JP2006503167A - 高い防湿性を有する、水性現像可能な感光性ベンゾシクロブテン系オリゴマー及びポリマー - Google Patents
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Abstract
Description
この反応混合物を、ヒドロキシル側鎖基を有する、オリゴマー又は低分子量ポリマーを形成するための条件に曝露し、そして
光スイッチ性基の前駆体を、ヒドロキシル側鎖基を有するオリゴマー又は低分子量ポリマーに、前駆体とヒドロキシル基との反応によってカップリングさせて、ベンゾシクロブテン基及び側鎖光スイッチ性基を有するオリゴマー又はポリマーを生成させる
ことを含む方法である。
(a)基体の上に、このような光スイッチ性側鎖基を有するオリゴマー又はポリマーの層を形成させ、
(b)この層を、活性化放射線に、画像様式(imagewise manner)で露光し、
(c)この層の露光した部分を、アルカリ性水溶液で洗浄することによって除去して、残留するパターン形成層を形成し、そして
好ましくは(d)この残留する層を活性化放射線に露光し、そして
(e)この残留する露光した層を加熱して、オリゴマー又はポリマーを硬化させ、そして残留するカルボン酸基を除去する
ことを含む方法である。
Xは、それぞれの存在において独立に、結合又は二価の結合基であり、
R1は放射線の活性化波長に露光されたときに、側鎖カルボン酸基を有する部分を形成し、続いて、加熱されたときに二酸化炭素の放出によって、実質的に非極性の部分に転化する感光性部分であり、
R2は、それぞれの存在において独立に、水素、脂肪族ヒドロカルビル、アリール、アラルキル又はシクロ脂肪族ヒドロカルビルであり、好ましくはR2は水素であり、
Yは結合又は二価の結合基であり、好ましくはYは−(Y’−Ar)p−O−(式中、Y’は酸素、硫黄又は不活性に置換された若しくは置換されていない脂肪族ヒドロカルビル基であり、pは0、1又は2であり、好ましくは0である)であり、
Arは、それぞれの存在において、独立に、2個以下の、それぞれの存在において独立に、アルキル、アリール、アラルキル、アルカリール、アルカノイル、アロイル、アルコキシ又はアリールオキシから選択された、水素以外の基によって任意に置換されているC6〜C10芳香族部分、好ましくはArはベンゼン環であり、
Zはアルキル、アリール又はハロゲンであり、そして
mは0、1、2又は3である。
それぞれのR4は、独立に、二価のエチレン性不飽和有機基、好ましくは炭素数1〜6のアルケニル基、最も好ましくは−CH2=CH2−であり、
それぞれのR5は、独立に、水素、炭素数1〜6のアルキル基、シクロアルキル、アラルキル又はフェニルであり、好ましくはR5はメチルであり、
それぞれのR6は、独立に、水素、炭素数1〜6のアルキル、クロロ又はシアノ、好ましくは水素であり、
nは1又はそれ以上の整数であり、そして
それぞれのqは、0〜3の整数である)
を有する。
Ar2は多価芳香族又はヘテロ芳香族基であり、そしてシクロブタン環の炭素原子はAr2の同じ芳香族環の隣接する炭素原子に結合しており、好ましくはAr2は単一の芳香族環であり、
pは1又はそれ以上の整数、好ましくは1であり、
Y2は一価の基、好ましくは水素、炭素数6以下の低級アルキル基である)
を有していてよい。第二モノマーの限定されない例には、
機械式攪拌機構、還流凝縮器及び窒素入口アダプターを取り付けた3Lの三つ口丸底フラスコ内に、臭素化ベンゾシクロブテンモノマー(このモノマーの合成方法については、例えば米国特許第4,822,930号明細書参照)(350g、1.91モル)、2−アリルフェノール(256g、ミリモル)、トリ−o−トリルホスフィン(10g、ミリモル)、酢酸パラジウム(II)(2.28g、ミリモル)、酢酸カリウム(144gの固体、402gの60重量%水溶液、合計モル=3.93)、水(131mL)及びDMF(585mL)を添加した。この内容物を窒素で30分間パージし、次いで93℃で一夜加熱した。室温まで冷却して、水(1L)及びトルエン(800mL)を添加した。有機層を分離し、水(4×1L)で洗浄し、そしてMgSO4で乾燥させた。粗製物質を、ショートパス蒸留装置を使用して2回蒸留して(150℃、3ミリトル)、薄色の油(220g、0.93モル、49%)を得た。キャラクタリゼーションによって、これが1−(ビシクロ[4.2.0]オクタ 1,3,5−トリエン−3−イル)−3−(2−ヒドロキシフェニル)−プロペン及び1−(2−ヒドロキシフェニル)−3−(ビシクロ[4.2.0]オクタ 1,3,5−トリエン−3−イル)−プロペンの混合物であることを確認した。収量は220g(0.93モル、49%)であった。
機械式攪拌機構、還流凝縮器及び窒素入口アダプターを取り付けた3Lの三つ口丸底フラスコ内に、臭素化ベンゾシクロブテン(350g、1.91モル)、アクリル酸2−ヒドロキシエチル(226g、1.95ミリモル)、トリ−o−トリルホスフィン(12.45g、ミリモル)、酢酸パラジウム(II)(2.29g、ミリモル)、酢酸カリウム(385g、モル)、水(292mL)及びDMF(585mL)を添加した。この内容物を窒素で40分間パージし、次いで95℃で一夜加熱した。室温にまで冷却して、水(1L)及びトルエン(800mL)を添加した。有機層を分離し、水(4×1L)で洗浄し、そしてMgSO4で乾燥させた。粗製物質を、ショートパス蒸留装置を使用して2回蒸留して(151℃、4ミリトル)、薄色の油(330g、1.51モル、79%)を得た。キャラクタリゼーションによって、これが2−ヒドロキシエチル 1−(ビシクロ[4.2.0]オクタ 1,3,5−トリエン−3−イル)−アクリレートであることを確認した。
実施例1で製造した化合物1(45.07g、0.19モル)及びDVS−ビスBCB(24.6g、0.063モル)を、機械式攪拌機、窒素入口及び凝縮器を取り付けた500mLの三つ口フラスコに入れた。この混合物を攪拌し、窒素下で油浴によって、170℃で25.5時間加熱した。GPCによって、989g/モルのMwが示された。
磁気攪拌棒、還流凝縮器及び窒素入口アダプターを取り付けた1Lの三つ口丸底フラスコに、実施例3からの側鎖フェノールを有するBCBオリゴマー(49.1g、フェノキシ官能基134ミリモル)、2−ジアゾ−1,2−ナフトキノン−5−スルホニルクロリド[DNQ−スルホニルクロリド](36.7g、137ミリモル)及びアセトン(300mL)を装入した。この内容物を氷/水浴中で15℃まで冷却し、アセトン(50mL)中のトリエチルアミン(14.5g、143ミリモル)を、10分間かけて滴下により添加した。氷/水浴を取り去り、光から保護しながら20時間、攪拌を続けた。この反応混合物を、1%のHCl水溶液(1200mL)を含有するフラスコの中に注いだ。ポリマーが粘着性の塊に沈殿した。このポリマー塊を、ジクロロメタン(500mL)を使用して溶解した。層を分離し、所望のポリマーを含有するジクロロメタン層を、1%のHCl水溶液(300mL)で洗浄した。有機溶液を、硫酸ナトリウムで乾燥させ、濾過した。ロータリーエバポレーター上で真空下で溶媒を除去して、溶媒で僅かに湿った粗製生成物(58g)を得た。この生成物を、残留する溶媒を排除するために、窒素を流しているフード内に置くことによって乾燥させた。
実施例4からのオリゴマー(3g)を、6.1gのシクロヘキサノン中に溶解させた。ダウ・ケミカル社からのAP3000接着促進剤を、Siの4インチ試験ウェーハの上に、500rpmで5秒間及び2000rpmで30秒間スピンコートした。BCB−フェノキシ−DNQ溶液を、接着促進剤の上に、500rpmで10秒間スピンコートし、続いて2000rpmで30秒間スピニングした。このウェーハをホットプレート上で75℃で40秒間ベークした。頂部にスプレーした水の微細なミストを有するウェーハを、カール・スス(Karl Suss)露光ツールで、365nmの波長でマスクを通して露光した。マスクとフィルムとの間のギャップは、30μmであった。露光線量は300mJ/cm2であった。露光したウェーハは2.4%TMAH浴中に2分間浸漬した。20μmのバイアスが開放であった。パターン形成したウェーハを、300mL/cm2のために頂部にスプレーした水の微細なミストと共に、フラッド露光し、続いて、窒素パージしたオーブン内で250℃で1時間硬化させた。
実施例5に記載したのと同様のシクロヘキサノン溶液中のBCB−フェノキシ−DNQを、FTIRウェーハの上にスピンコートし、続いて75℃で40秒間ベークした。頂部にスプレーした水の微細なミストを有するウェーハを、365nm波長の放射線に、石英マスクを通して露光した。IR分光法によって、DNQ(2160cm-1から2120cm-1までのピークの消失)のカルボン酸(3000cm-1の周りの広い吸収及び1680cm-1での強いピークの出現)への転化が示された。このウェーハは窒素パージしたオーブン内で250℃で1時間硬化させた。ウェーハのIRスペクトルによって、カルボン酸の除去(1680cm-1でのピークの消失)が示された。
化合物1(45g、0.19モル)及びDVS−ビスBCB(7.37g、0.0019モル)を、機械式攪拌機、窒素入口及び凝縮器を取り付けた500mLの三つ口フラスコに入れた。この混合物を攪拌し、窒素下で油浴によって、170℃で24時間加熱した。GPCによるMwは2910g/モルのMwであった。
磁気攪拌棒、還流凝縮器及び窒素入口アダプターを取り付けた1Lの三つ口丸底フラスコに、実施例7からの生成物(39.32g、フェノキシ官能基143ミリモル)、DNQスルホニルクロリド(39.2g、146ミリモル)及びアセトン(325mL)を装入した。トリエチルアミン(15.4g、152ミリモル)を10分間かけて滴下により添加した。光から保護しながら20時間攪拌を続けた。この反応混合物を1N HCl(300mL)及びジクロロメタン(500mL)を含有するフラスコの中に注いだ。層を分離し、水性層を追加のジクロロメタン(100mL)で抽出した。一緒にしたジクロロメタン層を、1N HCl水溶液(100mL)で洗浄した。有機溶液を、硫酸ナトリウムで乾燥させ、濾過した。ロータリーエバポレーター上で真空下で溶媒を除去して、溶媒で僅かに湿った粗製生成物(75g)を得た。この生成物を、残留する溶媒を排除するために、窒素を流しているフード内に置くことによって乾燥させた。
化合物2(25.4g、0.117モル)及びDVS−ビスBCB(15.2g、0.039モル)を、機械式攪拌機、窒素入口及び凝縮器を取り付けた500mLの三つ口フラスコに入れた。この混合物を攪拌し、窒素下で油浴によって、170℃で19時間加熱した。GPCによるMwは848g/モルであった。
250mLの黄褐色ジャー内に、化合物2(3.20g、14.7ミリモル)、DNQスルホニルクロリド(4.01g、14.9ミリモル)及びアセトン(80mL)を添加した。この攪拌した溶液に、トリエチルアミン(5gのアセトン中の2.50g、24.7ミリモル)を2分間かけて添加した。この反応混合物を、一夜暗所で室温で攪拌し、その間に顕著な量の固体が生成した。この時間の後、この混合物を、水中1%HCl(250mL)を含有する1Lのビーカーの中にゆっくり注いだ。添加の間に水を攪拌した。得られた黄色固体を濾過し、水(6×25mL)で洗浄し、真空下で乾燥させた。IRによって、DNQ基に起因する2160cm-1及び2120cm-1での強い吸収並びにスルホネート基に起因する1355cm-1、1175cm-1及び1000−770cm-1での強い吸収が示された。この化合物のプロトンNMRスペクトルは、ヒドロキシル基のDNQスルホネートへの転化と一致した。
実施例9からの生成物(12.0g、ヒドロキシル基34.5ミリモル)、DNQスルホニルクロリド(12.0g、44.7ミリモル)、トリエチルアミン(7.20g、71ミリモル)及びアセトン225gを、500mLの黄褐色のねじ蓋付きバイアルの中に入れた。この混合物を一夜室温で攪拌した。大量の固体が生成した。この混合物を400mLの1%HClの中に注いだ。粘着性の赤色固体が生成した。上層をデカンテーションし、固体を氷水で数回洗浄した。この固体をアセトン中に溶解し、丸底フラスコに移し、ロータリーエバポレーターによって乾固までアセトンを除去した。生成物の収量は17.84gであった。
ダウ・ケミカル社からの接着促進剤AP3000を、Siの4インチ試験ウェーハの上に、500rpmで5秒間及び2000rpmで30秒間スピンコートした。実施例11に於けるようなオリゴマー溶液(シクロヘキサノン中40重量%)を、接着促進剤の上に、500rpmで5秒間及び2000rpmで30秒間スピンコートした。このウェーハを、75℃で45秒間ベークし、室温にまで冷却させ、水の微細なミストでスプレーし、そしてフォトマスクを通して露光した(ウェーハとマスクとの間のギャップは100ミクロンであった。線量は、365nmで測定したとき300mJ/cm2であった)。このウェーハは1.4%TMAHを使用して15秒間現像した。マスクパターンに対応する画像が、光学顕微鏡下で明瞭に目に見えた。次いで、このウェーハをフラッド露光し、続いて250℃で1時間硬化させた。画像の断面は、1.6μmの高さ差を示した。
3.01gの実施例12に於けるオリゴマー、4.0gのシクロヘキサノン及び1.0gの1−メチル−2−ピロリジノン(NMP)から製造した溶液を、4インチSiウェーハの上に、500rpmで5秒間及び150rpmで30秒間スピンコートした。このウェーハを、75℃で45秒間ベークし、室温にまで冷却させ、そしてフォトマスクを通して露光した(フィルムとマスクとの間のギャップは100ミクロンであった。露光線量は、365nmで測定したとき300mJ/cm2であった)。このウェーハを、1.4%TMAHを使用して15秒間現像した。マスクパターンに対応するパターン形成されたフィルムが生成した。
実施例4からのこのオリゴマーを、0.71gの、66.5%NMP及び33.5%アセトン溶液中に溶解させた。この配合物をMTIスピンコーター上に、温度26℃及び48%の湿度対照でスピンコートした。スピンコーティング工程は、2mLの配合物を4インチシリコンウェーハの中間に付与しながら、50rpmのダイナミック付与からなっていた。スピン速度を5秒間500rpmに上昇させて、30秒の最終フィルム厚さスピン時間で材料を展開した。MTIトラックコーターの一定温度及び湿度での60秒ドエル時間を使用した。DNQカップルドBCBフィルムの露光はカール・スス・マスクアライナー・モデルMA150上で行った。使用した石英マスクは、円形及び方形開口の両方で、サイズが100umから3umのビア開口を有する、ダウ試験マスクであった。10umギャップで336mJ/cm2の露光線量を使用した。露光したウェーハを、2.4%TMAH浴中に1.5分間浸漬させた。10μmのバイアスが0.75umフィルムで開放であった。
Claims (30)
- ポリマー主鎖、ベンゾシクロブテン反応性基及び光スイッチ性側鎖基を含んでなる硬化性オリゴマー又はポリマーであって、前記側鎖基が放射線の活性化波長への露光でカルボン酸基を生成する部分の存在によって特徴付けられ、前記側鎖基が、カルボン酸基の生成の後に、前記オリゴマー又はポリマーが加熱によって硬化されたときに二酸化炭素を放出し、この基が実質的に非極性部分を形成する点で更に特徴付けられるオリゴマー又はポリマー。
- オリゴマー又はポリマーがベンゾシクロブテン含有モノマーの部分的重合反応生成物である請求項1に記載のオリゴマー又はポリマー。
- 放射線への露光が水の存在下又は高度に湿潤な環境中で起こる請求項1に記載のオリゴマー又はポリマー。
- 側鎖基がジアゾキノン(diazoquinone)を含む請求項1に記載のオリゴマー又はポリマー。
- 側鎖基がジアゾナフタキノンを含む請求項1に記載のオリゴマー又はポリマー。
- 側鎖基が250〜800グラム/モルの側鎖基の当量重量で存在する請求項1に記載のオリゴマー又はポリマー。
- フェノール、アルデヒド又はケトンと、ヒドロキシ置換ベンゾシクロブテンとの反応生成物である請求項1に記載のオリゴマー又はポリマー。
- R1がジアゾキノン基である請求項8に記載のオリゴマー又はポリマー。
- R1がジアゾナフタキノンである請求項8に記載のオリゴマー又はポリマー。
- Xがヒドロカルビレン基又は1個若しくはそれ以上のヘテロ原子を含むヒドロカルビレン基である請求項8に記載のオリゴマー又はポリマー。
- 未反応ビニル基を更に含む請求項8に記載のオリゴマー又はポリマー。
- 1個又はそれ以上の式:
R1は、放射線の活性化波長に露光されたときに、側鎖カルボン酸基を有する部分を形成し、続いて、加熱されたときに二酸化炭素の放出によって、実質的に非極性部分に転化する感光性部分であり、
R2は、それぞれの存在において独立に、水素、脂肪族ヒドロカルビル、アリール、アラルキル又はシクロ脂肪族ヒドロカルビルであり、
Yは結合又は二価の結合基であり、
Arは、それぞれの存在において独立に、2個以下の、それぞれの存在において、独立に、アルキル、アリール、アラルキル、アルカリール、アルカノイル、アロイル、アルコキシ又はアリールオキシから選択された、水素以外の基によって任意に置換されているC6〜C10芳香族部分であり、
Zはアルキル、アリール又はハロゲンであり、そして
mは0、1、2又は3である)
の単位を含んでなるが、単位の少なくとも一部は、ベンゾシクロブテン部分を含む、請求項1記載のオリゴマー又はポリマー。 - 第一の多官能性ベンゾシクロブテンモノマーを第二のヒドロキシ−又はアミノ−置換ベンゾシクロブテンモノマーと部分的に重合し、
感光性基を含むハロゲン置換化合物をヒドロキシ置換基でカップリングさせることを含んでなる感光性で水性現像可能な硬化性ポリマーの製造方法。 - 部分的重合反応の後でカップリング反応させる請求項15に記載の方法。
- ハロゲン置換化合物がスルホニルクロリドジアゾナフタキノンである請求項15に記載の方法。
- ハロゲン置換化合物が1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−スルホニルクロリドである請求項20に記載の方法。
- フェノール、アルデヒド又はケトンと、ヒドロキシ置換ベンゾシクロブテンとを反応させ、そして
感光性基を含むハロゲン置換化合物をヒドロキシ置換体とカップリングさせることを含んでなる感光性で水性現像可能な硬化性ポリマーの製造方法。 - 放射線に露光した際にカルボン酸基を形成する光スイッチ性側鎖基を有する硬化性オリゴマー又はポリマーの層を形成し、この層を、活性化放射線に、画像様式で露光し、そしてこの層の露光した部分を、アルカリ性水溶液で洗浄することによって除去して、残留するパターン形成層を形成させることを含んでなるパターン形成された低誘電定数フィルムの形成方法。
- 前記の残留する層を活性化放射線に露光させ、そしてこの残留する露光した層を加熱して、オリゴマー又はポリマーを硬化させ、そして残留するカルボン酸基を除去することを更に含む請求項23に記載の方法。
- 水の存在下又は高度に湿潤な環境中で露光工程を行う請求項24に記載の方法。
- 側鎖基がジアゾナフトキノンを含む請求項23に記載の方法。
- 放射線が250〜500nmの範囲内の波長を有する請求項24に記載の方法。
- 加熱工程が190〜300℃の範囲内の温度に加熱することを含む請求項24に記載の方法。
- 画像様式で露光する工程がマスクを通して放射線に露光することを含む請求項23に記載の方法。
- 硬化性オリゴマー又はポリマーが請求項1に記載の硬化性オリゴマー又はポリマーである請求項23に記載の方法。
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