JP2006287180A - マイクロチャンネル構造体及びその製造方法、光源装置、並びにプロジェクタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流体が流れる複数の微細流路を有するマイクロチャンネル構造体であって、上記微細流路は、ブロック1に形成される収納部11と、上記収納部11内に配置されるとともに複数のパイプ21が積層されることによって構成されるパイプアレイ2とを備えて構成される。
【選択図】図1
Description
ところが、プレス加工では、微細加工が困難であり、さらにはアスペクト比(流路幅と流路高さの比)の高い流路を形成することが困難であるため、上述のような数μm〜数百μm幅の流路を複数形成する場合には、一般的には、シリコンをエッチングするか、金属にワイヤ放電加工を行うことによって流路が形成されている。
また、特許文献2には、パイプが配列されることによって流路が形成された熱交換器が開示されている。
一方、銅等の金属を用いて数μm〜数百μm幅の流路を形成する場合には、ワイヤ放電加工等の加工法を用いることによって形成することができる。しかしながら、ワイヤ放電加工で流路を形成する場合には多くの加工時間を必要とするため、マイクロチャンネル構造体を安価に大量生産するための加工法としては好ましくない。
また、特許文献2のようにパイプを配列することによって、容易に流路を形成することができるが、マイクロチャンネル構造体のように、流路幅が数μm〜数百μm幅の場合には、パイプ内を流れる流体の流量が極めて少量となり、熱交換効率が極めて低下してしまう。
また、収納部にパイプアレイを配置するのみで、微細流路を形成することができるため、ワイヤ放電加工等で微細流路を形成する場合と比較して、短時間で安価に形成することが可能となる。
したがって、本発明のマイクロチャンネル構造体は、短時間で安価に製造可能でかつ熱交換効率が高いものとなる。
発熱源からの熱量は、放射状に拡散する。このため、このような構成を採用することによって、熱交換への寄与が少ない部位にパイプを配置することなく高い熱交換効率を得ることができる。よって、熱交換効率を低下させることなくパイプの配置数を減少させることができ、より低コストで製造可能なマイクロチャンネル構造体とすることができる。
このような構成を採用することによって、固体発光光源が直接パイプアレイの表面上に配置可能となるため、より効率的に固体発光光源を冷却することが可能となる。
なお、本発明のマイクロチャンネル構造体においては、上記パイプアレイの上記載置領域が平坦化されていることが好ましい。
これによって、パイプアレイと固体発光光源との接触面積が増大するため、さらに効率的に固体発光光源を冷却することが可能となる。
また、本発明のマイクロチャンネル構造体においては、上記載置領域に応じた開口部が形成されるとともに、上記ブロックに固定されることによって上記パイプアレイを固定する固定部を備えるという構成を採用することができる。
このような構成を採用することによって、固体発光光源をパイプアレイに直接載置する領域を確保しながら、容易にパイプアレイを固定することが可能となる。
このような構成を採用することによって、固体発光光源とパイプアレイとの間の伝熱効率を高めることができるため、より効率に固体発光光源を冷却することが可能となる。
このような構成を採用することによって、パイプ同士の接触面積が増大し、伝熱効率が向上するため、より熱交換効率が向上される。
なお、具体的には、上記パイプの断面形状が多角形状とされているという構成を採用することによって、上記複数のパイプ同士を面接触させることができる。
このような構成を採用することによって、伝熱効率を低下させることなく、パイプ同士間をシールすることが可能となる。
このような構成を採用することによって、パイプ同士間の空気層の容積を低減させることができ、伝熱効率を向上させることが可能となる。
このような構成を採用することによって、流体とパイプとの接触面積が増加し、伝熱効率を向上させることが可能となる。
また、このような構成を採用する場合に、上記パイプに複数の貫通孔が形成されているという構成を採用することができる。このような構成を採用することによって、流体が貫通孔を介してパイプの内外を移動し、流体の流れが乱流状態となる。このため、より伝熱効率を向上させることが可能となる。なお、上記貫通孔は、上記収納部に配置された場合に露出される上記パイプ以外の上記パイプに形成されていることが好ましい。これによって、流体が収納部の外部に漏出することを防止することができる。
本発明のマイクロチャンネル構造体は、短時間で安価に製造可能でかつ熱交換効率が高いものである。このため、本発明のマイクロチャンネル構造体を基台として備える光源装置は、低コストで製造可能でかつ優れた発光特性を有することができる。
本発明の光源装置は、低コストで製造可能でかつ優れた発光特性を有する。このため、このような本発明の光源装置を備えるプロジェクタは、安価でかつ優れた表示特性を発揮することができる。
したがって、本発明のマイクロチャンネル構造体の製造方法によれば、安価でかつ熱交換効率の高いマイクロチャンネル構造体を製造することが可能となる。
このような構成を採用することによって、パイプの配置が容易となる。例えば、収納部の流体の流れ方向と直交する断面形状が微細流路の底部に向けて漸次狭まる三角形状である場合には、収納部にパイプを上方から順次配置していくことによって、全てのパイプを容易に位置決めすることが可能となる。
このような構成を採用することによって、予めサブブロック単位で複数のパイプを固着形成することができるため、より容易にパイプが配置可能となる。
このような構成を採用することによって、複数のマイクロチャンネル構造体を同時に製造することが可能となるため、より短時間で複数のマイクロチャンネル構造体を製造することが可能となる。
このような構成を採用することによって、パイプアレイの表面の少なくとも一部が平坦化される。このため、この平坦化された部位に、例えば固体発光光源を配置することによって、パイプアレイと固体発光光源との接触面積が増大されるため、より効率的に固体発光光源を冷却することが可能となる。すなわち、このような構成を採用することによって、冷却性能に優れたマイクロチャンネル構造体を製造することが可能となる。
このような構成を採用することによって、パイプアレイの表面の少なくとも一部が平坦化されるとともに、各パイプが押圧されるため、パイプ同士の接触面積を増大させることが可能となる。すなわち、このような構成を採用することによって、より冷却性能に優れたマイクロチャンネル構造体を製造することが可能となる。
このような構成を採用することによって、パイプ相互の密着性が向上され、パイプ同士の接触面積を増大させることが可能となる。すなわち、このような構成を採用することによって、より冷却性能に優れたマイクロチャンネル構造体を製造することが可能となる。
このような構成を採用することによって、大径パイプを変形させるのみによって収納部の形状に合ったパイプアレイを形成することができる。このため、マイクロチャンネル構造体の製造工程を簡略化することができる。
また、このような構成を採用する場合に、上記大径パイプの端部に、上記流体を送排するための管が接続されているという構成を採用することができる。通常、流体を送排するための管は、別工程において微細流路と接続されるが、このような構成を採用することによって、別工程を行うことなく、流体を送排するための管を接続することが可能となる。
図1は、本第1実施形態のマイクロチャンネル構造体の概略構成を示した斜視図である。この図に示すように、本実施形態のマイクロチャンネル構造体M1は、収納部としての溝部11が形成されたブロック1と、溝部11内に配置されるパイプアレイ2とを備えて構成されている。そして、これらの溝部11とパイプアレイ2とによって微細流路が形成されている。
この溝部11は、ブロック1に対してダイシング等の突っ切り加工等を行うことによって容易に形成することができる。なお、本実施形態においては、上述のように、溝部11は、その断面形状が逆台形となるように形成されている。
そして、図8に示すように、この外形形成用型10を平板状のテーブル等の上部に載置して外形形成用孔20の下端開口部を閉塞し、この状態で外形形成用孔20に上方からパイプ21を垂直に複数装填する。これによって、これらのパイプ21は、隣接するパイプ21,21の外面同士が互いに接触した状態で、ハニカム状に並び、平面視での全体の外形が三角形状となる。
そして、図9に示すように、このようなサブブロック22を3つ接合することによって、パイプアレイ2を形成することができる。
したがって、本実施形態のマイクロチャンネル構造体の製造方法によって製造されたマイクロチャンネル構造体は、短時間で安価に製造可能でかつ熱交換効率が高いものとなる。
また、例えば、パイプアレイ2の各パイプ21に高圧流体を流すことによって各パイプを塑性変形させ、これによって各パイプ21同士を面接触させることも可能である。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。なお、本第2実施形態の説明において、上記第1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。なお、本第3実施形態の説明においても、上記第1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
次に、本発明の第4実施形態について説明する。なお、本実施形態の説明においても、上記第1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
次に、本発明の第5実施形態について説明する。なお、本実施形態の説明においても、上記第1実施形態と同様の部分については、省略あるいは簡略化する。
なお、具体的には、載置板60は、一方の表面側61が平らで、他方の表面側62がパイプアレイ2の表面の凹凸に応じた形状とされている。
このようにパイプ21,21間にも流体を流すことによって、流体とパイプとの接触面積が増加し、伝熱効率を向上させることが可能となる。
また、図17に示すように、パイプ21に複数の貫通孔25が形成されているという構成を採用することができる。このような構成を採用することによって、流体が貫通孔25を介してパイプの内外を移動し、流体の流れが乱流状態となる。このため、より伝熱効率を向上させることが可能となる。
なお、載置板60を備えない上記第1実施形態のマイクロチャンネル構造体においても、パイプ21に貫通孔25を形成することは可能である。しかしながらその場合には、流体が溝部11の外部に漏出することを防止するために、溝部11において露出されるパイプ以外のパイプ、すなわち、溝部11内の最上段以外のパイプ21に貫通孔25が形成されていることが好ましい。
次に、本発明の第6実施形態について説明する。なお、本実施形態の説明においても、上記第1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
次に、本発明の第7実施形態として、上記実施形態のマイクロチャンネル構造体を有する光源装置について説明する。なお、本実施形態の説明においては、上記第1実施形態のマイクロチャンネル構造体M1を備える光源装置について説明するが、上記第1実施形態のマイクロチャンネル構造体M1に限らず、上記第2〜第6のマイクロチャンネル構造体を備えることも可能である。
これらの図に示すように、本実施形態の光源装置100は、基台110と、LEDチップ120(固体発光光源)と、樹脂フレーム130と、キャップ140とを備えて構成されている。
LEDチップ120は、電流を供給されることによって発光及び発熱するものであり、シリコン等によって形成されかつLEDチップ120に電力を供給するための配線が形成されたサブマウント上にフリップチップ実装され、このサブマウントごと熱伝導性の接着剤(例えば、銀ペースト)によって基台110上に実装されている。
また、上記実施形態のマイクロチャンネル構造体M1は、上述のように安価に大量生産することが可能なため、マイクロチャンネル構造体M1を基台110として備える光源装置100も、安価に製造することが可能となる。
次に、本発明の第5実施形態として、上記第4実施形態の光源装置100を備えるプロジェクタについて説明する。
一方、各パイプ21内を流れる流体同士を積極的に干渉させる(混ざり合わせる)場合には、例えば、各パイプ21は、多孔質材料によって形成されていることが好ましい。このように、多孔質材料によってパイプ21を形成することによって、パイプ21内を流れる流体がパイプ21の外部、すなわちパイプ21,21間に流れ出すため、積極的に流体同士を干渉させることが可能となる。また、このような場合には、パイプ21,21間に流体が滞留することを抑止することもできる。
Claims (24)
- 流体が流れる複数の微細流路を有するマイクロチャンネル構造体であって、
前記微細流路は、
ブロックに形成される収納部と、
前記収納部内に配置されるとともに複数のパイプが積層されることによって構成されるパイプアレイと
を備えて構成されることを特徴とするマイクロチャンネル構造体。 - 前記収納部の前記流体の流れ方向と直交する断面形状が前記微細流路の底部に向けて漸次狭まることを特徴とする請求項1記載のマイクロチャンネル構造体。
- 前記パイプアレイの表面の一部が、発熱及び発光する固体発光光源の載置領域とされていることを特徴とする請求項1または2記載のマイクロチャンネル構造体。
- 前記パイプアレイの前記載置領域が平坦化されていることを特徴とする請求項3記載のマイクロチャンネル構造体。
- 前記載置領域に応じた開口部が形成されるとともに、前記ブロックに固定されることによって前記パイプアレイを固定する固定部を備えることを特徴とする請求項3または4記載のマイクロチャンネル構造体。
- 一方の表面側が、発熱及び発光する固体発光光源の載置領域とされ、他方の表面側が、前記パイプアレイに対して密着可能とされた載置板を備えることを特徴とする請求項1または2記載のマイクロチャンネル構造体。
- 前記複数のパイプ同士が面接触していることを特徴とする請求項1〜6いずれかに記載のマイクロチャンネル構造体。
- 前記パイプの断面形状が多角形状とされていることを特徴とする請求項7記載のマイクロチャンネル構造体。
- 前記流体の熱伝導率より高い熱伝導率を有するシール材が前記パイプ同士間に充填されていることを特徴とする請求項1〜8いずれかに記載のマイクロチャンネル構造体。
- 前記パイプよりも小径の小パイプあるいは前記パイプよりも小径の棒部材が前記パイプ同士間に設置されていることを特徴とする請求項1〜8いずれかに記載のマイクロチャンネル構造体。
- 前記パイプの内部及び前記パイプ同士間に前記流体が流されることを特徴とする請求項1〜8いずれかに記載のマイクロチャンネル構造体。
- 前記パイプに複数の貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項11記載のマイクロチャンネル構造体。
- 前記貫通孔は、前記収納部に配置された場合に露出される前記パイプ以外の前記パイプに形成されていることを特徴とする請求項12記載のマイクロチャンネル構造体。
- 電流を供給されることによって発光及び発熱する固体発光光源と、当該固体発光光源が載置される基台とを有する光源装置であって、
前記基台として、請求項1〜13いずれかに記載のマイクロチャンネル構造体を用いることを特徴とする光源装置。 - 請求項14記載の光源装置を備えることを特徴とするプロジェクタ。
- 流体が流れる複数の微細流路を有するマイクロチャンネル構造体の製造方法であって、
ブロックに形成された収納部に複数のパイプを積層して配置することによって前記微細流路を形成する工程を有することを特徴とするマイクロチャンネル構造体の製造方法。 - 前記収納部の前記流体の流れ方向と直交する断面形状が前記微細流路の底部に向けて漸次狭まることを特徴とする請求項16記載のマイクロチャンネル構造体の製造方法。
- 複数のパイプによって構成されるサブブロックを前記収納部に複数配置することを特徴とする請求項16または17記載のマイクロチャンネル構造体の製造方法。
- 前記マイクロチャンネル構造体複数個分のブロックが一体形成された複合ブロックの収納部に前記複数のパイプを積層して配置し、その後、前記複合ブロックを切断することによって単一の前記マイクロチャンネル構造体を製造することを特徴とする請求項16〜18いずれかに記載のマイクロチャンネル構造体の製造方法。
- 前記複数のパイプによって構成されるパイプアレイの表面の少なくとも一部を平坦化する工程を有することを特徴とする請求項16〜19いずれかに記載のマイクロチャンネル構造体の製造方法。
- 前記複数のパイプによって構成されるパイプアレイ全体を圧縮する工程を有することを特徴とする請求項16〜19いずれかに記載のマイクロチャンネル構造体の製造方法。
- 前記複数のパイプによって構成されるパイプアレイに高圧流体を流すことによって前記パイプ相互の密着性を向上させる工程を有することを特徴とする請求項16〜19いずれかに記載のマイクロチャンネル構造体の製造方法。
- 前記複数のパイプを延在方向を開放して一括して包み込む大径パイプを前記収納部の形状に合わせて変形させる変形工程と、
前記変形工程後の前記大径パイプを前記収納部に配置することによって収納部に複数のパイプを積層して配置する工程と
を有することを特徴とする請求項16または17記載のマイクロチャンネル構造体の製造方法。 - 前記大径パイプの端部に、前記流体を送排するための管が接続されていることを特徴とする請求項23記載のマイクロチャンネル構造体の製造方法。
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