CN105381661B - 雾收集装置 - Google Patents

Abstract

提供雾收集装置，能够实现雾的捕获量的提高。雾收集装置(1)由吸引管道(10)、吸引并排出加工室(110)的气氛气体的风扇单元(20)、捕获并去除气氛气体中的雾的雾去除机构(30)构成。雾去除机构具有：框体(31)，其与吸引管道连接；雾捕获部(32)，其容纳于框体；排水机构(33)，其将由捕获的雾构成的液体(L)排出。雾捕获部具有：第1除雾器(32a)，其位于气流(F)的上游侧；第2除雾器(32b)，其位于气流的下游侧，网眼比第1除雾器细。在第1除雾器与第2除雾器之间配设有用于冷却所通过的气流的冷却机构(34)，经由风扇单元而被排出的清洁空气被排出到洁净室内，或者被送回加工室。

Description

雾收集装置

技术领域

本发明涉及雾收集装置。

背景技术

在半导体制造工序等中使用的切削装置或磨削装置被设定在由高清洁度的气氛气体(洁净空气)填满的洁净室中。利用精密的过滤器捕获粉尘而得到洁净空气，成本很高。并且，切削装置或磨削装置等加工装置一边供给加工水一边加工晶片等被加工物。供给到加工装置的加工水通常是被称为纯水的去除了杂质的成本高的水，并与加工屑一同被废弃。

以成本高的纯水的大量废弃为课题，开发出用于进行再利用的加工废液处理装置(例如，参照专利文献1)。通过加工废液处理装置，能够将大部分的加工水再利用，但在加工装置的加工室的气氛气体中作为雾飞散的加工水与加工室的气氛气体一同被排出，无法再利用。因此，开发出在加工装置内捕获气氛气体中的雾的装置(例如，参照专利文献2)。

专利文献1：日本专利第5086123号公报

专利文献2：日本特开2012-151263号公报

发明内容

然而，在加工装置内捕获气氛气体中的雾的装置中，关于雾的捕获量的提高这一点还具有进一步改善的余地。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种雾收集装置，能够实现雾的捕获量的提高。

为了解决上述的课题、达成目的，本发明是一种雾收集装置，其从在加工室内一边对被加工物供给加工水一边实施加工的加工装置中吸引加工室的气氛气体，并从所吸引的气氛气体中收集雾，雾收集装置由如下的部分构成：吸引管道，其与加工室连接；风扇单元，其经由吸引管道吸引并排出加工室的气氛气体；以及雾去除机构，其连接在吸引管道与风扇单元之间，捕获并去除气氛气体中的雾，雾去除机构具有：框体，风扇单元与该框体连接，吸引管道在由风扇单元产生的气流的上游侧与该框体连接；雾捕获部，其容纳于框体；以及排水机构，其经由框体的下端部的流出口将由所捕获的雾构成的液体排出，雾捕获部具有：第1除雾器，其位于气流的上游侧；以及第2除雾器，其位于气流的下游侧，且该第2除雾器的网眼比第1除雾器细，在第1除雾器与第2除雾器之间配设有冷却机构，该冷却机构用于将通过的气流冷却，经由风扇单元而被排出的清洁空气被排出到洁净室内，或者被送回加工室。

并且，优选在上述雾收集装置中，排水机构具有：抽吸器，其克服框体内的负压，吸引并排出液体；储水部，其积存由抽吸器排出的液体；以及供给泵，其将积存于储水部的液体供给到抽吸器并产生负压。

并且，优选在上述雾收集装置中，冷却机构根据温度对所排出的清洁空气的湿度进行控制。

根据本发明，利用冷却机构冷却通过第1除雾器后的气流，从而能够相比冷却前相对地减少通过第1除雾器后的气流中的饱和水蒸汽量，促使通过了第1除雾器的雾的粒子直径变大，易于利用网眼比第1除雾器细的第2除雾器来捕获雾。因此，根据本发明，能够实现雾的捕获量的提高。

附图说明

图1是示出实施方式的雾收集装置的结构例的图。

标号说明

1：雾收集装置；10：吸引管道；20：风扇单元；21：单元框体；21a：排出口；22：风扇；23：空气过滤器；30：雾去除机构；31：框体；32：雾捕获部；32a：第1除雾器；32b：第2除雾器；33：排水机构；33a：倾斜面；33b：流出口；33c：排出管；33d：抽吸器；33e：储水部；33f：供给泵；34：冷却机构；40：排出管道；50：控制机构；51：清洁空气温度检测部；52：清洁空气湿度检测部；53：清洁空气温度调整部；54：清洁空气湿度调整部；55：切换部；56：水位调整部；100：加工装置；110：加工室；120：卡盘工作台；130：切削机构；F：气流；L：液体；W：被加工物。

具体实施方式

一边参照附图一边详细地说明用于实施本发明的方式(实施方式)。本发明并不限于以下的实施方式中记载的内容。并且，以下记载的结构要素中包含本领域技术人员能够容易想到的要素或实质上相同的要素。此外，以下记载的结构也可以适当组合。并且，在不脱离本发明的主要内容的范围内可以省略、置换或变更各种结构。

【实施方式】

图1是示出实施方式的雾收集装置的结构例的图。另外，在图1中，还示出了实施方式的雾收集装置的使用例。

图1所示的雾收集装置1是收集加工装置100的加工室110的气氛气体中的雾的装置。雾收集装置1设置在例如半导体制造工厂等的洁净室内。如图1所示，雾收集装置1构成为包含吸引管道10、风扇单元20、雾去除机构30、排出管道40以及控制机构50。

这里，加工装置100是对被加工物W实施切削加工的切削装置(切割机)。加工装置100与雾收集装置1同样被设置在洁净室内。加工装置100在加工室110内具有保持被加工物W的卡盘工作台120和切削由卡盘工作台120保持的被加工物W的切削机构130。切削机构130一边对被加工物W供给例如纯水等加工水，一边对被加工物W实施切削加工。被加工物W没有特别限定，例如是半导体晶片或光器件晶片、无机材料基板、延性树脂材料基板等各种加工材料。

吸引管道10是使加工室110与雾去除机构30连通的空气管道。吸引管道10的一端部与加工室110连接。吸引管道10的另一端部与雾去除机构30的后述的框体31连接。

风扇单元20经由吸引管道10吸引并排出加工室110的气氛气体。风扇单元20以能够装卸的方式连接于框体31。风扇单元20的单元框体21的排出口21a与排出管道40连接，并相对于洁净室开放。在单元框体21内配设有风扇22和空气过滤器23。

风扇22相对于单元框体21设置于排出口21a的相反侧。风扇22例如由西洛克风扇或涡轮风扇等离心式风扇、螺旋桨式风扇等轴流风扇等构成。风扇22形成从排出口21a的相反侧朝向排出口21a侧的气流F。即，风扇22产生从雾去除机构30侧朝向风扇单元20侧流动的气流F。并且，由于风扇22产生气流F，即对雾去除机构30的框体31内的空气进行吸引，从而使框体31内的气压相对于洁净室内的气压成为负压。

空气过滤器23相对于单元框体21设置在风扇22的相反侧、即排出口21a侧。空气过滤器23例如由HEPA过滤器(High Efficiency Particulate Air Filter)或ULPA过滤器(Ultra Low Penetration Air Filter)等构成。因此，从风扇单元20的排出口21a排出清洁空气。即，经由风扇单元20排出的清洁空气经由管道被排出到洁净室内，或者经由排出管道40被送回加工室110。

雾去除机构30捕获并去除经由吸引管道10吸引的加工室110的气氛气体中的雾。雾去除机构30连接在吸引管道10与风扇单元20之间。即，雾去除机构30与吸引管道10和风扇单元20连接，将吸引管道10和风扇单元20连通。雾去除机构30具有框体31、雾捕获部32、排水机构33以及冷却机构34。

框体31例如形成为箱状，在其内部的空间内容纳雾捕获部32和冷却机构34。在框体31中，吸引管道10连接于由风扇单元20产生的气流F的上游侧，风扇单元20连接于由风扇单元20产生的气流F的下游侧。在本实施方式中，吸引管道10连接于吸引口31a，该吸引口31a形成于框体31，风扇单元20连接于连接口31b，该吸引口31b形成在与吸引口31a相反侧的框体31。另外，在本实施方式中，框体31中的气流F的上游侧是吸引口31a侧，是气流F的流入侧。并且，在本实施方式中，框体31中的气流F的下游侧是连接口31b侧，是气流F的行进侧。

雾捕获部32被容纳在框体31内。雾捕获部32具有第1除雾器32a和第2除雾器32b。第1除雾器32a和第2除雾器32b例如构成为重叠有多张将不锈钢线织成针织状的金属丝网，是所谓的丝网除雾器。雾例如与不锈钢线发生惯性碰撞，或者不锈钢线对雾进行直接隔断，从而第1除雾器32a和第2除雾器32b分别将空气与雾分离，并生成由雾构成的液体L。第1除雾器32a和第2除雾器32b彼此隔着间隔地配置。在第1除雾器32a与第2除雾器32b之间配设有冷却机构34，该冷却机构34用于冷却将要通过第2除雾器32b的气流F。

第1除雾器32a在框体31中配设在气流F的上游侧。第1除雾器32a的网眼例如是比第2除雾器32b粗的网眼。第2除雾器32b在框体31中配设在气流F的下游侧。第2除雾器32b的网眼例如是比第1除雾器32a细的网眼。

排水机构33经由框体31的下端部的流出口33b排出由借助第1除雾器32a和第2除雾器32b所捕获的雾构成的液体L。排水机构33具有倾斜面33a、流出口33b、排出管33c、抽吸器33d、储水部33e以及供给泵33f。

倾斜面33a形成为从气流F的上游侧朝向下游侧，该倾斜面33a的框体31内的底面的铅垂方向的位置逐渐降低。

流出口33b形成在倾斜面33a中气流F的下游侧的端部。

排出管33c从框体31向铅垂方向的下方延伸。排出管33c的一端部与流出口33b连接。排出管33c的另一端部经由例如橡胶管等而与抽吸器33d的吸入口连接。

抽吸器33d克服框体31内的负压而吸引并排出液体L。抽吸器33d具有：文丘里喷嘴，其喷出从供给泵33f供给的水；筒部，其设置在文丘里喷嘴的末端部的周围；吸入口，其设置于筒部且与筒部内连通；以及扩散器，其设置于筒部且与文丘里喷嘴的末端部连通，该抽吸器33d是一般性的抽吸器。抽吸器33d分别将从文丘里喷嘴喷出的水以及从吸入口吸入的液体L排出到储水部33e。

储水部33e积存由抽吸器33d从框体31内吸引并排出的液体L。在本实施方式中，积存在储水部33e的水是由借助第1除雾器32a和第2除雾器32b所捕获的雾构成的液体L。并且，积存在储水部33e中的水例如通过加工废液处理装置而作为加工水被再生并供给到加工装置100，所述加工废液处理装置对当由加工装置100所进行的加工时供给的加工水的废液进行处理。

冷却机构34在框体31内配设在第1除雾器32a与第2除雾器32b之间。冷却机构34将通过第1除雾器32a后且通过第2除雾器32b前的气流F冷却。即，冷却机构34冷却将要通过第2除雾器32b的气流F。另外，在本实施方式中，将气流F冷却是指将通过了第1除雾器32a的空气冷却。

并且，冷却机构34例如交替地配设有多个未图示的曲径板(也称为隔板)等，从而将通过了第1除雾器32a的空气所流动的流路形成为曲径状。在本实施方式中，冷却机构34在框体31内具有未图示的冷却管，该冷却管供由例如在半导体制造工厂中一并设置的冷却器等进行了冷却的水流动。另外，优选冷却管构成为能够对通过了第1除雾器32a的空气进行热交换。

并且，冷却机构34根据温度对排出到洁净室内的清洁空气或者被送回加工室110的清洁空气的湿度进行控制。即，冷却机构34对通过了第1除雾器32a的空气的温度进行控制，从而对由第2除雾器32b捕获的雾的捕获量进行控制。

排出管道40是使加工室110与风扇单元20连通的空气管道。排出管道40的一端部与加工室110连接。排出管道40的另一端部与单元框体21的排出口21a连接。

控制机构50对雾收集装置1的整体的动作进行控制。控制机构50例如是具有CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)或RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)等的微型计算机。控制机构50功能概念性地构成为包含清洁空气温度检测部51、清洁空气湿度检测部52、清洁空气温度调整部53、清洁空气湿度调整部54、切换部55以及水位调整部56。

清洁空气温度检测部51例如根据从设置于风扇单元20的未图示的温度传感器输出的检测信号，对排出到洁净室内的清洁空气或者被送回加工室110的清洁空气的温度进行检测。

清洁空气湿度检测部52例如根据从设置于风扇单元20的未图示的湿度传感器输出的检测信号，对排出到洁净室内的清洁空气或者被送回加工室110的清洁空气的相对湿度进行检测。

清洁空气温度调整部53根据由清洁空气温度检测部51检测的温度，以使排出到洁净室内的清洁空气或者被送回加工室110的清洁空气的温度成为规定的温度的方式，通过例如设置于风扇单元20的未图示的加热机构对由冷却机构34冷却且通过了第2除雾器32b的空气进行加热。即，清洁空气温度调整部53对由加热机构实现的空气的加热温度进行调整，从而调整清洁空气的温度。这里，清洁空气的规定的温度是与洁净室内的气氛气体的温度和加工室110内的气氛气体的温度相同的温度，是能够由操作员设定的任意的温度。

清洁空气湿度调整部54根据由清洁空气湿度检测部52检测的相对湿度，以使排出到洁净室内的清洁空气或者被送回加工室110的清洁空气的相对湿度成为规定的相对湿度的方式，通过冷却机构34使通过了第1除雾器32a的空气冷却。即，清洁空气湿度调整部54对由冷却机构34实现的空气的冷却温度进行调整，从而调整清洁空气的相对湿度。这里，清洁空气的规定的相对湿度是与洁净室内的气氛气体的相对湿度和加工室110内的气氛气体的相对湿度相同的相对湿度，是能够由操作员设定的任意的相对湿度。并且，湿度传感器优选构成为：针对由加热机构加热且调整成规定的温度的清洁空气检测相对湿度。

另外，清洁空气的温度设定和相对湿度设定例如经由未图示的显示/输入机构由操作员设定，所述显示/输入机构具有：显示部(例如区段显示器等)，其能够显示当前的清洁空气的温度和相对湿度以及清洁空气的温度和相对湿度的设定值；以及输入部(例如上/下键等)，其能够输入温度和相对湿度的设定值。并且，显示/输入机构优选在对操作员来说操作性和视认性良好的部位设置于框体31。

切换部55通过例如设置于排出口21a的切换阀等，使经由风扇单元20排出的清洁空气排出到洁净室内，或者使经由风扇单元20排出的清洁空气返回到加工室110。即，切换部55通过切换阀切换清洁空气的排出目的地，将清洁空气排出到洁净室内，或者使其返回到加工室110。

水位调整部56例如根据从设置于储水部33e的未图示的水位传感器输出的检测信号，对将加工水等供给到储水部33e的供水管的开闭阀的开闭动作以及将储水部33e内的水排出到加工废液处理装置等的排水泵的动作进行控制。即，水位调整部56向储水部33e内供给加工水，或者排出储水部33e内的水，从而调整储水部33e的水位。在本实施方式中，水位调整部56以维持水不会从储水部33e溢出且供给泵33f不会空转的水位的方式调整储水部33e的水位。

接着，对以如上方式构成的雾收集装置1的基本动作进行说明。另外，关于洁净室内的气氛气体和加工室110内的气氛气体，例如以将温度保持在23℃左右、将相对湿度保持在40％左右到60％左右的方式，由操作员预先设定。并且，从雾收集装置1的排出口21a排出的清洁空气与洁净室内的气氛气体和加工室110内的气氛气体相同，例如以将温度保持在23℃左右、将相对湿度保持在40％左右到60％左右的方式，由操作员预先设定。并且，供给到加工装置100的加工水与洁净室内的气氛气体和加工室110内的气氛气体相同，例如以将温度保持在23℃左右的方式由操作员预先设定。并且，雾收集装置1至少在加工装置100的加工开始前进行电源接通、运转。

在加工装置100未对被加工物W实施加工的状态下(即在加工室110内未产生加工水的雾的状态下)，雾收集装置1经由吸引管道10吸引加工室110的气氛气体，并且经由排出管道40使清洁空气返回到加工室110，或者排出到洁净室内。另外，在控制机构50使清洁空气排出到洁净室内的情况下，经由设置在加工装置100的框体上且使加工室110与洁净室连通的未图示的吸气口，将洁净室内的气氛气体供给到加工室110内。

在加工装置100对被加工物W实施加工的状态下(即在加工室110内产生加工水的雾的状态下)，雾收集装置1经由吸引管道10吸引加工室110的气氛气体，并且经由排出管道40使清洁空气返回到加工室110。这里，在控制机构50中，以使清洁空气的温度和相对湿度保持规定的温度和规定的相对湿度的方式，对由冷却机构34实现的空气(通过第1除雾器32a后的空气)的冷却温度和由加热机构实现的清洁空气的加热温度进行调整。

并且，在雾收集装置1中，使经由吸引管道10吸引的空气通过第1除雾器32a，并且利用第1除雾器32a捕获经由吸引管道10吸引的空气中的雾，从而使通过第1除雾器32a后的空气与通过第1除雾器32a前的空气相比相对地降低相对湿度。并且，在雾收集装置1中，根据清洁空气的相对湿度(规定的相对湿度以及所检测的相对湿度)通过冷却机构34使通过第1除雾器32a后的空气冷却，使通过第1除雾器32a后的空气与冷却前的空气相比相对湿度相对地上升(即与冷却前相比相对地减少饱和水蒸汽量)，使通过第1除雾器32a后的空气中的雾的粒子直径扩大(以空气中的雾为核，使空气中的水蒸汽凝聚)。并且，在雾收集装置1中，使由冷却机构34冷却后的空气通过第2除雾器32b，利用第2除雾器32b捕获由冷却机构34冷却后的空气中的雾。即，在雾收集装置1中，相对地降低针对通过第1除雾器32a后的空气的冷却温度，从而相对地增加通过第1除雾器32a后的空气中的雾的捕获量，相对地提高针对通过第1除雾器32a后的空气的冷却温度，相对地减少通过第1除雾器32a后的空气中的雾的捕获量。

并且，在雾收集装置1中，生成由第1除雾器32a和第2除雾器32b分别捕获的雾构成的液体L，使所生成的液体L从倾斜面33a向流出口33b流下。并且，在雾收集装置1中，通过抽吸器33d吸引向流出口33b流下的液体L，并排出到储水部33e。并且，在雾收集装置1中，由于通过抽吸器33d吸引由所捕获的雾构成的液体L并排出到储水部33e，因此抑制储水部33e的水位降低。

并且，在雾收集装置1中，根据清洁空气的湿度(规定的相对湿度和所检测的相对湿度)通过冷却机构34使通过第1除雾器32a后的空气冷却，根据清洁空气的温度(规定的温度和所检测的温度)通过加热机构使通过第2除雾器32b后的空气加热，使加热后的空气通过空气过滤器23，从而生成规定的温度和规定的相对湿度的清洁空气，并经由排出管道40使规定的温度和规定的相对湿度的清洁空气返回加工室110，或者排出到洁净室内。

如上所述，根据实施方式的雾收集装置1，在使经由吸引管道10吸引的加工室110的气氛气体通过第1除雾器32a而捕获了气氛气体中的雾之后，通过冷却机构34将通过第1除雾器32a后的空气冷却，从而与冷却前相比能够使通过了第1除雾器32a的雾(即通过第1除雾器32a后的空气中的雾)的粒子直径相对地扩大。并且，根据实施方式的雾收集装置1，使由冷却机构34冷却后的空气通过网眼比第1除雾器32a细的第2除雾器32b，从而能够利用第2除雾器32b捕获与冷却前相比粒子直径相对地扩大的雾(即冷却后的空气中的雾)。并且，根据实施方式的雾收集装置1，利用由冷却机构34冷却后的空气冷却第2除雾器32b，因此也能够抑制由第2除雾器32b捕获的雾构成的液体L的汽化。即，根据实施方式的雾收集装置1，使包含与冷却前相比粒子直径相对地扩大的雾的空气通过网眼比第1除雾器32a细的第2除雾器32b，从而促使雾与第2除雾器32b的惯性碰撞及直接隔断等，利用第2除雾器32b捕获雾，能够提高空气与雾的分离性能。因此，根据实施方式的雾收集装置1，实现如下效果：能够实现雾的捕获量的提高。

并且，根据实施方式的雾收集装置1，由于将从框体31内吸引的液体L排出到储水部33e并积存，因此能够抑制从外部向储水部33e内另行供给水的情况。并且，根据实施方式的雾收集装置1，在通过抽吸器33d吸引由所捕获的雾构成的液体L并排出到储水部33e时，能够将排出的液体L积存在储水部33e，利用所积存的液体L使抽吸器33d作为吸引源发挥作用。即，根据实施方式的雾收集装置1，在从框体31内吸引足够量的液体L的情况下，实现如下的效果：不从外部向储水部33e内另行供给水，能够将抽吸器33d用作吸引源。

并且，根据实施方式的雾收集装置1，能够通过相对地降低由冷却机构34所实现的针对通过第1除雾器32a后的空气的冷却温度(即相对地增大通过第1除雾器32a后的空气与冷却后的空气之间的温度差)，而使第2除雾器32b中的雾的捕获量增加，能够通过相对地提高由冷却机构34所实现的针对通过第1除雾器32a后的空气的冷却温度(即相对地减小通过第1除雾器32a后的空气与冷却后的空气之间的温度差)，而使第2除雾器32b中的雾的捕获量减少。因此，根据实施方式的雾收集装置1，通过对由冷却机构34所实现的空气的冷却温度进行调整，由此能够调整雾的捕获量。

并且，根据实施方式的雾收集装置1，由于能够调整雾的捕获量，因此能够生成任意的相对湿度的清洁空气。因此，根据实施方式的雾收集装置1，实现如下效果：能够使任意的相对湿度的清洁空气排出到洁净室内，或者返回到加工室110。

另外，在上述的实施方式中，雾收集装置1将经由风扇单元20排出的清洁空气排出到洁净室内，或者使其返回到加工室110，但并不限于此，例如，也可以使清洁空气分别返回到洁净室和加工室110。

并且，在上述的实施方式中，雾收集装置1的第1除雾器32a和第2除雾器32b分别具有重叠了多张金属丝网的丝网除雾器，但由于只要能够捕获空气中的雾即可，因此例如也可以是具有将金属丝网卷绕成螺旋状的丝网除雾器的结构。

并且，在上述的实施方式中，在雾收集装置1中，积存在储水部33e中的水是由雾构成的液体L，但由于只要是能够将抽吸器33d用作吸引源的流体即可，因此例如也可以是纯水等加工水或由加工废液处理装置再生的加工水等。因此，在水或液体L未积存在储水部33e的情况下等，通过从外部将加工水等积存在储水部33e，从而能够将抽吸器33d用作吸引源。

并且，在上述的实施方式中，雾收集装置1使由冷却器等冷却后的水流向冷却管，从而利用冷却机构34冷却通过第1除雾器32a后的空气，但也可以使由所谓的蒸汽压缩式冷冻机冷却后的氟利昂气体等冷却介质流向冷却管从而冷却空气。在该情况下，能够使通过第1除雾器32a后的空气冷却到更低的温度，能够进一步提高雾的捕获量。

并且，在上述的实施方式中，在雾收集装置1中，将多个曲径板以多个曲径板交替的方式配设于冷却机构34，但由于只要能够借助冷却机构34冷却通过第1除雾器32a后的空气而生成任意的相对湿度的清洁空气即可，因此也可以使通过第1除雾器32a后的空气以螺旋状流通。即，如果雾收集装置1能够冷却通过第1除雾器32a后的空气而生成任意的相对湿度的清洁空气，则冷却机构34的结构没有特别限定。

并且，在上述的实施方式中，加工装置100是针对被加工物W实施切削加工的切削装置(切割机)，但并不限于此，例如也可以是一边供给加工水一边利用磨石来磨削被加工物W等的磨削装置(研磨机)、一边供给加工水一边利用磨轮来研磨被加工物W等的研磨装置(抛光器)、利用与高压高速的加工水一同喷出的研磨材料将被加工物W等切断的所谓的喷水机等各种加工装置。

Claims (3)

1.一种雾收集装置，其从在加工室内一边对被加工物供给加工水一边实施加工的加工装置，吸引所述加工室的气氛气体，并从所吸引的所述气氛气体中收集雾，其特征在于，

所述雾收集装置由如下的部分构成：吸引管道，其与所述加工室连接；风扇单元，其经由所述吸引管道吸引并排出所述加工室的气氛气体；以及雾去除机构，其连接在所述吸引管道与所述风扇单元之间，捕获并去除所述气氛气体中的雾，

所述雾去除机构具有：

框体，所述风扇单元与该框体连接，所述吸引管道在由所述风扇单元产生的气流的上游侧与该框体连接；

雾捕获部，其容纳于所述框体；以及

排水机构，其经由所述框体的下端部的流出口将由所捕获的雾构成的液体排出，

所述雾捕获部具有：第1除雾器，其位于所述气流的上游侧；以及第2除雾器，其位于所述气流的下游侧，且该第2除雾器的网眼比所述第1除雾器细，

在所述第1除雾器与所述第2除雾器之间配设有冷却机构，该冷却机构用于将通过的气流冷却，

经由所述风扇单元而被排出的清洁空气被排出到洁净室内，或者被送回所述加工室。

2.根据权利要求1所述的雾收集装置，其中，

所述排水机构具有：

抽吸器，其克服所述框体内的负压而吸引并排出所述液体；

储水部，其积存由所述抽吸器排出的所述液体；以及

供给泵，其将积存于所述储水部的液体供给到所述抽吸器并产生负压。

3.根据权利要求1或2所述的雾收集装置，其中，

所述冷却机构根据温度对所排出的所述清洁空气的湿度进行控制。