JP6320244B2 - ミスト収集装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係るミスト収集装置の構成例を示す図である。なお、図1では、実施形態に係るミスト収集装置の使用例も示している。
10 吸引ダクト
20 ファンユニット
30 ミスト除去手段
31 筐体
32 ミスト捕獲部
32a 第1デミスター
32b 第2デミスター
33 排水手段
33b 流出口
33d アスピレータ
33e 水溜部
33f 供給ポンプ
34 冷却手段
100 加工装置
110 加工室
F 気流
L 液体
W 被加工物
Claims (3)
- 加工室内で被加工物に加工水を供給しながら加工を施す加工装置から前記加工室の雰囲気を吸引し、吸引した前記雰囲気からミストを収集するミスト収集装置であって、
前記加工室に連結される吸引ダクトと、前記吸引ダクトを介して前記加工室の雰囲気を吸引し排出するファンユニットと、前記吸引ダクトと前記ファンユニットの間に接続し前記雰囲気中のミストを捕獲して除去するミスト除去手段と、から構成され、
前記ミスト除去手段は、
前記ファンユニットが連結し、前記ファンユニットが発生させる気流の上流側に前記吸引ダクトが連結する筐体と、
前記筐体に収容されるミスト捕獲部と、
前記筐体の下端部の流出口を介して捕獲したミストからなる液体を排水する排水手段と、を備え、
前記ミスト捕獲部は、
前記気流の上流側に第1デミスターと、前記気流の下流側に前記第1デミスターより目の細かい第2デミスターと、を備え、
前記第1デミスターと前記第2デミスターとの間には、通過する気流を冷却する冷却手段が配設されており、
前記ファンユニットを介して排出された清浄エアはクリーンルーム内に排出される、又は前記加工室に戻されることを特徴とするミスト収集装置。 - 前記排水手段は、
前記筐体内の負圧に抗して前記液体を吸引して排出するアスピレータと、
前記アスピレータによって排出した前記液体を溜める水溜部と、
前記水溜部に溜めた水を前記アスピレータに供給し負圧を発生させる供給ポンプと、
を備えることを特徴とする請求項1記載のミスト収集装置。 - 前記冷却手段は、
温度によって排出する前記清浄エアの湿度を制御することを特徴とする請求項1又は2記載のミスト収集装置。
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