JP2007103702A - 熱交換器、熱交換器の製造方法、液冷システム、光源装置、プロジェクタ、電子デバイスユニット、電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 複数のフィンが形成された部材を組み合わせる際に、フィンの変形による流路の閉塞を容易に防止することができる熱交換器、熱交換器の製造方法、及び液冷システム、光源装置、プロジェクタ、電子デバイスユニット、電子機器を提供することを目的とする。
【解決手段】 発熱体Ｈに接触する接触面１０ｓと複数の微細流路１１を有する熱交換器１０であって、複数の微細流路１１を仕切る隔壁１３が接触面１０ｓに対して傾斜して配列される。
【選択図】 図２

Description

本発明は、矩形の断面形状の微細流路を複数有する熱交換器、その製造方法等に関する。

プロジェクタは、近年、小型化、高輝度化、長寿命化、廉価化等が図られてきている。例えば、小型化に関しては、液晶パネル（光変調素子）サイズが対角１．３インチから０．５インチ程度となり、面積比で１／６強の小型化がなされている。

プロジェクタの光源としては、固体光源である発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）やレーザダイオード（ＬＤ：Laser Diode）を用いることで、小型化が図られている。ＬＥＤ光源等は、電源を含めて小型であり、瞬時点灯／消灯が可能であること、色再現性が広く長寿命であることなど、プロジェクタ用光源としてメリットを有している。また、水銀などの有害物質を含まないため、環境保全上からみても好ましいものである。

ところが、ＬＥＤ光源等の高輝度化に伴い、ＬＥＤ光源からの発熱は増大して発光効率が低下するため、発熱対策をとる必要がある。一般的に採用されているファンによる強制空冷方式では冷却効率が不十分であったり、ファンの騒音が問題となったりしている。
このため、液体が流通する複数の流路を有する熱交換器を用いてＬＥＤ光源等を強制冷却する方法がある。このような熱交換器としては、特許文献１に示すように、複数のリブが設けられた一対の部材を組み合わせることで、複数の流路を形成する方法が提案されている。
特開平７−３８０２５号公報

しかしながら、上述した技術では、複数のリブが設けられた部材を組み合わせるため、各リブの高さが不均一であると、組み合わせの際にリブが圧縮力を受けて変形して、流路が閉塞されたり、不均一な断面の流路が形成されたりしてしまう。このため、高い冷却効率の熱交換機を得ることができないという問題がある。

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、複数のフィンが形成された部材を組み合わせる際に、フィンの変形による流路の閉塞を容易に防止することができる熱交換器、熱交換器の製造方法、及び液冷システム、光源装置、プロジェクタ、電子デバイスユニット、電子機器を提供することを目的とする。

本発明に係る熱交換器、熱交換器の製造方法、液冷システム、光源装置、プロジェクタ、電子デバイスユニット、電子機器では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
第１の発明は、発熱体に接触する接触面と複数の微細流路を有する熱交換器であって、前記複数の微細流路を仕切る隔壁が前記接触面に対して傾斜して配列されているようにした。
この発明によれば、複数の隔壁が発熱体に接触する接触面に対して傾斜しているので、接触面に対して押圧力を付加した場合であっても、各隔壁が同一方向に変形するので微細流路が閉塞されない。

また、複数の微細流路を有する熱交換器であって、前記複数の微細流路を仕切る隔壁が、組立の際に押圧される方向に直交する面に対して傾斜して配列されているようにした。
この発明によれば、複数の隔壁が組立の際に押圧される方向に直交する面に対して傾斜しているので、熱交換器の組立時に各隔壁が同一方向に変形するので、微細流路が閉塞されない。

また、板部に対して傾斜する複数のフィンが所定の間隔で形成されたフィン部材と、前記複数のフィンを収容する掘込部が形成されたフィン収容部材と、を備え、前記複数のフィンと前記掘込部により前記微細流路が形成されるものでは、フィン部材とフィン収容部材とを重ねて加圧することで、微細流路を有する熱交換器を良好に形成することができる。
また、前記掘込部の壁面のうち、前記フィンに近接する一方の壁面は、前記フィンの傾斜角と略同一の傾斜角を有するものでは、各微細流路の断面形状を略同一にすることが可能となる。
また、前記フィンは、他方の壁面に近接するに従って、前記板部に対して略直交するように形成されるものでは、各微細流路の断面形状を略同一にすることが可能となる。
また、前記一方の壁面と前記フィンとの間に形成される空間を埋める閉塞部材を備えるものでは、各微細流路の断面形状を略同一にすることが可能となる。
このようにして、流路の断面形状が略同一となり、したがって、流路を流れる液体の流量を略均一化することができる。

第２の発明は、複数の微細流路を有する熱交換器の製造方法であって、板部に対して傾斜する複数のフィンが所定の間隔で形成されたフィン部材を形成する工程と、前記複数のフィンを収容する掘込部が形成されたフィン収容部材を形成する工程と、前記フィン部材と前記フィン収容部材とを接合する工程と、を有するようにした。
この発明によれば、フィンが同一方向に傾斜しているので、フィン部材とフィン収容部材とを厚み方向に重ねて加圧して接合しても、フィンが同一方向に変形するので微細流路を閉塞することがなくなる。
また、前記掘込部の壁面と前記フィンとの間に形成される空間に、前記空間を埋める閉塞部材を挿入する工程を有するものでは、各微細流路の断面形状を略同一にすることができ、これにより、各流路を流れる液体の流量を均一化することができる。

第３の発明は、発熱部品と熱的に接触する吸熱器と、前記吸熱器に対して液体を供給するポンプと、前記吸熱器から排出される液体を放熱するラジエタと、を備える液冷システムであって、前記吸熱器として、第１の発明の熱交換器、或いは第２の発明の方法により製造した熱交換器を用いるようにした。
この発明によれば、発熱部品との接触面積が小さくても、高い熱交換効率を有する液冷システムを実現することができる。

第４の発明は、電流を供給されることによって発光及び発熱する固体発光光源と、該固体発光光源を冷却する液冷部を有する光源装置であって、前記液冷部として、第３の発明の液冷システムを用いるようにした。
この発明によれば、固体発光光源の発熱を効率的に抑制できるので、高輝度の光源装置を実現することができる。

第５の発明は、プロジェクタが、第４の発明の光源装置を備えるようにした。この発明によれば、小型で高輝度のプロジェクタを実現することができる。

第６の発明は、電流を供給されることによって発熱する電子デバイスと、該電子デバイスを冷却する液冷部を有する電子デバイスユニットであって、前記液冷部として、第３の発明の液冷システムを用いるようにした。
この発明によれば、電子デバイス発熱を効率的に抑制できるので、処理能力の高い電子デバイスユニットを実現することができる。

第７の発明は、電子機器が、第６の発明の電子デバイスユニットを備えるようにした。この発明によれば、小型且つ処理能力が高い電子機器を実現することができる。

以下、本発明の熱交換器、熱交換器の製造方法、液冷システム、光源装置、プロジェクタ、電子デバイスユニット、電子機器の実施形態について、図を参照して説明する。

〔熱交換器〕
図１は、熱交換器の概略構成を示す図であって、図１（ａ）は斜視図、図１（ｂ）は縦断面（Ａ−Ａ断面）である。
熱交換器１０は、銅やアルミニウムのように熱伝導性が高い金属からなる板状部品であって、その内部に水Ｗ等の液体を流通可能な微細な流路１１を複数有する。
図１（ａ）に示すように、熱交換器１０の側面には、内部に水Ｗを導入するための導入管２と、内部に導入された水Ｗを排出するための出口管３とが接続される。また、熱交換器１０の主面１０ｓは発熱体Ｈと接触するために平坦に形成される。
なお、発熱体Ｈと接触する主面１０ｓに直交する方向（熱交換器１０の厚み方向）をＺ方向、流路１１内の水Ｗの流れ方向をＸ方向とする。

図１（ｂ）に示すように、熱交換器１０の内部には、複数の微細な流路１１が形成されている。この流路１１は、水Ｗとの接触面積を大きくするために、流路１１の断面形状の縦横比（アスペクト比）が大きく形成されている。具体的には、図１（ｃ）に示すように、各流路１１の高さは２〜３ｍｍ、幅は５０〜１００μｍ程度に形成されている。
このような構成により、導入管２から熱交換器１０の内部に導入された水Ｗは、複数の微細な流路１１に分流し、その後、出口管３から外部に排出されるようになっている。水Ｗの流量は、例えば、３ｃｃ／秒程度である。

図２は、熱交換器１０の構成及び製造方法を示す断面図（Ｂ−Ｂ断面）である。
熱交換器１０は、フィン部材１２と、収容部材１４とから形成されている。
フィン部材１２は、平板部１２ａと、平板部１２ａに対して略均一な間隔で配置された複数のフィン１３（隔壁）とから形成されている。フィン１３は、図２（ａ）に示すように、フィン部材１２の主面１２ｓ（１０ｓ）に対して、傾斜角を有して形成されている。その傾斜角は、例えば、１０°程度である。
複数のフィン１３のうち、フィン１３が傾斜する方向の最も外側にあるフィン１３ａの傾斜は殆どなく、平板部１２ａに対して略直交して形成されている。また、フィン１３ａに近接するフィン１３ｂ，１３ｃも、平板部１２ａに対する傾斜角が他の多くのフィン１３よりも大きくなっている。つまり、複数のフィン１３の主面１２Ｓに対する傾斜角は、フィン１３ａに近づくに従って徐々に大きくなるように形成されている。
なお、複数のフィン１３の平板部１２ａからの高さ（長さ）ｈは、略均一となっている。収容部材１４と組み合わせた際に、各フィン１３が略均一に変形するようにするためである。
フィン部材１２の形成方法としては、切削加工の他、エッチング等の方法が適宜用いられる。

収容部材１４は、フィン１３の高さｈよりも若干浅く形成された掘込部１５を備える板状部材である。上述したように、掘込部１５には、フィン部材１２のフィン１３が収容されるようになっている。
そして、図２（ｂ）に示すように、フィン部材１２と収容部材１４とを組み合わせることで、縦横比の大きな流路１１が複数形成される。このとき、フィン１３の先端は、掘込部１５の底面に接触するので、各流路１１が確実に区画される。また、フィン１３と掘込部１５とが接触するので熱伝導性も向上する。

また、図２（ｂ）に示すように、掘込部１５の側壁１５ａ，１５ｂ（両端に配置されたフィン１３に近接する側壁）のうちの一方の側壁１５ａは、フィン１３と略平行となるように、主面１４ｓに対して傾斜するように形成されている。なお、主面１４ｓとは、フィン部材１２の平板部１２ａと密着する面であって、フィン部材１２の主面１２ｓ（１０ｓ）と平行となる。
好ましくは、側壁１５ａの傾斜角θ_Ｈをフィン１３の傾斜角θ_Ｆよりも若干小さくすることで、組立時にフィン１３が変形した際に、側壁１５ａとフィン１３とが接触することが確実に回避され、流路１１の閉塞が防止できる。

一方、側壁１５ｂは、主面１４ｓに対して略直交するように形成されている。すなわち、側壁１５ｂは、フィン部材１２のフィン１３ａと略平行となるように形成されている。側壁１５ｂ（及びフィン１３ａ）を主面１４ｓに対して略直交するように形成するのは、収容部材１４の掘込部１５に対して、フィン部材１２のフィン１３を、掘込部１５の上方（開口側）から挿入して組立可能とするためである。
フィン１３ａに近接するフィン１３ｂ，１３ｃ等も、フィン部材１２の主面１２ｓに対する傾斜角が他の多くのフィン１３よりも大きくなっている。組立時に、フィン１３ａ，１３ｂ，１３ｃ等が変形した際に、互いに接触することを回避して、流路１１の閉塞を防止するためである。

収容部材１４とフィン部材１２の組立は、上述したように、収容部材１４の掘込部１５に対して、フィン部材１２のフィン１３を、掘込部１５の上方（開口側）から挿入して行われる。
そして、収容部材１４とフィン部材１２とをろう付けや拡散接合等の方法により接合する。この際、フィン部材１２と収容部材１４とを積み重ねた状態で、重ねた方向（Ｚ方向）に押圧する。
掘込部１５の深さが、フィン１３の高さｈよりも若干浅く形成されているため、フィン１３の先端部が掘込部１５の底面に当接して、フィン１３が若干変形するようになっている。フィン１３は、同一方向に傾斜して形成されているので、各フィン１３が同一方向に倒れるように変形する。したがって、流路１１の形状が、ある部分では流路１１が閉塞されたり、ある部分では流路１１が拡大してしまったりする、という事態が回避できる。

図３は、熱交換器１０の変形例を示す図である。
上述したフィン部材１２では、複数のフィン１３の主面１２ｓに対する傾斜角が徐々に変化するように形成されている。このように、各フィン１３の主面１２ｓに対する傾斜角を異なるように形成する場合に限らず、図３に示すように、全てのフィン１３の主面１２ｓに対する傾斜角を同一にしてもよい。この場合には、フィン１３ａと側壁１５ｂとの間に形成される空間に、この空間と略同一形状の閉塞部材１８を挿入して閉塞させる。これにより、略均一な断面形状の複数の流路１１を有する熱交換器１０を構成することができる。
閉塞部材１８は、収容部材１４とフィン部材１２とを組み合わせた後に、フィン１３ａと側壁１５ｂとの間に形成される空間に挿入される。そして、その後に、ろう付けや拡散接合等の方法により、収容部材１４、フィン部材１２、閉塞部材１８の接合が行われる。

なお、閉塞部材１８は、収容部材１４とフィン部材１２とをろう付け等により接合した後に、フィン１３ａと側壁１５ｂとの間に形成される空間に挿入し、接合してもよい。
また、閉塞部材１８を収容部材１４に接合した後に、閉塞部材１８と収容部材１４の接合体を、収容部材１４に接合するようにしてもよい。

〔液冷システム〕
次に、上記熱交換器１０を備える液冷システム２０について説明する。
図４は、液冷システム２０の概略構成を示す図である。
液冷システム２０は、熱交換器１０、熱交換器１０の導入管２及び出口管３等に接続する液送管２２、導入管２側の液送管２２に設けられたポンプ２４、出口管３側の液送管２２に設けられたラジエタ２６を備える。
このような構成により、ポンプ２４から液送管２２及び導入管２を介して、熱交換器１０の内部に水Ｗが供給される。熱交換器１０は、発熱体Ｈと接触しており、内部の流路１１を流れる水Ｗに発熱体Ｈからの熱が伝わる。
発熱体Ｈの熱を奪うことで加熱された水Ｗは、出口管３から液送管２２を介して、ラジエタ２６に導入される。そして、ラジエタ２６において、水Ｗの熱が大気中に放熱される。
液冷システム２０によれば、熱交換器１０は小型であり、発熱体Ｈとの接触面積が小さくても、流路１１の断面形状のアスペクト比が大きいので、熱交換効率が高い。したがって、発熱体Ｈを効率的に冷却することができる。

〔光源装置〕
次に、上記液冷システム２０を備える光源装置１００について説明する。
図５は光源装置１００の概略構成を示す平面図であり、図６は光源装置１００の断面図である。
光源装置１００は、基台１１０と、ＬＥＤチップ１２０（固体発光光源）と、樹脂フレーム１３０と、キャップ１４０とを備えて構成されている。
基台１１０は、ＬＥＤチップ１２０が載置されるものであり、上記液冷システム２０に対して密着して接続されている。
ＬＥＤチップ１２０は、電流を供給されることによって発光及び発熱するものであり、シリコン等によって形成されかつＬＥＤチップ１２０に電力を供給するための配線が形成されたサブマウント上にフリップチップ実装され、このサブマウントごと熱伝導性の接着剤（例えば、銀ペースト）によって基台１１０上に実装されている。
また、第１基台１１０の上面には、リフレクタ１１４が配置されており、さらに当該リフレクタ１１４を囲うように樹脂フレーム１３０が配置されている。そして、樹脂フレーム１３０の上部に支持されてキャップ１４０が配置されており、キャップ１４０と樹脂フレーム１３０によって形成された空間内には、シリコンオイル等が充填されている。

図５及び図６に示すように、樹脂フレーム１３０には、アウターリード１３１，１３２がインサードモールドされており、このアウターリード１３１，１３２の一端が基台１１０上に配置されたフレキシブル基板１１７，１１８と接続され、他端が金ワイヤ１２２等によってサブマウント１２１上に形成された接続パッドと接続されている。そして、サブマウント１２１、フレキシブル基板１１７，１１８、アウターリード１３１，１３２及び金ワイヤ１２２を介してＬＥＤチップ１２０に電力が供給される。
なお、本実施形態においては、各アウターリード１３１，１３２に３本ずつの金ワイヤ１２２が接続されているが、ＬＥＤチップ１２０に供給される電力量に応じて金ワイヤ１２２の本数は変更される。

このように構成された光源装置１００において、ＬＥＤチップ１２０に電流が供給されると、ＬＥＤチップ１２０から光が射出され、この射出された光がキャップ１４０を介して光源装置１００から射出される。そして、ＬＥＤチップ１２０から側方に射出された光は、リフレクタ１１４によってキャップ１４０方向に反射され、その後、キャップ１４０を介して光源装置１００から射出される。
そして、光源装置１００においては、基台１１０に対して上記液冷システム２０（熱交換器１０）が密着して接続されているため、熱交換器１０の流路１１に水Ｗを流すことによって、ＬＥＤチップ１２０を効率的に冷却することが可能となり、ＬＥＤチップ１２０の熱による破損を防止することが可能となる。したがって、高輝度かつ信頼性に優れた光源装置１００となる。

〔プロジェクタ〕
次に、上記光源装置１００を備えるプロジェクタ５００について説明する。
図７は、プロジェクタ５００の概略構成を示す模式図である。図８は、プロジェクタ５００に設けられた液冷システムの配管構成を示す図である。
プロジェクタ５００は、光源装置５１２，５１３，５１４、液晶ライトバルブ５２２，５２３，５２４、クロスダイクロイックプリズム５２５、及び投写レンズ５２６を備える。
３個の光源装置５１２，５１３，５１４は、上記光源装置１００により構成されている。各光源装置５１２，５１３，５１４には、それぞれ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に発光するＬＥＤチップが採用されている。なお、光源光の照度分布を均一化させるための均一照明系として、各光源装置の後方にロッドレンズやフライアイレンズを配置してもよい。

赤色光源装置５１２からの光束は、重畳レンズ５３５Ｒを透過して反射ミラー５１７で反射され、赤色光用液晶ライトバルブ５２２に入射する。また、緑色光源装置５１３からの光束は、重畳レンズ５３５Ｇを透過して緑色光用液晶ライトバルブ５２３に入射する。
また、青色光源装置５１４からの光束は、重畳レンズ５３５Ｂを透過して反射ミラー５１６で反射され、青色光用液晶ライトバルブ５２４に入射する。
なお、均一照明系としてフライアイレンズを用いた場合には、各光源からの光束は重畳レンズを介することにより液晶ライトバルブの表示領域において重畳され、液晶ライトバルブが均一に照明されるようになっている。

また、各液晶ライトバルブ５２２，５２３，５２４の入射側および出射側には、偏光板（図示せず）が配置されている。そして、各光源装置５１２，５１３，５１４からの光束のうち所定方向の直線偏光のみが入射側偏光板を透過して、各液晶ライトバルブ５２２，５２３，５２４に入射する。
また、入射側偏光板の前方に偏光変換手段（図示せず）を設けてもよい。この場合、入射側偏光板で反射された光束をリサイクルして各液晶ライトバルブに入射させることが可能になり、光の利用効率を向上させることができる。

各液晶ライトバルブ５２２、５２３、５２４によって変調された３つの色光は、クロスダイクロイックプリズム５２５に入射する。このプリズムは４つの直角プリズムを貼り合わせて形成され、その内面に赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に配置されている。これらの誘電体多層膜によって３つの色光が合成され、カラー画像を表す光が形成される。
そして、合成された光は投写光学系である投写レンズ５２６により投写スクリーン５２７上に投写され、拡大された画像が表示される。

上述した本実施形態の光源装置５１２，５１３，５１４は、ＬＥＤチップを冷却する液冷システム２０を備えているので、高輝度化されるとともに安価に製造することができるものである。したがって、表示特性の優れたプロジェクタ５００を安価に提供することができる。
なお、光源装置５１２，５１３，５１４における液冷システム２０の配管構成としては、図８（ａ）に示す直列配管型と、図８（ｂ）に示す並列配管型のいずれであってもよい。
また、固体発光光源としてＬＥＤチップを採用したが、固体発光光源として半導体レーザ等を採用することも可能である。さらに、上述したプロジェクタでは光変調手段として液晶ライトバルブを採用したが、光変調手段として微小ミラーアレイデバイス等を採用することも可能である。

〔電子デバイスユニット、電子機器〕
次に、上記液冷システム２０を備える電子デバイスユニット７００及び情報処理装置８００について説明する。
図９は、パソコンなどの情報処理装置８００の一例を示した模式図である。
情報処理装置（電子機器）８００は、キーボードなどの入力部８０２、情報処理装置本体（筐体）８０４、表示部８０６等を備える。
そして、情報処理装置本体８０４の内部には、ＣＰＵ（中央演算処理装置）７０２と、これを液冷する液冷システム２０とからなる電子デバイスユニット７００が設けられている。なお、電子デバイスユニットに適用される液冷システム２０のポンプとしては、マイクロポンプが好適に用いられる。
ＣＰＵは、その駆動時における発熱が液冷システム２０により奪われて、一定温度以下に抑制される。これにより、高い処理能力を発揮することができる。したがって、高度な演算能力を有する情報処理装置８００を実現することができる。
なお、電子デバイスユニット７００を備える電子機器としては、情報処理装置８００に限らない。一定温度以下に冷却すべき発熱体Ｈを有する電子機器であればよい。

以上、図を参照しながら本発明に係る熱交換器、液冷システム、光源装置、プロジェクタ、電子デバイスユニット、電子機器の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、熱交換器の内部（流路）に供給する液体としては、水に限らない。冷媒に適する液体であればよい。

熱交換器の概略構成を示す図である。 熱交換器の構成及び製造方法を示す断面図である。 熱交換器の変形例を示す図である。 液冷システムの概略構成を示す図である。 光源装置の概略構成を示す平面図である。 光源装置の断面図である。 プロジェクタの概略構成を示す模式図である。 プロジェクタに設けられた液冷システムの配管構成を示す図である。 情報処理装置の概略構成を示す図である。

符号の説明

１０…熱交換器、 １０ｓ…主面、 １１…流路、 １２…フィン部材、１２ｓ…主面、 １３…フィン（隔壁）、 １４…収容部材、 １５…掘込部、 １５ａ，１５ｂ…側壁（壁面）、 １８…閉塞部材、 ２０…液冷システム、 ２２…液送管、 ２４…ポンプ、 ２６…ラジエタ、 １００…光源装置、 １２０…ＬＥＤチップ、 ５００…プロジェクタ、 ５１２，５１３，５１４…光源装置、 ７００…電子デバイスユニット、 ７０２…ＣＰＵ、 Ｃ…水
Ｈ…発熱体

Claims (13)

1. 発熱体に接触する接触面と複数の微細流路を有する熱交換器であって、
   前記複数の微細流路を仕切る隔壁が前記接触面に対して傾斜して配列されていることを特徴とする熱交換器。
2. 複数の微細流路を有する熱交換器であって、
   前記複数の微細流路を仕切る隔壁が組立の際に押圧される方向に直交する面に対して傾斜して配列されていることを特徴とする熱交換器。
3. 板部に対して傾斜する複数のフィンが所定の間隔で形成されたフィン部材と、
   前記複数のフィンを収容する掘込部が形成されたフィン収容部材と、
   を備え、
   前記複数のフィンと前記掘込部により前記微細流路が形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の熱交換器。
4. 前記掘込部の壁面のうち、前記フィンに近接する一方の壁面は、前記フィンの傾斜角と略同一の傾斜角を有することを特徴とする請求項３に記載の熱交換器。
5. 前記フィンは、他方の壁面に近接するに従って、前記板部に対して略直交するように形成されることを特徴とする請求項４に記載の熱交換器。
6. 前記一方の壁面と前記フィンとの間に形成される空間を埋める閉塞部材を備えることを特徴とする請求項４に記載の熱交換器。
7. 複数の微細流路を有する熱交換器の製造方法であって、
   板部に対して傾斜する複数のフィンが所定の間隔で形成されたフィン部材を形成する工程と、
   前記複数のフィンを収容する掘込部が形成されたフィン収容部材を形成する工程と、
   前記フィン部材と前記フィン収容部材とを接合する工程と、
   を有することを特徴とする熱交換器の製造方法。
8. 前記掘込部の壁面と前記フィンとの間に形成される空間に、前記空間を埋める閉塞部材を挿入する工程を有することを特徴とする請求項７に記載の熱交換器の製造方法。
9. 発熱部品と熱的に接触する吸熱器と、
   前記吸熱器に対して液体を供給するポンプと、
   前記吸熱器から排出される液体を放熱するラジエタと、を備える液冷システムであって、
   前記吸熱器として、請求項１から請求項５のうちいずれか一項に記載の熱交換器、或いは請求項７又は請求項８に記載の方法により製造された熱交換器を用いることを特徴とする液冷システム。
10. 電流を供給されることによって発光及び発熱する固体発光光源と、該固体発光光源を冷却する液冷部を有する光源装置であって、
    前記液冷部として、請求項９に記載の液冷システムを用いることを特徴とする光源装置。
11. 請求項１０に記載の光源装置を備えることを特徴とするプロジェクタ。
12. 電流を供給されることによって発熱する電子デバイスと、該電子デバイスを冷却する液冷部を有する電子デバイスユニットであって、
    前記液冷部として、請求項９に記載の液冷システムを用いることを特徴とする電子デバイスユニット。
13. 請求項１２に記載の電子デバイスユニットを備えることを特徴とする電子機器。
    
    
    
    
    
    

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