JP5441458B2 - バックグラインドフィルム及びその製造方法 - Google Patents
バックグラインドフィルム及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5441458B2 JP5441458B2 JP2009068939A JP2009068939A JP5441458B2 JP 5441458 B2 JP5441458 B2 JP 5441458B2 JP 2009068939 A JP2009068939 A JP 2009068939A JP 2009068939 A JP2009068939 A JP 2009068939A JP 5441458 B2 JP5441458 B2 JP 5441458B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- weight
- semiconductor wafer
- thermoplastic elastomer
- base film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 44
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 42
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 33
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 33
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 31
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 30
- -1 polypropylene Polymers 0.000 claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 claims description 18
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 claims description 16
- 229920002397 thermoplastic olefin Polymers 0.000 claims description 16
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 15
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 14
- 238000010828 elution Methods 0.000 claims description 14
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 claims description 9
- RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 1,2-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1Cl RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 claims description 8
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims description 5
- 238000005194 fractionation Methods 0.000 claims description 5
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 45
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 19
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 7
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 6
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 229920001384 propylene homopolymer Polymers 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- 239000004711 α-olefin Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000219 Ethylene vinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 2
- MGNZXYYWBUKAII-UHFFFAOYSA-N cyclohexa-1,3-diene Chemical compound C1CC=CC=C1 MGNZXYYWBUKAII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001993 dienes Chemical class 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 2
- OJOWICOBYCXEKR-APPZFPTMSA-N (1S,4R)-5-ethylidenebicyclo[2.2.1]hept-2-ene Chemical compound CC=C1C[C@@H]2C[C@@H]1C=C2 OJOWICOBYCXEKR-APPZFPTMSA-N 0.000 description 1
- RRKODOZNUZCUBN-CCAGOZQPSA-N (1z,3z)-cycloocta-1,3-diene Chemical compound C1CC\C=C/C=C\C1 RRKODOZNUZCUBN-CCAGOZQPSA-N 0.000 description 1
- PRBHEGAFLDMLAL-GQCTYLIASA-N (4e)-hexa-1,4-diene Chemical compound C\C=C\CC=C PRBHEGAFLDMLAL-GQCTYLIASA-N 0.000 description 1
- HYBLFDUGSBOMPI-BQYQJAHWSA-N (4e)-octa-1,4-diene Chemical compound CCC\C=C\CC=C HYBLFDUGSBOMPI-BQYQJAHWSA-N 0.000 description 1
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical compound C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 1
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C(C)=C WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLQMKNPIYMOEGB-UHFFFAOYSA-N 2-methylhexa-1,5-diene Chemical compound CC(=C)CCC=C SLQMKNPIYMOEGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NWPQAENAYWENSD-UHFFFAOYSA-N 5-butylidenebicyclo[2.2.1]hept-2-ene Chemical compound C1C2C(=CCCC)CC1C=C2 NWPQAENAYWENSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMGCMUYMJFRQSK-UHFFFAOYSA-N 5-prop-1-en-2-ylbicyclo[2.2.1]hept-2-ene Chemical compound C1C2C(C(=C)C)CC1C=C2 DMGCMUYMJFRQSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003355 Novatec® Polymers 0.000 description 1
- 241000405115 Zela Species 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 229920005601 base polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000012662 bulk polymerization Methods 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 238000012685 gas phase polymerization Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- RLAWWYSOJDYHDC-BZSNNMDCSA-N lisinopril Chemical compound C([C@H](N[C@@H](CCCCN)C(=O)N1[C@@H](CCC1)C(O)=O)C(O)=O)CC1=CC=CC=C1 RLAWWYSOJDYHDC-BZSNNMDCSA-N 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1CO1 RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920005673 polypropylene based resin Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229920005653 propylene-ethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
項1.ポリプロピレン系樹脂40〜80重量%及びオレフィン系熱可塑性エラストマー20〜60重量%からなる樹脂組成物を含むバックグラインド用基体フィルム。
項2.前記オレフィン系熱可塑性エラストマーが、ポリプロピレン系樹脂中に、プロピレンとエチレンとの共重合体ゴムが微分散している海−島構造を有するエラストマーである上記項1記載のバックグラインド用基体フィルム。
項3.前記オレフィン系熱可塑性エラストマーが、o−ジクロロベンゼンを溶媒として用いた温度0〜140℃の間の温度上昇溶離分別における0℃での溶出量が全溶出量に対して、60〜80重量%である上記項1又は2記載のバックグラインド用基体フィルム。
項4.厚みが50〜300μmである上記項1〜3のいずれかに記載のバックグラインド用基体フィルム。
項5.上記項1〜4のいずれかに記載のバックグラインド用基体フィルムの表面に粘着剤層及び離型フィルムを有するバックグラインドフィルム。
項6.上記項5に記載のバックグラインドフィルムを半導体ウェハの表面に貼着し、該半導体ウェハの裏面を研削し、半導体ウェハからバックグラインドフィルムを除去することを特徴とする半導体ウェハのバックグラインド方法。
項7.ポリプロピレン系樹脂40〜80重量%及びオレフィン系熱可塑性エラストマー20〜60重量%からなる樹脂組成物を押出し成形する工程を含むバックグラインド用基体フィルムの製造方法。
本発明のバックグラインド用基体フィルムは、ポリプロピレン系樹脂40〜80重量%とオレフィン系熱可塑性エラストマー20〜60重量%からなる樹脂組成物を含むものである。以下、本発明のバックグラインド用基体フィルムについて詳述する。
本発明で用いるポリプロピレン系樹脂(PP)としては、結晶性のものが好ましい。結晶性プロピレン系樹脂としては、プロピレンの単独重合体あるいはプロピレンと少量のα−オレフィン及び/又はエチレンとのランダム又はブロック共重合体が挙げられる。
本発明で用いるオレフィン系熱可塑性エラストマーとしては、ポリプロピレン系樹脂成分と、プロピレンとエチレンとの共重合体ゴム成分を含有するものが好ましく、ポリプロピレン系樹脂(マトリックス相)中に、プロピレンとエチレンとの共重合体ゴムが微分散している海−島構造を有するエラストマーであることがより好ましい。
ポリプロピレン系樹脂としては、アイソタクチックインデックスが90%以上のプロピレン単独重合体が好ましく、95%以上であるプロピレン単独重合体であることがより好ましい。ポリプロピレン系樹脂のアイソタクチックインデックスが90%未満では、オレフィン系熱可塑性エラストマーの耐熱性が劣る傾向にある。アイソタクチックインデックスは、NMR等の公知の方法で測定することができる。
プロピレンとエチレンの共重合割合は、特に限定されるものではないが、例えば、プロピレン/エチレン=10〜90/90〜10(重量%)の範囲を挙げることができる。
本発明で用いるオレフィン系熱可塑性エラストマーの製造方法は、特に限定されるものではなく、公知のいかなる方法であってもよいが、下記に製造方法の一例を示す。
本発明のバックグラインド用基体フィルムの製造方法は、ポリプロピレン系樹脂40〜80重量%、及びオレフィン系熱可塑性エラストマー20〜60重量%からなる樹脂組成物を押出し成形する工程を含むものであり、押出し成形方法としては、Tダイスまたは環状ダイスを使用した押出法等、従来から用いられている方法を適宜用いることができる。これらの中でも、基材フィルムの厚み精度の点から、Tダイスを使用した押出法が好ましい。
本発明のバックグラインドフィルムは、前述のバックグラインド用基体フィルムの表面に粘着剤層及び離型フィルムを有するものである。より具体的には、前述のバックグラインド用基体フィルムの片方の表面上に公知の粘着剤をコートして粘着剤層が形成され、さらに該粘着剤層上に離型フィルムが設けられて、バックグラインドフィルムが製造される。
本発明のバックグラインド方法は、バックグラインドフィルムを半導体ウェハの表面(回路面)に貼着し、該半導体ウェハの裏面を研削し、半導体ウェハからバックグラインドフィルムを除去する。
表1に示す配合割合で、以下のポリプロピレン系樹脂とオレフィン系熱可塑性エラストマーをドライブレンドし、樹脂組成物とした。
融点:140℃、結晶の融解に基づくピーク:130℃、95J/g、MFR(JIS K7210、230℃、荷重21.18N):5.3g/10分、ノバテックPP FX4E(商品名)、日本ポリプロ(株)製。
ポリプロピレン系樹脂成分に、プロピレンとエチレンとの共重合体ゴムが微分散している海−島構造を有するエラストマー、ゼラスZT813(商品名)、三菱化学(株)製。
表1に記載の配合割合にする以外は、実施例1と同様にしてフィルムを得た。
(反りの評価)
ウェハの代替として、常温(25℃)から50℃の温度域で、半導体ウェハと同程度に寸法安定性の良いポリイミド(PI)テープ(スコッチポリイミドテープ No.5434、厚さ53μm、住友スリーエム(株)製)を使用した。
得られた基体フィルムの任意の場所から、たて100mm×よこ30mm(フィルムの流れ方向をたて方向、幅方向をよこ方向としてサンプルを切り出した)の大きさに測定用サンプルを2枚切り出した。2枚の測定用サンプルを、同一面(冷却ロールと接する面)同士がたて40mm×よこ30mmの面積で重なり合うようにし、この重なり合った測定用サンプルを2枚のガラス板で挟み、その上から、サンプルが重なり合っている部分に600gの重りをのせた。これを40℃の恒温槽の中に入れ、7日間放置した。7日後、恒温槽より取り出したサンプルを、新東科学(株)製剥離試験器(Peeling TESTER HEIDON−17)にセットし、引張り速度200mm/分で、180度せん断剥離強度を測定した。測定値が、4.9N/10mm以下であれば、ブロッキングなしとした。
Claims (6)
- ポリプロピレン系樹脂40〜80重量%及びオレフィン系熱可塑性エラストマー20〜60重量%からなる樹脂組成物を含むバックグラインド用基体フィルムであって、
前記オレフィン系熱可塑性エラストマーが、o−ジクロロベンゼンを溶媒として用いた温度0〜140℃の間の温度上昇溶離分別における0℃での溶出量が、全溶出量に対して、60〜80重量%である、バックグラインド用基体フィルム。 - 前記オレフィン系熱可塑性エラストマーが、ポリプロピレン系樹脂中に、プロピレンとエチレンとの共重合体ゴムが微分散している海−島構造を有するエラストマーである請求項1記載のバックグラインド用基体フィルム。
- 厚みが50〜300μmである請求項1又は2に記載のバックグラインド用基体フィルム。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のバックグラインド用基体フィルムの表面に粘着剤層及び離型フィルムを有するバックグラインドフィルム。
- 請求項4に記載のバックグラインドフィルムを半導体ウェハの表面に貼着し、該半導体ウェハの裏面を研削し、半導体ウェハからバックグラインドフィルムを除去することを特徴とする半導体ウェハのバックグラインド方法。
- ポリプロピレン系樹脂40〜80重量%及びオレフィン系熱可塑性エラストマー20〜60重量%からなる樹脂組成物を押出し成形する工程を含むバックグラインド用基体フィルムの製造方法であって、
前記オレフィン系熱可塑性エラストマーが、o−ジクロロベンゼンを溶媒として用いた温度0〜140℃の間の温度上昇溶離分別における0℃での溶出量が、全溶出量に対して、60〜80重量%である、バックグラインド用基体フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009068939A JP5441458B2 (ja) | 2009-03-19 | 2009-03-19 | バックグラインドフィルム及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009068939A JP5441458B2 (ja) | 2009-03-19 | 2009-03-19 | バックグラインドフィルム及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010225679A JP2010225679A (ja) | 2010-10-07 |
JP5441458B2 true JP5441458B2 (ja) | 2014-03-12 |
Family
ID=43042601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009068939A Active JP5441458B2 (ja) | 2009-03-19 | 2009-03-19 | バックグラインドフィルム及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5441458B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7049796B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2022-04-07 | 三井化学東セロ株式会社 | 粘着性フィルム |
JP7049797B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2022-04-07 | 三井化学東セロ株式会社 | 粘着性フィルム |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3443110B2 (ja) * | 2001-06-27 | 2003-09-02 | 日東電工株式会社 | ダイシング用粘着シート |
JP4351487B2 (ja) * | 2003-07-14 | 2009-10-28 | ロンシール工業株式会社 | ウエハバックグラインド用粘着テープ |
JP4554908B2 (ja) * | 2003-10-24 | 2010-09-29 | 日東電工株式会社 | ダイシング用粘着シート、ダイシング方法および半導体素子の製造方法 |
JP5113991B2 (ja) * | 2005-06-06 | 2013-01-09 | 積水化学工業株式会社 | 表面保護フィルム |
JP5140910B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2013-02-13 | 住友ベークライト株式会社 | フィルム基材および半導体ウエハ加工用粘着テープ |
JP2008153586A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Gunze Ltd | ダイシング用基体フイルム |
-
2009
- 2009-03-19 JP JP2009068939A patent/JP5441458B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010225679A (ja) | 2010-10-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20120273975A1 (en) | Sheet for protecting surface of semiconductor wafer, semiconductor device manufacturing method and semiconductor wafer protection method using sheet | |
JP2009267389A (ja) | ダイシングフィルム | |
JP5620310B2 (ja) | 拡張性粘着フィルム、半導体用ダイシングフィルム、及びそれを用いた半導体装置の製造方法 | |
JP4351487B2 (ja) | ウエハバックグラインド用粘着テープ | |
JP5441458B2 (ja) | バックグラインドフィルム及びその製造方法 | |
JP4286043B2 (ja) | ウエハダイシング用粘着テープ | |
JP2011023575A (ja) | ダイシング用基体フイルム及びダイシングフイルム | |
JP5219554B2 (ja) | バックグラインド用基体フィルム及びその製造方法 | |
JP5388466B2 (ja) | バックグラインド用基体フィルム及びその製造方法 | |
JP5441459B2 (ja) | バックグラインドフィルム及びその製造方法 | |
JP2016043560A (ja) | 積層二軸延伸フィルム | |
JP5441456B2 (ja) | バックグラインドフィルム及びその製造方法 | |
JP5219553B2 (ja) | バックグラインド用基体フィルム及びその製造方法 | |
JP2662033B2 (ja) | 放射線硬化性粘着テープ | |
JP5328193B2 (ja) | 多層バックグラインド用基体フィルム、バックグラインドフィルム、及びその製造方法 | |
JP5489501B2 (ja) | バックグラインドフィルム及びその製造方法 | |
JP2004338289A (ja) | 粘着テープ用基材および粘着シート | |
JP6106526B2 (ja) | 半導体ウエハ加工用粘着シート | |
JP5328194B2 (ja) | 多層バックグラインド用基体フィルム、バックグラインドフィルム、及びその製造方法 | |
JP5441457B2 (ja) | バックグラインドフィルム及びその製造方法 | |
JP6281191B2 (ja) | 半導体製造工程用粘着テープ基材用樹脂フィルム | |
JP5388465B2 (ja) | バックグラインド用基体フィルム及びその製造方法 | |
JP5328192B2 (ja) | バックグラインドフィルム及びその製造方法 | |
JP2009170478A (ja) | 表面保護テープ用多層基体フィルム | |
JP5383070B2 (ja) | バックグラインドフィルム及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120309 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130618 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131126 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5441458 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |