JP2006300185A - シリンダ装置のガイド機構 - Google Patents

Abstract

【課題】シリンダ本体に対する変位部材のがたつきを確実且つ簡便に防止し、前記変位部材を軸線方向に沿って安定した状態でガイドする。
【解決手段】シリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂにガイド機構２４を介してスライダ１４が軸線方向に沿って変位自在に設けられ、前記ガイド機構２４の第１軸受支持部材８６とスライダ１４における一方の保持部７０ａとの間に介装された第１弾性部材１５２によって前記第１軸受支持部材８６に装着された軸受７２が常にガイド部３８ａ側に押圧されている。また、前記スライダ１４における他方の保持部７０ｂとガイド部３８ｂとの間には、第２弾性部材１５４を介して第２軸受支持部材１５０が装着され、前記第２弾性部材１５４の弾発力によって第２軸受支持部材１５０に設けられた軸受７２がガイド部３８ｂ側に向かって押圧されている。
【選択図】図７

Description

本発明は、シリンダ装置における変位部材をシリンダ本体に対して移動自在に保持してガイドするシリンダ装置のガイド機構に関する。

従来から、ワークの搬送手段としてロッドレスシリンダのようなシリンダ装置が用いられている。この種のロッドレスシリンダは、シリンダ本体の内部にピストンが変位自在に設けられ、前記ピストンに連結されたピストンヨークが、前記シリンダ本体の上面に形成されたスリットを介して外部に露呈するように構成されている。そして、前記ピストンヨークに対してスライダが装着され、前記ピストンの変位作用下にスライダをシリンダ本体の軸線方向に沿って変位させてワークを搬送している。

しかしながら、このようなロッドレスシリンダでは、一般的に、スライダ、ピストン及びシリンダ本体等の各部材の寸法ばらつきによって、これらを組み付けた際に、前記シリンダ本体とスライダとの間に前記各部材の寸法ばらつきに起因して間隙が生じ、前記スライダをシリンダ本体に沿って変位させる際にがたつきの原因となることがある。

このようなシリンダ本体に対するスライダのがたつきを防止するガイド機構を備えるシリンダ装置が知られている。このシリンダ装置は、図１１に示されるように、シリンダチューブ２の内部にピストンに連結されたピストンヨーク３が挿通され、前記シリンダチューブ２の上面２ａが、スリット４を挟んで前記シリンダチューブ２の略中央部から離間する幅方向に向かって徐々に低くなるように傾斜している。

そして、シリンダチューブ２の上面２ａとスライダ５の下面５ａとの間に、前記スライダ５に螺合されたねじ６ａを介してシリンダ装置１の幅方向に変位する第１摺動材７が設けられ、シリンダチューブ２の下側部とスライダ５との間にも同様に第２摺動材８が設けられている。前記第１及び第２摺動材７、８は、シリンダチューブ２の上面２ａとスライダ５の下面５ａとの間に設けられ、前記スライダ５が軸線方向に沿って変位する際の軸受として機能する。そして、ねじ６ａ、６ｂを螺回させて第１及び第２摺動材７、８をシリンダ装置１の幅方向に押圧して変位させることにより、前記シリンダチューブ２の上面２ａとスライダ５の下面５ａに対して第１及び第２摺動材７、８を当接させて所定の圧力で押圧し、前記シリンダチューブ２とスライダ５との離間距離を調整して間隙を解消し、前記シリンダチューブ２に対するスライダ５のがたつきを防止している（例えば、特許文献１参照）。

特開２００２−３４９５０９号公報

ところで、特許文献１に係るシリンダ装置１のガイド機構では、シリンダチューブ２及びスライダ５に対する第１及び第２摺動材７、８による押圧力を、前記第１及び第２摺動材７、８を変位させているねじ６ａ、６ｂの回転量（例えば、締付トルク）によって管理しているが、前記ねじ６ａ、６ｂの回転によっては前記第１及び第２摺動材７、８の変位量、すなわち、シリンダチューブ２及びスライダ５に対する押圧力が急激に変化してしまう。

そのため、軸受として機能している第１及び第２摺動材７、８をシリンダチューブ２とスライダ５に対して所定の押圧力で押圧する際に、所定の押圧力が得られる調整範囲が狭く再現性が困難であると共に、調整作業に熟練を要するという問題がある。

また、シリンダチューブ２、スライダ５、ピストン及びピストンヨーク３等の各部材の寸法ばらつきが、それぞれのシリンダ装置１によって異なることがあり、その場合には、前記シリンダ装置１の組み付け作業が完了した後に各シリンダ装置１毎に間隙を解消するための調整作業を行う必要がある。この調整作業は、前記シリンダ装置１に生じている間隙の状態を見ながら作業者がねじ６ａ、６ｂを螺回させて行う必要があるため、前記シリンダ装置１に対する調整作業が煩雑であると共に、前記シリンダ装置１の生産効率をさほど向上させることができないという問題がある。

さらに、シリンダ装置１を長期にわたって使用した際に、スライダ５に設けられた第１及び第２摺動材７、８がシリンダチューブ２との接触作用下に摩耗し、前記第１及び第２摺動材７、８によって調整されて固定されているスライダ５とシリンダチューブ２との相対的な位置関係が変化してしまう。これにより、前記スライダ５とシリンダチューブ２との間に再び間隙が生じてがたつきが発生し、再度調整作業を行う必要がある。

本発明は、前記の種々の課題を考慮してなされたものであり、簡便な調整により変位部材のがたつきを防止して前記変位部材を円滑に変位させることができ、しかも、生産効率を向上させることが可能なシリンダ装置のガイド機構を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するために、本発明は、シリンダ本体の外部に設けられる変位部材を軸線方向に沿って変位させるシリンダ装置において、
前記シリンダ本体と前記変位部材との間に設けられ、前記変位部材を前記シリンダ本体に対して変位自在に保持するシリンダ装置のガイド機構であって、
前記ガイド機構は、前記変位部材が保持されるシリンダ本体のガイド部と該変位部材との間に設けられ、前記ガイド部と摺接する軸受が装着される保持部と、
前記保持部と前記変位部材との間に配設され、前記保持部を前記ガイド部側に向かって付勢する弾性部と、
を備えることを特徴とする。

本発明によれば、シリンダ装置に設けられるガイド機構において、シリンダ本体のガイド部と変位部材との間に保持部を設けると共に、前記保持部と変位部材との間に弾性部を設けることにより、前記弾性部の弾発力によって保持部をガイド部側へと押圧している。そして、保持部には、ガイド部と摺接する軸受が設けられているため、前記保持部のガイド部側への押圧作用下に軸受が所定圧力でガイド部へと押圧されて当接している。

従って、弾性部の弾発力によって軸受を摺接面となるガイド部に押圧させることができるため、ねじを螺回させる際の回転量を管理することによって前記変位部材とガイド部に対する軸受からの押圧力を調整していた従来のシリンダ装置におけるガイド機構と比較して、前記軸受が押圧される押圧力の変化を緩やかとすることができ、且つ、前記ガイド部に付与される押圧力の設定範囲を広く確保することができる。

その結果、変位部材をシリンダ本体のガイド部に組み付けた際に、前記シリンダ本体や変位部材の寸法ばらつきに起因して生じるがたつきを、弾性部の弾発力によって好適に解消し、前記変位部材をガイド部によるガイド作用下に軸線方向に沿って確実且つ円滑に変位させることができる。

また、変位部材をシリンダ本体のガイド部に組み付けた際に、弾性部の弾発力によって変位部材とガイド部との間に生じているクリアランスを解消させることができるため、従来の作業者がねじを螺回して前記クリアランスを解消するための煩雑な調整作業が不要となり、シリンダ装置の製造時間の短縮化を図ることができる。

さらに、弾性部は、保持部を介して軸受をガイド部との摺接面に対して略垂直方向に押圧するとよい。これにより、弾性部の弾発力によって軸受をガイド部の摺接面に対して押圧する際の押圧力を効率的に発生させることができる。そのため、弾性部による押圧力の設定範囲をより一層大きく確保することができる。

さらにまた、保持部を、変位部材に対して固定部材によって固定し、弾性部の弾発力による前記変位部材の前記ガイド部側への変位を規制するとよい。これにより、弾性部の弾発力によって変位部材がシリンダ本体のガイド部に対して位置決めされた状態で前記保持部を固定することができるため、前記保持部に装着された軸受を、前記変位部材とシリンダ本体との間の摺接面に対して略一定の押圧力で好適に当接させた状態で保持することができ、それに伴って、前記変位部材を円滑に変位させることが可能となる。

また、保持部を、シリンダ本体に形成される一組のガイド部と変位部材との間にそれぞれ設けられる一組の保持部材から構成し、弾性部に、一方の保持部材に設けられ、該保持部材を一方のガイド部に向かって付勢する第１弾性部材と、他方の保持部材に設けられ、該保持部材を他方のガイド部に向かって付勢する第２弾性部材とを備えるとよい。

これにより、一方のみに弾性部材を設けた場合と比較して、シリンダ本体のガイド部に対して変位部材を組み付けた際に生じるがたつきの吸収範囲を増大させることが可能となる。

さらに、一組の保持部材のうち少なくとも一方を、変位部材に対して固定することにより、保持部材を押圧する第１弾性部材の弾発力によってがたつきを解消することができると共に、例えば軸受の摩耗等による経時変化によって前記ガイド部と変位部材との間に生じるがたつきを第２弾性部材の弾発力によって防止することができる。

さらにまた、保持部を固定する固定部材を、ガイド部と軸受とからなる摺接面に対して略平行に配設することにより、前記保持部を変位部材に固定する際に生じる負荷には摺接面に対する直交方向への成分が発生しないため、前記変位部材に固定された保持部の軸受を介してガイド部に付与されている弾発部からの押圧力を変化させることなく前記保持部を変位部材に対して固定することができる。

またさらに、保持部を、弾性部又は軸受と一体成形することにより、部品点数の削減を図ることができ、組み付け作業性を向上させることができる。

また、シリンダ装置としてロッドレスシリンダを採用することにより、第１及び第２弾性部材による弾発力の効果をより一層確保することができ、前記ロッドレスシリンダのようなガイドにおいて比較的ばらつきの大きいシリンダ装置に好適である。

本発明によれば、以下の効果が得られる。

すなわち、本発明によれば、ガイド機構においてシリンダ本体のガイド部と変位部材との間に保持部を設け、前記保持部と変位部材との間に弾性部を設けることにより、前記弾性部の弾発力によって保持部の軸受を所定圧力でガイド部へと押圧させている。これにより、ガイド部へと押圧される軸受の押圧力の変化を緩やかとし、前記押圧力の設定範囲を広く確保することができるため、変位部材をシリンダ本体のガイド部に組み付けた際に、前記シリンダ本体や変位部材の寸法ばらつきに起因して生じるがたつきを好適に解消し、前記変位部材をガイド部に沿って軸線方向に確実且つ円滑に変位させることができる。

また、変位部材とシリンダ本体のガイド部とを組み付けた際に、弾性部の弾発力によって変位部材とガイド部との間のクリアランスが解消され、従来行われていた前記クリアランスを解消するための煩雑な調整作業が不要となり、シリンダ装置の製造時間の短縮化を図ることができる。

本発明に係るシリンダ装置のガイド機構について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

図１において、参照符号１０は、本発明の実施の形態に係るガイド機構が適用されるシリンダ装置を示す。

このシリンダ装置１０は、図１及び図２に示されるように、軸線方向に沿って長尺なシリンダチューブ（シリンダ本体）１２と、前記シリンダチューブ１２に取り付けられ、軸線方向に沿って進退自在なスライダ（変位部材）１４と、前記シリンダチューブ１２の端部にそれぞれ装着される一組のエンドブロック１６ａ、１６ｂと、前記シリンダチューブ１２に装着される上ベルト１８と下ベルト２０（図７及び図８参照）を案内するベルト案内機構２２（図２参照）と、前記スライダ１４とシリンダチューブ１２との間に設けられ、前記スライダ１４をシリンダチューブ１２に対して円滑にガイドさせるためのガイド機構２４（図７及び図８参照）とを備えている。

シリンダチューブ１２の内部には、図３及び図７に示されるように、軸線方向に沿って断面略菱形状のボア部２６が形成され、前記シリンダチューブ１２の上面には軸線方向に沿って開口したスリット２８が形成されている。そして、前記スリット２８を介してボア部２６が外部と連通している。

シリンダチューブ１２のスリット２８には、該スリット２８を上下両方向から塞ぐことによりシールする前記上ベルト１８と下ベルト２０が取り付けられている。上ベルト１８は、例えば、金属製材料からシート状に形成されており、下ベルト２０は、例えば、樹脂製材料から形成されている。

前記スリット２８の両側には、図７及び図８に示されるように、軸線方向に沿って延在する取付溝３０を介して一組の磁性体３２（例えば、永久磁石）が装着され、前記磁性体３２の磁力によって上ベルト１８が吸引されてスリット２８が上方より閉塞される。これにより、シリンダチューブ１２の内部にスリット２８を通じて外部から塵埃等が進入することが防止される。

そして、前記上ベルト１８及び下ベルト２０の両端部は、シリンダチューブ１２の両端部にそれぞれ接続される一組のエンドブロック１６ａ、１６ｂにそれぞれ固定されている（図２参照）。

また、シリンダチューブ１２のボア部２６の近傍には、該ボア部２６より所定間隔離間して軸線方向に沿って延在する一組のバイパス通路３４ａ、３４ｂが形成され、前記バイパス通路３４ａ、３４ｂには圧力流体が流通する集中配管（図示せず）が接続される。

一方、シリンダチューブ１２の両側面には、軸線方向に沿って一組又は複数組のセンサ取付溝３６が形成され、前記センサ取付溝３６には、後述するピストン４０ａ、４０ｂの変位位置を検出するための位置検出センサ（図示せず）が装着される。

シリンダチューブ１２の上面には、前記スリット２８から軸線と直交する幅方向（矢印Ｘ方向）に所定間隔離間し、上方に向かって所定高さだけ突出した一組のガイド部３８ａ、３８ｂが形成されている。このガイド部３８ａ、３８ｂはシリンダチューブ１２の軸線方向に沿って延在し、前記ガイド部３８ａ、３８ｂには、ガイド機構２４を介してスライダ１４が軸線方向に沿って変位自在に係合されている。

このガイド部３８ａ、３８ｂは、シリンダチューブ１２のスリット２８から離間する幅方向（矢印Ｘ方向）に所定角度だけ傾斜するように形成されると共に、前記ガイド部３８ａ、３８ｂの上面は略水平となるように形成されている。換言すると、一組のガイド部３８ａ、３８ｂは、スリット２８を中心としてシリンダチューブ１２の幅方向（矢印Ｘ方向）に略対称形状となるように形成されているため、前記ガイド部３８ａ、３８ｂの高さは略同一となる。

シリンダチューブ１２のボア部２６には、図２に示されるように、該ボア部２６の断面形状に対応した一組のピストン４０ａ、４０ｂが進退自在に挿入されている。前記ピストン４０ａ、４０ｂの軸線方向に沿った一端部には、図３及び図４に示されるように、それぞれ突部４２が形成され、前記突部４２の周縁部には環状のシール部材４４が装着されている。これにより、ピストン４０ａ、４０ｂがシリンダチューブ１２のボア部２６に挿入された際、前記ピストン４０ａ、４０ｂとボア部２６の内壁面との間がシール部材４４によってシールされ、前記ボア部２６の内部の気密が保持される。

また、ピストン４０ａ、４０ｂの突部４２には、図４に示されるように、エンドブロック１６ａ、１６ｂ側に向かって突出するようにシャフト部４６が設けられている。

一方のピストン４０ａと他方のピストン４０ｂとの間にはウェアリング４８ａ、４８ｂを介してピストンヨーク５０が挟持され、前記ピストン４０ａ、４０ｂと一体的に連結されている。このピストンヨーク５０は所定厚の板材をプレス成形することにより形成され、前記ピストン４０ａ、４０ｂの間に連結され、ボア部２６の断面形状に対応して断面略菱形状に形成される挿通部５２と、前記挿通部５２の上方に略Ｔ字状に形成されるヨーク部５４とを含む。

このピストンヨーク５０は、図７及び図８に示されるように、挿通部５２が前記ピストン４０ａ、４０ｂと同様にボア部２６の内部に挿入され、前記挿通部５２とヨーク部５４との接続部位がスリット２８に挿通されて前記ヨーク部５４がシリンダチューブ１２の上部側となるように設けられている。そして、前記ヨーク部５４は、シリンダチューブ１２の幅方向（矢印Ｘ方向）に所定幅で拡幅して形成され、前記ヨーク部５４にはスライダ１４が装着されている。

ヨーク部５４の略中央部には、図４に示されるように、幅方向（矢印Ｘ方向）に沿って延在する係合溝５６が形成され、略長方形状に形成される前記係合溝５６には、略円盤状のカプラー５８がその下面に装着された係合部材６０を介して装着されている。

カプラー５８の外壁面は同一直径からなる一組の曲面部６２と、シリンダチューブ１２の軸線と略平行に形成される一組の平面部６４とから構成されている。換言すると、カプラー５８の外壁面は、同一直径からなる曲面がシリンダチューブ１２の軸線に対して略対称且つ略平行に形成される一組の平面部６４によって分断され、分断された曲面がそれぞれ一組の曲面部６２として構成される。そのため、カプラー５８をシリンダチューブ１２のボア部２６に挿通されたピストンヨーク５０に装着した際、曲面部６２がエンドブロック１６ａ、１６ｂ側となるようにそれぞれ形成されると共に、平面部６４がシリンダチューブ１２の側面と略平行となるよう形成されている。

また、係合部材６０は、カプラー５８の下面にシリンダチューブ１２の軸線と略直交するように２本のボルト６６で装着されている。

さらに、カプラー５８の上面と曲面との境界部位には、前記カプラー５８の周方向に沿って所定角度（例えば、４５°）傾斜した面取部６８がそれぞれ形成されている。

断面略コ字状に形成されるスライダ１４は、図５〜図８に示されるように、シリンダチューブ１２と対向する下面側にカプラー挿入穴１４ａが形成され、前記カプラー挿入穴１４ａには、ピストンヨーク５０に装着されたカプラー５８が挿入される。なお、カプラー挿入穴１４ａの形状は、カプラー５８の形状より半径方向に若干大きく形成されている。これにより、スライダ１４が、カプラー５８の上部に一体的に装着される。

この場合、スライダ１４には、該スライダ１４の幅方向（矢印Ｘ方向）に沿った両側部に鉛直下方向に向かって突出する一組の保持部７０ａ、７０ｂが形成され、前記保持部７０ａ、７０ｂは、その内部に設けられるガイド機構２４を介してシリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂに係合されている。このように、スライダ１４は、カプラー５８及びピストンヨーク５０を介してピストン４０ａ、４０ｂと一体的に装着された状態となるため、前記ピストン４０ａ、４０ｂの軸線方向に沿った変位作用下にスライダ１４がガイド部３８ａ、３８ｂによるガイド作用下に軸線方向に沿って変位する。

また、スライダ１４の下面には、図５〜図８に示されるように、シリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂと対向する位置に軸受７２が保持される保持溝７４が軸線方向に沿ってそれぞれ形成されている。前記保持溝７４は、断面略円弧状に窪んで形成されると共に、前記スライダ１４の軸線方向に沿った両端部には、前記保持溝７４の深さよりさらに深く形成された深溝部７６（図６参照）がそれぞれ形成されている。

そして、保持溝７４には、図５に示されるように、両端部に突出したフランジ部７８を有する軸受７２が装着され、前記フランジ部７８が深溝部７６に係合されている。その際、前記軸受７２におけるフランジ部７８の間の軸線方向に沿った距離寸法が、前記深溝部７６間の軸線方向に沿った距離寸法より大きく形成されているため、前記軸受７２が保持溝７４の内部で軸線方向に沿って若干だけ変位可能となる。

すなわち、一組の軸受７２が、シリンダチューブ１２におけるガイド部３８ａ、３８ｂの上面とスライダ１４の下面との間に挟持されているため、前記スライダ１４をガイド部３８ａ、３８ｂとの間の摺動面に沿って円滑に変位させることができる。

また、軸受７２におけるフランジ部７８の端面には、それぞれエンドブロック１６ａ、１６ｂ側に向かって突出した凸部１６２が形成され、前記フランジ部７８が深溝部７６に係合された際にスライダ１４の端面に形成された凹部１６４に係合される。そのため、保持溝７４に装着された軸受７２が、前記保持溝７４より脱落することを防止できる。

さらに、スライダ１４の軸線方向に沿った両端面には、図１に示されるように、前記両端面を覆うようにそれぞれカバー部材８０がボルト８２を介して装着され、前記カバー部材８０の略中央部には係止部材８４が設けられている。前記係止部材８４は、カバー部材８０の端面より若干だけエンドブロック１６ａ、１６ｂ側に突出するように設けられている（図２参照）。例えば、シリンダチューブ１２に図示しないストッパ機構を設けた場合に、前記スライダ１４が係止部材８４を介して前記ストッパ機構に当接して係止される。

また、前記カバー部材８０を可撓性を有する弾性材（例えば、ゴム）から形成することにより、スライダ１４をシリンダチューブ１２に装着した後に前記カバー部材８０を撓曲させ、前記スライダ１４の端面に装着することが可能となる。換言すれば、前記スライダ１４をシリンダチューブ１２に対して組み付ける際に、前記カバー部材８０を予めスライダ１４に対して装着しておく必要がないため、前記カバー部材８０の組み付け性を向上させることができる。

さらに、カバー部材８０の下面に、シリンダチューブ１２の上面と対向するように塵埃除去部材（図示せず）を一体に成形してもよい。これにより、前記カバー部材８０とシリンダチューブ１２との間からスライダ１４の内部に塵埃等が進入することを防止できる。

さらにまた、カバー部材８０におけるスライダ１４の端面と対向する部位に、潤滑剤を含有した潤滑部材（例えば、多孔質体）を設け、前記潤滑部材によって軸受７２が摺動変位するシリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂを常に潤滑するようにしてもよい。これにより、軸受７２が摺動変位する際の摺動抵抗が軽減されるため、スライダ１４をシリンダチューブ１２に対してより一層円滑に変位させることが可能となる。

スライダ１４における一方の保持部７０ａには、複数（例えば、３個）の貫通孔９０が形成され、該貫通孔９０には、ガイド機構２４の第１軸受支持部材（保持部材）８６（後述する）を固定するための固定ボルト８８が挿通される。前記貫通孔９０は、スライダ１４の軸線方向に沿って所定間隔離間して形成されると共に、前記スライダ１４をシリンダチューブ１２に装着した際に、ガイド部３８ａの側面と略平行となるように所定角度傾斜して形成されている。

また、前記貫通孔９０の近傍は、スライダ１４の側面より所定深さだけ窪んで形成されているため、固定ボルト８８を貫通孔９０に挿通して前記ガイド機構２４の第１軸受支持部材８６を固定する際に、前記固定ボルト８８がスライダ１４の側面より突出することがない。

さらに、保持部７０ａには、図７に示されるように、前記貫通孔９０が形成される部位より下方にプラグ９２が螺合される複数のねじ孔９４が所定間隔離間して形成されると共に、前記スライダ１４をシリンダチューブ１２に装着した際に、シリンダチューブ１２のガイド部３８ａの側面に対して略直交するように所定角度傾斜して形成されている。すなわち、前記ねじ孔９４は、前記貫通孔９０と略直交するように形成されている。

エンドブロック１６ａ、１６ｂは、図１〜図３に示されるように、ボア部２６の開口部を閉塞するようにシリンダチューブ１２の両端部にそれぞれ設けられ、前記エンドブロック１６ａ、１６ｂに形成されたねじ装着孔９６に装着されたねじ部材９８がシリンダチューブ１２のねじ穴９９に螺合されることにより前記シリンダチューブ１２に一体的に組み付けられる。

このエンドブロック１６ａ、１６ｂには、図２に示されるように、上ベルト１８及び下ベルト２０が挿入される孔部１００が上部に形成され、前記孔部１００に挿入されている固定部材１０２を介して上ベルト１８及び下ベルト２０の端部が２本の固定ねじ１０４によってそれぞれ固定されている。

エンドブロック１６ａ、１６ｂの側面には、図１及び図３に示されるように、切換弁（図示せず）を介して圧力流体供給源に接続される第１ポート１０６及び第２ポート１０８がそれぞれ形成され、前記圧力流体供給源から圧力流体（例えば、圧縮エア）が第１及び第２ポート１０６、１０８に対して選択的に供給される。前記第１及び第２ポート１０６、１０８は、エンドブロック１６ａ、１６ｂの内部の図示しない通路、又は、シリンダチューブ１２に設けられたバイパス通路３４ａ、３４ｂを通じてシリンダチューブ１２内のシリンダ室１１０ａ、１１０ｂ（図２参照）にそれぞれ連通している。このシリンダ室１１０ａ、１１０ｂは、ボア部２６がエンドブロック１６ａ、１６ｂとピストン４０ａ、４０ｂとによって閉塞されることによりそれぞれ形成されている。

また、図１に示されるように、エンドブロック１６ａ、１６ｂの端面には外側ポート１１２が形成され、前記外側ポート１１２は、前記エンドブロック１６ａ、１６ｂの内部の図示しない通路、又は、シリンダチューブ１２に設けられたバイパス通路３４ａ、３４ｂを通じてシリンダチューブ１２内のシリンダ室１１０ａ、１１０ｂに連通している。なお、外側ポート１１２は、封止ねじ１１４が螺合されて塞がれている。

さらに、エンドブロック１６ａ、１６ｂには、図２に示されるように、シリンダチューブ１２と対向する内壁面側にピストン４０ａ、４０ｂの変位速度を減速させるための減速機構１１６が設けられている。

この減速機構１１６は、ピストン４０ａ、４０ｂと対向するようにエンドブロック１６ａ、１６ｂに円筒体１１８が装着され、前記円筒体１１８の内部には軸線方向に沿って挿通孔１２０が形成されている。そして、挿通孔１２０の内周面には、環状溝を介して環状のチェックパッキン１２２が装着され、ピストン４０ａ、４０ｂの軸線方向に沿った変位作用下に前記挿通孔１２０の内部に前記ピストン４０ａ、４０ｂに連結されたシャフト部４６が挿入される。その際、前記チェックパッキン１２２がシャフト部４６の外周面を囲繞するように当接し、シリンダ室１１０ａ、１１０ｂから挿通孔１２０への流路を遮断する。これにより、シャフト部４６が挿通孔１２０の内部に挿入された際、前記シリンダ室１１０ａ、１１０ｂ内の流体が、微小流路を有する図示しないバイパス流路を介して微小流量で前記第１及び第２ポート１０６、１０８側へと排出されるため、前記ピストン４０ａ、４０ｂが変位する際の変位抵抗となり、それに伴って、前記ピストン４０ａ、４０ｂの変位速度を減速させることができる。すなわち、減速機構１１６は、ピストン４０ａ、４０ｂがエンドブロック１６ａ、１６ｂに近づくにつれて前記ピストン４０ａ、４０ｂの速度を減速させる速度制御機能を有している。

ベルト案内機構２２は、図３及び図４に示されるように、ピストン４０ａ、４０ｂの上部に設けられる一組の案内部材１２４ａ、１２４ｂと、前記ピストン４０ａ、４０ｂにそれぞれ連結されるウェアリング４８ａ、４８ｂとからなり、前記案内部材１２４ａ、１２４ｂ及びウェアリング４８ａ、４８ｂは、例えば、樹脂製材料から形成されている。この案内部材１２４ａ、１２４ｂは、図４に示されるように、断面略Ｃ字状に形成されるベルトセパレート部１２６と、前記ベルトセパレート部１２６の略中央から一端部側に向かって突出したベルト押え部１２８と、前記ベルトセパレート部１２６及びベルト押え部１２８の側方に突出して形成される第１爪部１３０及び第２爪部１３２とから構成されている。

また、ベルトセパレート部１２６とベルト押え部１２８との間には、上ベルト１８が挿通される略矩形状のベルト挿通孔１３４が形成されている。なお、図２に示されるように、断面略Ｃ字状に形成されるベルトセパレート部１２６の湾曲形状は、上ベルト１８及び下ベルト２０の摺動抵抗が過大とならないような形状に形成される。

ベルトセパレート部１２６は、図２に示されるように、上下に引き離されて湾曲した上ベルト１８及び下ベルト２０の間に挟まれ、前記上ベルト１８は、ベルトセパレート部１２６とスライダ１４の間に形成された空間部に沿って案内され、前記下ベルト２０はベルトセパレート部１２６とピストン４０ａ、４０ｂの間に形成された空間部に沿って案内されている。

ベルト押え部１２８は、下方側に向かって所定長だけ突出して形成される突起部１３６を有し、前記突起部１３６によって上ベルト１８をシリンダチューブ１２側に押圧することにより上ベルト１８と下ベルト２０とが近接する（図２参照）。

また、図４に示されるように、第１爪部１３０は、下方に向かって所定長だけ突出し、且つ、ベルトセパレート部１２６の両側に一組となるように形成されており、前記第１爪部１３０がピストンヨーク５０におけるヨーク部５４に形成される溝部１３８にそれぞれ装着される。そして、第２爪部１３２がヨーク部５４の下面に装着されることにより、ピストンヨーク５０と案内部材１２４ａ、１２４ｂとが一体的に強固に連結される。すなわち、スライダ１４が移動する際に、ベルトセパレート部１２６は、上ベルト１８と下ベルト２０とを離間させるように作用し、ベルト押え部１２８は、上ベルト１８と下ベルト２０とを近接させるように作用する。

ウェアリング４８ａ、４８ｂは、図４に示されるように、ボア部２６に対応した断面形状に形成され、その上面の略中央には略長方形状の切欠部１４０が形成されている。前記切欠部１４０の一端部側には、下ベルト２０を案内する略長方形状の下ベルト案内部１４２が形成されており、前記下ベルト案内部１４２は、一端部側がウェアリング４８ａ、４８ｂの外周面と略均等の高さ方向の位置に形成され、他端側が下方に若干湾曲して形成される。

前記下ベルト案内部１４２の湾曲形状は、下ベルト２０を案内する際に、下ベルト２０の摺動抵抗が過大にならないような形状に形成される（図２参照）。

また、ウェアリング４８ａ、４８ｂの一端部に形成された孔部には磁石１４４が装着され、シリンダチューブ１２のセンサ取付溝３６（図１参照）に装着される図示しないセンサによって、前記磁石１４４の磁界を検知することにより、ピストン４０ａ、４０ｂの位置が検出される。そして、前記ピストン４０ａ、４０ｂのピン孔部１４６にピン部材１４８をそれぞれ圧入することにより、２つのピストン４０ａ、４０ｂがウェアリング４８ａ、４８ｂを介してピストンヨーク５０に対して互いに連結される。

ガイド機構２４は、図５〜図８に示されるように、スライダ１４の保持部７０ａ、７０ｂにシリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂと対向するように設けられ、前記ガイド機構２４は、一方の保持部７０ａにガイド部３８ａの側面と対向して設けられる第１軸受支持部材８６と、他方の保持部７０ｂにガイド部３８ｂと対向して設けられる第２軸受支持部材（保持部材）１５０と、前記第１軸受支持部材８６と保持部７０ａとの間に挟持される第１弾性部材１５２と、前記第２軸受支持部材１５０と保持部７０ｂとの間に挟持される第２弾性部材１５４とを含む。

第１軸受支持部材８６は、一方の保持部７０ａの内壁面に形成された装着溝１５６ａに装着され、前記保持部７０ａに形成される貫通孔９０を介して複数の固定ボルト８８でスライダ１４に固定されている。

この第１軸受支持部材８６は、例えば、アルミニウム材料等の金属製材料から形成され、一方のガイド部３８ａの側面に対して略直交して当接するように配設されると共に、前記固定ボルト８８が前記ガイド部３８ａの側面と略平行となるように第１軸受支持部材８６に螺合されている。このとき、固定ボルト８８により圧着される第１軸受支持部材８６とスライダ１４の当接面が、ガイド部３８ａの側面に対して略直交するように配設されることが望ましい。

また、第１軸受支持部材８６には、ガイド部３８ａと対向する側面に軸受７２が保持される保持溝１５８が軸線方向に沿って形成されている。この保持溝１５８は、スライダ１４の下面に形成される保持溝７４と略同一形状となるように断面略円弧状に窪んで形成され、前記第１軸受支持部材８６の両端部に形成された深溝部１６０に軸受７２のフランジ部７８が係合されている（図９参照）。すなわち、軸受７２は、第１軸受支持部材８６とガイド部３８ａとの間に挟持されているため、前記スライダ１４をガイド部３８ａとの間の摺動面に沿って円滑に変位させることができる。

さらに、図９に示されるように、軸受７２におけるフランジ部７８の間の軸線方向に沿った距離寸法Ｌ１が、前記深溝部１６０間の軸線方向に沿った距離寸法Ｌ２より大きく形成されているため（Ｌ１＞Ｌ２）、前記軸受７２が保持溝１５８の内部で軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って若干だけ変位可能となる。

さらに、フランジ部７８の端面には、それぞれエンドブロック１６ａ、１６ｂ側に向かって突出した凸部１６２が形成され、前記フランジ部７８が深溝部１６０に係合された際に第１軸受支持部材８６の端面に形成された凹部１６４に係合される。そのため、保持溝１５８に装着された軸受７２が、前記保持溝１５８より脱落することを防止できる。

一方、第１軸受支持部材８６には、図７〜図９に示されるように、固定ボルト８８が螺合されるねじ孔９４に臨み、スライダ１４の保持部７０ａと当接する側面に所定深さだけ窪んだ装着穴１６６が形成され、前記装着穴１６６には第１弾性部材１５２が装着されている。

第１弾性部材１５２は、例えば、板ばね等のスプリングからなり、図５及び図９に示されるように、波状に複数箇所が折曲するように形成されている。そして、第１弾性部材１５２は、図９に示されるように、第１軸受支持部材８６側に向かって凸状となる複数の部位（例えば、３箇所）が装着穴１６６の内壁面に当接すると共に、凹状となる複数の部位（例えば、４箇所）がスライダ１４における装着溝１５６ａの内壁面に当接している。すなわち、第１弾性部材１５２の弾発力は、前記第１軸受支持部材８６とスライダ１４の保持部７０ａとを離間する方向に向かって付勢している（図７及び図９中、矢印Ｙ１方向参照）。

また、第１弾性部材１５２は、装着穴１６６の内壁面に当接した部位がスライダ１４の保持部７０ａに螺合された複数（例えば、３本）のプラグ９２によって支持されている。前記プラグ９２は、スライダ１４の貫通孔９０に対して略直交するようにねじ孔９４に螺合されているため、前記第１弾性部材１５２がプラグ９２の螺合作用下に第１軸受支持部材８６側に向かって保持される。

第２軸受支持部材１５０は、図７、図８及び図１０に示されるように、例えば、アルミニウム材料等の金属製材料から形成され、他方の保持部７０ｂの内壁面に形成された装着溝１５６ｂに装着されている。そして、前記第２軸受支持部材１５０は、装着溝１５６ｂに装着される部位が略水平状に形成されると共に、他方のガイド部３８ｂ側となる部位が前記ガイド部３８ｂの側面に対して略直交して当接するように形成されている。すなわち、第２軸受支持部材１５０は、前記ガイド部３８ｂとスライダ１４の保持部７０ｂとの間に挟持されている。

また、第２軸受支持部材１５０には、ガイド部３８ｂと対向する側面に軸受７２が保持される保持溝１６８が軸線方向に沿って形成されている。この保持溝１６８は、スライダ１４の下面に形成される保持溝７４と略同一形状となるように断面略円弧状に窪んで形成され、前記第２軸受支持部材１５０の両端部に形成された深溝部１７０に軸受７２のフランジ部７８が係合されている。これにより、図７及び図８に示されるように、第２軸受支持部材１５０を介して軸受７２をガイド部３８ｂに対して略垂直に当接させた状態で挟持しているため、前記スライダ１４をガイド部３８ｂとの間の摺動面に沿って円滑に変位させることができる。

さらに、図１０に示されるように、軸受７２におけるフランジ部７８の間の軸線方向に沿った距離寸法Ｌ３が、前記深溝部１７０間の軸線方向に沿った距離寸法Ｌ４より大きく形成されているため（Ｌ３＞Ｌ４）、前記軸受７２が保持溝１６８の内部で軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って若干だけ変位可能となる。

フランジ部７８の端面には、それぞれエンドブロック１６ａ、１６ｂ側に向かって突出した凸部１６２が形成され、前記フランジ部７８が深溝部１７０に係合された際に第１軸受支持部材８６の端面に形成された凹部１６４に係合される。そのため、保持溝１６８に装着された軸受７２が、前記保持溝１６８より脱落することを防止できる。

第２軸受支持部材１５０と装着溝１５６ｂの内壁面との間には、図５及び図１０に示されるように、略長方形状に形成されたプレート状の第２弾性部材１５４が挟持されている。この第２弾性部材１５４は、例えば、硬質のゴム製材料から形成され、その略中央部には長手方向に沿って所定長のスリット孔１７２が形成されている。そして、前記スリット孔１７２が第２軸受支持部材１５０の側面に形成された凸状の係合凸部１７４に係合されることにより、前記第２軸受支持部材１５０に対する第２弾性部材１５４の相対的な変位が規制される。

このように、第２軸受支持部材１５０とスライダ１４との間に第２弾性部材１５４を設けることにより、前記第２弾性部材１５４の弾発力によって前記第２軸受支持部材１５０がガイド部３８ｂ側に向かって押圧されている。

なお、第２弾性部材１５４を設けることなく、第２軸受支持部材１５０と保持部７０ｂの内壁面とを直接当接させるようにしてもよいし、前記第２軸受支持部材１５０を保持部７０ｂと一体的に形成するようにしてもよい。

また、第１軸受支持部材８６を、例えば、弾性材料から第１弾性部材１５２と一体成形するようにしてもよいし、同様に、第２軸受支持部材１５０を、第２弾性部材１５４と一体成形するようにしてもよい。

さらに、前記第１及び第２軸受支持部材８６、１５０の少なくともいずれか一方に対して軸受７２を一体的に成形するようにしてもよい。これにより、部品点数を削減することができるため、組み付け作業性を向上させることができる。

本発明の実施の形態に係るシリンダ装置１０のガイド機構２４は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。

先ず、シリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂにガイド機構２４を介してスライダ１４を組み付ける場合について説明する。

最初に、スライダ１４の下面に保持溝７４を介して一組の軸受７２を装着する。次に、予めピストン４０ａ、４０ｂと一体的に連結されているピストンヨーク５０をシリンダチューブ１２のボア部２６に挿通させ、前記ピストンヨーク５０にカプラー５８を係合する。その後、スライダ１４をシリンダチューブ１２の上方から前記カプラー５８に対して組み付ける。その際、軸受７２は、フランジ部７８に形成された凸部１６２がスライダ１４の凹部１６４に挿入されているため、前記軸受７２がスライダ１４の下面より脱落することがない。

次いで、第２軸受支持部材１５０の保持溝１６８に軸受７２を装着し、且つ、係合凸部１７４に第２弾性部材１５４を装着した後に、前記第２軸受支持部材１５０をスライダ１４における他方の保持部７０ｂとシリンダチューブ１２における他方のガイド部３８ｂとの間に挿入して軸線方向へとスライドさせることにより、前記第２軸受支持部材１５０を前記保持部７０ｂに形成された装着溝１５６ｂに装着する。この際、軸受７２のフランジ部７８に形成された凸部１６２が第２軸受支持部材１５０の凹部１６４に挿入されているため、前記軸受７２が組み付け時に第２軸受支持部材１５０より脱落することがない。

最後に、第１軸受支持部材８６に保持溝１５８を介して軸受７２を装着し、且つ、装着穴１６６に第１弾性部材１５２を装着した後に、前記第１軸受支持部材８６をスライダ１４における一方の保持部７０ａと一方のガイド部３８ａとの間に挿入してスライドさせることにより前記第１軸受支持部材８６を保持部７０ａの装着溝１５６ａへと装着する。

これにより、スライダ１４の装着溝１５６ａに装着されている第１弾性部材１５２の弾発力によって前記スライダ１４に係止されている第１軸受支持部材８６がガイド部３８ａの側面に対して接近する方向に押圧される。そのため、スライダ１４をシリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂに組み付けた際に生じる前記ガイド部３８ａ、３８ｂと第１軸受支持部材８６及び第２軸受支持部材１５０との間のクリアランスを解消することができる。

そして、シリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂとスライダ１４との間のクリアランスが解消された状態で、前記保持部７０ａに対して貫通孔９０を介して第１軸受支持部材８６を固定ボルト８８で固定することにより、前記スライダ１４に対して第１軸受支持部材８６が固定される。すなわち、スライダ１４に設けられた複数の軸受７２が、シリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂに対して最適な押圧力で押圧されてガイドされた状態で第１軸受支持部材８６をスライダ１４に対して固定する。なお、第１軸受支持部材８６を固定ボルト８８を介してスライダ１４に固定することにより、前記第１軸受支持部材８６に対する第１弾性部材１５２の弾発力が機能していない状態となり、ガイド部３８ａ側への押圧力を維持した状態で固定される。

さらに、スライダ１４の保持部７０ａに螺合されているプラグ９２を第１弾性部材１５２に当接するまで螺回することにより、前記ガイド部３８ａと第１軸受支持部材８６との間のクリアランスが解消された状態で、第１弾性部材１５２を介して前記第１軸受支持部材８６が支持される。これにより、第１軸受支持部材８６が、スライダ１４に対して位置決めされた状態となり、ガイド部３８ａに接近及び離間する方向（図７〜図９中、矢印Ｙ１及びＹ２方向）に向かって変位することがない。

また、長年の使用による軸受７２の摩耗等によってスライダ１４とシリンダチューブ１２との間にクリアランスが生じた場合には、第２軸受支持部材１５０とスライダ１４の保持部７０ｂとの間に設けられた第２弾性部材１５４の弾発力によって前記第２軸受支持部材１５０がシリンダチューブ１２側に向かって押圧されることにより前記クリアランスが好適に解消される。すなわち、第１軸受支持部材８６とスライダ１４の保持部７０ａとの間に設けられている第１弾性部材１５２の弾発力は、前記第１軸受支持部材８６がスライダ１４に固定され、前記第１軸受支持部材８６を介してシリンダチューブ１２に影響を与えることがないため、前記スライダ１４がシリンダチューブ１２に組み付けられた後に発生したがたつきは、第２弾性部材１５４の弾発力によって好適に解消される。

これにより、シリンダ装置１０における経時変化によって生じるスライダ１４とシリンダチューブ１２との間のがたつきを第２弾性部材１５４によって解消することができる。

このように、シリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂに対してガイド機構２４を介してスライダ１４を装着することにより、前記ガイド機構２４に設けられる第１弾性部材１５２の弾発力によって前記スライダ１４の摺動面となるガイド部３８ａの側面に対して軸受７２を所望の押圧力で押圧して当接させることができる。

そのため、ねじの螺回作用下に第１及び第２摺動材をシリンダチューブとスライダとの間に向かって変位させることにより、前記シリンダチューブとスライダ間のクリアランスを解消していた従来のガイド機構が備えられたシリンダ装置と比較して、前記軸受７２がガイド部３８ａに対して押圧される押圧力の変化を緩やかとすることができるため所定の押圧力が得られやすく、且つ、前記ガイド部３８ａに付与される押圧力の設定範囲を広く確保することが可能となる。

また、ガイド部３８ａに対する軸受７２の押圧方向を、該ガイド部３８ａの摺動面となる側面に対して略垂直とすることにより、前記軸受７２による押圧力の設定範囲をより一層大きく確保することができる。

これにより、スライダ１４やシリンダチューブ１２の寸法ばらつきによって前記スライダ１４をガイド部３８ａ、３８ｂに組み付けた際に生じるクリアランスを、第１弾性部材１５２の弾発力によって好適に解消し、前記スライダ１４とシリンダチューブ１２との間に発生するがたつきを阻止することができる。

その結果、スライダ１４をシリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂに組み付けた際に、前記スライダ１４に設けられた軸受７２がガイド部３８ａ、３８ｂに対して所望の押圧力で押圧された状態で当接されているため、前記スライダ１４をシリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂによるガイド作用下に軸線方向に沿って確実且つ円滑に変位させることができる。

さらに、スライダ１４をシリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂに組み付けた際に、第１弾性部材１５２の弾発力によってスライダ１４とガイド部３８ａ、３８ｂとの間に生じているクリアランスを自動的に解消させることができるため、従来の作業者がねじを螺回して第１及び第２摺動材をシリンダチューブとスライダとの間に向かって押圧することにより前記クリアランスを解消するという煩雑な調整作業が不要となり、シリンダ装置１０の製造時間の短縮化を図ることができる。

さらにまた、第１及び第２軸受支持部材８６、１５０に装着された軸受７２が、第１弾性部材１５２の弾発力によって常に摺動面となるガイド部３８ａ、３８ｂの側面に対して略垂直、且つ、所定圧力で押圧されているため、例えば、スライダ１４の上面に載置されるワーク等から外力が付勢された場合にも、前記外力の影響による前記スライダ１４の変位を抑制して前記スライダ１４をガイド部３８ａ、３８ｂに沿って確実且つ好適にガイドして軸線方向に沿って円滑に変位させることができる。

またさらに、第２軸受支持部材１５０とスライダ１４の保持部７０ｂとの間に第２弾性部材１５４を設け、該第２弾性部材１５４を、例えば、硬質のゴム製材料から形成することにより、所望の剛性を有するガイド機構とすることができると共に、長年の使用による軸受７２の摩耗等によりスライダ１４とシリンダチューブ１２との間に再びクリアランスが生じてがたつきが発生した場合においても、第２弾性部材１５４の弾発力によって前記がたつきを吸収して好適に解消することができる。

次に、このようにして組み付けられたガイド機構２４を有するシリンダ装置１０の動作について説明する。なお、スライダ１４及びピストン４０ａ、４０ｂが、一方のエンドブロック１６ａ側（矢印Ｂ方向）に変位している状態を初期位置として説明する。

先ず、この初期位置において、エンドブロック１６ａの第１ポート１０６に圧力流体（例えば、圧縮エア）を供給することにより、前記圧力流体がエンドブロック１６ａの図示しない通路を介してシリンダチューブ１２内の一方のシリンダ室１１０ａに導入される。そして、前記圧力流体による押圧作用下にピストン４０ａが他方のエンドブロック１６ｂ側（矢印Ａ方向）に押圧されることにより、ピストンヨーク５０及びカプラー５８を介して前記ピストン４０ａと一体的にスライダ１４がガイド部３８ａ、３８ｂのガイド作用下に軸線方向に沿って変位する。なお、この場合、第２ポート１０８は大気開放状態としておく。

その際、案内部材１２４ｂのベルト押え部１２８と下ベルト案内部１４２によって閉じられていたスライダ１４の右側の上ベルト１８と下ベルト２０がスライダ１４の変位に伴ってベルトセパレート部１２６によって開かれる。また、反対に、案内部材１２４ａのベルトセパレート部１２６によって開かれていたスライダ１４の中央部近傍の上ベルト１８と下ベルト２０は、前記スライダ１４の変位に伴ってベルト案内機構２２のベルト押え部１２８及び下ベルト案内部１４２によって閉じられる。

すなわち、スライダ１４は、上ベルト１８及び下ベルト２０によってスリット２８をシールしてボア部２６を閉塞した状態でシリンダチューブ１２に沿って軸線方向（矢印Ａ方向）に変位する。

そして、スライダ１４がさらに他方のエンドブロック１６ｂ側（矢印Ａ方向）へと変位し、ピストン４０ｂの端部に設けられたシャフト部４６が円筒体１１８の挿通孔１２０の内部に挿入されることにより、前記シャフト部４６の外周面と挿通孔１２０に設けられたチェックパッキン１２２によって前記シャフト部４６と挿通孔１２０との間における流体の流通が遮断され、その流体の流路は図示しないバイパス流路のみに制限される。そのため、前記ピストン４０ａ、４０ｂの変位速度が低下しながら変位して前記ピストン４０ｂの端面が円筒体１１８の端面に当接することにより変位終端位置となる。

次に、図示しない切換弁を切り換えて第２ポート１０８に圧力流体を供給することにより、前記圧力流体がエンドブロック１６ｂの図示しない通路を通じてシリンダチューブ１２の他方のシリンダ室１１０ｂに導入される。そして、ピストン４０ｂが、前記圧力流体による押圧作用下に一方のエンドブロック１６ａ側（矢印Ｂ方向）に押圧され、前記ピストン４０ｂと共にスライダ１４がシリンダチューブ１２のガイド部３８ａ、３８ｂに沿って軸線方向（矢印Ｂ方向）に変位する。

その際、スライダ１４が他方のエンドブロック１６ｂ側に変位する場合とは反対に、案内部材１２４ａのベルト押え部１２８と下ベルト案内部１４２によって閉じられていた上ベルト１８と下ベルト２０が、前記案内部材１２４ａのベルトセパレート部１２６によって開かれ、また、案内部材１２４ｂのベルトセパレート部１２６によって開かれていた上ベルト１８と下ベルト２０は、ベルト押え部１２８及び下ベルト案内部１４２によって閉じられる。

そして、スライダ１４がさらに一方のエンドブロック１６ａ側（矢印Ｂ方向）へと変位し、ピストン４０ａに設けられたシャフト部４６が円筒体１１８の挿通孔１２０に挿入されることにより、前記ピストン４０ａ、４０ｂの変位速度が低下した後に前記ピストン４０ａの端面が円筒体１１８の端面に当接することにより停止して初期位置へと復帰する。

本発明の実施の形態に係るガイド機構が適用されたシリンダ装置の斜視図である。 図１のシリンダ装置の軸線方向に沿った縦断面図である。 図１のシリンダ装置の一部省略分解斜視図である。 図１のシリンダ装置におけるベルト案内機構の分解斜視図である。 図１のシリンダ装置におけるガイド機構の分解斜視図である。 図１のシリンダ装置におけるスライダを下方から見た分解斜視図である。 図１のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った縦断面図である。 図１のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った縦断面図である。 図７のＩＸ−ＩＸ線に沿った縦断面図である。 図７のＸ−Ｘ線に沿った縦断面図である。 従来技術に係るガイド機構を有するシリンダ装置の縦断面図である。

符号の説明

１０…シリンダ装置 １２…シリンダチューブ
１４…スライダ １６ａ、１６ｂ…エンドブロック
１８…上ベルト ２０…下ベルト
２２…ベルト案内機構 ２４…ガイド機構
２６…ボア部 ２８…スリット
３８ａ、３８ｂ…ガイド部 ４０ａ、４０ｂ…ピストン
４６…シャフト部 ４８ａ、４８ｂ…ウェアリング
５０…ピストンヨーク ５４…ヨーク部
５８…カプラー ７０ａ、７０ｂ…保持部
７２…軸受 ７４、１５８、１６８…保持溝
７６、１６０、１７０…深溝部 ７８…フランジ部
８６…第１軸受支持部材 ８８…固定ボルト
９０…貫通孔 ９２…プラグ
９４…ねじ孔 １０２…固定部材
１０６…第１ポート １０８…第２ポート
１１０ａ、１１０ｂ…シリンダ室 １１６…減速機構
１１８…円筒体 １２２…チェックパッキン
１２４ａ、１２４ｂ…案内部材 １２６…ベルトセパレート部
１２８…ベルト押え部 １４２…下ベルト案内部
１５０…第２軸受支持部材 １５２…第１弾性部材
１５４…第２弾性部材 １５６ａ、１５６ｂ…装着溝
１６６…装着穴

Claims (8)

1. シリンダ本体の外部に設けられる変位部材を軸線方向に沿って変位させるシリンダ装置において、
   前記シリンダ本体と前記変位部材との間に設けられ、前記変位部材を前記シリンダ本体に対して変位自在に保持するシリンダ装置のガイド機構であって、
   前記ガイド機構は、前記変位部材が保持されるシリンダ本体のガイド部と該変位部材との間に設けられ、前記ガイド部と摺接する軸受が装着される保持部と、
   前記保持部と前記変位部材との間に配設され、前記保持部を前記ガイド部側に向かって付勢する弾性部と、
   を備えることを特徴とするシリンダ装置のガイド機構。
2. 請求項１記載のガイド機構において、
   前記弾性部は、前記保持部を介して前記軸受を前記ガイド部との摺接面に対して略垂直方向に押圧することを特徴とするシリンダ装置のガイド機構。
3. 請求項１又は２記載のガイド機構において、
   前記保持部は、前記変位部材に対して固定部材によって固定され、前記弾性部の弾発力による前記変位部材の前記ガイド部側への変位を規制することを特徴とするシリンダ装置のガイド機構。
4. 請求項１又は２記載のガイド機構において、
   前記保持部は、前記シリンダ本体に形成される一組のガイド部と前記変位部材との間にそれぞれ設けられる一組の保持部材から構成され、前記弾性部は、一方の保持部材に設けられ、該保持部材を一方のガイド部に向かって付勢する第１弾性部材と、他方の保持部材に設けられ、該保持部材を他方のガイド部に向かって付勢する第２弾性部材とを備えることを特徴とするシリンダ装置のガイド機構。
5. 請求項４記載のガイド機構において、
   前記一組の保持部材のうち少なくとも一方が、前記変位部材に対して固定部材によって固定されることを特徴とするシリンダ装置のガイド機構。
6. 請求項３又は５記載のガイド機構において、
   前記保持部を固定する固定部材は、前記ガイド部と前記軸受とからなる摺接面に対して略平行に配設されることを特徴とするシリンダ装置のガイド機構。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載のガイド機構において、
   前記保持部は、前記弾性部又は前記軸受と一体成形されることを特徴とするシリンダ装置のガイド機構。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載のガイド機構において、
   前記シリンダ装置は、ロッドレスシリンダであることを特徴とするシリンダ装置のガイド機構。

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