JP2006291324A - 密着性と摺動特性に優れた複合皮膜およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 Ti,V,Zr,Cr,Nb,Si,Al,Bのいずれか1種以上の元素からなる窒化物および/または炭窒化物を主体とする硬質皮膜上に、金属元素と二硫化モリブデンからなる潤滑皮膜が存在してなる複合皮膜であって、該潤滑皮膜は、該硬質皮膜側から表面に向かって、金属元素の割合は減少すると同時に、二硫化モリブデンの割合は増加する組成の傾斜を有し、かつ該潤滑皮膜の酸素濃度の最大値は25原子%以下の、複合皮膜である。この複合皮膜の形成には、硬質皮膜の形成にイオンプレーティング源を用い、潤滑皮膜の形成にスパッタ源を用いる。そして、前記イオンプレーティング源とスパッタ源は一つのチャンバ内に設置されており、チャンバ内に保持した被処理物に、硬質皮膜を380℃以上で形成した後には、この被処理物をチャンバ内に保持したままの状態で連続して潤滑皮膜を形成する。
【選択図】図1
Description
・No.11では、二硫化モリブデンスパッタ源に、パルス状ではない、通常の直流電圧
を印加した。
・No.12では、潤滑皮膜の成膜温度を400℃とした。
・No.13,14では、金属スパッタ源の出力を操作して、潤滑皮膜内における、硬質
皮膜直上、もしくは、最表面の金属元素濃度を調節した。
・No.15では、硬質皮膜を形成しなかった。
・No.16では、二硫化モリブデンスパッタ源を使用しなかった。
・No.17では、潤滑皮膜形成時に金属スパッタ源を使用しなかった。
・No.18では、潤滑皮膜内において、金属元素濃度をおよそ60原子%一定とした。
・No.20では、もとより複合PVD装置は用いずに、チャンバの独立した、アーク放
電式イオンプレーティング装置と非平衡マグネトロンスパッタ装置をそれぞれ用いた。
・No.21では、硬質皮膜の成膜温度を350℃とした。
・No.22では、潤滑皮膜だけでなく、硬質皮膜の形成にもスパッタ源を用いた。成膜
条件は、成膜温度450℃、バイアス電圧−100V、窒素ガス圧0.8Paである。
これによる硬質皮膜の厚さは1.0μmであった。
Claims (8)
- Ti,V,Zr,Cr,Nb,Si,Al,Bのいずれか1種以上の元素からなる窒化物および/または炭窒化物を主体とする硬質皮膜上に、金属元素と二硫化モリブデンからなる潤滑皮膜が存在してなる複合皮膜であって、該潤滑皮膜は、該硬質皮膜側から表面に向かって、金属元素の割合は減少すると同時に、二硫化モリブデンの割合は増加する組成の傾斜を有し、かつ該潤滑皮膜の酸素濃度の最大値は25原子%以下であることを特徴とする密着性と摺動特性に優れた複合皮膜。
- 前記潤滑皮膜を形成するうちの金属元素は、Tiであることを特徴とする請求項1に記載の密着性と摺動特性に優れた複合皮膜。
- 前記複合皮膜の最表面には、厚さ0.01μm以上の二硫化モリブデン層が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の密着性と摺動特性に優れた複合皮膜。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載の複合皮膜を製造するための方法であって、該複合皮膜を構成するうちの、前記硬質皮膜の形成にはイオンプレーティング源を用い、前記潤滑皮膜の形成には被覆源を用いかつ、少なくともそれに含まれる二硫化モリブデンはスパッタ源を用いて付与するものであり、該イオンプレーティング源と該被覆源は一つのチャンバ内に設置されているものであって、該チャンバ内に保持した該複合皮膜が形成される被処理物に該硬質皮膜を380℃以上において形成し、続いて該被処理物を該チャンバ内に保持したままの状態で連続して該潤滑皮膜を形成することを特徴とする密着性と摺動特性に優れた複合皮膜の製造方法。
- 前記イオンプレーティング源がアーク放電式であることを特徴とする請求項4に記載の密着性と摺動特性に優れた複合皮膜の製造方法。
- 前記潤滑皮膜は、被処理物が380℃以下の状態において形成されることを特徴とする請求項4または5に記載の密着性と摺動特性に優れた複合皮膜の製造方法。
- 二硫化モリブデンを付与するスパッタ源には、直流パルス電圧を印加することを特徴とする請求項4ないし6のいずれかに記載の密着性と摺動特性に優れた複合皮膜の製造方法。
- 二硫化モリブデンを付与するスパッタ源は、非平衡マグネトロンスパッタ源であることを特徴とする請求項4ないし7のいずれかに記載の密着性と摺動特性に優れた複合皮膜の製造方法。
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