JPH04325882A - アクチュエータ - Google Patents
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- JPH04325882A JPH04325882A JP9395691A JP9395691A JPH04325882A JP H04325882 A JPH04325882 A JP H04325882A JP 9395691 A JP9395691 A JP 9395691A JP 9395691 A JP9395691 A JP 9395691A JP H04325882 A JPH04325882 A JP H04325882A
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
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Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、微小位置決め装置やマ
イクロマニピュレーション等の微小駆動機構に用いられ
るアクチュエータに関する。
イクロマニピュレーション等の微小駆動機構に用いられ
るアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、微小駆動機構として用いられるア
クチュエータとしては、例えば、その第一の従来例とし
て、図５に示すようなものがある。すなわち、ベース面
１上には可動部２が２箇所の固定部１ａにて固定されて
おり、この可動部２にはその中央部に複数本の梁２ａが
形成され、その左右両端に多数本からなるくし歯状の可
動電極２ｂが形成されている。それら左右の可動電極２
ｂにはそれぞれ、くし歯状をした固定電極３が対向して
配設されている。この場合、可動電極２ｂと固定電極３
との間に交流電圧を印加することにより、それら電極間
に静電力が作用し、これにより可動電極２ｂがそのくし
歯の長手方向に沿って引き込まれたり、押し出されたり
して振動をする。従って、その可動部２に図示しない移
動体を取付けることにより微小駆動機構を実現すること
が可能である。
クチュエータとしては、例えば、その第一の従来例とし
て、図５に示すようなものがある。すなわち、ベース面
１上には可動部２が２箇所の固定部１ａにて固定されて
おり、この可動部２にはその中央部に複数本の梁２ａが
形成され、その左右両端に多数本からなるくし歯状の可
動電極２ｂが形成されている。それら左右の可動電極２
ｂにはそれぞれ、くし歯状をした固定電極３が対向して
配設されている。この場合、可動電極２ｂと固定電極３
との間に交流電圧を印加することにより、それら電極間
に静電力が作用し、これにより可動電極２ｂがそのくし
歯の長手方向に沿って引き込まれたり、押し出されたり
して振動をする。従って、その可動部２に図示しない移
動体を取付けることにより微小駆動機構を実現すること
が可能である。
【０００３】また、その第二の従来例として、「ＳＥＬ
ＥＣＴＩＶＥ ＣＨＥＭＩＣＡＬ ＶＡＰＯＲ ＤＥＰ
ＯＳＩＴＩＯＮ ＯＦＴＵＮＧＳＴＥＮ ＦＯＲ ＭＩ
ＣＲＯＤＹＮＡＭＩＣ ＳＴＲＵＣＴＵＲＥＳ」という
タイトルで、ＩＥＥＥ、ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏ Ｍ
ｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ、 ｐ．８２〜８
７、１９８９ に開示されているように、Ｓｉ基板上に
タングステンからなる複数本の片持梁を互いに平行な状
態で作成し、これらに電圧を印加することによってマイ
クロピンセットとして利用するというものがある。
ＥＣＴＩＶＥ ＣＨＥＭＩＣＡＬ ＶＡＰＯＲ ＤＥＰ
ＯＳＩＴＩＯＮ ＯＦＴＵＮＧＳＴＥＮ ＦＯＲ ＭＩ
ＣＲＯＤＹＮＡＭＩＣ ＳＴＲＵＣＴＵＲＥＳ」という
タイトルで、ＩＥＥＥ、ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏ Ｍ
ｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ、 ｐ．８２〜８
７、１９８９ に開示されているように、Ｓｉ基板上に
タングステンからなる複数本の片持梁を互いに平行な状
態で作成し、これらに電圧を印加することによってマイ
クロピンセットとして利用するというものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】第一の従来例の場合、
可動電極２ｂと固定電極３とは互いに向かい合い、その
可動電極２ｂの両端が固定電極３により覆われているた
め、その配設上、変位や力を取り出しにくい。しかも、
この場合、拡大、縮小の機構を有していないため、変位
量や力の取り出しに関する設計上の自由度が小さなもの
となる。
可動電極２ｂと固定電極３とは互いに向かい合い、その
可動電極２ｂの両端が固定電極３により覆われているた
め、その配設上、変位や力を取り出しにくい。しかも、
この場合、拡大、縮小の機構を有していないため、変位
量や力の取り出しに関する設計上の自由度が小さなもの
となる。
【０００５】第二の従来例の場合、平行に配設された複
数本の片持梁に電圧を印加しそれ自体を変形させている
ため、マイクロピンセットとして動作させる際にその挾
持には大きな電圧を必要とし、また、複数本の片持梁間
に電圧を印加させているため、その操作環境に自ずと限
界が生じることになる。
数本の片持梁に電圧を印加しそれ自体を変形させている
ため、マイクロピンセットとして動作させる際にその挾
持には大きな電圧を必要とし、また、複数本の片持梁間
に電圧を印加させているため、その操作環境に自ずと限
界が生じることになる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明では
、梁固定部の形成されたベース面を設け、一対の梁固定
部間でベース面に対して平行に張られた両持ち梁を設け
、この両持ち梁の長手方向と直交しかつベース面に対し
て平行な状態にある棒を両持ち梁の中央で固定し、棒の
長手方向と直交しかつベース面と平行な方向に力を付与
する可動電極及び固定電極を備えたアクチュエータ部を
棒の一端に取付けた。
、梁固定部の形成されたベース面を設け、一対の梁固定
部間でベース面に対して平行に張られた両持ち梁を設け
、この両持ち梁の長手方向と直交しかつベース面に対し
て平行な状態にある棒を両持ち梁の中央で固定し、棒の
長手方向と直交しかつベース面と平行な方向に力を付与
する可動電極及び固定電極を備えたアクチュエータ部を
棒の一端に取付けた。
【０００７】請求項２記載の発明では、梁固定部の形成
されたベース面を設け、一対の梁固定部間でベース面に
対して平行に張られた両持ち梁を設け、この両持ち梁の
長手方向と直交しかつベース面に対して平行な状態にあ
る２本の棒を両持ち梁で固定し、それら２本の棒の長手
方向と直交しかつベース面に対して平行な方向に力を付
与する電極を備えたアクチュエータ部を棒の一端に取付
けた。
されたベース面を設け、一対の梁固定部間でベース面に
対して平行に張られた両持ち梁を設け、この両持ち梁の
長手方向と直交しかつベース面に対して平行な状態にあ
る２本の棒を両持ち梁で固定し、それら２本の棒の長手
方向と直交しかつベース面に対して平行な方向に力を付
与する電極を備えたアクチュエータ部を棒の一端に取付
けた。
【０００８】
【作用】請求項１記載の発明においては、アクチュエー
タ部の固定電極と梁固定部との間に電圧を印加すること
によって、固定電極と可動電極との間で静電力を作用さ
せることができ、これにより、棒を両持ち梁との接続点
を支点として回転させることができるため、アクチュエ
ータ部と反対側に位置する棒の一端から変位、力を取り
出すことが可能となる。
タ部の固定電極と梁固定部との間に電圧を印加すること
によって、固定電極と可動電極との間で静電力を作用さ
せることができ、これにより、棒を両持ち梁との接続点
を支点として回転させることができるため、アクチュエ
ータ部と反対側に位置する棒の一端から変位、力を取り
出すことが可能となる。
【０００９】請求項２記載の発明においては、アクチュ
エータ部の各電極間で電圧を印加することによって、２
本の棒を静電力によりその棒の長手方向と直交する方向
に力を加えることができ、これにより、２本の棒を両持
ち梁との接続点を支点として回転させることができるた
め、アクチュエータ部と反対側に位置する２本の棒の一
端から取り出すことのできる変位や力を設計上自由に調
節することができる。
エータ部の各電極間で電圧を印加することによって、２
本の棒を静電力によりその棒の長手方向と直交する方向
に力を加えることができ、これにより、２本の棒を両持
ち梁との接続点を支点として回転させることができるた
め、アクチュエータ部と反対側に位置する２本の棒の一
端から取り出すことのできる変位や力を設計上自由に調
節することができる。
【００１０】
【実施例】まず、請求項１記載の発明の第一の実施例を
図１に基づいて説明する。ベース面４上には、一対の梁
固定部５が形成されている。この一対の梁固定部５間に
は前記ベース面４に対して両持ち梁６が平行に張られて
いる。この両持ち梁６の中央には、その両持ち梁６の長
手方向と直交しかつ前記ベース面４に対して平行な状態
で棒７が固定されている。この棒７の端部ａにはくし歯
状をした可動電極８が形成され、また、この可動電極８
と対向した左右両側の位置には、くし歯状をした固定電
極９が配設されている。これら可動電極８と固定電極９
とはアクチュエータ部１０を構成しており、前記棒７の
長手方向と直交しかつ前記ベース面４と平行な方向に力
を付与する働きがある。この場合、前記棒７と前記両持
ち梁６と前記可動電極８とはベース面４から浮いており
、その他の部分は前記ベース面４に固定されている。
図１に基づいて説明する。ベース面４上には、一対の梁
固定部５が形成されている。この一対の梁固定部５間に
は前記ベース面４に対して両持ち梁６が平行に張られて
いる。この両持ち梁６の中央には、その両持ち梁６の長
手方向と直交しかつ前記ベース面４に対して平行な状態
で棒７が固定されている。この棒７の端部ａにはくし歯
状をした可動電極８が形成され、また、この可動電極８
と対向した左右両側の位置には、くし歯状をした固定電
極９が配設されている。これら可動電極８と固定電極９
とはアクチュエータ部１０を構成しており、前記棒７の
長手方向と直交しかつ前記ベース面４と平行な方向に力
を付与する働きがある。この場合、前記棒７と前記両持
ち梁６と前記可動電極８とはベース面４から浮いており
、その他の部分は前記ベース面４に固定されている。
【００１１】このような構成において、梁固定部５と左
側の固定電極９との間に電圧Ｖ１ を印加すると、くし
歯状の可動電極８とその左側に位置する固定電極９との
間に静電力が作用して可動電極８は左方向に引き込まれ
、棒７は支点Ｐを中心として回転し、これによりその棒
７の端部ｂはＸ１ 方向に移動する。これと同様な原理
により、梁固定部５と右側の固定電極９との間に電圧Ｖ
２ を印加すると、棒７の端部ｂはＸ２ 方向に移動す
る。
側の固定電極９との間に電圧Ｖ１ を印加すると、くし
歯状の可動電極８とその左側に位置する固定電極９との
間に静電力が作用して可動電極８は左方向に引き込まれ
、棒７は支点Ｐを中心として回転し、これによりその棒
７の端部ｂはＸ１ 方向に移動する。これと同様な原理
により、梁固定部５と右側の固定電極９との間に電圧Ｖ
２ を印加すると、棒７の端部ｂはＸ２ 方向に移動す
る。
【００１２】上述したように、梁固定部５と固定電極９
との間に電圧を印加することによって、棒７を支点Ｐと
して回転させることができ、これにより棒７の端部ｂか
ら変位や力を取り出すことができる。この場合、電極部
分と支点Ｐとの間の距離、棒７の端部ｂと支点Ｐとの間
の距離を調節することによって、その端部ｂにおける変
位量や力の大きさの制御を行うことも可能である。また
、本アクチュエータは、マイクロ領域になるほど有利と
なる静電力を用いており、しかも、くし歯状の電極を形
成することによって力を一段と大きくすることが可能で
ある。
との間に電圧を印加することによって、棒７を支点Ｐと
して回転させることができ、これにより棒７の端部ｂか
ら変位や力を取り出すことができる。この場合、電極部
分と支点Ｐとの間の距離、棒７の端部ｂと支点Ｐとの間
の距離を調節することによって、その端部ｂにおける変
位量や力の大きさの制御を行うことも可能である。また
、本アクチュエータは、マイクロ領域になるほど有利と
なる静電力を用いており、しかも、くし歯状の電極を形
成することによって力を一段と大きくすることが可能で
ある。
【００１３】次に、請求項１記載の発明の第二の実施例
を図２に基づいて説明する。なお、前述した第一の実施
例と同一部分についての説明は省略し、その同一部分に
ついては同一符号を用いる。
を図２に基づいて説明する。なお、前述した第一の実施
例と同一部分についての説明は省略し、その同一部分に
ついては同一符号を用いる。
【００１４】ここでは、可動電極８及び固定電極９の電
極形状を変えたものである。すなわち、可動電極８は棒
７の端部ａで左右方向に１個ずつ形成され、この可動電
極８に対向して固定電極９が形成されている。この場合
にも、左側の固定電極９と梁固定部５との間に電圧Ｖ１
を印加すると、可動電極８は静電力によって左上に引
き上げられ、これにより棒７は支点Ｐの回りを回転しそ
の端部ｂはＸ１ 方向へ移動する。また、右側の固定電
極９と梁固定部５との間に電圧Ｖ２ を印加すると、可
動電極８は静電力によって右上に引き上げられ、これに
より、棒７の端部ｂはＸ２ 方向へ移動する。
極形状を変えたものである。すなわち、可動電極８は棒
７の端部ａで左右方向に１個ずつ形成され、この可動電
極８に対向して固定電極９が形成されている。この場合
にも、左側の固定電極９と梁固定部５との間に電圧Ｖ１
を印加すると、可動電極８は静電力によって左上に引
き上げられ、これにより棒７は支点Ｐの回りを回転しそ
の端部ｂはＸ１ 方向へ移動する。また、右側の固定電
極９と梁固定部５との間に電圧Ｖ２ を印加すると、可
動電極８は静電力によって右上に引き上げられ、これに
より、棒７の端部ｂはＸ２ 方向へ移動する。
【００１５】次に、請求項２記載の発明の一実施例を図
３に基づいて説明する。なお、前述した請求項１記載の
発明（図１参照）と同一部分についての説明は省略し、
その同一部分については同一符号を用いる。
３に基づいて説明する。なお、前述した請求項１記載の
発明（図１参照）と同一部分についての説明は省略し、
その同一部分については同一符号を用いる。
【００１６】両持ち梁６には、２本の棒７が平行な状態
で取付けられており、各棒７の端部ａ１，ａ２に位置す
るアクチュエータ部１０には、箱型をした電極１１が設
けられている。このような箱型をしたそれぞれの電極１
１に電圧を印加することにより、その箱型内に位置する
端部ａ１，ａ２に棒７の長手方向と直交しかつベース面
４に対して平行な方向に静電力を付与することが可能と
なり、これにより、棒７の端部ｂ１，ｂ２をそれぞれＸ
１、Ｘ２方向に回動させることができる。従って、箱型
の電極１１に印加する電圧の大きさを制御することによ
って、端部ｂ１，ｂ２間の間隔を調整することが可能と
なり、これによりグリッパーとしての機能を持たせるこ
とができる。
で取付けられており、各棒７の端部ａ１，ａ２に位置す
るアクチュエータ部１０には、箱型をした電極１１が設
けられている。このような箱型をしたそれぞれの電極１
１に電圧を印加することにより、その箱型内に位置する
端部ａ１，ａ２に棒７の長手方向と直交しかつベース面
４に対して平行な方向に静電力を付与することが可能と
なり、これにより、棒７の端部ｂ１，ｂ２をそれぞれＸ
１、Ｘ２方向に回動させることができる。従って、箱型
の電極１１に印加する電圧の大きさを制御することによ
って、端部ｂ１，ｂ２間の間隔を調整することが可能と
なり、これによりグリッパーとしての機能を持たせるこ
とができる。
【００１７】次に、これまで述べてきた各種アクチュエ
ータの製造工程の一例を図４（ａ）〜（ｅ）に基づいて
説明する。ベース面４を構成する単結晶のＳｉ基板１２
（Ｃ−Ｓｉ）上には、熱酸化膜としてのＳｉＯ２ １３
が０．２μｍ、Ｓｉ３Ｎ４１４が０．２μｍそれぞれ積
層されている（ａ）。次に、そのＳｉ３Ｎ４１４の上部
に、ＳｉＯ２ １５を２．０μｍだけデポジションする
（ｂ）。 次に、そのＳｉＯ２ １５の上部に、ｐｏｌｙ−Ｓｉ１
６を４μｍだけデポジションする（ｃ）。この場合、ｐ
ｏｌｙ−Ｓｉ１６は、ある種の元素をドーピングするこ
とにより導電性を持たせている。次に、そのｐｏｌｙ−
Ｓｉ１６の構造体にＲＩＥ（リアクティブイオン エッ
チング）を行うことにより、可動部１７となる領域や固
定部１８となる領域の切り出しを行う（ｄ）。最後に、
ＨＦ水溶液を用いて下層に位置するＳｉＯ２ １５のエ
ッチングを行う（ｅ）。この時、ＨＦ水溶液に浸す時間
を制御することにより、幅の細い可動部１７の下に位置
するＳｉＯ２ １５は全て取り除かれるが、幅の太い固
定部１８の下のＳｉＯ２ １５は残存しこれによりベー
ス面４に固定された状態となる。なお、ここでいう、可
動部１７としては、両持ち梁６、棒７、可動電極８のこ
とを示し、固定部１８としては、梁固定部５、固定電極
９のことを示すものである。
ータの製造工程の一例を図４（ａ）〜（ｅ）に基づいて
説明する。ベース面４を構成する単結晶のＳｉ基板１２
（Ｃ−Ｓｉ）上には、熱酸化膜としてのＳｉＯ２ １３
が０．２μｍ、Ｓｉ３Ｎ４１４が０．２μｍそれぞれ積
層されている（ａ）。次に、そのＳｉ３Ｎ４１４の上部
に、ＳｉＯ２ １５を２．０μｍだけデポジションする
（ｂ）。 次に、そのＳｉＯ２ １５の上部に、ｐｏｌｙ−Ｓｉ１
６を４μｍだけデポジションする（ｃ）。この場合、ｐ
ｏｌｙ−Ｓｉ１６は、ある種の元素をドーピングするこ
とにより導電性を持たせている。次に、そのｐｏｌｙ−
Ｓｉ１６の構造体にＲＩＥ（リアクティブイオン エッ
チング）を行うことにより、可動部１７となる領域や固
定部１８となる領域の切り出しを行う（ｄ）。最後に、
ＨＦ水溶液を用いて下層に位置するＳｉＯ２ １５のエ
ッチングを行う（ｅ）。この時、ＨＦ水溶液に浸す時間
を制御することにより、幅の細い可動部１７の下に位置
するＳｉＯ２ １５は全て取り除かれるが、幅の太い固
定部１８の下のＳｉＯ２ １５は残存しこれによりベー
ス面４に固定された状態となる。なお、ここでいう、可
動部１７としては、両持ち梁６、棒７、可動電極８のこ
とを示し、固定部１８としては、梁固定部５、固定電極
９のことを示すものである。
【００１８】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、梁固定部の形成
されたベース面を設け、一対の梁固定部間でベース面に
対して平行に張られた両持ち梁を設け、この両持ち梁の
長手方向と直交しかつベース面に対して平行な状態にあ
る棒を両持ち梁の中央で固定し、棒の長手方向と直交し
かつベース面と平行な方向に力を付与する可動電極及び
固定電極を備えたアクチュエータ部を棒の一端に取付け
たので、アクチュエータ部の固定電極と梁固定部との間
に電圧を印加することによって、固定電極と可動電極と
の間で静電力を作用させることができ、これにより棒を
両持ち梁との接続点を支点として回転させることができ
るため、アクチュエータ部と反対側に位置する棒の一端
から変位、力を取り出すことが可能となり、しかも、こ
の場合、変位量や力の大きさを設計上、自由に調節する
ことができるものである。
されたベース面を設け、一対の梁固定部間でベース面に
対して平行に張られた両持ち梁を設け、この両持ち梁の
長手方向と直交しかつベース面に対して平行な状態にあ
る棒を両持ち梁の中央で固定し、棒の長手方向と直交し
かつベース面と平行な方向に力を付与する可動電極及び
固定電極を備えたアクチュエータ部を棒の一端に取付け
たので、アクチュエータ部の固定電極と梁固定部との間
に電圧を印加することによって、固定電極と可動電極と
の間で静電力を作用させることができ、これにより棒を
両持ち梁との接続点を支点として回転させることができ
るため、アクチュエータ部と反対側に位置する棒の一端
から変位、力を取り出すことが可能となり、しかも、こ
の場合、変位量や力の大きさを設計上、自由に調節する
ことができるものである。
【００１９】請求項２記載の発明は、梁固定部の形成さ
れたベース面を設け、一対の梁固定部間でベース面に対
して平行に張られた両持ち梁を設け、この両持ち梁の長
手方向と直交しかつベース面に対して平行な状態にある
２本の棒を両持ち梁で固定し、それら２本の棒の長手方
向と直交しかつベース面に対して平行な方向に力を付与
する電極を備えたアクチュエータ部を棒の一端に取付け
たので、アクチュエータ部の各電極間で電圧を印加する
ことによって、２本の棒を静電力によりその棒の長手方
向と直交する方向に力を加えることができ、これにより
、２本の棒を両持ち梁との接続点を支点として回転させ
ることができるため、アクチュエータ部と反対側に位置
する２本の棒の一端から取り出すことのできる変位や力
を設計上自由に調節することが可能となると共に、２本
の棒の間には電圧がかからないため、グリッパー等とし
て用いる際の操作環境の制限をなくすことができるもの
である。
れたベース面を設け、一対の梁固定部間でベース面に対
して平行に張られた両持ち梁を設け、この両持ち梁の長
手方向と直交しかつベース面に対して平行な状態にある
２本の棒を両持ち梁で固定し、それら２本の棒の長手方
向と直交しかつベース面に対して平行な方向に力を付与
する電極を備えたアクチュエータ部を棒の一端に取付け
たので、アクチュエータ部の各電極間で電圧を印加する
ことによって、２本の棒を静電力によりその棒の長手方
向と直交する方向に力を加えることができ、これにより
、２本の棒を両持ち梁との接続点を支点として回転させ
ることができるため、アクチュエータ部と反対側に位置
する２本の棒の一端から取り出すことのできる変位や力
を設計上自由に調節することが可能となると共に、２本
の棒の間には電圧がかからないため、グリッパー等とし
て用いる際の操作環境の制限をなくすことができるもの
である。
【図１】請求項１記載の発明の第一の実施例を示す平面
図である。
図である。
【図２】請求項１記載の発明の第二の実施例を示す平面
図である。
図である。
【図３】請求項２記載の発明の一実施例を示す平面図で
ある。
ある。
【図４】アクチュエータの製造工程を示す工程図である
。
。
【図５】第一の従来例を示す平面図である。
４ ベース面
５ 梁固定部
６ 両持ち梁
７ 棒
８ 可動電極
９ 固定電極
１０ アクチュエータ部
１１ 電極
Claims (2)
- 【請求項１】 梁固定部の形成されたベース面と、前
記一対の梁固定部間で前記ベース面に対して平行に張ら
れた両持ち梁と、この両持ち梁の中央にその梁の長手方
向と直交しかつ前記ベース面に対して平行な状態で固定
された棒と、この棒の長手方向と直交しかつ前記ベース
面と平行な方向に力を付与する前記棒の一端に取付けら
れた可動電極及び固定電極を備えたアクチュエータ部と
よりなることを特徴とするアクチュエータ。 - 【請求項２】 梁固定部の形成されたベース面と、前
記一対の梁固定部間で前記ベース面に対して平行に張ら
れた両持ち梁と、この両持ち梁にその梁の長手方向と直
交しかつ前記ベース面に対して平行な状態で固定された
２本の棒と、これら２本の棒の長手方向と直交しかつ前
記ベース面に対して平行な方向に力を付与する前記棒の
一端に取付けられた電極を備えたアクチュエータ部とよ
りなることを特徴とするアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9395691A JPH04325882A (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9395691A JPH04325882A (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04325882A true JPH04325882A (ja) | 1992-11-16 |
Family
ID=14096874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9395691A Pending JPH04325882A (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04325882A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6847151B2 (en) * | 1999-11-29 | 2005-01-25 | Iolon, Inc. | Rotary electrostatic microactuator |
| JP2006162663A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子 |
| US7129617B2 (en) * | 2004-05-28 | 2006-10-31 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Rotary-type comb-drive actuator and variable optical attenuator using the same |
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-
1991
- 1991-04-24 JP JP9395691A patent/JPH04325882A/ja active Pending
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| US7982361B2 (en) | 2006-03-31 | 2011-07-19 | Pioneer Corporation | Actuator using comb-tooth |
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| US9425710B2 (en) | 2012-08-31 | 2016-08-23 | Aoi Electronics Co., Ltd. | Electrostatic induction conversion device and DC-DC converter |
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