。また、必要に応じて、バックグラインドフィルム剥離後に、半導体ウェハ表面に対して、水洗、プラズマ洗浄等の洗浄処理が施される。

以下に、本発明を、実施例及び比較例を用いてより詳細に説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。

実施例１
（樹脂組成物の製造）
表１に示すそれぞれの原料を表１に示す配合割合でドライブレンドし、樹脂組成物とした。なお、表１中に記載された原料は、次の通りである。

軟質ポリエステル樹脂：ＦＬＸ９２（商品名）、ショア硬度Ｄ（ＪＩＳ Ｋ ７２１５）：３７、比重：１．２１、ＭＦＲ（ＪＩＳ Ｋ ７２１０、１９０℃、２１．２Ｎ）：７ｇ／１０分、密度：１．２１ｇ／ｃｍ³、ヘーズ値（ＪＩＳ Ｋ ７１０５）：０．６％、（株）ベルポリエステルプロダクツ製。

ポリエステル系エラストマー：ポリブチレンテレフタレート／ポリエーテル共重合体、融点：２１９℃、ガラス転移温度：１２℃、ショア硬度Ｄ（ＪＩＳ Ｋ ７２１５）：７２、ハイトレル（登録商標）７２４７（商品名）、東レ・デュポン（株）製。

ポリプロピレン系樹脂：融点：１４０℃、結晶の融解に基づくピーク：１３０℃、９５Ｊ／ｇ、ＭＦＲ（ＪＩＳ Ｋ７２１０、２３０℃、荷重２１．１８Ｎ）：５．３ｇ／１０分、ノバテック（登録商標）ＰＰ ＦＸ４Ｅ 日本ポリプロ（株）製。

スチレン系熱可塑性エラストマー：スチレン−ブタジエンブロック共重合体水素添加物、ＭＤ６９４５ クレイトンポリマージャパン（株）製。

オレフィン系熱可塑性エラストマー：ゼラス（登録商標）７０５３ 三菱化学（株）製。

変性ポリエチレン系樹脂：アドマー（登録商標）ＳＦ７３１ 三井化学（株）製。

（バックグラインド用基体フィルムの製造）
表層用樹脂組成物、接着剤、中間層用樹脂組成物、接着剤及び裏層用樹脂組成物をこの順でバレル温度１８０〜２２０℃の多層押出機に供給した。２３０℃のＴダイスから押出し、設定温度４０℃の引き取りロールにて冷却固化して、無延伸の状態で巻き取った。得られたフィルムのそれぞれの層の厚みは、表１に示す通りである。

実施例２〜８、比較例１〜３
原料を表１に示す配合割合にした以外は、実施例１と同様にしてフィルムを得た。得られたフィルムのそれぞれの層の厚みは、表１に示す通りである。

実施例１〜８及び比較例１〜３で得られたフィルムについて、下記評価方法で評価を行った。その結果を表１に示す。

評価方法
（反りの評価）
ウェハの代替として、常温（２５℃）から５０℃の温度域で、半導体ウェハと同程度に寸法安定性の良いポリイミド（ＰＩ）テープ（スコッチポリイミドテープ Ｎｏ.５４３４、厚さ５３μｍ、住友スリーエム（株）製）を使用した。

作製したバックグラインド用基体フィルムに上記ＰＩテープ（幅２ｃｍ×長さ１４ｃｍ）を貼付け、サンプルとして切り出し、２枚のステンレス板（厚み２ｍｍ）に挟み、５０℃に設定したオーブン内で１０分間加熱した。その後、サンプルを取り出して常温（２５℃）で１０分間放冷し、フィルムの収縮によって発生する反りを測定した。

反り量は、バックグラインド用基体フィルムにＰＩテープを貼り付けた状態で、バックグラインド用基体フィルムが上側になるように水平面上に置き、該水平面から最も浮いているＰＩテープの端部の高さ（ｍｍ）を測定した（図２）。測定値が３ｍｍ以下であれば、半導体ウェハの反りの問題がなく実用できるレベルである。

（ブロッキングの評価）
得られた基体フィルムの任意の場所から、たて１００ｍｍ×よこ３０ｍｍ（フィルムの流れ方向をたて方向、幅方向をよこ方向としてサンプルを切り出した）の大きさに測定用サンプルを２枚切り出した。２枚の測定用サンプルを、同一面（冷却ロールと接する面）同士がたて４０ｍｍ×よこ３０ｍｍの面積で重なり合うようにし、この重なり合った測定用サンプルを２枚のガラス板で挟み、その上から、サンプルが重なり合っている部分に６００ｇの重りをのせた。これを４０℃の恒温槽の中に入れ、７日間放置した。７日後、恒温槽より取り出したサンプルを、新東科学（株）製剥離試験器（Ｐｅｅｌｉｎｇ ＴＥＳＴＥＲ ＨＥＩＤＯＮ−１７）にセットし、引張り速度２００ｍｍ／分で、１８０度せん断剥離強度を測定した。測定値が、４．９Ｎ／１０ｍｍ以下であれば、ブロッキングなしとした。

Claims (5)

1. 表裏層、中間層及び接着層を含む少なくとも５層からなるバックグラインド用基体フィルムであって、
   表裏層が、ポリプロピレン系樹脂１００〜５０重量％及び熱可塑性エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物からなり、
   中間層が、軟質ポリエステル樹脂１００〜５０重量％及びポリエステル系エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物からなり、
   接着層が、変性ポリエチレン系樹脂を含む樹脂組成物からなる
   バックグラインド用基体フィルム。
2. 前記熱可塑性エラストマーが、スチレン系熱可塑性エラストマー又はオレフィン系熱可塑性エラストマーである請求項１に記載のバックグラインド用基体フィルム。
3. 請求項１又は２に記載のバックグラインド用基体フィルムの表面に粘着剤層及び離型フィルムを有するバックグラインドフィルム。
4. 請求項３に記載のバックグラインドフィルムを半導体ウェハの表面に貼着し、該半導体ウェハの裏面を研削し、半導体ウェハからバックグラインドフィルムを除去することを特徴とする半導体ウェハのバックグラインド方法。
5. 表層／接着層／中間層／接着層／裏層の順で共押出成形することを特徴とするバックグラインド用基体フィルムの製造方法であって、
   表裏層が、ポリプロピレン系樹脂１００〜５０重量％及び熱可塑性エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物からなり、
   中間層が、軟質ポリエステル樹脂１００〜５０重量％及びポリエステル系エラストマー０〜５０重量％を含む樹脂組成物からなり、
   接着層が、変性ポリエチレン系樹脂を含む樹脂組成物からなる
   バックグラインド用基体フィルムの製造方法。

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