JP5029551B2 - マイクロ揺動素子、マイクロ揺動素子アレイ、および光スイッチング装置 - Google Patents
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Description
揺動主部を有する揺動部と、
前記フレームおよび前記揺動部を連結して当該揺動部の揺動動作の軸心を規定する捩れ連結部と、を備え、
前記フレームは、前記軸心の延び方向に離隔し且つ前記揺動動作の方向において空隙を介して前記揺動主部に対向して当該揺動主部に沿って延びる、第1延び部および第2延び部を有する、マイクロ揺動素子。
(付記2)前記第1および第2延び部の間の離隔距離は、前記軸心の延び方向における前記揺動主部の長さより小さい、付記1に記載のマイクロ揺動素子。
(付記3)前記第1および第2延び部は、前記軸心の延び方向において、前記揺動主部の端部間以内に設けられている、付記1に記載のマイクロ揺動素子。
(付記4)前記揺動部は、更に、第1電極部と、当該第1電極部および前記揺動主部を連結する梁部とを有し、
前記捩れ連結部は、前記揺動部における前記梁部に接続し、
前記第1電極部と協働して前記揺動部の前記揺動動作の駆動力を発生させるための、前記フレームに固定された第2電極部を更に備える、付記1から3のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記5)前記第1および第2電極部は、複数の電極歯が並列してなる櫛歯電極構造を有する、付記4に記載のマイクロ揺動素子。
(付記6)前記フレームは、前記軸心の延び方向に離隔し且つ前記第1電極部に沿って延びる第3延び部および第4延び部を有し、前記第3および第4延び部の間の離隔距離は、前記軸心の延び方向における前記第1電極部の長さより大きい、付記4または5に記載のマイクロ揺動素子。
(付記7)前記フレームにおける前記第1および第2延び部の間の離隔距離は、前記第3および第4延び部の間の離隔距離より小さい、付記6に記載のマイクロ揺動素子。
(付記8)第1層と、第2層と、当該第1および第2層の間の中間層とからなる積層構造を含む材料基板に対して加工を施すことによって製造されたものであり、
前記揺動主部は、前記第1層から形成された第1層由来部位を有し、当該第1層由来部位は、前記第1延び部に対向する第1対向部と前記第2延び部に対向する第2対向部とを含み、
前記第1および第2延び部は前記第2層に由来し、
前記第1対向部および前記第1延び部の間の離隔距離は前記中間層の厚さ以上であり、
前記第2対向部および前記第2延び部の間の離隔距離は前記中間層の厚さ以上である、付記1から7のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記9)前記揺動主部の前記第1および第2対向部は、各々、前記第1層において前記中間層側の面が当該中間層から退避するように部分的に薄肉とされた箇所に由来する、付記8に記載のマイクロ揺動素子。
(付記10)前記第1および第2延び部は、各々、前記第2層において前記中間層側の面が当該中間層から退避するように部分的に薄肉とされた箇所に由来する、付記8に記載のマイクロ揺動素子。
(付記11)追加フレームと、当該追加フレームおよび前記フレームを連結して当該フレームの揺動動作の軸心を規定する追加捩れ連結部とを更に備える、付記1から10のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記12)マイクロミラー素子、角速度センサ、または加速度センサとして構成されている、付記1から11のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記13)付記1から12のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子を複数含む、マイクロ揺動素子アレイ。
(付記14)マイクロミラー素子として構成された付記1から11のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子を備える、光スイッチング装置。
Y1,Y2,Y3,90A マイクロ揺動素子アレイ
10 揺動部
11 ランド部
11’ ミラー面
11a 対向部
12,60,70,80 電極部
12a,12b,62a,62b,71,81 電極歯
13 梁部
14 シールド部
20,30,92,93 フレーム
20A,20B 延び部
21,31 第1層部
22,32 第2層部
23,33 絶縁層
40,50A,50B 連結部
41,51,94,95 トーションバー
A1,A2,B1,B2 軸心
Claims (7)
- フレームと、
揺動主部を有する揺動部と、
前記フレームおよび前記揺動部を連結して当該揺動部の揺動動作の軸心を規定する捩れ連結部と、を備え、
前記フレームは、前記軸心の延び方向に離隔し且つ前記揺動動作の方向において空隙を介して前記揺動主部に対向して当該揺動主部に沿って延びる、第1延び部および第2延び部を有する、マイクロ揺動素子。 - 前記第1および第2延び部は、前記軸心の延び方向において、前記揺動主部の端部間以内に設けられている、請求項1に記載のマイクロ揺動素子。
- 前記揺動部は、更に、第1電極部と、当該第1電極部および前記揺動主部を連結する梁部とを有し、
前記捩れ連結部は、前記揺動部における前記梁部に接続し、
前記第1電極部と協働して前記揺動部の前記揺動動作の駆動力を発生させるための、前記フレームに固定された第2電極部を更に備える、請求項1または2に記載のマイクロ揺動素子。 - 前記フレームは、前記軸心の延び方向に離隔し且つ前記第1電極部に沿って延びる第3延び部および第4延び部を有し、前記第3および第4延び部の間の離隔距離は、前記軸心の延び方向における前記第1電極部の長さより大きい、請求項3に記載のマイクロ揺動素子。
- 第1層と、第2層と、当該第1および第2層の間の中間層とからなる積層構造を含む材料基板に対して加工を施すことによって製造されたものであり、
前記揺動主部は、前記第1層から形成された第1層由来部位を有し、当該第1層由来部位は、前記第1延び部に対向する第1対向部と前記第2延び部に対向する第2対向部とを含み、
前記第1および第2延び部は前記第2層に由来し、
前記第1対向部および前記第1延び部の間の離隔距離は前記中間層の厚さ以上であり、
前記第2対向部および前記第2延び部の間の離隔距離は前記中間層の厚さ以上である、請求項1から4のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。 - 請求項1から5のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子を複数含む、マイクロ揺動素子アレイ。
- マイクロミラー素子として構成された請求項1から5のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子を備える、光スイッチング装置。
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