JP2006162663A - マイクロ揺動素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のマイクロ揺動素子X1は、揺動部10、フレーム21、および捩れ連結部22を備える。揺動部10は、可動機能部11と、可動機能部11から延出するアーム部12と、アーム部12の延び方向と交差する方向にアーム部12から各々が延出し且つ当該延び方向に互いに離隔する複数の電極歯13a,13bからなる櫛歯電極13A,13Bとを有する。捩れ連結部22は、揺動部10とフレーム21を連結し、揺動部10の揺動動作の、アーム部12の延び方向と交差する揺動軸心A1を規定する。また、本素子X1は、フレーム21から各々が延出し且つアーム部12の延び方向に互いに離隔する複数の電極歯23a,23bからなる、櫛歯電極13A,13Bと協働して揺動動作の駆動力を発生させるための櫛歯電極23A,23Bを更に備える。
【選択図】 図1
Description
可動機能部、当該可動機能部から延出するアーム部、および、当該アーム部の延び方向と交差する方向に当該アーム部から各々が延出し且つ前記延び方向に互いに離隔する複数の第1電極歯からなる第1櫛歯電極、を有する揺動部と、
前記フレームおよび前記揺動部を連結して当該揺動部の揺動動作の揺動軸心を規定する捩れ連結部と、
前記アーム部の延び方向と交差する方向に前記フレームから各々が延出し且つ前記アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第2電極歯からなる、前記第1櫛歯電極と協働して前記揺動動作の駆動力を発生させるための第2櫛歯電極と、を備えるマイクロ揺動素子。
(付記2)前記複数の第1電極歯の延び方向は、前記揺動軸心に対して平行である、付記1に記載のマイクロ揺動素子。
(付記3)前記複数の第1電極歯の延び方向と前記揺動軸心の延び方向とは交差する、付記1に記載のマイクロ揺動素子。
(付記4)前記第2電極歯の延び方向は、前記第1電極歯の延び方向に対して平行である、付記1から3のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記5)前記第1櫛歯電極は3本以上の電極歯からなり、隣り合う2つの第1電極歯間の距離は、前記揺動軸心から遠いほど長い、付記1から4のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記6)前記第2櫛歯電極は3本以上の電極歯からなり、隣り合う2つの第2電極歯間の距離は、前記揺動軸心から遠いほど長い、付記1から5のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記7)前記アーム部の延び方向において隣り合う2つの第2電極歯の間に位置する第1電極歯は、当該2つの第2電極歯間の中心位置から、前記揺動軸心に近付く方に偏位している、付記1から6のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記8)前記アーム部の延び方向において隣り合う2つの第2電極歯の間に位置する第1電極歯は、当該2つの第2電極歯間の中心位置から、前記揺動軸心から遠ざかる方に偏位している、付記1から6のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記9)前記アーム部の延び方向と交差する方向に当該アーム部から各々が延出し且つ前記アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第3電極歯、からなる第3櫛歯電極と、
前記アーム部の延び方向と交差する方向に前記フレームから各々が延出し且つ前記アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第4電極歯からなる、前記第3櫛歯電極と協働して前記揺動動作の駆動力を発生させるための第4櫛歯電極と、を更に備え、
前記第2および前記第4櫛歯電極は電気的に分離されている、付記1から8のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記10)前記第1および前記第3櫛歯電極は電気的に接続されている、付記9に記載のマイクロ揺動素子。
(付記11)前記可動機能部から延出する追加アーム部と、
前記追加アーム部の延び方向と交差する方向に当該追加アーム部から各々が延出し且つ当該追加アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第3電極歯、からなる第3櫛歯電極と、
前記追加アーム部の延び方向と交差する方向に前記フレームから各々が延出し且つ前記追加アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第4電極歯からなる、前記第3櫛歯電極と協働して前記揺動動作の駆動力を発生させるための第4櫛歯電極と、を更に備え、
前記第1および前記第3櫛歯電極は電気的に分離されている、付記1から8のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記12)前記第2および前記第4櫛歯電極は電気的に接続されている、付記11に記載のマイクロ揺動素子。
(付記13)追加フレームと、
前記フレームおよび前記追加フレームを連結し、且つ、当該追加フレームの揺動動作の、前記揺動軸心の延び方向と交差する追加揺動軸心を規定する、追加捩れ連結部と、
前記追加フレームの前記揺動動作の駆動力を発生させるための駆動機構と、を更に備える、付記1から12のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
Y マイクロミラーアレイ
10,30 揺動部
11,31,61 ミラー支持部
12,14,15,32,33,52,53 アーム部
13A,23A,34A,35A,43A,44A 櫛歯電極
13a,23a,34a,35a,43a,44a 電極歯
13B,23B,34B,35B,43B,44B 櫛歯電極
13b,23b,34b,35b,43b,44b 電極歯
21,41,51,62 フレーム
22,42,54 捩れ連結部
22a,42a,54a,54b,54c トーションバー
55,56 櫛歯電極
55a,56 電極歯
Claims (10)
- フレームと、
可動機能部、当該可動機能部から延出するアーム部、および、当該アーム部の延び方向と交差する方向に当該アーム部から各々が延出し且つ前記延び方向に互いに離隔する複数の第1電極歯からなる第1櫛歯電極、を有する揺動部と、
前記フレームおよび前記揺動部を連結して当該揺動部の揺動動作の揺動軸心を規定する捩れ連結部と、
前記アーム部の延び方向と交差する方向に前記フレームから各々が延出し且つ前記アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第2電極歯からなる、前記第1櫛歯電極と協働して前記揺動動作の駆動力を発生させるための第2櫛歯電極と、を備えるマイクロ揺動素子。 - 前記複数の第1電極歯の延び方向は、前記揺動軸心に対して平行である、請求項1に記載のマイクロ揺動素子。
- 前記複数の第1電極歯の延び方向と前記揺動軸心の延び方向とは交差する、請求項1に記載のマイクロ揺動素子。
- 前記第1櫛歯電極は3本以上の電極歯からなり、隣り合う2つの第1電極歯間の距離は、前記揺動軸心から遠いほど長い、請求項1から3のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
- 前記第2櫛歯電極は3本以上の電極歯からなり、隣り合う2つの第2電極歯間の距離は、前記揺動軸心から遠いほど長い、請求項1から4のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
- 前記アーム部の延び方向において隣り合う2つの第2電極歯の間に位置する第1電極歯は、当該2つの第2電極歯間の中心位置から、前記揺動軸心に近付く方に偏位している、請求項1から5のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
- 前記アーム部の延び方向において隣り合う2つの第2電極歯の間に位置する第1電極歯は、当該2つの第2電極歯間の中心位置から、前記揺動軸心から遠ざかる方に偏位している、請求項1から5のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
- 前記アーム部の延び方向と交差する方向に当該アーム部から各々が延出し且つ前記アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第3電極歯、からなる第3櫛歯電極と、
前記アーム部の延び方向と交差する方向に前記フレームから各々が延出し且つ前記アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第4電極歯からなる、前記第3櫛歯電極と協働して前記揺動動作の駆動力を発生させるための第4櫛歯電極と、を更に備え、
前記第2および前記第4櫛歯電極は電気的に分離されている、請求項1から7のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。 - 前記可動機能部から延出する追加アーム部と、
前記追加アーム部の延び方向と交差する方向に当該追加アーム部から各々が延出し且つ当該追加アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第3電極歯、からなる第3櫛歯電極と、
前記追加アーム部の延び方向と交差する方向に前記フレームから各々が延出し且つ前記追加アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第4電極歯からなる、前記第3櫛歯電極と協働して前記揺動動作の駆動力を発生させるための第4櫛歯電極と、を更に備え、
前記第1および前記第3櫛歯電極は電気的に分離されている、請求項1から7のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。 - 追加フレームと、
前記フレームおよび前記追加フレームを連結し、且つ、当該追加フレームの揺動動作の、前記揺動軸心の延び方向と交差する追加揺動軸心を規定する、追加捩れ連結部と、
前記追加フレームの前記揺動動作の駆動力を発生させるための駆動機構と、を更に備える、請求項1から9のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
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