KR100964869B1 - 필터유닛, 이를 갖는 기판 제조장치 및 그 제조방법 - Google Patents

필터유닛, 이를 갖는 기판 제조장치 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 세정공정에 사용된 세정액 내에 잔류하는 미세입자를 거르는 세정장치를 제공한다. 본 발명의 실시 예에 의하면 미세입자를 거르기 위한 세정장치는 세정유닛 내에서 세정유닛 외부로 배출된 세정액을 저장시키는 하우징(HOUSING); 세정액 내에 잔류하는 미세입자를 거르는 필터유닛; 및 상기 하우징(HOUSING) 내에서 상기 하우징(HOUSING) 외부로 세정액을 배출시키는 펌프에 설치하는 배관을 포함하되; 상기 필터유닛은 측벽의 개 구에 삽입 고정되어 설치되는 메시필터(MESH FILTER)를 갖는다.
Figure R1020080053343
필터유닛, 폐수처리유닛, 하우징, 메시필터, 세정유닛, 펌프, 배관

Description

필터유닛, 이를 갖는 기판 제조장치 및 그 제조방법{FILTER UNIT, ANAPPRATUS OF MANUFACTURING SUBSTRATE AND A METHOD OF MANUFACTURING SUBSTRATE HAVING THE SAME}
본 발명은 기판 처리를 위한 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 필터유닛을 사용하여 세정액 내에 미세입자를 걸러서 기판을 처리하는 기판 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 기판 제조공정은 투명한 기판상에 이미지를 표시하는 최소단위인 화소 영역이 정의된 표시패널이 복수 개 형성된 투명한 기판의 스크라이브(SCRIBE) 영역을 절단하는 스크라이빙(SCRIBING) 공정과 절단된 기판을 세정하는 세정공정을 포함한다. 앞서 기술한 바와 같이 투명 기판상의 스크라이브(SCRIBE) 영역을 절단하는 스크라이빙(SCRIBING) 공정작업을 진행 한 다음 세정유닛에서 세정공정을 실시한다. 폐수처리유닛의 일부인 하우징(HOUSING) 내에는 세정액 내에 잔류하는 미세입자를 거르는 별도의 필터유닛이 없기 때문에 세정공정에 사용된 세정액은 배관을 통해 하우징(HOUSING) 내로 유입되고 유입된 세정액 내에 잔류하는 미세입자가 하우징(HOUSING) 내에서 하우징(HOUSING) 외부로 세정액을 배출하는 펌 프에 설치된 배관 내에 고정되는 석션필터(SUCTION FILTER)로 이동하여 막히게 함에 따라 펌프의 압력저하 및 과부하 등의 문제점이 발생한다.
세정공정에서 사용된 세정액 내에 잔류하는 미세입자가 펌프에 설치된 배관 내에 고정되는 석션필터(SUCTION FILTER)로 이동하여 막히게 함에 따라 펌프의 압력저하 및 과부하가 발생하는 것을 방지한다.
본 발명에 따른 기판 세정장치는 기판을 세정하는 세정유닛; 상기 세정유닛 외부에 배치되고 상기 세정유닛에 사용된 세정액 내부에 잔류하는 미세입자를 거르는 폐수처리유닛을 포함하되, 상기 폐수처리유닛은 상기 세정유닛 내에서 상기 하우징(HOUSING) 내로 상기 세정액을 유입시키는 제 1 배관; 상기 제 1 배관을 통해 상기 하우징(HOUSING) 내로 유입된 상기 세정액 내에 잔류하는 미세입자를 거를 수 있도록 상기 제 1 배관을 둘러싸게 설치되는 제 1 필터유닛; 및 상기 세정액을 상기 하우징(HOUSING) 내에서 상기 하우징(HOUSING) 외부로 배출시키는 펌프에 설치된 제 2 배관을 포함한다.
본 발명에 따른 세정유닛은 기판이 통과할 수 있는 개 구를 갖는 크린부스(CLEAN BOOTH); 상기 크린부스(CLEAN BOOTH) 내에 배치되며 상기 기판을 이송하는 이송 샤프트(SHAFT): 및 상기 크린부스(CLEAN BOOTH) 내에 배치되고 상기 기판상에 세정액을 분사시키는 노즐(NOZZLE)을 포함한다.
본 발명에 따른 폐수처리유닛은 하우징(HOUSING); 상기 하우징(HOUSING) 외부에서 상기 하우징(HOUSING) 내로 세정액을 유입시키는 제 1 배관; 상기 제 1 배관을 통해 상기 하우징(HOUSING) 내로 유입된 상기 세정액 내에 잔류하는 미세입자를 거를 수 있도록 상기 제 1 배관을 둘러싸게 설치되는 제 1 필터유닛; 및 상기 세정액을 상기 하우징(HOUSING) 내에서 상기 하우징(HOUSING) 외부로 배출시키는 펌프에 설치된 제 2 배관을 포함한다.
세정유닛 내에서 하우징(HOUSING) 내로 세정액을 유입시키는 배관을 둘러싸게
설치된 필터유닛을 하우징(HOUSING) 하면에 탈부착이 가능토록 설치함으로써 세정액 내에 잔류하는 미세입자가 펌프에 설치된 배관 내에 고정되는 석션필터(SUCTION FILTER)로 이동을 못 하게 걸러줌으로써 펌프의 압력저하 및 과부하 등의 발생을 방지할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 3을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
투명 기판상에는 이미지를 표시하는 최소단위인 화소 영역으로 정의된 복수 개의 화소가 형성된 복수 개의 평판표시패널이 형성되며 상기 각기의 평판표시패널은 스크라이브(SCRIBE) 영역을 경계로 대칭되도록 서로 인접하게 형성되어 있다. 그리고 상기 각기의 평판표시패널은 스크라이빙(SCRIBING) 공정을 통해서 분리되는데, 이때 상기 각기의 평판표시패널 상면 및 하면 상에 미세입자들이 부착되게 되고 이를 없애기 위한 세정작업을 실시한다. 도 1 및 도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 평판표시패널(G)의 세정장치가 도시되어 있다. 도 1을 참조하면, 상기 세정유닛(100)은 세정작업이 진행되는 크린부스(110)가 작업대(300) 상단에 설치되어 있으며 세정공정 시 세정액을 상기 평판표시패널(G)에 분사시키기 위해 상기 크린부스(100) 상단의 양 측면에 고정되어 세정액을 공급하는 파이프 내에 복수 개의 노즐(150)들이 설치되어 있다. 상기 평판표시패널(G)은 상기 작업대(300) 상단 및 상기 크린부스(110) 측면에 고정되어 회전 가능하도록 설치된 복수 개의 이송 샤프트(250)들에 의해서 이송된다. 상기 평판표시패널(G)의 상면과 하면에 부착된 미세입자를 세정하는데 사용된 세정액을 상기 세정유닛(100) 내에서 폐수처리유닛(120)의 일부분인 저장조(160)로 유입시키는 제 1 배관(220)이 상기 작업대(300)의 하면에 설치된다.
도 2를 참조하면, 상기 평판표시패널(G)을 세정하는데 사용된 세정액은 상기작업대(300)의 하면과 연결된 상기 제 1 배관(220)을 통해 상기 폐수처리유닛(120)의 일부분인 상기 하우징(160) 내로 유입된다. 상기 제 1 배관(220)은 상기 하우징(160) 내로 돌출되며 제 1 필터유닛(180)으로 둘러싸이고 상기 제 1 필터유닛(180)의 최상 면보다 아래쪽으로 뻗어있다. 세정공정에서 사용된 세정액 내에 잔 류하는 미세입자를 상기 폐수처리유닛(120) 내의 상기 제 1 필터유닛(180)으로 거르고 상기 제 1 필터유닛(180)은 상기 하우징(160) 하면에 탈부착이 가능토록 설치된다. 다른 세정액을 사용할 경우에 기존 사용했던 세정액을 상기 하우징(160) 밖으로 배출시킬 수 있도록 상기 하우징(160) 하면에는 제 3 배관(280)이 설치된다. 상기 하우징(160) 내에서 상기 하우징(160) 외부로 상기 세정액을 배출시키는 펌프(140)에 설치되고 상기 하우징(160) 내에 구비되는 상기 제 2 배관(240)의 끝단에 제 2 필터유닛(200)을 설치한다. 상기 세정액이 넘쳐서 상기 제 1 필터유닛(180)을 통과하지 못했거나, 상기 제 2 필터유닛(200)은 상기 제 1 필터유닛(180)을 통과한 상기 세정액을 다시 걸러줌으로써 세정액 내에 잔류하는 미세입자를 더욱 세밀하게 걸러줄 수가 있다.
도 3을 참조하면, 상기 제 1 필터유닛(180)은 상단부가 개 구 되고 원통 형상을 하고 있어 원통 형상을 하고 있는 상기 제 1 배관(220)을 가장 효율적으로 둘러싸고 있을 뿐만 아니라, 상기 세정액이 넘쳐도 자연스럽게 흐르게 할 수 있다. 또한, 제 1 필터홀더(260)의 측면에 복수 개의 개 구가 형성되고 상기 제 1 필터홀더(260) 내에 형성된 복수 개의 개 구에 제 1 필터(170)가 삽입 고정되어 상기 제 1 필터유닛(180)이 구비된다. 세정액 내에 잔류하는 미세입자가 상기 제 1 필터유닛(180)을 통과할 때 상기 제 1 필터(170)에 의해 걸러져서 상기 펌프(140)에 설치된 상기 제 2 배관(240) 내에 구비되는 석션필터(미도시)로 이동하여 막히게 하는 것을 방지하여 펌프의 압력저하 및 과부하가 발생하는 문제점을 해결할 수가 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 기판 세정유닛의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바림직한 실시 예에 따른 기판 폐수처리유닛의 구성도이다.
도 3는 본 발명의 필터유닛을 보여주는 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 세정유닛 110 : 크린부스(CLEAN BOOTH)
120 : 폐수처리유닛 140 : 펌프
150 : 노즐(NOZZLE) 160 : 하우징(HOUSING)
170 : 제 1 메시필터(MESH FILTER) 180 : 제 1 필터유닛
200 : 제 2 필터유닛 220 : 제 1 배관
240 : 제 2 배관 250 : 이송 샤프트(SHAFT)
260 : 제 1 필터홀더 270 : 제 2 필터홀더
280 : 제 3 배관 290 : 제 2 메시필터(MESH FILTER)
300 : 작업대

Claims (10)

  1. 기판을 세정하는 기판 제조장치에 있어서,
    기판을 세정하는 세정유닛;
    상기 세정유닛 외부에 배치되고 상기 세정유닛에 사용된 세정액 내부에 잔류하는 미세입자를 거르는 폐수처리 유닛을 포함하되,
    상기 폐수처리 유닛은,
    상기 세정액이 저장되는 공간이 내부에 형성된 하우징(HOUSING);
    상기 세정유닛으로부터 상기 하우징(HOUSING)의 내부로 상기 세정액을 공급하는 제 1 배관;
    상기 제 1 배관에서 배출된 상기 세정액 내에 잔류하는 미세입자를 거를 수 있도록 상기 제 1 배관을 둘러싸는 제 1 필터유닛; 및
    상기 하우징(HOUSING) 내부에 저장된 상기 세정액을 상기 하우징(HOUSING) 외부로 배출하며, 펌프가 설치되는 제 2 배관;
    상기 하우징에 저장된 상기 세정액을 상기 하우징의 외부로 배출시키는, 그리고 상기 제 2 배관과 분리된 제 3 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 제조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 세정유닛은.
    기판이 통과할 수 있는 개 구를 갖는 크린부스(CLEAN BOOTH);
    상기 크린부스(CLEAN BOOTH) 내에 배치되며 상기 기판을 이송하는 이송 샤프트(SHAFT); 및
    상기 크린부스(CLEAN BOOTH) 내에 배치되며 상기 기판으로 세정액 을 공급하는 노즐(NOZZLE)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 제조장치.
  3. 하우징(HOUSING);
    상기 하우징(HOUSING) 외부로부터 상기 하우징(HOUSING) 내로 세정액을 유입하는 제 1 배관;
    상기 제 1 배관을 통해 유입된 상기 세정액으로부터 미세입자를 거를 수 있도록 상기 제 1 배관을 둘러싸게 배치되는 제 1 필터유닛; 및
    상기 하우징(HOUSING) 내 세정액을 상기 하우징(HOUSING) 외부로 배출하며, 펌프가 설치되는 제 2 배관;
    상기 하우징에 저장된 상기 세정액을 상기 하우징의 외부로 배출시키는, 그리고 상기 제 2 배관과 분리된 제 3 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 폐수처리 유닛.
  4. 청구항 제 3항에 있어서,
    상기 세정액 내에 잔류하는 미세입자가 상기 펌프로 유입되는 것을 방지할 수 있도록 상기 제 2 배관에 설치되는 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 폐수처리 유닛.
  5. 청구항 제 3항에 있어서, 상기 제 1 필터유닛은,
    원통 형상을 갖는 측벽에 개 구들이 형성된 필터홀더; 및
    상기 각기의 개 구에 삽입 고정된 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 폐수처리 유닛.
  6. 청구항 제 3항 또는 제 5항에 있어서, 상기 제 1 필터유닛은 원통 최상부가 개방된 개 구를 갖는 것을 특징으로 하는 폐수처리 유닛.
  7. 청구항 제 6항에 있어서, 상기 제 1 필터유닛은 하우징(HOUSING) 하부에 맞닿게 설치되는 것을 특징으로 하는 폐수처리 유닛.
  8. 기판을 세정유닛 내부로 이송하는 단계;
    상기 세정유닛 내부로 이송된 상기 기판상에 세정액을 분사하여 상기 기판을 세정하는 단계;
    상기 기판 세정에 사용된 상기 세정액을 제1배관을 통해 하우징 내로 공급하는 단계;
    싱기 세정액이 토출되는 상기 제1배관의 끝단을 둘러싸는 제1필터유닛을 이용하여 상기 세정액 내에 잔류하는 미세입자를 거르는 단계;
    미세입자가 걸러진 상기 세정액을 제2배관을 통해 상기 하우징의 외부로 배출하는 단계; 및
    상기 세정유닛 내부에서 상기 세정액과 다른 종류의 세정액을 분사하여 상기 기판을 세정하는 경우, 상기 하우징 내에 잔류하는 상기 세정액을 제3배관을 통해 하우징의 외부로 배출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 하우징 내의 제 2 배관 끝단에 설치된 제 2 필터유닛을 통해 상기 세정액 내에 잔류하는 미세입자를 거르는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 제조방법.
  10. 청구항 제 8항에 있어서, 상기 세정유닛 내로 이송된 기판은 스크라이빙(SCRIBING) 공정이 수행된 기판인 것을 특징으로 하는 기판 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH07326570A (ja) * 1994-05-30 1995-12-12 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
KR20060089846A (ko) * 2005-02-04 2006-08-09 주식회사 에네트 여과장치
KR20080047817A (ko) * 2006-11-27 2008-05-30 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법

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