JP2008098439A - 洗浄水供給ユニットおよび基板洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】循環供給における洗浄水の劣化を抑制する。
【解決手段】基板洗浄装置10に洗浄水を供給する洗浄水供給ユニット12に、貯留槽13および気液混合部17を設ける。循環する洗浄水に気液混合部17によってマイクロバブル92を混入する。また、回収した洗浄水(汚染物91を多く含む)を貯留槽13に貯留し、マイクロバブル92が付着した汚染物91を浮上させる。貯留槽13の上層部に集まった汚染物91をオーバーフローによって排出するとともに、貯留槽13の下層部から洗浄水を吸引して循環させる。
【選択図】図1
【解決手段】基板洗浄装置10に洗浄水を供給する洗浄水供給ユニット12に、貯留槽13および気液混合部17を設ける。循環する洗浄水に気液混合部17によってマイクロバブル92を混入する。また、回収した洗浄水(汚染物91を多く含む)を貯留槽13に貯留し、マイクロバブル92が付着した汚染物91を浮上させる。貯留槽13の上層部に集まった汚染物91をオーバーフローによって排出するとともに、貯留槽13の下層部から洗浄水を吸引して循環させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板を洗浄する際に使用される洗浄水を供給する技術に関する。より詳しくは、洗浄水を清浄に保ちつつ循環供給する技術に関する。
基板洗浄装置において、基板の洗浄に使用される洗浄水(純水等のリンス液)は、洗浄水供給ユニットによって槽内の基板に向けて供給される。すなわち、洗浄水供給ユニットによって供給された洗浄水により基板の洗浄処理が実行され、充分に洗浄処理が進行した後に、次の工程が実行される。このような基板洗浄装置が、例えば特許文献1に記載されている。
このような基板洗浄装置において、洗浄処理に使用された洗浄水をそのまま排出すると、膨大な量の洗浄水が必要となるばかりでなく、パーティクル等に汚染された排液が多量に発生するため好ましくない。したがって、特許文献1には、処理チャンバ(槽)から排出される使用済みの洗浄水を開閉制御弁を介して貯留槽に回収して再使用する技術が提案されている。
すなわち、特許文献1に記載されているように、洗浄水を循環供給することにより、洗浄処理において消費される洗浄水の量を抑制することが可能となる。
ところが、特許文献1に記載されているように洗浄水を循環供給すると、再度基板に向けて供給される洗浄水に、先に基板から除去したパーティクル等が含まれるため、汚染物質の再付着の問題があった。すなわち、洗浄水を循環供給する場合には、洗浄水の劣化という問題があった。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、循環供給における洗浄水の劣化を抑制することを目的とする。
上記の課題を解決するため、請求項1の発明は、洗浄水を循環供給する洗浄水供給ユニットであって、洗浄水を貯留する貯留手段と、前記貯留手段の下層部に貯留された洗浄水を前記貯留手段から吸引しつつ送液する送液手段と、前記送液手段により送液された洗浄水を吐出して基板に供給する吐出手段と、前記吐出手段により吐出された洗浄水を前記貯留手段に導く回収手段と、洗浄水に気体を混合させる気液混合手段とを備えることを特徴とする。
また、請求項2の発明は、請求項1の発明に係る洗浄水供給ユニットであって、前記送液手段により送液される洗浄水を清浄化させる清浄化手段をさらに備えることを特徴とする。
また、請求項3の発明は、請求項1または2の発明に係る洗浄水供給ユニットであって、前記気液混合手段は、マイクロバブル発生機構であることを特徴とする。
また、請求項4の発明は、請求項1ないし3のいずれかの発明に係る洗浄水供給ユニットであって、前記気液混合手段は、前記送液手段から前記吐出手段に向けて送液されている洗浄水に気体を混合することを特徴とする。
また、請求項5の発明は、請求項1ないし3のいずれかの発明に係る洗浄水供給ユニットであって、前記気液混合手段は、前記貯留手段に貯留されている洗浄水に気体を混合することを特徴とする。
また、請求項6の発明は、請求項1ないし5のいずれかの発明に係る洗浄水供給ユニットであって、前記貯留手段の上層部に貯留された洗浄水を排出することを特徴とする。
また、請求項7の発明は、基板を洗浄する基板洗浄装置であって、内部に基板が配置される処理槽と、前記処理槽に洗浄水を循環供給する洗浄水供給ユニットとを備え、前記洗浄水供給ユニットは、洗浄水を貯留する貯留手段と、前記貯留手段の下層部に貯留された洗浄水を前記貯留手段から吸引しつつ送液する送液手段と、前記送液手段により送液された洗浄水を吐出して基板に供給する吐出手段と、前記吐出手段により吐出された洗浄水を前記貯留手段に導く回収手段と、洗浄水に気体を混合させる気液混合手段とを備えることを特徴とする。
請求項1ないし7に記載の発明では、洗浄水を貯留する貯留手段と、貯留手段の下層部に貯留された洗浄水を貯留手段から吸引しつつ送液する送液手段と、洗浄水に気体を混合させる気液混合手段とを備えることにより、循環する洗浄水に含まれる汚染物を抑制することができ、洗浄水の劣化を抑制できる。
請求項4に記載の発明では、送液手段から吐出手段に向けて送液されている洗浄水に気体を混合することにより、基板に対する洗浄水の洗浄力を向上できる。
請求項5に記載の発明では、貯留手段に貯留されている洗浄水に気体を混合することにより、汚染物の除去効果を向上できる。
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。
<1. 第1の実施の形態>
図1は、基板90を処理する基板処理装置1を示す概略図である。基板処理装置1は、洗浄ユニット10、制御部2、処理ユニット3,4および搬送部5を備える。
図1は、基板90を処理する基板処理装置1を示す概略図である。基板処理装置1は、洗浄ユニット10、制御部2、処理ユニット3,4および搬送部5を備える。
なお、図1において、黒丸で示すものは、パーティクルに代表される汚染物(洗浄処理における除去対象物)91を示している。ここに言う汚染物91には、無機物と有機物とが含まれる。汚染物91は、例えば、図1に示すように、基板90の表面に付着した状態で、洗浄ユニット10に搬送される。また、図1において、汚染物91とともに示す白丸は、マイクロバブル92を示す。図1では、すべてのマイクロバブル92が汚染物91に付着しているように図示しているが、もちろんマイクロバブル92はこのような状態に限定されるものではなく、洗浄水中に単独で浮遊することもある。
本願発明に係る基板洗浄装置としての洗浄ユニット10は、内部に基板90が配置される処理槽11と、処理槽11に洗浄水を循環供給する洗浄水供給ユニット12とを備える。洗浄ユニット10は、洗浄水によって基板90に付着した汚染物91を洗い流すことにより基板90を洗浄する。
洗浄水供給ユニット12は、貯留槽13と、送液ポンプ14と、吐出ノズル15と、回収配管16と、気液混合部17とを備える。
貯留槽13は、内部が空洞の容器として構成されており、その内部に洗浄水を貯留する。図1に示すように、貯留槽13は、処理槽11よりも下方に配置される。このように配置されることにより、処理槽11内の洗浄水を、回収配管16を介して容易に貯留槽13に回収することが可能となる。
貯留槽13への洗浄水の供給には、回収配管16による「循環供給」と、供給部20による「新規供給」とがある。このようにして供給された洗浄水は、貯留槽13の内部に貯留される。一方、貯留槽13からの洗浄水の排出には、送液ポンプ14による「循環排出」と、排出配管19による「廃棄排出」とがある。
貯留槽13から送液ポンプ14によって循環排出された洗浄水は、基板90の洗浄に使用された後、回収配管16によって貯留槽13に循環供給される。なお、貯留槽13において、汚染物91が除去される原理については、後述する。
送液ポンプ14は、制御部2からの制御信号に応じて駆動される一般的な高圧ポンプである。送液ポンプ14は、貯留槽13から洗浄水を吸引してフィルタ18側に吐出することにより、貯留槽13に貯留された洗浄水を吐出ノズル15に向けて送液する。
貯留槽13と送液ポンプ14との間における洗浄水の流路(配管)は、貯留槽13側において、貯留槽13の下層部に接続されている。このように配置されていることにより、貯留槽13内に貯留された洗浄水のうち比較的下層部に存在する洗浄水が、送液ポンプ14によって吸引される。ただし、貯留槽13の底部には比較的大きな汚染物91が沈殿することもあるので、貯留槽13の底部よりは上方から吸引することが好ましい。
吐出ノズル15は、処理槽11内の上方に配置されており、送液ポンプ14により送液された洗浄水を吐出する。吐出ノズル15から吐出された洗浄水は、処理槽11内に配置された基板90に供給される。
回収配管16は、処理槽11と貯留槽13とを連通接続する。回収配管16は処理槽11の下部に接続されており、ここから洗浄処理に使用された洗浄水を処理槽11外に排出する。
先述のように、貯留槽13は処理槽11よりも下方に配置されているため、回収配管16にポンプのような駆動装置を設けなくても、処理槽11内の洗浄水は貯留槽13に導かれる。このようにして回収配管16は、吐出ノズル15により吐出され、基板90の洗浄処理に使用された洗浄水を、貯留槽13に導く機能を有する。すなわち、回収配管16は、処理槽11から排出した洗浄水を貯留槽13内に回収する。
気液混合部17は、高圧の気体(空気)を供給する気体供給部170と、洗浄水に気体を混合させる混合部171とを備える。気体供給部170は、圧縮ポンプ等により圧縮空気を生成し、制御部2からの制御信号に基づいて、混合部171に向けて供給する。混合部171は、吐出ノズル15に向けて送液される洗浄水に、気体供給部170から供給された圧縮空気を送り込む機能を有する。
このように気液混合部17は、いわゆる加圧溶解方式によって、洗浄水に気泡を混入する。液体に混入される気泡としては、その大きさにより、1mm程度のミリバブルや、200〜500μm程度のマイクロバブル、nm程度のナノバブル等が存在する。
汚染物91を貯留槽13内において浮上させるためには、汚染物91に気泡が効率的に付着する必要がある。すなわち、除去しようとする汚染物91の大きさ(基板処理装置1内に存在する汚染物91の大きさ)に応じて気泡の大きさを選択することが好ましい。
また、一般に、大きい気泡ほど短時間で消滅し、洗浄水内に留まる時間が短くなる。したがって、気泡混入効果を持続させるという観点では、混入させる気泡は小さい方が好ましい。
これらの点を考慮して、本実施の形態における気液混合部17は、洗浄水に混入する気泡として、マイクロバブルを発生させる構造(マイクロバブル発生機構)である。なお、マイクロバブルを混入する手法としては、加圧溶解方式に限定されるものではなく、例えば、旋回加速方式等が採用されてもよい。
また、本実施の形態における洗浄水供給ユニット12は、フィルタ18と、排出配管19と、供給部20とを備える。
フィルタ18は、送液ポンプ14の下流側に配置されており、送液ポンプ14により処理槽11(吐出ノズル15)に向けて送液される洗浄水から汚染物91等を除去し、循環する洗浄水を清浄化させる。
排出配管19は、貯留槽13の側面上部に連通接続されており、貯留槽13に貯留された洗浄水のうち、比較的上層部の洗浄水を排出する。すなわち、貯留槽13内の洗浄水は、オーバーフローにより排出される。
供給部20は、制御部2からの制御信号に応じて、貯留槽13に向けて新しい洗浄水を補充する。供給部20は、貯留槽13の下層部に洗浄水を供給する。これにより、循環供給される洗浄水に、所定の割合で新液が混入されるので、処理槽11に供給される洗浄水の劣化が抑制される。なお、本実施の形態における供給部20は洗浄水として「純水」を供給するが、純水に限定されるものではない。
一般に、送液ポンプ14が定常駆動されている状態では、送液ポンプ14によって貯留槽13から処理槽11に供給される洗浄水の量と、回収配管16から貯留槽13に回収される洗浄水の量とは、ほぼ等しい。すなわち、送液ポンプ14を駆動しただけでは、貯留槽13内の洗浄水の量は一定(厳密には微減)に保たれるため、貯留槽13において洗浄水のオーバーフローは生じない。
しかし、供給部20が循環する洗浄水の量を増加させる働きを有しているため、貯留槽13内において洗浄水の液面は上昇し、貯留槽13の側面上部に連通接続された排出配管19から洗浄水がオーバーフローにより排出される。オーバーフローさせる洗浄水の量は、供給部20が供給する洗浄水の量によって調整することができ、供給部20が供給する洗浄水の量は、制御部2からの制御信号に応じて決定することができる。
なお、貯留槽13から洗浄水を排出させる構成は、これに限定されるものではない。例えば、貯留槽13の上部を開口させて当該開口から貯留槽13の周囲下方に向けてオーバーフローさせる構造としてもよいし(排出配管19が貯留槽13に接続されない)、排出配管19にポンプを設けて貯留槽13の上部から汲み上げて排出するものでもよい。すなわち、貯留槽13に貯留された洗浄水のうち、比較的上層部にある洗浄水を選択的に排出する構造であればどのような構造であってもよい。
詳細は図示しないが、制御部2は、CPU、記憶装置、操作部および表示部等の構成を備え、プログラム等に従って動作し、一般的なコンピュータとしての機能を有する。図1では、制御部2が送液ポンプ14、気体供給部170および供給部20とにのみ接続されているように示しているが、実際の制御部2は基板処理装置1の各構成と接続されており、これらを適宜制御する。
処理ユニット3は洗浄ユニット10において実行される処理の前工程を行うユニットであり、処理ユニット4は洗浄ユニット10において実行される処理の後工程を行うユニットである。処理ユニット3,4における処理は、特に限定されるものではないので、ここでは具体的な説明を省略する。
搬送部5は、制御部2からの制御信号に基づいて、基板処理装置1における基板90の搬送を行う。すなわち、搬送部5は、基板90に対して実行される処理順序等に従って、所定の基板90を所定の位置に搬送する機能を有する。
なお、本実施の形態における搬送部5は、図1に示すように、コロ搬送による方式を採用する。しかし、搬送部5は、このような構造に限定されるものではない。例えば、シャトル搬送や搬送ロボット(把持)等の方式が採用されてもよい。
以上が基板処理装置1の構成および機能の説明である。
次に、基板処理装置1(洗浄ユニット10)が洗浄水供給ユニット12を備えることにより、貯留槽13において汚染物91が除去される原理について説明する。
処理槽11において洗浄処理が開始されると、吐出ノズル15から洗浄水が基板90に向けて吐出される。本実施の形態における気液混合部17は、処理槽11に向かう洗浄水にマイクロバブルを混入する。これにより、吐出ノズル15から吐出される洗浄水にはマイクロバブルが含まれている。
洗浄水供給ユニット12は、フィルタ18の下流側にマイクロバブルを混入させることにより、基板90に供給する洗浄液については、マイクロバブルが破壊される前に供給することができる。したがって、比較的多量のマイクロバブルを含んだ洗浄水を基板90に供給できるので、マイクロバブルの洗浄効果により、洗浄水の洗浄力が向上する。
洗浄処理に使用された洗浄水(吐出ノズル15から吐出された洗浄水)は、基板90から流れ落ち、処理槽11の下部に到達する。この洗浄水(洗浄処理に使用された洗浄水)には、基板90から除去された汚染物91が含まれている。
処理槽11の下部に集められた洗浄水は、回収配管16を介して貯留槽13内に回収され貯留される。このとき、回収された洗浄水に含まれる汚染物91も同時に貯留槽13内に回収される。
一般に汚染物91の大きさは小さいので、容易には沈殿しない。言い換えれば、洗浄水を貯留しても、汚染物91は洗浄水中に、比較的長時間浮遊しつづける。このため、例えば貯留した状態の上澄みを循環させる等の手法を採用したとしても、洗浄水から有効に汚染物91を除去することは困難である。
これに対して、洗浄水供給ユニット12の貯留槽13内に回収された汚染物91には、洗浄水に含まれるマイクロバブル92が付着する。そのため汚染物91は、貯留槽13内でマイクロバブル92の浮力により比較的速やかに浮上する。この結果、図1に示すように、汚染物91は貯留槽13内の上層部に集まり、上層部の洗浄水における汚染物91の濃度が上昇する。
先述のように、貯留槽13では、主に排出配管19と供給部20とによって、貯留された洗浄水のオーバーフローが生じ、上層部の洗浄水が選択的に貯留槽13から排出される。すなわち、洗浄水供給ユニット12は、汚染物91の濃度が高い洗浄水を選択的に貯留槽13から排出する。したがって、循環供給される洗浄水から効果的に汚染物91が除去され、洗浄水は清浄化される。
以上のように、本実施の形態における洗浄水供給ユニット12は、洗浄水を貯留する貯留槽13と、貯留槽13の下層部に貯留された洗浄水を貯留槽13から排出しつつ送液する送液ポンプ14と、洗浄水に気体を混合させる気液混合部17とを備えることにより、循環する洗浄水に含まれる汚染物91を除去することができる。
これにより、循環供給する洗浄水の劣化が抑制され洗浄水の寿命が延びるため、供給部20から新たに供給する洗浄水の量を減少させることができる。すなわち、洗浄水の消費量を抑制することができる。
また、貯留槽13で汚染物91を除去することにより、循環する洗浄水に含まれる汚染物91が減少する。したがって、フィルタ18の目詰まりが抑制され、フィルタ18の寿命が延びるので、コストを抑制することができる。また、フィルタ18の交換頻度が減少するため、メンテナンスに要する時間を短縮することができる。
また、マイクロバブル92を空気の気泡によって生成することにより、洗浄水が酸化作用を発揮するため、循環経路内におけるバクテリアの発生を抑制することも可能である。すなわち、本実施の形態における洗浄水供給ユニット12は、有機物による汚染を効果的に抑制できる。
フィルタ18の下流側にマイクロバブルを混入するように配置することにより、混入されたマイクロバブルはその多くが消滅する前に吐出ノズル15から洗浄水とともに吐出される。したがって、マイクロバブルを多く含む洗浄水を洗浄処理に使用することができるため、洗浄力が向上する。
なお、本実施の形態における洗浄ユニット10は、吐出ノズル15から洗浄水を吐出させる単純構造で説明したが、具体的には、カーテン水洗、両面スプレー水洗または高圧ジェット等の方式が採用されてもよいし、複数の洗浄水を用いる二流体洗浄などの方式が採用されてもよい。また、これらの方式を複合的に採用する構成であってもよい。このような方式により洗浄力を向上させると、それに応じて回収される洗浄水の汚染度は悪化する。したがって、このような方式を採用する基板洗浄装置には、特に洗浄水供給ユニット12が有効である。
<2. 第2の実施の形態>
第1の実施の形態では、フィルタ18の下流側にマイクロバブルを混入するように混合部171が配置されていた。しかし、マイクロバブルを洗浄水に混入させる位置(循環経路上の位置)は、これに限定されるものではない。例えば、貯留槽13に貯留されている洗浄水に直接マイクロバブルを混入するようにしてもよい。すなわち、混合部171を貯留槽13に設けて、気体供給部170において発生させた圧縮空気を貯留槽13に送り込むように構成してもよい。
第1の実施の形態では、フィルタ18の下流側にマイクロバブルを混入するように混合部171が配置されていた。しかし、マイクロバブルを洗浄水に混入させる位置(循環経路上の位置)は、これに限定されるものではない。例えば、貯留槽13に貯留されている洗浄水に直接マイクロバブルを混入するようにしてもよい。すなわち、混合部171を貯留槽13に設けて、気体供給部170において発生させた圧縮空気を貯留槽13に送り込むように構成してもよい。
このような構成によっても第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
また、発生したマイクロバブルのうち貯留槽13に到達するまでに消滅する量が減少するので、貯留槽13における汚染物91の除去効果が向上する。
<3. 変形例>
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
上記実施の形態では、洗浄ユニット10は洗浄処理のみ行うユニットとして説明したが、洗浄ユニット10の機能は洗浄処理に限定されるものではない。例えば、剥離処理を行った後に洗浄処理を行うものでもよい。すなわち、洗浄ユニット10は、洗浄処理に加えて、さらに他の処理を行うものでもよい。
また、上記実施の形態に示した空気はあくまでも例示であって、マイクロバブルとして混入される気体は空気に限定されるものではない。ただし、有機汚染を除去し、バクテリア等の発生を抑制するためには、例示した空気(酸素を含む混合気体)やオゾンのように、溶解した際に酸化作用を発揮する気体が好ましい。
また、送液ポンプ14は、制御部2からの流量制御等を受けることなく、常時定量の洗浄水を送液(循環)させるものであってもよい。
また、供給部20は循環経路内のどの位置に洗浄水を供給するものであってもよく、上記実施の形態に示すように貯留槽13に供給するものに限られない。例えば、供給部20は、フィルタ18を通過してきた洗浄水(循環する洗浄水)に、新たな洗浄水を補充してもよい。
さらに、マイクロバブルを混入させる位置(混合部171の配置位置)は、一箇所に限定されるものではない。目的や用途に応じて、気体供給部170によって発生させた圧縮空気を循環経路上の複数箇所に混入させるように構成してもよい。
10 洗浄ユニット
11 処理槽
12 洗浄水供給ユニット
13 貯留槽
14 送液ポンプ
15 吐出ノズル
16 回収配管
17 気液混合部
18 フィルタ
19 排出配管
20 供給部
2 制御部
90 基板
91 汚染物
92 マイクロバブル
11 処理槽
12 洗浄水供給ユニット
13 貯留槽
14 送液ポンプ
15 吐出ノズル
16 回収配管
17 気液混合部
18 フィルタ
19 排出配管
20 供給部
2 制御部
90 基板
91 汚染物
92 マイクロバブル
Claims (7)
- 洗浄水を循環供給する洗浄水供給ユニットであって、
洗浄水を貯留する貯留手段と、
前記貯留手段の下層部に貯留された洗浄水を前記貯留手段から吸引しつつ送液する送液手段と、
前記送液手段により送液された洗浄水を吐出して基板に供給する吐出手段と、
前記吐出手段により吐出された洗浄水を前記貯留手段に導く回収手段と、
洗浄水に気体を混合させる気液混合手段と、
を備えることを特徴とする洗浄水供給ユニット。 - 請求項1に記載の洗浄水供給ユニットであって、
前記送液手段により送液される洗浄水を清浄化させる清浄化手段をさらに備えることを特徴とする洗浄水供給ユニット。 - 請求項1または2に記載の洗浄水供給ユニットであって、
前記気液混合手段は、マイクロバブル発生機構であることを特徴とする洗浄水供給ユニット。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の洗浄水供給ユニットであって、
前記気液混合手段は、
前記送液手段から前記吐出手段に向けて送液されている洗浄水に気体を混合することを特徴とする洗浄水供給ユニット。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の洗浄水供給ユニットであって、
前記気液混合手段は、
前記貯留手段に貯留されている洗浄水に気体を混合することを特徴とする洗浄水供給ユニット。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の洗浄水供給ユニットであって、
前記貯留手段の上層部に貯留された洗浄水を排出することを特徴とする洗浄水供給ユニット。 - 基板を洗浄する基板洗浄装置であって、
内部に基板が配置される処理槽と、
前記処理槽に洗浄水を循環供給する洗浄水供給ユニットと、
を備え、
前記洗浄水供給ユニットは、
洗浄水を貯留する貯留手段と、
前記貯留手段の下層部に貯留された洗浄水を前記貯留手段から吸引しつつ送液する送液手段と、
前記送液手段により送液された洗浄水を吐出して基板に供給する吐出手段と、
前記吐出手段により吐出された洗浄水を前記貯留手段に導く回収手段と、
洗浄水に気体を混合させる気液混合手段と、
を備えることを特徴とする基板洗浄装置。
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