JP2007042856A - 洗浄装置および洗浄液垂れ落ち防止方法 - Google Patents

Abstract

【課題】洗浄液の供給を停止した後に、洗浄液吐出手段から洗浄液が垂れ落ちるのを確実に防止することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】被洗浄基板を洗浄するための洗浄槽と、該洗浄槽内の廃液を回収する廃液回収槽を備え、前記洗浄槽内で被洗浄基板に洗浄液を吐出して洗浄する洗浄装置であって、少なくとも、洗浄液を供給する洗浄液供給配管と、該洗浄液供給配管の先端に設けられ、被洗浄基板に洗浄液を吐出する洗浄液吐出手段と、洗浄液の供給および供給停止を切り替える供給バルブと、一端が前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間の洗浄液供給配管に接続され、該洗浄液供給配管内に残留する洗浄液を吸引する洗浄液吸引配管と、洗浄液の吸引および吸引停止を切り替える吸引バルブと、前記洗浄液を吸引するポンプを具備し、前記供給バルブを閉とした時に、前記残留する洗浄液を前記ポンプにより吸引し、洗浄液が垂れ落ちるのを防止する洗浄装置。
【選択図】図１

Description

本発明は、被洗浄基板を洗浄する洗浄装置において、洗浄液の供給停止後に、吐出口から洗浄液が垂れ落ちるのを防止することを目的とした洗浄装置に関する。

被洗浄基板の洗浄装置、例えば枚葉式洗浄装置において、洗浄時にはノズル等の洗浄液吐出手段の吐出口から洗浄液を吐出し、洗浄停止時には洗浄液の供給を停止して吐出を停止させる。このとき、吐出されなかった洗浄液は洗浄液を供給する配管の内部に残留して止まっている。

しかし、供給を停止しているにも関わらず、洗浄液吐出手段から上記の残留している洗浄液が垂れ落ちることがある。特に洗浄液内に気泡が多い洗浄液を使用する場合は垂れ流れやすい。供給停止しているはずの洗浄液が被洗浄基板の表面に垂れ落ちてしまうことで、被洗浄基板の表面に洗浄汚染、乾燥斑等が発生してしまう。このように、供給停止後の洗浄液吐出手段からの洗浄液の垂れ落ちは基板洗浄において問題を引き起こす。

このような洗浄液の垂れ落ちを防ぐため、従来では洗浄液吐出手段の近傍に例えば特許文献１に開示されているようなバルブを洗浄液の供給管に設けることで、洗浄液吐出手段の吐出口から洗浄液が垂れ落ちないようにする手段がとられていた。上記のようなバルブを設けて閉じることにより、洗浄液供給停止後の一時的な洗浄液の垂れ落ちについてはある程度対応することができた。しかしながら、上記したように、洗浄液に気泡が多く含まれる洗浄液を使用した場合や、或いは吐出口が角度を持ったテーパー状または吐出口の口径が大きい場合等においては、洗浄液供給停止後、時間が経過するにつれて液垂れが発生してしまい、完全には垂れ落ちを防ぐことはできなかった。

特開２００２−３１６０８５

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、洗浄液の供給を停止した後に、洗浄液吐出手段から洗浄液が垂れ落ちるのを確実に防止することができる洗浄装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は、被洗浄基板を洗浄するための洗浄槽と、該洗浄槽内の洗浄後の廃液を回収するための廃液回収槽を備え、前記洗浄槽内で被洗浄基板に洗浄液を吐出して洗浄する洗浄装置であって、少なくとも、洗浄液を供給する洗浄液供給配管と、該洗浄液供給配管の先端に設けられ、被洗浄基板に洗浄液を吐出する洗浄液吐出手段と、前記洗浄液供給配管に設けられ、前記洗浄液吐出手段から吐出する洗浄液の供給および供給停止を切り替える供給バルブと、一端が前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間の洗浄液供給配管に接続され、該洗浄液供給配管内に残留する洗浄液を吸引する洗浄液吸引配管と、該洗浄液吸引配管に設けられ、前記洗浄液吸引配管による洗浄液の吸引および吸引停止を切り替える吸引バルブと、前記洗浄液を吸引するためのポンプを具備し、前記供給バルブと吸引バルブを切り替え、前記供給バルブを閉とした時に、前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間の前記洗浄液供給配管内に残留する洗浄液を前記ポンプにより前記洗浄液吸引配管を通して吸引し、前記洗浄液吐出手段から前記残留する洗浄液が垂れ落ちるのを防止するものであることを特徴とする洗浄装置を提供する（請求項１）。

このような洗浄装置であれば、洗浄液の供給を停止して吐出を停止した後に、供給バルブと洗浄液吐出手段との間の洗浄液供給配管内に残留している洗浄液を、洗浄液吸引配管を通して吸引して残らないようにすることができるため、前記残留している洗浄液が洗浄液吐出手段から垂れ落ちるのを確実に防止することが可能である。
そして、洗浄液のボタ落ちを防止できることから、被洗浄基板に対する洗浄汚染や乾燥斑の発生を防ぎ、洗浄工程における歩留りを向上することが可能である。

このとき、前記洗浄液供給配管、供給バルブ、洗浄液吐出手段、洗浄液吸引配管、吸引バルブは、使用する洗浄液ごとに別々に配設されており、各洗浄液吸引配管は前記廃液回収槽に接続されており、該廃液回収槽は前記洗浄液吸引配管を通して吸引された洗浄液を、洗浄液ごとに分離回収可能なものであるのが望ましい（請求項２）。

このように、前記洗浄液供給配管、供給バルブ、洗浄液吐出手段、洗浄液吸引配管、吸引バルブが、使用する洗浄液ごとに別々に配設されており、各洗浄液吸引配管を前記廃液回収槽に接続することによって、該廃液回収槽に前記洗浄液吸引配管を通して吸引された洗浄液を、洗浄液ごとに分離回収することができる。

さらに、前記廃液回収槽は、内部についたてを有し、前記洗浄液ごとに配設された洗浄液吸引配管と同数以上の分離槽を設け、該分離槽ごとに分離槽中の液を排出するための排出配管を備えているものであるのが望ましい（請求項３）。

このように、前記廃液回収槽が、内部についたてを有し、前記洗浄液ごとに配設された洗浄液吸引配管と同数以上の分離槽を設け、該分離槽ごとに分離槽中の液を排出するための排出配管を備えているものであれば、各々の洗浄液吸引配管を通して吸引された洗浄液を別々に簡便かつ効率良く分離して回収することが可能であり、そのため回収された洗浄液の処理を行いやすく、また必要に応じて再使用することもできる。

前記洗浄槽は、該洗浄槽内の洗浄後の廃液を回収するための廃液回収配管を具備し、該廃液回収配管は前記廃液回収槽に接続され、前記洗浄槽内の洗浄後の廃液は、前記洗浄液吸引配管を通して洗浄液が回収される分離槽とは別の分離槽に回収されるものであるのが好ましい（請求項４）。

このように、前記洗浄槽が、該洗浄槽内の洗浄後の廃液を回収するための廃液回収配管を具備し、該廃液回収配管は前記廃液回収槽に接続され、前記洗浄槽内の洗浄後の廃液が、前記洗浄液吸引配管を通して洗浄液が回収される分離槽とは別の分離槽に回収されるものであれば、前記洗浄槽内の洗浄後の廃液と、前記洗浄液吸引配管を通して吸引回収された洗浄液とが混ざることなく別々に回収することができ、各液を分けて処理することができるので処理が容易になる。

また、前記廃液回収槽は、廃液回収槽内の雰囲気ガスを吸引するためのガス吸引配管を具備しており、前記ポンプにより該ガス吸引配管を通して雰囲気ガスを吸引し前記廃液回収槽内を陰圧に保つとともに、前記洗浄液吸引配管からの洗浄液および／または前記洗浄槽内の洗浄後の廃液を前記廃液回収槽に吸引し、前記廃液回収槽内で気液分離したガスを前記ポンプで吸引するものとすることができる（請求項５）。

このように、前記廃液回収槽が、廃液回収槽内の雰囲気ガスを吸引するためのガス吸引配管を具備し、前記ポンプにより該ガス吸引配管を通して雰囲気ガスを吸引し前記廃液回収槽内を陰圧に保つとともに、前記洗浄液吸引配管からの洗浄液および／または前記洗浄槽内の洗浄後の廃液を前記廃液回収槽に吸引し、前記廃液回収槽内で気液分離したガスを前記ポンプで吸引するものであれば、前記廃液回収槽内のガスの吸引と前記洗浄液吸引配管からの洗浄液および／または前記洗浄槽内の洗浄後の廃液の吸引を同じポンプで同時に行うことができるため、洗浄装置をより少ない要素で構成することができるので簡便であるとともに、効率が良くなる。

このとき、前記廃液回収槽が、内部の洗浄液および廃液の水位を識別できる水位識別手段を具備するものであるのが望ましい（請求項６）。

このように、前記廃液回収槽が、内部の洗浄液および廃液の水位を識別できる水位識別手段を具備するものであれば、廃液回収槽内の液量を容易に監視することが可能であり、オーバーフロー等を防止できる。

また、前記洗浄液供給配管が、該洗浄液供給配管内に残留する洗浄液の有無を識別する残留液識別手段を、前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間に具備するものであるのが好ましい（請求項７）。

このように、前記洗浄液供給配管が、該洗浄液供給配管内に残留する洗浄液の有無を識別する残留液識別手段を、前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間に具備するものであれば、洗浄液供給配管内に残留する洗浄液の有無を確認することができるため、確実に洗浄液供給配管内に洗浄液を残すことなく吸引することが可能である。

前記供給バルブおよび前記吸引バルブを自動制御するシステムを具備するものであるのが好ましい（請求項８）。

このように、前記供給バルブおよび前記吸引バルブを自動制御するシステムを具備するものであれば、各バルブをタイミングよく正確に開閉させ、洗浄液供給配管内に残留する洗浄液の吸引を確実に行うことができる。

また、本発明は、洗浄装置の洗浄液吐出手段から洗浄液供給配管内に残留する洗浄液が垂れ落ちるのを防止する方法であって、前記洗浄液供給配管に設けられた供給バルブを閉じると同時または閉じた後に、前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間の前記洗浄液供給配管に接続された洗浄液吸引配管に設けられた吸引バルブを開き、前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間の前記洗浄液供給配管内に残留する洗浄液をポンプにより前記洗浄液吸引配管を通して吸引し、洗浄液供給停止後に前記洗浄液吐出手段から前記残留する洗浄液が垂れ落ちるのを防止することを特徴とする洗浄液垂れ落ち防止方法を提供する（請求項９）。

このような洗浄液垂れ落ち防止方法であれば、供給バルブを閉じて洗浄液の供給を停止した後、供給バルブと洗浄液吐出手段との間の洗浄液供給配管内に残留する洗浄液を吸引して残らないようにすることができるため、洗浄液の供給停止後に洗浄液吐出手段から洗浄液が垂れ落ちるのを確実に防止することが可能である。従って、被洗浄基板に洗浄液が垂れ落ちて汚染したり、乾燥斑を発生させることもなく、洗浄工程における歩留りを向上することができる。

本発明の洗浄装置および洗浄液垂れ落ち防止方法であれば、洗浄液の供給停止後、洗浄液を供給する配管内に残留する洗浄液が洗浄液吐出手段から垂れ落ちるのを確実に防止することができる。しかも、廃液を確実に分別回収できる利点もある。

以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
被洗浄基板の洗浄装置において、洗浄停止後、洗浄液の供給を停止していても、洗浄液吐出手段から洗浄液供給配管内に残留する洗浄液が垂れ落ちてしまう問題があった。このとき被洗浄基板に洗浄液が垂れ落ちると、基板表面に洗浄汚染、乾燥斑等が発生してしまう。

このような洗浄液の垂れ落ちを防ぐため、従来では洗浄液吐出手段近傍の洗浄液の供給配管にバルブを設ける方法がとられていたが、特に洗浄液内に気泡が多い洗浄液を用いた場合、或いは洗浄液吐出手段の吐出口が角度を持ったテーパー状または吐出口の口径が大きい場合では、上記バルブを閉じただけでは供給停止後の一時的な洗浄液の垂れ落ちに対応することができても、時間が経過すると液垂れが発生してしまい、完全には垂れ落ちを防ぐことはできなかった。

そこで、本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、供給バルブを閉じて洗浄液の供給を停止し、吸引バルブを開けて、供給バルブと洗浄液吐出手段との間の洗浄液供給配管内に残留する洗浄液を、供給バルブと洗浄液吐出手段との間の洗浄液供給配管に接続された洗浄液吸引配管を通してポンプで吸引して排出することにより、洗浄液吐出手段から洗浄液が垂れ落ちるのを確実に防止できることを見出し、本発明を完成させた。

以下では、本発明の実施の形態について図を用いて具体的に説明をする。
図１は、本発明の洗浄装置の一例を示す概略説明図である。図１に示す洗浄装置１は、洗浄槽７、廃液回収槽９を備えており、少なくとも、洗浄液供給配管２（１０２、２０２、３０２）、供給バルブ３（１０３、２０３、３０３）、洗浄液吐出手段４（１０４、２０４、３０４）、洗浄液吸引配管５（１０５、２０５、３０５）、吸引バルブ６（１０６、２０６、３０６）、ポンプ１３を具備している。

まず、洗浄装置１の全体構造について述べる。洗浄液供給装置１６は洗浄液供給配管２と接続されており、該洗浄液供給配管２には供給バルブ３が設けられ、さらに洗浄液供給配管２の先端には洗浄液吐出手段４が配設されている。供給バルブ３の開閉により洗浄液供給装置１６からの洗浄液の供給および供給停止を行うことができ、洗浄液吐出手段４から洗浄液を被洗浄基板１７に吐出して洗浄することができる。また、洗浄槽７が配置されており、被洗浄基板１７の洗浄は洗浄槽７内で行われる。

そして、供給バルブ３と洗浄液吐出手段４の間の洗浄液供給配管２には洗浄液吸引配管５が接続されており、該洗浄液吸引配管５は吸引バルブ６を経て、廃液回収槽９につながっている。廃液回収槽９にはガス吸引配管１２が設けられ、ポンプ１３につながっており、ポンプ１３を作動させて吸引バルブ６を開けることにより、洗浄液吸引配管５を通して廃液回収槽９に洗浄液を吸引することができる。

上記のような本発明の洗浄装置１であれば、供給バルブ３を閉とし、洗浄液の供給を停止した後に、供給バルブ３と洗浄液吐出手段４との間の洗浄液供給配管２内に残留している洗浄液を、洗浄液吸引配管５を通して残らず吸引することができるため、前記洗浄液供給配管２内に残留している洗浄液が洗浄液吐出手段４から垂れ落ちるのを確実に防止することが可能である。
そして、洗浄液の垂れ落ちを防止できることから、被洗浄基板１７に対する洗浄汚染や乾燥斑の発生を防ぎ、洗浄工程における歩留りを向上することが可能である。

そして、供給バルブ３と洗浄液吐出手段４との間の洗浄液供給配管２には、該洗浄液供給配管２内に残留する洗浄液の有無を識別することのできる残留液識別手段１５が配設されている。残留液識別手段１５は、洗浄液吐出手段４に近い位置に設けられているとより良い。この残留液識別手段１５は特に限定されるものではなく、センサ等、洗浄液供給配管２内部に残留する洗浄液の有無を確認できるものであれば良い。例えば光源とディテクターを洗浄液供給配管２の脇に配置し、また配管の一部を光が透過できるようにして、光源から光を洗浄液供給配管２内に照射し、ディテクターの受光量から洗浄液の有無を判断するものがあげられる。

このような残留液識別手段１５によって、供給バルブ３と洗浄液吐出手段４との間の洗浄液供給配管２内に残留する洗浄液の有無を確認することができるので、確実に洗浄液供給配管２から洗浄液を残すことなく吸引することが可能である。

また、供給バルブ３および吸引バルブ６は、コンピュータ１８とつながっており、バルブ３、６の開閉の制御を自動で行うことができるシステムになっている。このようなシステムにより、洗浄液の供給や停止およびこれらの吸引時にタイミング良く正確にバルブ３、６を開閉することができる。このため、洗浄液吐出手段４に洗浄液を供給するとともに、洗浄液の供給停止後に、洗浄液供給配管２内に残留する洗浄液の吸引を確実に行うことが可能である。

次に、洗浄液供給配管２、供給バルブ３、洗浄液吐出手段４、洗浄液吸引配管５、吸引バルブ６は図１に示すように、洗浄液ごとに別々に配設されており、各洗浄液吸引配管５は廃液回収槽９に接続されている。特に洗浄液の回収の際に分ける必要がなければ、各洗浄液吸引配管５を連結し、吸引された各洗浄液を混ぜて廃液回収槽９にまとめて回収しても良いが、それぞれ別に配設することで、廃液回収槽９に洗浄液ごとに分けて回収することが可能である。

なお、上記のように各洗浄液ごとに廃液回収槽９に回収した場合、廃液回収槽９内を分離して各洗浄液吸引配管５と同数以上の分離槽１０（１１０、２１０、３１０、４１０）を設け、各分離槽１０ごとに排出配管１１を備えることにより、洗浄液ごとに排出し、回収することができる。廃液回収槽９内の分離の仕方は特に限定されないが、例えばついたて１９を用いて分離すれば簡便である。このように洗浄液を別々に簡便かつ効率よく回収でき、このため洗浄液の後処理がしやすく、また、吸引した洗浄液は、使用していないので再使用することも可能である。このとき、分離槽１０中の洗浄液が同じものであれば、例えば排出配管１１を連結してまとめて廃液回収槽９から排出・回収できるようにすることもできる。

また、この廃液回収槽９は洗浄槽７と廃液回収配管８を通してつながっており、被洗浄基板１７の洗浄に使用し、洗浄槽７の底に溜まった廃液を回収することができる。このとき、洗浄液吸引配管５を通して洗浄液が回収される分離槽１１０、２１０、３１０とは別の分離槽４１０に、洗浄槽７内の廃液が回収されるように構成されている。
このため、洗浄液吸引配管５を通して回収される未使用の洗浄液と混ざることなく、洗浄槽７内の廃液を回収することができ、別々に処理することができる。

さらに、上記したように廃液回収槽９にはガス吸引配管１２が具備されており、ポンプ１３により廃液回収槽９内の雰囲気ガスを吸引することができる。これにより、廃液回収槽９内を陰圧に保つとともに、洗浄液吸引配管５からの洗浄液および／または洗浄槽７内の洗浄後の廃液を廃液回収槽９内に吸引し、廃液回収槽９内で気液分離したガスをポンプで吸引することが可能である。また、廃液回収槽９内の圧力を監視することができるように圧力計１４を配設している。
このように、上記の洗浄液および／または廃液の吸引と、気液分離したガスの吸引を同じポンプ１３を作動させて行うことができるため、洗浄装置１の構成が簡単になり、また効率的である。なお、このとき廃液回収槽９内の圧力は、大気圧に対して−３０Ｐａ以上であると好ましい。
また、ポンプを複数設けることにより、上記のガスと、洗浄液および／または廃液の吸引を異なるポンプでそれぞれ別個に行っても良い。

また、廃液回収槽９は、内部の洗浄液および廃液の水位を識別できる水位識別手段２０を具備している。例えば浮子やオリフィス等のセンサを用いることができるが、特に限定されない。
このような水位識別手段２０により、廃液回収槽９内の液量を容易に監視することができる。また、例えばこの水位識別手段２０を用いたシステムを組み、排出配管１１から排水するタイミングを設定し、オーバーフローして、例えばガス吸引配管１２に、廃液回収槽９内に回収された洗浄液および廃液が入り込むのを防止することが可能である。

本発明の洗浄装置１は、上記のように、少なくとも洗浄液供給配管２、供給バルブ３、洗浄液吐出手段４、洗浄液吸引配管５、吸引バルブ６、ポンプ１３を具備し、洗浄液の供給停止後に供給バルブ３と洗浄液吐出手段４との間の洗浄液供給配管２内に残留する洗浄液を洗浄液吸引配管５を通して吸引することができればよく、他の各部については例えば従来の洗浄装置と同じものを用いることが可能である。また、上記の洗浄液吐出手段４等も特に限定されるものではなく、例えば、テーパー状の先端を有する超音波ノズルや、配管形状のままのものとすることができる。洗浄液供給配管２や洗浄液吸引配管５なども、洗浄液を供給および吸引することができるものであればよく、材質等特に限定されるものではなく、使用洗浄液の種類等に応じて適切なものを用いることができる。
さらに、図１に示す例では、洗浄液供給配管２等、３系統のラインを設けた洗浄液について説明したが、当然１系統でも良いし、４系統以上のより多くの系統のものであっても構わない。

次に、図１に示すこのような本発明の洗浄装置１を用い、被洗浄基板１７に洗浄液を吐出して洗浄し、洗浄液の供給停止後の洗浄液の垂れ落ちを防止する方法について述べる。
洗浄槽７内において、例えばそれぞれ異なる３種の洗浄液１２１、２２１、３２１を順次に洗浄液供給配管２を通して、被洗浄基板１７の表面に吐出する。
まず、洗浄液１２１の場合について述べる。バルブ３、６を自動制御するコンピュータ１８からの供給信号に従い、供給バルブ１０３を開き、洗浄液供給配管１０２を通して洗浄液吐出手段１０４から被洗浄基板１７に洗浄液１２１を吐出して洗浄を行う。このとき、洗浄液供給配管１０２から分岐されている洗浄液吸引配管１０５に設けられた吸引バルブ１０６は閉じている。

次に洗浄液１２１による洗浄を停止するため、コンピュータ１８からの供給停止信号に従い、供給バルブ１０３を閉じ、供給バルブ１０３を閉じると同時または閉じて一定時間後に吸引バルブ１０６を開ける。
ここで、供給バルブ１０３と洗浄液吐出手段１０４との間の洗浄液供給配管１０２内に残留する洗浄液１２１は、洗浄液吸引配管１０５を通してポンプ１３で吸引される。
これと同時に、又は一定時間後に供給バルブ２０３を開け、洗浄液２２１を被洗浄基板１７の表面に吐出して洗浄する。このとき、洗浄液供給配管２０２から分岐されている洗浄液吸引配管２０５に設けられた吸引バルブ２０６は閉じている。

上記の工程を繰り返しながら、各洗浄液１２１、２２１、３２１を供給するとともに、供給バルブ３と洗浄液吐出手段４との間の洗浄液供給配管２内に残留する各洗浄液１２１、２２１、３２１を吸引する。

このような本発明の洗浄液垂れ落ち防止方法によって、洗浄液の供給停止後に、上記供給バルブ３と洗浄液吐出手段４との間の洗浄液供給配管２内の洗浄液を洗浄液吸引配管５を通して吸引して残らないようにすることができ、洗浄液吐出手段４から洗浄液が垂れ落ちるのを確実に防止することが可能である。このため、洗浄後に洗浄液が基板上に垂れ落ちて、例えば被洗浄基板１７の表面が汚染されたり、乾燥斑を発生させることがない。従って、洗浄工程における歩留りを向上することが可能である。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

本発明の洗浄装置の一例を示す概略説明図である。

符号の説明

１…本発明の洗浄装置、
２、１０２、２０２、３０２…洗浄液供給配管、
３、１０３、２０３、３０３…供給バルブ、
４、１０４、２０４、３０４…洗浄液吐出手段、
５、１０５、２０５、３０５…洗浄液吸引配管、
６、１０６、２０６、３０６…吸引バルブ、
７…洗浄槽、 ８…廃液回収配管、 ９…廃液回収槽、
１０、１１０、２１０、３１０、４１０…分離槽、
１１…排出配管、 １２…ガス吸引配管、 １３…ポンプ、
１４…圧力計、 １５…残留液識別手段、 １６…洗浄液供給装置、
１７…被洗浄基板、 １８…コンピュータ、 １９…ついたて、
２０…水位識別手段、
１２１、２２１、３２１…洗浄液。

Claims (9)

1. 被洗浄基板を洗浄するための洗浄槽と、該洗浄槽内の洗浄後の廃液を回収するための廃液回収槽を備え、前記洗浄槽内で被洗浄基板に洗浄液を吐出して洗浄する洗浄装置であって、少なくとも、洗浄液を供給する洗浄液供給配管と、該洗浄液供給配管の先端に設けられ、被洗浄基板に洗浄液を吐出する洗浄液吐出手段と、前記洗浄液供給配管に設けられ、前記洗浄液吐出手段から吐出する洗浄液の供給および供給停止を切り替える供給バルブと、一端が前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間の洗浄液供給配管に接続され、該洗浄液供給配管内に残留する洗浄液を吸引する洗浄液吸引配管と、該洗浄液吸引配管に設けられ、前記洗浄液吸引配管による洗浄液の吸引および吸引停止を切り替える吸引バルブと、前記洗浄液を吸引するためのポンプを具備し、前記供給バルブと吸引バルブを切り替え、前記供給バルブを閉とした時に、前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間の前記洗浄液供給配管内に残留する洗浄液を前記ポンプにより前記洗浄液吸引配管を通して吸引し、前記洗浄液吐出手段から前記残留する洗浄液が垂れ落ちるのを防止するものであることを特徴とする洗浄装置。
2. 前記洗浄液供給配管、供給バルブ、洗浄液吐出手段、洗浄液吸引配管、吸引バルブは、使用する洗浄液ごとに別々に配設されており、各洗浄液吸引配管は前記廃液回収槽に接続されており、該廃液回収槽は前記洗浄液吸引配管を通して吸引された洗浄液を、洗浄液ごとに分離回収可能なものであることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
3. 前記廃液回収槽は、内部についたてを有し、前記洗浄液ごとに配設された洗浄液吸引配管と同数以上の分離槽を設け、該分離槽ごとに分離槽中の液を排出するための排出配管を備えているものであることを特徴とする請求項２に記載の洗浄装置。
4. 前記洗浄槽は、該洗浄槽内の洗浄後の廃液を回収するための廃液回収配管を具備し、該廃液回収配管は前記廃液回収槽に接続され、前記洗浄槽内の洗浄後の廃液は、前記洗浄液吸引配管を通して洗浄液が回収される分離槽とは別の分離槽に回収されるものであることを特徴とする請求項２または３に記載の洗浄装置。
5. 前記廃液回収槽は、廃液回収槽内の雰囲気ガスを吸引するためのガス吸引配管を具備しており、前記ポンプにより該ガス吸引配管を通して雰囲気ガスを吸引し前記廃液回収槽内を陰圧に保つとともに、前記洗浄液吸引配管からの洗浄液および／または前記洗浄槽内の洗浄後の廃液を前記廃液回収槽に吸引し、前記廃液回収槽内で気液分離したガスを前記ポンプで吸引するものであることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の洗浄装置。
6. 前記廃液回収槽が、内部の洗浄液および廃液の水位を識別できる水位識別手段を具備するものであることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の洗浄装置。
7. 前記洗浄液供給配管が、該洗浄液供給配管内に残留する洗浄液の有無を識別する残留液識別手段を、前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間に具備するものであることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の洗浄装置。
8. 前記供給バルブおよび前記吸引バルブを自動制御するシステムを具備するものであることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の洗浄装置。
9. 洗浄装置の洗浄液吐出手段から洗浄液供給配管内に残留する洗浄液が垂れ落ちるのを防止する方法であって、前記洗浄液供給配管に設けられた供給バルブを閉じると同時または閉じた後に、前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間の前記洗浄液供給配管に接続された洗浄液吸引配管に設けられた吸引バルブを開き、前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間の前記洗浄液供給配管内に残留する洗浄液をポンプにより前記洗浄液吸引配管を通して吸引し、洗浄液供給停止後に前記洗浄液吐出手段から前記残留する洗浄液が垂れ落ちるのを防止することを特徴とする洗浄液垂れ落ち防止方法。

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