JP3307426B2 - 真空洗浄および乾燥装置における真空排気方法および真空排気装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、金属、プラスチック部
品などのワークを石油系溶剤を用いて真空中で洗浄する
と共に洗浄後に真空中で乾燥させる洗浄および乾燥装置
に関するものである。さらに詳しくは、このような洗浄
および乾燥を行う装置からの排気に含まれる石油系溶剤
のミストや蒸気を除去するための真空排気方法に関する
ものである。

【０００２】また、本発明は、このような真空排気方法
を適用した真空排気装置に関するものである。

【０００３】

【従来の技術】近年、環境汚染を防止するために、ワー
ク洗浄乾燥装置においてはフロンレス化、トリエタンレ
ス化が推進されている。このために、環境汚染のおそれ
のない水洗浄方式を採用することも考えられるが、水洗
浄の場合には、排水設備、純水設備に費用が掛かるとい
う問題点がある。また、乾燥処理を迅速に行えないとい
う問題点もある。さらには、金属部品の洗浄を行う場合
には防錆対策も考慮しなければならないという問題点が
ある。したがって、フロン、トリエタンの代替洗浄剤と
して、イソパラフィン、ナフテンなどの石油系溶剤が着
目されている。このような石油系溶剤は大気中に排出さ
れても、フロン、トリエタンなどによって引き起こされ
る環境汚染のおそれはなく、しかも安価で洗浄力もあ
る。しかし、引火点が低いために安全性の問題と、沸点
が高いのでフロン、トリエタンと比べて乾燥性が悪いと
いう二つの問題点がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】石油系溶剤を洗浄剤と
して使用する場合には、その安全性と乾燥性の問題を解
決するために、真空洗浄あるいは真空乾燥を行うことが
好ましい。何故ならば、第１に、真空容器は密閉構造に
なっていること、第２に、中の酸素濃度が低いこと、第
３に、中が負圧になっているので万一漏れがあったとし
ても石油系溶剤や溶剤蒸気が外部に漏れ出ることがない
こと、第４に、減圧下では石油系溶剤の沸点が下がり容
易に蒸発すること等の理由による。

【０００５】ここで、真空にする場合、一般的に使用さ
れているロータリポンプを使用すると、そのオイル中に
石油系溶剤が混合して劣化してしまう。石油系溶剤はオ
イルフィルトレーションによって分離除去することが困
難である。したがって、適切な吸引排気手段を採用する
必要がある。また、洗浄あるいは乾燥装置からの排気中
に含まれる石油系溶剤のミストや蒸気をそのまま排出す
ると、石油系溶剤は引火しやすいので危険である。した
がって、排気から確実に石油系溶剤を除去する必要があ
る。

【０００６】本発明の課題は、この点に鑑みて、石油系
溶剤を使用して真空洗浄および真空乾燥を行う装置にお
いて、石油系溶剤の吸引排気を行うのに適した吸引方法
を提案すると共に、その排気中から確実に石油系溶剤の
ミストや蒸気を回収することのできる真空排気方法を提
案することにある。また、本発明は、このような真空排
気方法を適用した真空排気装置を実現することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の真空排気方法および装置においては、真
空洗浄および乾燥装置から排出される石油系溶剤のミス
トや蒸気を含む排気を、水封式真空ポンプを用いて吸引
排出するようにしている。このポンプを使用することに
より、ロータリポンプを使用している場合のようなオイ
ル劣化という問題を解消することができる。

【０００８】また、本発明の真空排気方法および装置に
おいては、真空洗浄および乾燥装置から排出される石油
系溶剤のミストや蒸気を含む排気を、水封式真空ポンプ
を用いて吸引し、この水封式真空ポンプの吐出側から、
真空洗浄装置および真空乾燥装置から吸引した石油系溶
剤のミストや蒸気を含む排気を封水に溶解あるいは混合
させた状態で回収するようにしている。このように、石
油系溶剤のミストや蒸気を封水中に溶解、混合させるこ
とにより、排気中の石油系溶剤の濃度を低減できるの
で、安全であり、また大気汚染を抑制することができ
る。

【０００９】ここに、封水を気液分離槽あるいはスクラ
バーに流すようにすれば、排気中の石油系溶剤の濃度を
更に低減できるので好ましい。

【００１０】さらに、気液分離槽、スクラバーなどを通
した後の封水を油水分離機に流すようにすれば、効率良
く石油系溶剤および封水中の油分を分離回収できるので
好ましい。

【００１１】また、このように排出された封水を油水分
離すれば、この封水を水封式真空ポンプに還流して再使
用できるので好ましい。

【００１２】一方、上記の水封式真空ポンプに空気エジ
ェクタを取り付ければ、この真空ポンプによる吸引力が
高まり、乾燥室内の真空度を高めることができる。この
結果、真空乾燥速度が高まるので、石油系溶剤によって
洗浄された後のワークの真空乾燥を迅速に行うことがで
きる。これに加えて、メカニカルブースタポンプを、水
封式真空ポンプの前段側に接続すれば、さらに吸引力が
高まり、乾燥室内の真空度をさらに引き上げることがで
きるので、ワークの乾燥速度を早めることができる。

【００１３】

【実施例】以下に図面を参照して本発明の実施例を説明
する。

【００１４】図１には本発明を適用した真空洗浄乾燥装
置の真空排気系を中心に示してある。図において、１は
真空洗浄室であり、上部に密閉可能な蓋１ａが取付けら
れている。この真空洗浄室１には、供給管（図示せず）
を介して石油系溶剤を供給可能となっている。また、ワ
ーク搬送機構により、洗浄対象のワークＷがこの中に設
置されるようになっている。洗浄時には、図に示すよう
に一定量の石油系溶剤２が貯留され、その中にワークＷ
が浸漬される。

【００１５】真空洗浄室１の上方の側面には、排気管３
が接続されている。この排気管３はバルブ４を介してメ
カニカルブースタポンプ５の吸引ポート５ａに接続され
ている。メカニカルブースタポンプ５の吐出ポート５ｂ
の側には排気管６が接続されており、この接続管６は空
気エジェクタ７を介して、水封式真空ポンプ８の吸引ポ
ート８ａに接続されている。

【００１６】水封式真空ポンプ８の吐出ポート８ｂの側
は、気水混合排水管９に接続されている。また、この水
封式真空ポンプ８には、不図示の封水供給機構によって
送水管１０を介して封水が供給されるようになってい
る。気水混合排水管９の端９ａは、気液分離槽１１の貯
留水１１ａ内に開口している。気液分離槽１１の上端に
は、上方に延びる排気管１２が接続されており、その側
面には、オーバーフロー管としての排水管１３が接続さ
れている。排水管１３は水平に延びた後に下方に向けて
延びて、油水分離機１４の吸引口１４ａに接続してい
る。油水分離機１４の排油出口１４ｂは、油回収タンク
内に開口している。油分の取り除かれた水は排水出口１
４ｃから排出される。

【００１７】このように構成した本例の真空排気装置に
おいて、図１に示すような洗浄中においては、水封式真
空ポンプ８およびメカニカルブースタポンプ５によっ
て、洗浄室１内に所定の真空状態が形成される。洗浄室
内から吸引された石油系溶剤のミストや蒸気を含む排気
は、水封式真空ポンプ８の吸引ポート８ａから吸引され
た後は、そのポンプ室内に充填されている封水に溶解あ
るいは混合して、封水と共に、吐出ポート８ｂから気水
混合排水管９に吐出する。この気水混合排水管９を通っ
た後、封水は気液分離槽１１内に貯留されている水１１
ａ内に排出される。この気液分離槽１１において、封水
中の石油系溶剤が水内に溶解あるいは混合して回収され
る。また、そこにふくまれている油分は分離して表面に
浮き上がってくる。石油系溶剤が充分に除去された後の
排気は、排気管１２を通って大気中に排出される。

【００１８】一方、気液分離槽１１内の貯留水の表面に
浮いた油分はオーバーフロー水と共に排水管１３を通っ
て排出される。この油水分離機１４において、排出され
た水から、その中に含まれているいる石油系溶剤および
油分（洗浄滓）が回収される。回収された油分等は排出
口１４ｂから回収タンク等に回収される。

【００１９】ワークＷの洗浄が終了した後は、例えば図
２に示すように、真空洗浄室１内の石油系溶剤を排出し
て、その中を真空状態に保持して真空乾燥を行う。この
場合においても、上述した洗浄時と同様にして、洗浄室
内からの排気に含まれる石油系溶剤のミストや蒸気が回
収される。

【００２０】このように、本例の真空乾燥装置において
は、洗浄室１から排出された排気が水封式真空ポンプ８
で吸引されて、その封水内に排気中に含まれる石油系溶
剤のミストや蒸気が回収される。さらには、気液分離槽
１１に封水を通しているので、ここにおいて封水中の石
油系溶剤が回収される。したがって、排気からは充分に
石油系溶剤が除去された後に大気中に排出される。

【００２１】ここに、従来において使用されているロー
タリポンプ（油回転ポンプ）を真空洗浄室からの排気の
吸引手段として利用した場合には、石油系溶剤がロータ
リポンプのオイル内に混入して、オイルの劣化を引き起
こしてしまう。オイルフィルトレーションを行っても、
オイル内に混入した石油系溶剤を分離することは困難で
ある。しかし、本例のように水封式真空ポンプを使用し
た場合には、このような弊害は発生しないという利点が
ある。

【００２２】また、本例においては、水封式ポンプ８と
して空気エジェクタ付きのものを使用し、さらに、その
前段側にメカニカルブースタポンプ５を接続している。
水封式ポンプ８単独で使用した場合には、真空度は約２
０乃至３０Ｔｏｒｒであるが、空気エジェクタを付けた
場合には、それを約１０Ｔｏｒｒまでに上げることがで
き、さらに、メカニカルブースタポンプを接続した場合
には、それを１Ｔｏｒｒ程度まで上げることができる。
したがって、本例によれば、真空洗浄乾燥室の真空度を
高めることができるので、乾燥速度を格段に早めること
ができる。

【００２３】なお、本例においては、空気エジェクタ７
およびメカニカルブースタポンプ５を取り付けてある
が、これらを省略した場合においても、乾燥速度の点で
は若干劣るものの、洗浄室からの排気からの石油系溶剤
のミストや蒸気の回収を効率良く行うことはできる。図
３には、これらの双方を省略した例を示してあり、図４
には、メカニカルブースタポンプを省略した例を示して
ある。これらの図において、図１と対応する部分には同
一の符号を付してある。

【００２４】次に、図５、６、７、８には、図１の実施
例に対して、気液分離槽１１内の貯留水１１ａを水封式
真空ポンプ８の封水として還流させるための循環系を付
設した例を示してある。

【００２５】図５に示す例においては、気液分離槽１１
の底に、封水の送水管１０の元端を接続し、この送水管
１０に送水ポンプ２１を介挿した構成を採用している。
この場合には、気液分離槽１１内の貯留水１１ａの温度
を冷却するためのクーラーユニット２２を取り付ける必
要がある。このように冷却しないと、水温の上昇に起因
して水封式真空ポンプ８により形成される真空度が低下
してしまうからである。このように封水を循環させるこ
とにより、封水を節約することができる。

【００２６】図６の実施例においては、気液分離槽１１
内の水を一部循環させると共に、新たな水を別途供給す
ることにより、クーラーユニットを用いることなく循環
水の冷却を行うように構成したものである。すなわち、
本例においては、流量調整バルブ３１を、送水管１０に
おける送水ポンプ２１と水封式真空ポンプ８との間に介
挿してある。さらに、送水管１０の流量調整バルブ３１
と水封式真空ポンプ８の間に、給水管３２を合流させて
ある。この給水管３２は流量調整バルブ３３を介して、
給水タンク（図示せず）の側に接続されている。双方の
流量調整バルブ３１、３３を調整することによって、循
環水と新たに供給される水の割合を調整できる。

【００２７】図７に示す実施例は、図５に示す実施例の
変形例である。本例では、送水管１０に油水分離機４１
を挿入してあり、循環する水から油分を分離して回収で
きるようになっている。

【００２８】図８に示す実施例は、図６に示す実施例の
変形例であり、送水管１０に油水分離機５１を挿入して
あり、循環する水から油分を分離して回収できるように
なっている。

【００２９】次に、図９から図１３には、図１に示す実
施例において、気液分離槽１１における回収効率を高め
るための手段を講じた例を示してある。

【００３０】先ず図９および図１０に示す実施例では、
気液混合排水管９の先端９ａに対して、貯留水内におい
てほぼ水平に延びる四又状のパイプ６１を接続し、この
パイプ６１の各分岐管の周面に小孔あるいはノズル６１
ａを多数形成した構成を採用している。このようにする
と、気水混合排水管９を介して排出される気液は、パイ
プ６１のノズル６１ａから吐出されるので、気液中の気
体が微細な泡の状態で貯留水１１ａ内に噴出する。した
がって、気水内の気体が貯留水１１ａに対して効率良く
バブリング混合される。よって、ここでの石油系溶剤の
回収効率を向上でき、ここから排出される気体中の石油
系溶剤の濃度を低減することができる。

【００３１】図１１に示す実施例では、ノズル付きパイ
プ６１の代わりに、フェルトあるいはスポンジ、樹脂、
ガラス、セラミック等の素材から形成した多孔質板７１
を、気水混合排水管９の先端９ａに接続した構成を採用
している。本例の場合は図９に示す例より細かな気泡を
発生させることができるので、効率良くバブリング混合
を行うことができる。よって、気液分離槽１１から排出
される気体中の石油系溶剤の濃度をさらに低減すること
ができる。

【００３２】図１２に示す実施例では、気水混合排水管
９の途中に、攪拌機、ミキサーあるいはポンプ（羽根
車）等の液体攪拌機構８１を挿入した構成を採用してい
る。このようにすると、気液分離槽１１に供給される気
液がここで攪拌されて、気体と液体との混合が促進され
ると共に、気体が微細な泡状態となって、気液分離槽１
１内に供給される。よって、気液分離槽１１内で効率良
くバブリング混合が行われて、石油系溶剤の回収が効率
良く行われる。

【００３３】図１３に示す実施例では、気液分離槽１１
の貯留水１１ａ内に、洗剤タンク９１から定量吐出機９
２および洗剤供給管９３を介して界面活性剤を含む洗剤
を供給するようにしている。このようにすると、貯留水
内において、洗剤の界面活性剤の作用により、ここに排
出された封水内の石油系溶剤が乳化分散される。したが
って、気液分離槽１１から排出される気体の石油系溶剤
の濃度を低減することができる。本例の場合には、気液
分離槽１１からのオーバーフロー水の油水分離はできな
いので、排水管１３から排出される洗剤および石油系溶
剤等を含む水はそのまま外部に排出、あるいは所定の回
収タンクに回収されることになる。

【００３４】なお、図１２に示す攪拌機構を、図９ある
いは図１１に示す実施例に付加した構成を採用すれば、
より効率的に石油系溶剤の回収を行うことができる。ま
た、図１３に示す洗剤供給機構を、図９、図１１あるい
は図１２に示す実施例に付加してもよい。さらには、図
９、図１１に示す実施例に対して、図１２の攪拌機構お
よび図１３の洗剤供給機構の双方を付加した構成を採用
することもできる。

【００３５】次に、図１４は、気液分離槽１１の代わり
に、スクラバーおよび油水分離機を用いて封水中から石
油系溶剤および油分の回収を行う構成を有する実施例を
示してある。図に示すように、水封式真空ポンプ８から
気水混合排水管９を介して排出される封水をスクラバー
１０１に通すようにしている。さらに、このスクラバー
１０１から排出される排水を油水分離機１０２に通し
て、排水中から石油系溶剤および油分を回収するように
している。

【００３６】一方、図１５および図１６に示す実施例
は、封水を直接に油水分離機に通して、ここで、封水に
含まれる気体、油分を分離するようにしている。図１５
に示すように、水封式真空ポンプ８から気水混合排水管
９を介して排出される封水を油水分離機１１１に通すよ
うにしている。この油水分離機１１１において、封水中
の気体および石油系溶剤を含む油分がそれぞれ分離され
る。気体および油分が除去された封水は、排水管１１２
および送水ポンプ１１３を介して送水管１０に供給され
る。送水管１０には熱交換器１１４が挿入されており、
ここを介して冷却された封水が水封式真空ポンプ８に還
流するようになっている。

【００３７】図１６には油水分離器１１１の一例を示し
てある。ここに示す例はコアレッサー方式の分離機であ
り、そのタンク内に超極細繊維構造をしたコアレッサー
カートリッジ１１１ａが設置されており、この中に、水
封式真空ポンプ８から吐出された封水を圧入するように
なっている。このコアレッサーカートリッジを通過する
間に、封水中に含まれる石油系溶剤を含む油分が分離さ
れて、貯留水１１１ｂの表面に浮上する。表面に浮上し
た油分は排油管１１１ｃおよび排油バルブ１１１ｄを介
して回収される。また、封水中に含まれている気体は、
タンク上端に開けた排気管１１１ｅから大気中に排出さ
れる。このように気体および油分が分離された後の封水
は、タンク下端に開けた排水管１１２から排出される。

【００３８】なお、以上説明した各実施例において使用
する油水分離機としては、上記のコアレッサー方式のも
のの他に、親油性ポリマー等から形成した吸着シート、
樹脂あるいは活性炭等の吸着剤、比重差分離方式のもの
など、各種の形式の油水分離機を採用することができ
る。

【００３９】また、上記の各実施例においては洗浄剤と
して石油系溶剤を使用した場合について説明している。
しかし、その他の可燃性溶剤、例えばアルコール、アセ
トン、シリコン系溶剤、テルペン系溶剤を使用した場合
においても、上記各実施例と同様な手段を用いて、真空
ポンプの排気に含まれている溶剤ガスの濃度を低減する
ことができる。特に、アルコールやアセトンのように水
溶性の溶剤の場合には、水に良く溶解するので回収効率
がかなり高い。ここに、これらの溶剤と水との分離は膜
分離で行う。これに対して、シリコン系溶剤やテルペン
系溶剤は水に溶解しないので、上記の各実施例の油水分
離機やデカンターによる比重差分離により、排水中から
の溶剤の回収を行う。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の真空排気
方法および装置においては、真空洗浄および乾燥装置か
ら排出される石油系溶剤を含む排気を、水封式真空ポン
プを用いて吸引して排出するようにしている。したがっ
て、従来のようにロータリポンプを使用する場合のよう
に、そのオイル中に石油系溶剤が混合して劣化してしま
うという弊害を解消できる。

【００４１】また、水封式真空ポンプの吐出側から、真
空洗浄装置および真空乾燥装置から吸引した石油系溶剤
のミストや蒸気を含む排気を封水に溶解あるいは混合さ
せた状態で回収できる。このように、石油系溶剤を封水
中に溶解、混合させることにより、排気中の石油系溶剤
の濃度を低減できるので、安全であり、また大気汚染を
抑制することができる。

【００４２】さらに、封水を気液分離槽あるいはスクラ
バーに流すようにすれば、排気中の石油系溶剤濃度を更
に低減できる。

【００４３】さらにまた、気液分離槽、スクラバーなど
を通した後の封水を油水分離機に流すようにすれば、効
率良く石油系溶剤および封水中の油分を分離回収するこ
とができる。

【００４４】また、油水分離された後の封水を還流させ
るようにすれば、封水を節約することができる。

【００４５】一方、上記の水封式真空ポンプに空気エジ
ェクタを取り付ければ、この真空ポンプによる吸引力が
高まり、乾燥室内の真空度を高めることができる。この
結果、真空乾燥速度が高まるので、石油系溶剤によって
洗浄された後のワークの真空乾燥を迅速に行うことがで
きる。これに加えて、メカニカルブースタポンプを、水
封式真空ポンプの前段側に接続すれば、さらに吸引力が
高まり、乾燥室内の真空度をさらに引き上げることがで
きるので、ワークの乾燥速度を早めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の方法を適用した真空洗浄および乾燥装
置における真空排気系を中心に示す概略構成図である。

【図２】図１の装置における真空乾燥時の状態を示す概
略構成図である。

【図３】図１の装置から空気エジェクタおよびメカニカ
ルブースタポンプを省略した場合の例を示す概略部分構
成図である。

【図４】図１の装置からメカニカルブースタポンプを省
略した場合の例を示す概略部分構成図である。

【図５】図１に示す装置に対して封水の循環機構を付設
した場合の例を示す概略部分構成図である。

【図６】図１に示す装置に対して封水の一部循環機構を
付設した場合の例を示す概略部分構成図である。

【図７】図５に示す装置に対して油水分離機構を付設し
た場合の例を示す概略部分構成図である。

【図８】図６に示す装置に対して油水分離機構を付設し
た場合の例を示す概略部分構成図である。

【図９】図１に示す装置における気液分離槽でのバブリ
ング混合を促進するためのノズル付きパイプを付設した
場合の例を示す概略部分構成図である。

【図１０】図９の装置におけるノズル付きパイプを取り
出して示す部分斜視図である。

【図１１】図１に示す装置における気液分離槽でのバブ
リング混合を促進するための多孔質板を付設した場合の
例を示す概略部分構成図である。

【図１２】図１に示す装置における気液分離槽でのバブ
リング混合を促進するための攪拌機構を付設した場合の
例を示す概略部分構成図である。

【図１３】図１に示す装置における気液分離槽でのバブ
リング混合を促進するために洗浄剤供給機構を付設した
場合の例を示す概略部分構成図である。

【図１４】図１の示す装置における気液分離槽の代わり
にスクラバーを用いた例を示す概略部分構成図である。

【図１５】図１の示す装置における気液分離槽の代わり
に油水分離機を用いた例を示す概略部分構成図である。

【図１６】図１５の油水分離機の一例を示す概略構成図
である。

【符号の説明】

１・・・真空洗浄（乾燥）室 ２・・・石油系溶剤 ３・・・排出管 ５・・・メカニカルブースターポンプ ７・・・空気エジェクタ ８・・・水封式真空ポンプ ９・・・気水混合排水管 １０・・・送水管 １１・・・気液分離装置 １２・・・排気管 １３・・・排水管 １４、４１、５１、１０２、１１１・・・油水分離機 ２１、１１３・・・送水ポンプ ２２・・・クーラーユニット ６１・・・ノズル付きパイプ ７１・・・多孔質板 ８１・・・攪拌機構 ９１・・・洗剤タンク ９２・・・定量吐出機 ９３・・・洗剤供給管 １１４・・・熱交換機 Ｗ・・・ワーク

Claims (13)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 石油系溶剤を使用してワークの洗浄およ
   び乾燥を行う真空洗浄および乾燥装置の真空排気方法で
   あって、 真空洗浄および乾燥装置から排出される石油系溶剤のミ
   ストや蒸気を含む排気を、水封式真空ポンプを用いて吸
   引し、 この水封式真空ポンプの吐出側から、前記真空洗浄装置
   および真空乾燥装置から吸引した石油系溶剤のミストや
   蒸気を含む排気を封水に溶解あるいは混合させた状態で
   回収し、 この封水を、液中に通し、この液を介して得られる排気
   を外部に排出し、 前記液の少なくも一部を前記水封式真空ポンプの封水と
   して再使用することを特徴とする真空洗浄および乾燥装
   置における真空排気方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記封水を通した前記液を油水分離して、この液中の油
   分および石油系溶剤を除去した後に外部に排出すること
   を特徴とする真空洗浄および乾燥装置における真空排気
   方法。
3. 【請求項３】 石油系溶剤を使用してワークの洗浄およ
   び乾燥を行う真空洗浄および乾燥装置の真空排気方法で
   あって、 真空洗浄および乾燥装置から排出される石油系溶剤のミ
   ストや蒸気を含む排気を、水封式真空ポンプを用いて吸
   引し、 この水封式真空ポンプの吐出側から、前記真空洗浄装置
   および真空乾燥装置から吸引した石油系溶剤のミストや
   蒸気を含む排気を封水に溶解あるいは混合させた状態で
   回収し、 前記水封式ポンプから吐出される石油系溶剤を含む封水
   を油水分離して、この液中の油分および石油系溶剤を除
   去した後に外部に排出し、 油水分離した後の封水の少なくとも一部を還流させるこ
   とを特徴とする真空洗浄および乾燥装置の真空排気方
   法。
4. 【請求項４】 石油系溶剤を使用して金属、プラスチッ
   ク部品などのワークの洗浄および乾燥を行う真空洗浄お
   よび乾燥装置の真空排気装置であって、 真空洗浄および乾燥装置から排出される石油系溶剤のミ
   ストや蒸気を含む排気を排出するための排気管が、水封
   式真空ポンプの吸引側に接続して、この水封式真空ポン
   プの吐出側から、前記真空洗浄装置および真空乾燥装置
   から吸引した石油系溶剤のミストや蒸気を含む排気を封
   水に溶解あるいは混合させた状態で回収するようになっ
   ており、 更に、前記水封式真空ポンプから吐出される前記封水が
   供給される気液分離槽を有し、 前記水封式真空ポンプから吐出される前記封水が前記気
   液分離槽の貯留水内に排出されることを特徴とする真空
   排気装置。
5. 【請求項５】 請求項４において、 前記気液分離槽の液の少なくとも一部分を封水として前
   記水封式真空ポンプに還流させる還流手段を有している
   ことを特徴とする真空排気装置。
6. 【請求項６】 請求項４または５において、 前記水封式真空ポンプは空気エジェクタ付きのものであ
   ることを特徴とする真空排気装置。
7. 【請求項７】 請求項６において、 前記真空洗浄および乾燥装置の排出側と前記水封式真空
   ポンプの吸引側との間に配置されたメカニカルブースタ
   ーポンプを有していることを特徴とする真空排気装置。
8. 【請求項８】 石油系溶剤を使用して金属、プラスチッ
   ク部品などのワークの洗浄および乾燥を行う真空洗浄お
   よび乾燥装置の真空排気装置であって、 真空洗浄および乾燥装置から排出される石油系溶剤のミ
   ストや蒸気を含む排気を排出するための排気管が、水封
   式真空ポンプの吸引側に接続して、この水封式真空ポン
   プの吐出側から、前記真空洗浄装置および真空乾燥装置
   から吸引した石油系溶剤のミストや蒸気を含む排気を封
   水に溶解あるいは混合させた状態で回収するようになっ
   ており、 更に、前記水封式真空ポンプから吐出される封水が供給
   されるスクラバーと、前記スクラバーからの流出液が供
   給される油水分離機と、 前記油水分離機の流出液の少なくとも一部分を封水とし
   て前記水封式真空ポンプに還流させる還流手段とを有し
   ていることを特徴とする真空排気装置。
9. 【請求項９】 請求項８において、 前記水封式真空ポンプは空気エジェクタ付きのものであ
   ることを特徴とする真空排気装置。
10. 【請求項１０】 請求項９において、 前記真空洗浄および乾燥装置の排出側と前記水封式真空
    ポンプの吸引側との間に配置されたメカニカルブースタ
    ーポンプを有していることを特徴とする真空排気装置。
11. 【請求項１１】 石油系溶剤を使用して金属、プラスチ
    ック部品などのワークの洗浄および乾燥を行う真空洗浄
    および乾燥装置の真空排気装置であって、 真空洗浄および乾燥装置から排出される石油系溶剤のミ
    ストや蒸気を含む排気を排出するための排気管が、水封
    式真空ポンプの吸引側に接続して、この水封式真空ポン
    プの吐出側から、前記真空洗浄装置および真空乾燥装置
    から吸引した石油系溶剤のミストや蒸気を含む排気を封
    水に溶解あるいは混合させた状態で回収するようになっ
    ており、 更に、前記水封式真空ポンプから吐出される封水が供給
    される油水分離機と、 前記油水分離機の流出液の少なくとも一部分を封水とし
    て前記水封式真空ポンプに還流させる還流手段とを有し
    ていることを特徴とする真空排気装置。
12. 【請求項１２】 請求項１１において、 前記水封式真空ポンプは空気エジェクタ付きのものであ
    ることを特徴とする真空排気装置。
13. 【請求項１３】 請求項１１において、 前記真空洗浄および乾燥装置の排出側と前記水封式真空
    ポンプの吸引側との間に配置されたメカニカルブースタ
    ーポンプを有していることを特徴とする真空排気装置。