TW202120439A - 廢棄液處理裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題係在於提供將在加工裝置的加工區域所產生的噴霧進行再利用，使經濟性提升之廢棄液處理裝置。 用以解決課題之手段為，一種廢棄液處理裝置，係將自加工裝置排出的廢棄液精製，其特徵為包含：收容加工裝置排出的廢棄液之廢棄液收容槽；將配設有加工單元的加工區域之空氣與噴霧一同吸引之噴霧用水封式泵浦；將噴霧用水封式泵浦所吸引的噴霧回收並作為廢棄液儲存之密閉水儲存槽；將儲存於密閉水儲存槽的廢棄液及廢棄液收容槽的廢棄液進行過濾，精製成清水之廢棄液過濾單元；儲存藉由廢棄液過濾單元過濾後之清水的清水儲存槽；將儲存於清水儲存槽的清水精製成純水的純水精製單元；及將藉由純水精製單元所精製的純水調整成預定溫度之溫度調整單元。

Description

廢棄液處理裝置
本發明係關於精製加工裝置所排出的廢棄液之廢棄液處理裝置。
藉由IC、LSI等的複數個裝置交叉的複數個分割預定線所區劃而形成於表面之晶圓，係背面藉由研削裝置進行研削，形成預定的厚度後，再藉由切塊裝置，分割成個別的裝置晶片，被分割的裝置晶片利用於行動電話、電腦等的電氣機器。
研削裝置、切塊裝置等的加工裝置，多數利用純水作為加工水。由於將使用於加工的加工水直接廢棄的話，經濟性差，故，本案申請人提案有廢棄液處理裝置，其將自加工裝置排出之使用完畢的加工廢棄液精製，再生成加工水，並將其循環而再利用加工水(參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2009-190128號公報
[發明所欲解決之問題]
若依據專利文獻1所記載的發明，由於將在加工裝置作為加工水使用之廢棄液回收並再生，再次使用於加工裝置，故，比起將廢棄液廢棄的情況，有改善經濟性差的問題點。但，例如切塊裝置這種藉由切削單元將晶圓進行切削加工之加工裝置，對切削刀片將晶圓切斷的被加工部噴射加工水而形成霧狀，該噴霧飄散於加工區域。在以往，此噴霧從該加工區域直接強制排出至外部，因此，循環於加工裝置與廢棄液處理裝置之加工水會與加工裝置的運轉一同減少，產生需要補充加工水，經濟性變差。
因此，本發明的目的係在於提供將在加工裝置的加工區域所產生的噴霧進行再利用，使經濟性提升之廢棄液處理裝置。 [解決問題之技術手段]
依據本發明，一種廢棄液處理裝置，係將自加工裝置排出的廢棄液精製，其特徵為包含：收容該加工裝置排出的廢棄液之廢棄液收容槽；將配設有加工單元的加工區域之空氣與噴霧一同吸引之噴霧用水封式泵浦；將該噴霧用水封式泵浦所吸引的噴霧回收並作為廢棄液儲存之密閉水儲存槽；將儲存於該密閉水儲存槽的廢棄液及該廢棄液收容槽的廢棄液進行過濾，精製成清水之廢棄液過濾單元；儲存藉由該廢棄液過濾單元過濾後之清水的清水儲存槽；將儲存於該清水儲存槽的清水精製成純水的純水精製單元；及將藉由該純水精製單元所精製的純水調整成預定溫度之溫度調整單元，將調整成預定溫度的該純水供給至該加工裝置。
理想為該廢棄液收容槽與該密閉水儲存槽係經由堰而相鄰配設，儲存於該密閉水儲存槽的廢棄液越過該堰而流入到該廢棄液收容槽側，儲存於該密閉水儲存槽的廢棄液經由該溫度調整單元供給至該噴霧用水封式泵浦，使用於冷卻及該噴霧用水封式泵浦的運轉。
理想為該溫度調整單元係由冷卻液體的液體冷卻部、使已被冷卻的液體循環之循環路徑及配設於該循環路徑的熱交換器所構成，供給至該噴霧用水封式泵浦的廢棄液係藉由該熱交換器進行溫度調整。 [發明效果]
若依據本發明，因調整成預定溫度的純水供給至該加工裝置，所以，構成加工區域的噴霧之廢棄液也進行循環並再利用，可消除噴霧被排出外部而造成經濟性差的問題。
以下，一邊參照圖面，一邊詳細地說明關於本發明實施形態的廢棄液處理裝置。
在圖1，顯示包含依據本實施形態所構成的廢棄液處理裝置1和加工裝置N的加工水循環系統之例子。加工裝置N係為例如切塊裝置，具備作為加工單元之切削單元N1，將保持於夾台N3的被加工物例如半導體晶圓(未圖示)朝位於以箭號X1所示的方向之加工區域N2搬運，藉由切削單元N1進行切削。當在加工區域N2切削晶圓時，對切削部位，由切削單元N1供給加工水，含有切削屑的加工水作為廢棄液流動，從廢棄液排出口N4排出該廢棄液。從廢棄液排出口N4排出的廢棄液經由配管101，暫時回收儲存在廢棄液儲存部20。儲存於廢棄液儲存部20的廢棄液，藉由設在廢棄液儲存部20的輸送泵浦22，經由廢棄液排出路徑102輸送至廢棄液處理裝置1，在廢棄液處理裝置1進行精製並再生成純水，再經由加工水供給路徑105對加工裝置N供給而再利用。
在加工裝置N的加工區域N2，設有面臨加工區域N2的噴霧吸引口N5，從切削單元N1供給至切削部位的霧狀化的加工水之噴霧係從噴霧吸引口N5朝以箭號R1所示的方向被吸引。從噴霧吸引口N5吸引的噴霧自噴霧排出口N6排出，經由噴霧排出路徑104送至廢棄液處理裝置1。被送至廢棄液處理裝置1的噴霧作為廢棄液回收並儲存，使用於後述的噴霧用水封式泵浦的運轉，並且藉由廢棄液處理裝置1精製成純水，再對加工裝置N供給並再利用。
圖2係顯示本實施形態的廢棄液處理裝置1的全體概略之斜視圖，通常時朝上方取下覆蓋廢棄液處理裝置1全體之蓋構件1a，顯示將各部間連通的配管適宜省略之狀態。又，圖3係為了說明圖1所示的加工水的循環系統之詳細內容，而將如圖2所示的廢棄液處理裝置1分解之狀態下進行顯示，將圖2中省略之連通各部的配管也一併顯示。
如圖2所示，廢棄液處理裝置1係具備：將加工裝置N所排出的廢棄液暫時收容之廢棄液收容槽2a；用來從前述加工裝置N的加工區域N2，將空氣與噴霧一同吸引之噴霧用水封式泵浦3；將噴霧用水封式泵浦3所吸引的噴霧回收，並作為廢棄液加以儲存之密閉水儲存槽2b；將廢棄液收容槽2a的廢棄液與儲存於密閉水儲存槽2b的廢棄液進行過濾並精製成清水之廢棄液過濾單元4；儲存藉由廢棄液過濾單元4所過濾的清水之清水儲存槽5；將儲存於清水儲存槽5的清水精製成純水之純水精製單元6；及將藉由純水精製單元6所精製的純水調整成預定溫度之溫度調整單元8。且，本實施形態的廢棄液處理裝置1，除了前述結構，還具備吸引在廢棄液過濾單元4所產生的泡沫之泡沫用水封式泵浦9。
在本實施形態，前述廢棄液收容槽2a與密閉水儲存槽2b經由堰2c而相鄰並一體地構成儲存槽2，儲存於密閉水儲存槽2b的廢棄液係可越過堰2c而流入至廢棄液收容槽2a側，若儲存於密閉水儲存槽2b的廢棄液增加的話，則越過堰2c而朝廢棄液收容槽2a側流出，並供給至廢棄液過濾單元4。儲存於密閉水儲存槽2b之廢棄液，經由溫度調整單元8而輸送至噴霧用水封式泵浦3，將噴霧用水封式泵浦3冷卻，並且作為使噴霧用水封式泵浦3運轉的密閉水使用。
廢棄液處理裝置1係在蓋構件1a的全面具備顯示監視器10a，並具備控制廢棄液處理裝置1的各作動部之控制單元10。顯示監視器10a係具備觸控面板功能，顯示加工條件、加工狀況，並且亦使用於加工條件的輸入等。以下，亦參照圖3，說明關於本實施形態的廢棄液處理裝置1的動作。
藉由操作員對加工裝置N的控制單元(未圖示)、及廢棄液處理裝置1的控制單元10，指示作動開始，使得加工裝置N、及廢棄液處理裝置1開始作動。當加工裝置N開始作動，對晶圓之切削加工開始進行時，如前述記載，在加工區域N2，對加工部位，由切削單元N1供給加工水，該加工水成為含有切削屑等的廢棄液，從廢棄液排出口N4排出。從廢棄液排出口N4排出的廢棄液暫時儲存在廢棄液儲存部20。
儲存在廢棄液儲存部20的廢棄液係藉由輸送泵浦22的作動，經由廢棄液排出路徑102輸送至廢棄液處理裝置1。被送至廢棄液處理裝置1之廢棄液係收容於廢棄液收容槽2a。收容於廢棄液收容槽2a之廢棄液，藉由輸送泵浦2e的作動，經由配管106輸送至廢棄液過濾單元4。再者，當廢棄液收容槽2a內的廢棄液變少時，會從廢棄液儲存部20適當導入廢棄液。廢棄液過濾單元4係具備第1過濾器4a和第2過濾器4b，第1過濾器4a及第2過濾器4b係設在清水接收盤4c上。
在將輸送泵浦2e與第1過濾器4a及第2過濾器4b連接的配管106上，配設有電磁開關閥42。如圖所示，在電磁開關閥42為OFF，藉由彈簧朝左側(1側)彈推的情況，藉由輸送泵浦2e所輸送的廢棄液導入至第1過濾器4a，當將電磁開關閥42通電(ON)，朝右側(0側)彈推時，藉由輸送泵浦2e所輸送的廢棄液導入至第2過濾器4b。導入到第1過濾器4a或第2過濾器4b的廢棄液，係混入於廢棄液中的切削屑等被過濾而精製成清水，朝清水接收盤4c流出。
雖未圖示，在配管106上，連接有壓力計，其連接於控制單元10，該壓力計監視配管106內的壓力。當廢棄液的過濾藉由一方的過濾器持續實施時，切削屑等堆積於過濾器而最終會引起堵塞，造成該壓力計的壓力上升。檢測到此狀態的控制單元10，會判斷所連接的該一方的過濾器未充分地發揮功能，在控制單元10的顯示監視器10a，進行指示該一方的過濾器的更換之顯示，並且切換前述電磁開關閥42的位置，將該廢棄液的流動朝未引起堵塞的另一方的過濾器進行切換。藉此，操作員可依據控制單元10的指示，實施已引起堵塞之側的過濾器的更換。
藉由第1過濾器4a或第2過濾器4b所過濾並流出到清水接收盤4c的清水，經由連接於形成在清水接收盤4c的排出孔4d之配管107，朝清水儲存槽5排出並儲存。儲存於清水儲存槽5的清水，藉由輸送泵浦5a適宜輸送，經由配管108送至純水生成手段6。
本實施形態之純水生成手段6，係具備：支承台6a；立設於支承台6a的深部側之紫外線照射單元6b；配置於正前方側且內置有離子交換樹脂之第1離子交換單元6c及第2離子交換單元6d；與紫外線照射單元6b相鄰配設之精密過濾器6e；將紫外線照射單元6b及精密過濾器6e側和第1離子交換單元6c及第2離子交換單元6d側區隔之區隔板6f。
藉由輸送泵浦5a輸送並經由配管108所送來的清水，首先，導入至紫外線照射單元6b，對被導入的清水照射紫外線(UV)進行殺菌。在紫外線照射單元6b實施了殺菌處理之清水，經由配管109導入至第1離子交換單元6c或第2離子交換單元6d。在配管109，配設有電磁開關閥62。在電磁開關閥62為OFF，藉由彈簧朝左側(1側)彈推的情況，藉由輸送泵浦5a所輸送的清水導入至第1離子交換單元6c，當將電磁開關閥62通電(ON)，朝右側(0側)彈推時，藉由輸送泵浦5a所輸送的清水導入至第2離子交換單元6d。
導入到第1離子交換單元6c或第2離子交換單元6d之清水係離子被交換而精製成純水。如此，在清水進行離子交換而精製的純水，會有構成第1離子交換單元6c及第2離子交換單元6d之離子交換樹脂的樹脂屑等的細微的物質混入的情況。因此，在本實施形態，如前述般，將藉由第1離子交換單元6c及第2離子交換單元6d使清水離子交換而精製的純水經由配管110而導入到精密過濾器6e，再藉由此精密過濾器6e捕捉混入到純水中的離子交換樹脂的樹脂屑等之細微的物質，成為可作為加工水再使用之狀態。
在配管110，配設有檢測從第1離子交換單元6c或第2離子交換單元6d輸送至精密過濾器6e的純水的壓力之未圖示的壓力檢測單元，此壓力檢測單元的檢測訊號傳送至控制單元10。若來自於該壓力檢測單元的檢測訊號到達預定壓力值以上的話，則控制單元10判斷為樹脂屑等的細微物質堆積於精密過濾器6e而喪失作為過濾器的功能，顯示於設在控制單元10的顯示監視器10a上，操作員可更換精密過濾器。且，雖未圖示，以與前述壓力檢測單元平行的方式，配置有檢測流動於配管110內的純水的電阻係數之電阻係數計。藉此，檢測出各離子交換單元的離子交換樹脂之狀態，能對操作員，指示進行離子交換樹脂的更換。
藉由前述純水生成手段6所生成的加工水係藉由配設於加工水供給路徑105上的泵浦P的作用，經由配管111，導入至構成溫度調整單元8之熱交換器8b。溫度調整單元8係具備用來冷卻液體的液體冷卻部8a、和使在液體冷卻部8a被冷卻的液體(冷卻液)循環之循環路徑81、82，熱交換器8b係配設於循環路徑81、82上。導入到熱交換器8b的加工水係藉由循環於循環路徑81、82的冷卻液，當使用於加工裝置1時調整成適當的22~23℃程度的溫度，再經由加工水供給路徑105供給至加工裝置N。
在本實施形態，如前述記載，具備有將加工裝置N之配設有切削單元N1的加工區域N2的空氣與噴霧一同吸引之噴霧用水封式泵浦3。噴霧用水封式泵浦3係具備：吸引孔3a、和排出孔3b。在噴霧用水封式泵浦3的吸引孔3a，經由噴霧排出路徑104，導入自加工裝置N的加工區域N2所吸引的噴霧、和儲存於密閉水儲存槽2b之廢棄液。儲存於密閉水儲存槽2b之廢棄液，係藉由配設於密閉水儲存槽2b之輸送泵浦2d的作用，經由配管112、構成溫度調整單元8之熱交換器8c、及配管113被導入，作為使噴霧用水封式泵浦3運轉的密閉水(一點鏈線所示)使用。熱交換器8c係配設於供在液體冷卻部8a被冷卻的液體(冷卻液)循環的循環路徑83、84上，導入到熱交換器8c的廢棄液係藉由循環於循環路徑83、84的冷卻液，與前述熱交換器8b同樣地調整成22~23℃程度的溫度，再經由配管113供給至噴霧用水封式泵浦3。導入到噴霧用水封式泵浦3的噴霧係藉由導入到噴霧用水封式泵浦3而作為密閉水被供給的廢棄液冷卻，並且與導入到吸引孔3a的空氣分離，和作為密閉水來使用於噴霧用水封式泵浦3的運轉之廢棄液聚集而從排出孔3b排出，經由配管114返回至密閉水儲存槽2b並儲存。
送至密閉水儲存槽2b並被儲存的廢棄液，再次輸送至噴霧用水封式泵浦3，使用於噴霧用水封式泵浦3的運轉，循環於密閉水儲存槽2b與噴霧用水封式泵浦3。在此，由於返回至密閉水儲存槽2b並被儲存的廢棄液係含有將自加工裝置N的加工區域N2吸引的噴霧分離而回收之廢棄液，故會逐漸增加。在本實施形態，廢棄液收容槽2a與密閉水儲存槽2b係藉由經由堰2c而相鄰配置來構成儲存槽2，在儲存於密閉水儲存槽2b的廢棄液因從該噴霧分離的廢棄液增加而超過預訂量的情況，則可越過堰2c而流入至廢棄液收容槽2a側，如前述記載，收容於廢棄液收容槽2a的廢棄液依次作為加工水被精製。在本實施形態，藉由具備前述結構，噴霧被作為廢棄液確實地回收，已回收的廢棄液係作為用來將噴霧作為廢棄液進行回收的密閉水反復利用，並且，精製成純水而利用來作為加工水，可消除經濟性差的問題。
在本實施形態的廢棄液處理裝置1，還可具備用來吸引在廢棄液過濾單元4所產生的泡沫之泡沫用水封式泵浦9。在構成包含使用加工水的加工裝置N之加工水的循環系統的情況，如圖3所示，為了使切削屑等不易附著於被加工物，在對加工裝置N供給加工水之加工水供給路徑105上，配設具備界面活性劑儲存槽L1及調節閥L2之界面活性劑供給單元L，對加工水導入微量的界面活性劑。
如前述記載，若對加工水導入界面活性劑，使廢棄液處理裝置1運轉的話，則在廢棄液處理裝置1的內部，尤其是藉由使廢棄液通過細微的過濾器進行過濾的廢棄液過濾單元4，容易產生泡沫，會有該泡沫漏出至外部的問題產生的情況。本實施形態之泡沫用水封式泵浦9係為了因應此問題而設置者，以下說明關於其作用。
在構成廢棄液過濾單元4之清水接收盤4c，配設有用來吸引已經產生的泡沫之泡沫吸引口24。泡沫吸引口24係如將清水接收盤4c的一部分朝圖中上方放大顯示，在較流出至清水接收盤4c的清水W之液面Wa到達的位置若干高的位置，配置成與在液面Wa上產生之如圖中的B所示的泡沫，下面側的開口部擴大之呈所謂的喇叭狀。
泡沫用水封式泵浦9係具備：吸引孔9a、和排出孔9b。在泡沫用水封式泵浦9的吸引孔9a，將經由泡沫排出路徑115而從清水接收盤4c經由泡沫吸引口24所吸引的泡沫、和儲存於前述密閉水儲存槽2b之廢棄液導入。導入至泡沫用水封式泵浦9的廢棄液，係藉由配設於密閉水儲存槽2b之輸送泵浦2d的作用，經由配管112、構成溫度調整單元8之熱交換器8c、及從配管113分歧配設之配管116被導入，並調整成預定溫度的狀態下，作為使泡沫用水封式泵浦9冷卻並且進行運轉的密閉水使用。
再者，在本實施形態，泡沫吸引口24係不僅在前述廢棄液過濾單元4的清水接收盤4c，亦配設於廢棄液儲存部20、廢棄液收容槽2a、密閉水儲存槽2b、及清水儲存槽5，設置於廢棄液儲存部20之泡沫吸引口24係經由配管103，設置於廢棄液收容槽2a之泡沫吸引口24係經由配管117，設置於密閉水儲存槽2b之泡沫吸引口24係經由配管118，設置於清水儲存槽5之泡沫吸引口24係經由配管119，連接於泡沫用水封式泵浦9的泡沫吸引孔9a。
若在泡沫用水封式泵浦9，經由泡沫吸引口24、各配管及泡沫吸引孔9a，吸引了泡沫的話，則在作為泡沫用水封式泵浦9的密閉水使用的廢棄液，該泡沫的成分會成為液體而被吸收，從泡沫用水封式泵浦9的排出孔9b，與廢棄液一同被排出，再經由配管120返回到密閉水儲存槽2b並儲存。如前述記載，泡沫的成分與作為密閉水被利用的廢棄液一同儲存於密閉水儲存槽2b，在超過預定量的情況，可越過堰2c而流入至廢棄液收容槽2a側，如前述記載，收容於廢棄液收容槽2a的廢棄液被依次過濾，精製成純水。再者，泡沫吸引口24係不需要設置於前述廢棄液儲存部20、廢棄液收容槽2a、密閉水儲存槽2b、及清水儲存槽5這些所有的構件，可因應泡沫的產生狀況，適宜選擇性設置即可。
在本實施形態，如前述記載，藉由具備泡沫用水封式泵浦9，可將自廢棄液產生的泡沫與廢棄液一同確實地被回收，可消除從廢棄液產生的泡沫漏出至外部的問題。又，已被回收的廢棄液可做為用來回收泡沫的泡沫用水封式泵浦9的密閉水反復利用，並且亦可精製成純水而作為加工水被再利用。
若依據本發明，不限於前述實施形態，亦可提供各種的變形例。例如，在前述實施形態，以將本實施形態的廢棄液處理裝置1適用於具備作為加工單元之包含切削刀片的切削單元之切塊裝置為例進行了說明，但，本發明不限於此，亦可適用於使用加工水將被加工物進行加工之其他加工裝置，例如能適用於研削裝置、研磨裝置等。
在前述實施形態，將廢棄液收容槽2a與密閉水儲存槽2b經由堰2c一體地形成儲存槽2，將從密閉水儲存槽2b溢出的廢棄液經由堰2c流出，但，本發明不限於此，亦可藉由不同的槽形成廢棄液收容槽2a與密閉水儲存槽2b，在流入到密閉水儲存槽2b的廢棄液增加的情況，使用適宜的泵浦，輸送至廢棄液收容槽2a。
在前述實施形態，以在1個加工裝置N形成1個加工區域N2，對應加工區域N2僅配設1個噴霧用水封式泵浦3為例進行了說明，但，例如在構築存在有複數個加工區域N2的加工水的循環系統之情況，因應加工區域N2的數量，設置噴霧用水封式泵浦3為佳。
在前述實施形態，藉由泡沫用水封式泵浦9、用來回收泡沫的配管115~120、及針對每個配管配設的泡沫吸引口24，將自廢棄液產生的泡沫回收，但在不需要進行界面活性劑供給的加工水的循環系統之情況，或者，不會有泡沫從廢棄液處理裝置1溢出之虞的情況，亦可省略泡沫用水封式泵浦9、配管115~120、泡沫吸引口24。
1:廢棄液處理裝置 1a:蓋構件 2:儲存槽 2a:廢棄液收容槽 2b:密閉水儲存槽 2c:堰 3:噴霧用水封式泵浦 3a:吸引孔 3b:排出孔 4:廢棄液過濾單元 4a:第1過濾器 4b:第2過濾器 4c:清水接收盤 5:清水儲存槽 5a:輸送泵浦 6:純水生成手段 6b:紫外線照射單元 6c:第1離子交換單元 6d:第2離子交換單元 6e:精密過濾器 8:溫度調整單元 8a:液體冷卻部 8b:熱交換器 8c:熱交換器 9:泡沫用水封式泵浦 9a:吸引孔 9b:排出孔 10:控制單元 10a:顯示監視器 42:電磁開關閥 62:電磁開關閥 102:廢棄液排出路徑 103:泡沫回收路徑 104:噴霧排出路徑 105:加工水供給路徑 106~120:配管 N:切塊裝置(加工裝置) N1:切削單元 N2:加工區域 N3:夾台 N4:廢棄液排出口 N5:噴霧吸引口 N6:噴霧排出口
[圖1]係顯示藉由加工裝置、及廢棄液處理裝置所構成的加工水的循環系統之概略的立體圖。 [圖2]係取下廢棄液處理裝置的蓋構件而顯示內部的概略之立體圖。 [圖3]係為了說明圖1所示的循環系統的作用，將廢棄液處理裝置分解成各部之狀態的斜視圖。
1:廢棄液處理裝置
2:儲存槽
2a:廢棄液收容槽
2b:密閉水儲存槽
2d:輸送泵浦
2e:輸送泵浦
3:噴霧用水封式泵浦
3a:吸引孔
3b:排出孔
4:廢棄液過濾單元
4a:第1過濾器
4b:第2過濾器
4c:清水接收盤
4d:排出孔
5:清水儲存槽
5a:輸送泵浦
6:純水生成手段
6a:支承台
6b:紫外線照射單元
6c:第1離子交換單元
6d:第2離子交換單元
6e:精密過濾器
6f:區隔板
8:溫度調整單元
8a:液體冷卻部
8b:熱交換器
8c:熱交換器
9:泡沫用水封式泵浦
9a:吸引孔
9b:排出孔
20:廢棄液儲存部
22:輸送泵浦
24:泡沫吸引口
42:電磁開關閥
62:電磁開關閥
81,82,83,84:循環路徑
101:配管
102:廢棄液排出路徑
103:泡沫回收路徑
104:噴霧排出路徑
105:加工水供給路徑
106~120:配管
L:界面活性劑供給單元
L1:界面活性劑儲存槽
L2:調節閥
N:切塊裝置(加工裝置)
N1:切削單元
N2:加工區域
N3:夾台
N4:廢棄液排出口
N5:噴霧吸引口
N6:噴霧排出口
P:泵浦
R1:箭號
W:清水
Wa:液面

Claims (3)

  1. 一種廢棄液處理裝置，係精製從加工裝置排出的廢棄液，其特徵為具備: 收容該加工裝置排出的廢棄液之廢棄液收容槽； 將配設有加工單元的加工區域的空氣與噴霧一同吸引之噴霧用水封式泵浦； 將該噴霧用水封式泵浦所吸引的噴霧回收並作為廢棄液進行儲存的密閉水儲存槽； 將儲存於該密閉水儲存槽的廢棄液及該廢棄液收容槽的廢棄液過濾而精製成清水之廢棄液過濾單元； 儲存藉由該廢棄液過濾單元所過濾的清水之清水儲存槽； 將儲存於該清水儲存槽的清水精製成純水之純水精製單元；及 將藉由該純水精製單元所精製的純水調整成預定溫度之溫度調整單元， 將被調整成預定溫度的該純水供給至加工裝置。
  2. 如請求項1所記載之廢棄液處理裝置，其中，該廢棄液收容槽與該密閉水儲存槽係經由堰而相鄰配設，儲存於該密閉水儲存槽的廢棄液越過該堰而流入到該廢棄液收容槽側，儲存於該密閉水儲存槽的廢棄液經由該溫度調整單元供給至該噴霧用水封式泵浦，使用於冷卻及該噴霧用水封式泵浦的運轉。
  3. 如請求項1或2所記載之廢棄液處理裝置，其中，該溫度調整單元係由冷卻液體的液體冷卻部、使已被冷卻的液體循環之循環路徑及配設於該循環路徑的熱交換器所構成，供給至該噴霧用水封式泵浦的廢棄液係藉由該熱交換器進行溫度調整。
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