JP4835304B2 - 現像ノズル及び現像装置 - Google Patents
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Description
このカラーフィルタ基板は通常赤色、緑色、青色の着色画素を複数個、透明基板上に配列したものである。そして、コントラストの良好な画面を得るために、カラーフィルタ基板のこれら着色画素間に黒色のブラックマトリックスを形成している。
2色目以降も同様にして、緑色、青色の着色樹脂層(4)、(5)を着色画素として形成し(図2(c)、(d))、カラーフィルタ基板とするものである。
現像槽(20)内にはスプレー機構(21)、リンス槽(30)内には低圧スプレー機構(31)、残渣除去槽(40)内にはノズルスプレー機構(41)が設けられている。尚、図1において、符号(11)は現像前の基板を示している。
図3及び図4に示すように、スプレー機構(21)は、スプレー機構(21)の下方にて進行する基板に現像液を噴射する現像ノズル(23)と、内部に配管の役目をする流路が形成されており、外部の下方に複数の現像ノズルを取り付ける接続口を備えたマニホールド(集合管)(24)で構成されている。
また、マニホールド(24)の上部には、外部から現像液を供給する配管(図示せず)を接続する取り入れ口(25)が設けられている。
現像槽(20)内部でのスプレー機構(21)の配置は、白太矢印で示す基板の進行方向
とスプレー機構(21)の長手方向を平行且つ水平にして、基板の進行方向と直角な横幅方向に複数個が一定間隔(L4)で平行に設けられている。
従って、現像ノズル(23)の配列は、基板の進行方向及び横幅方向で、各々一定間隔(L3、L4)を有した配列となっている。
このようなスプレー機構を有する現像槽(20)での基板の有効幅(規定寸法)は、符号(L1)で示すスプレー機構(21)の配置の両端間の距離に略等しい。従って、有効幅(規定寸法)以下のサイズを有する基板を用いた現像処理においては、未露光部の着色フォトレジストは均一に除去され、基板の全面で良好な現像が行われる。
スプレー機構(21)の現像ノズル(23)から、下方にてコンベア装置(60)上を進行する基板(11)にシャワー状に噴射された現像液(D)は、未露光部の着色フォトレジストを溶解、除去し、スプレー機構(21)の下方に設けられた受け槽(26)へ落下する。
そして、現像液は、再びスプレー機構(21)へと供給される。すなわち、現像液の循環方式による現像処理である。
また、貯留タンク(28)には、補給タンク(29)内の補充現像液が、例えば、外部からの空気又は窒素などの気体による加圧によって、随時に補充されるようになっている。
中空アダプター(71)は、図6中、上半の垂直部(71A)と、中空アダプターの長手方向の略中央で逆「く」の字の形に屈曲した屈曲部(71B)で構成されている。また、ストレーナー(濾過網)(72)は屈曲部(71B)内に設けられている。
ストレーナー(72)は、前記図5に示す濾過フィルタ(F)にて捕捉されず、濾液に含まれたまま供給された現像液中の現像カスを、現像ノズル先端部(73)から噴射する直前に捕捉するためのものである。
現像ノズルの詰まりが発生した場合には、現像ノズルの交換が行われるが、現像ノズルの交換は、現像装置の稼働率を相応に低下させるといった支障が伴う。
濾過フィルタ(F)のポアサイズをより高精細なものに切り換えると、確かに現像ノズルの詰まりは低減される。しかしながら、濾過フィルタ(F)の交換頻度が増加し、また、循環流路の洗浄作業が付随してくる。この交換頻度の増加、及び洗浄作業を行うことによる稼働率、不良率への影響は甚大なものである。
この技法は、スラリー中の大径凝集研磨粒子を効果的に除去しながら、装置の安定稼働を維持することができる化学的機械研磨装置を提供するものである。
また、沈降ボックスのメンテナンスも頻繁に行う必要はなく、装置の安定稼働を維持することができるとしたものである。
て、フォトリソグラフィ法により着色画素を形成するカラーフィルタ基板の現像装置において、現像液の供給循環機構に設けた濾過フィルタのポアサイズをより高精細なものに切り換えることなく、現像ノズルの詰まりを低減させることのできる、つまり、現像ノズルの詰まりが発生し難い現像ノズルを提供することを課題とするものである。
すなわち、現像ノズルの詰まりを低減させて、現像ノズルの交換頻度を少なくする。これにより、現像ノズルの交換に伴う稼働率の低下を防ぎ、また、現像ノズルの交換に伴う不良率の増加を防ぐことを狙うものである。
A)1)上部にマニホールドと接続する上部口、下部に開閉バルブと接続する下部口、
2)該上部口から下部口に垂直に貫通し、上半中空部とトラップとして機能する下半中空部で構成する垂直中空部、
3)該垂直中空部の上下略中央から、屈曲して斜下方に分岐した屈曲中空部、
4)該屈曲中空部の下部に現像ノズル先端部と接続する屈曲下部口を有する中空アダプター、
B)上記屈曲中空部内に設けられ、現像カスを捕捉するストレーナー、
C)上記屈曲下部口に接続し、現像液を下方へ噴射する現像ノズル先端部、
D)上記下部口に接続する開閉バルブ、及び該開閉バルブに接続する排液管、
を少なくとも具備することを特徴とする現像ノズルである。
図7は、本発明によるカラーフィルタ基板の現像装置用の現像ノズルの一例の断面図である。また、図8は、現像ノズルを構成する部品を分解して示す断面図である。図7及び図8に示すように、本発明による現像ノズルは、中空アダプター(80)、ストレーナー(濾過網)(83)、現像ノズル先端部(84)、開閉バルブ(85)、排液管(86)で構成されている。
下半中空部(81B)は、ストレーナー(濾過網)(83)で捕捉された現像カス(K2)を滞留させておくトラップとして機能するスペースである。
開閉バルブ(85)は、下半中空部(81B)に滞留した現像カス(K2)を外部へ排出する際に作動させ、現像カス(K2)を排液管(86)を経て外部へ排出する。
ストレーナー(83)は、前記濾過フィルタ(F)にて捕捉されず、濾液に含まれたまま供給された現像液中の現像カスを、現像ノズル先端部(84)から噴射する直前に捕捉するためのものである。
下半中空部(81B)に滞留した現像カス(K2)は、適宜に、開閉バルブ(85)を作動させ、現像カス(K2)を排液管(86)を経て外部へ排出する。
これにより、現像液の供給循環機構に設けた濾過フィルタのポアサイズをより高精細なものに切り換えることなく、現像ノズルの詰まりを低減させることのでき、現像ノズルの交換に伴う稼働率の低下を防ぎ、また、現像ノズルの交換に伴う不良率の増加を防ぐことが可能となる。
また、現像ノズルの交換に起因した、異物による不良率は、1.6%となっている。これは、従来における、現像ノズルの交換に起因した不良率が2.0%であることと比較し、本発明は0.4%の不良率の低下となって効果が表れている。
2・・・ブラックマトリックス
3・・・赤色の着色樹脂層
4・・・緑色の着色樹脂層
5・・・青色の着色樹脂層
10・・・搬入装置
11・・・現像前の基板
20・・・現像槽
21・・・スプレー機構
23・・・現像ノズル
24・・・マニホールド
25・・・取り入れ口
26・・・受け槽
27A・・・現像液を供給する配管
27B・・・現像液を戻す配管
28・・・貯留タンク
29・・・補給タンク
30・・・リンス槽
40・・・残渣除去槽
41・・・ノズルスプレー機構
42・・・エアーナイフ
50・・・搬出装置
60・・・コンベア装置
71・・・中空アダプター
71A・・・上半の垂直部
71B・・・屈曲部
72、83・・・ストレーナー(濾過網)
73、84・・・現像ノズル先端部
80・・・本発明における中空アダプター
81・・・垂直中空部
81A・・・上半中空部
81B・・・下半中空部
82・・・屈曲中空部
85・・・開閉バルブ
86・・・排液管
87・・・上部口
88・・・屈曲下部口
89・・・下部口
D・・・現像液
F・・・濾過フィルタ
K1、K2・・・現像カス
L1・・・基板の規定寸法(スプレー機構の両端部の距離)
L3・・・ノズルの一定間隔
L4・・・スプレー機構の一定間隔
P1・・・第一ポンプ
P2・・・第二ポンプ
Claims (2)
- カラーフィルタ基板の現像装置用の現像ノズルであって、
A)1)上部にマニホールドと接続する上部口、下部に開閉バルブと接続する下部口、
2)該上部口から下部口に垂直に貫通し、上半中空部とトラップとして機能する下半中空部で構成する垂直中空部、
3)該垂直中空部の上下略中央から、屈曲して斜下方に分岐した屈曲中空部、
4)該屈曲中空部の下部に現像ノズル先端部と接続する屈曲下部口を有する中空アダプター、
B)上記屈曲中空部内に設けられ、現像カスを捕捉するストレーナー、
C)上記屈曲下部口に接続し、現像液を下方へ噴射する現像ノズル先端部、
D)上記下部口に接続する開閉バルブ、及び該開閉バルブに接続する排液管、
を少なくとも具備することを特徴とする現像ノズル。 - 請求項1に記載の現像ノズルをマニホールドに取り付けたことを特徴とする現像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006204389A JP4835304B2 (ja) | 2006-07-27 | 2006-07-27 | 現像ノズル及び現像装置 |
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Publications (2)
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JP (1) | JP4835304B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH061761B2 (ja) * | 1986-02-07 | 1994-01-05 | 日本電信電話株式会社 | レジスト現像装置 |
JP4298384B2 (ja) * | 2003-06-04 | 2009-07-15 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 液供給装置および基板処理装置 |
JP4539336B2 (ja) * | 2005-01-13 | 2010-09-08 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ基板の現像方法及び現像装置 |
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JP2008032885A (ja) | 2008-02-14 |
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