JP2006202883A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 SiC基板1と、SiC基板1にオーミック接触しているオーミック電極2とを有する半導体装置10であって、オーミック電極2が、SiC基板1上に配置されているシリサイド(NiSi)2eと、シリサイド2e上に配置されている第1のNi層2aと、第1のNi層2a上に配置されているTi層2bと、Ti層2b上に配置されておりNi2d1とSi2d2とを含んでなるNi/Si層2dと、Ni/Si層2d上に配置されている第2のNi層2cとを有してなることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の構造を示す模式断面図である。本実施形態の半導体装置10は、SiC基板1と、SiC基板1にオーミック接触しているオーミック電極2とを有して構成されている。SiC基板1は、例えば高濃度に不純物を含んで低抵抗にされたN型の半導体とする。
次いで、第1のNi層2a上に、Ti層2bを形成する。このTi層2bの形成は、上記第1のNi層2aの形成と同様に蒸着などで行う。
図2は、本発明の第2実施形態に係る半導体装置20の構造を示す模式断面図である。本実施形態の半導体装置20と第1実施形態の半導体装置10との相違点は、Ni/Si層2dの構造である。半導体装置20におけるその他の構成は、半導体装置10の構成要素と同一であり、半導体装置10の構成要素と同一の符号を付けている。
図3は、本発明の実施形態の応用例に係る半導体装置30の構造を示す模式断面図である。本実施形態の半導体装置30は、ショットキーダイオードをなしている。半導体装置30におけるオーミック電極2が、図1及び図2に示す半導体装置10,20のオーミック電極2に相当する。すなわち、半導体装置30のオーミック電極2は、半導体装置10,20のオーミック電極2と同一構造とする。
次に、本実施形態の半導体装置30の製造方法について、図4から図7を参照して説明する。図4から図7は半導体装置30の製造工程を示す断面図である。先ず、図4に示すように、シリーズ抵抗を下げる低抵抗のN+型の高濃度層3の表面に、耐圧を確保するのに必要な不純物濃度と厚さとを持つ高抵抗のN−型のドリフト層4を形成する。
Claims (10)
- SiC基板と、前記SiC基板にオーミック接触しているオーミック電極とを有する半導体装置であって、
前記オーミック電極は、
前記SiC基板上に配置されているNiSiと、
前記NiSi上に配置されている第1のNi層と、
前記第1のNi層上に配置されているTi層と、
前記Ti層上に配置されており、NiとSiとを含んでなるNi/Si層と、
前記Ni/Si層上に配置されている第2のNi層とを有してなることを特徴とする半導体装置。 - 前記Ni/Si層は、NiとSiとを少なくとも1層ずつ交互に積層したものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記Ni/Si層のNiとSiとのモル比は、2:1であることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記Ni/Si層のNiとSiとの膜厚比は、11:10であることを特徴とする請求項2又は3に記載の半導体装置。
- 前記Ni/Si層は、NiとSiとの合金であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記半導体装置は、少なくともダイオードを構成し、
前記オーミック電極は、前記ダイオードの電極をなすことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、MOSFET、IGBT、サイリスタ、MESFET、SIT、JFET、バイポーラトランジスタのいずれかのデバイスを構成し、
前記オーミック電極は、前記いずれかのデバイスの電極をなすことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の半導体装置。 - SiC基板上に第1のNi層を形成し、
前記第1のNi層上にTi層を形成し、
前記Ti層上に、NiとSiとを含んでなるNi/Si層を形成し、
前記Ni/Si層上に第2のNi層を形成し、
前記SiC基板、第1のNi層、Ti層、Ni/Si層及び第2のNi層について焼鈍することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記Ni/Si層は、NiとSiとを少なくとも1層ずつ交互に積層して形成するとともに、該NiとSiとの膜厚比が11:10となるように形成することを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記SiC基板は、N型の半導体であり、
前記焼鈍によって、前記SiC基板と前記第1のNi層との境界付近にNiSiが形成されることを特徴とする請求項8又は9に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005011362A JP4594113B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2005011362A JP4594113B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006202883A true JP2006202883A (ja) | 2006-08-03 |
JP4594113B2 JP4594113B2 (ja) | 2010-12-08 |
Family
ID=36960624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005011362A Active JP4594113B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4594113B2 (ja) |
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