JP2006162699A - マイクロ揺動素子 - Google Patents
マイクロ揺動素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006162699A JP2006162699A JP2004350337A JP2004350337A JP2006162699A JP 2006162699 A JP2006162699 A JP 2006162699A JP 2004350337 A JP2004350337 A JP 2004350337A JP 2004350337 A JP2004350337 A JP 2004350337A JP 2006162699 A JP2006162699 A JP 2006162699A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- electrode
- comb
- electrode teeth
- teeth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00134—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems comprising flexible or deformable structures
- B81C1/00142—Bridges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00388—Etch mask forming
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
- H02N1/008—Laterally driven motors, e.g. of the comb-drive type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/01—Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
- B81B2203/0145—Flexible holders
- B81B2203/0154—Torsion bars
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S359/00—Optical: systems and elements
- Y10S359/904—Micromirror
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
【解決手段】 本発明のマイクロ揺動素子X1は、可動機能部11を有する揺動部10と、フレーム21と、揺動部10およびフレーム21を連結して揺動部10の揺動動作の揺動軸心A1を規定する捩れ連結部22とを備える。これら揺動部10、フレーム21、および捩れ連結部22は、第1導体層、第2導体層、並びに当該第1および第2導体層の間の絶縁層、からなる積層構造を有する材料基板から一体的に成形されたものである。可動機能部11は第1導体層において成形された部位であり、フレーム21は第2導体層において成形された部位である。
【選択図】 図1
Description
前記可動機能部は前記第1導体層において成形された部位であり、前記フレームは前記第2導体層において成形された部位である、マイクロ揺動素子。
(付記2)前記第1導体層において前記可動機能部よりも薄く成形され且つ前記絶縁層を介して前記フレームに固定された薄肉構造部を更に備える、付記1に記載のマイクロ揺動素子。
(付記3)前記薄肉構造部は、前記絶縁層を貫通する導電連絡部を介して前記フレームと電気的に接続されている、付記2に記載のマイクロ揺動素子。
(付記4)前記第1導体層において成形され且つ前記絶縁層を介して前記フレームに固定されて当該フレームよりも幅狭である幅狭構造部を更に備える、付記1から3のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記5)前記幅狭構造部は、前記絶縁層を貫通する導電連絡部を介して前記フレームと電気的に接続されている、付記4に記載のマイクロ揺動素子。
(付記6)前記第1導体層において前記可動機能部よりも薄く成形され且つ前記絶縁層を介して前記フレームに固定されて当該フレームよりも幅狭である薄肉幅狭構造部を更に備える、付記1から5のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記7)前記薄肉幅狭構造部は、前記絶縁層を貫通する導電連絡部を介して前記フレームと電気的に接続されている、付記6に記載のマイクロ揺動素子。
(付記8)前記揺動部は、前記揺動軸心の延び方向と交差する方向に前記可動機能部から延出するアーム部と、当該アーム部の延び方向と交差する方向に当該アーム部から各々が延出し且つ当該アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第1電極歯からなる、第1櫛歯電極とを更に有し、
前記アーム部の延び方向と交差する方向に前記フレームから各々が延出し且つ前記アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第2電極歯からなる、前記第1櫛歯電極と協働して前記揺動動作の駆動力を発生させるための第2櫛歯電極を、更に備える、付記1から7のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記9)前記複数の第1電極歯の延び方向は、前記揺動軸心に対して平行である、付記8に記載のマイクロ揺動素子。
(付記10)前記複数の第1電極歯の延び方向と前記揺動軸心の延び方向とは交差する、付記8に記載のマイクロ揺動素子。
(付記11)前記第2電極歯の延び方向は、前記第1電極歯の延び方向に対して平行である、付記8から10のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記12)前記第1櫛歯電極は3本以上の電極歯からなり、隣り合う2つの第1電極歯間の距離は、前記揺動軸心から遠いほど長い、付記8から11のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記13)前記第2櫛歯電極は3本以上の電極歯からなり、隣り合う2つの第2電極歯間の距離は、前記揺動軸心から遠いほど長い、付記8から12のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記14)前記アーム部の延び方向において隣り合う2つの第2電極歯の間に位置する第1電極歯は、当該2つの第2電極歯間の中心位置から、前記揺動軸心に近付く方に偏位している、付記8から13のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記15)前記アーム部の延び方向において隣り合う2つの第2電極歯の間に位置する第1電極歯は、当該2つの第2電極歯間の中心位置から、前記揺動軸心から遠ざかる方に偏位している、付記8から13のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記16)追加フレームと、当該追加フレームおよび前記フレームを連結して当該フレームの揺動動作の揺動軸心を規定する追加捩れ連結部とを更に備える、付記1から15のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
Y1,Y2,Y3 マイクロミラーアレイ
10 揺動部
11 ミラー支持部
12,32,33 アーム部
13A,13B,23A,23B,36,37 櫛歯電極
13a,13b,23a,23b,36a,37a 電極歯
21,31,38 フレーム
22,34,39 捩れ連結部
22a,34a,34b,39a,39b,39c トーションバー
24,25,26,27 配線部
28,29,31a,31b アイランド部
101,102,201,202 シリコン層
103,203 絶縁層
Claims (10)
- 第1導体層、第2導体層、並びに当該第1および第2導体層の間の絶縁層、からなる積層構造を有する材料基板から一体的に成形された、可動機能部を有する揺動部と、フレームと、当該揺動部およびフレームを連結して当該揺動部の揺動動作の揺動軸心を規定する捩れ連結部とを備え、
前記可動機能部は前記第1導体層において成形された部位であり、前記フレームは前記第2導体層において成形された部位である、マイクロ揺動素子。 - 前記第1導体層において前記可動機能部よりも薄く成形され且つ前記絶縁層を介して前記フレームに固定された薄肉構造部を更に備える、請求項1に記載のマイクロ揺動素子。
- 前記薄肉構造部は、前記絶縁層を貫通する導電連絡部を介して前記フレームと電気的に接続されている、請求項2に記載のマイクロ揺動素子。
- 前記第1導体層において成形され且つ前記絶縁層を介して前記フレームに固定されて当該フレームよりも幅狭である幅狭構造部を更に備える、請求項1から3のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
- 前記幅狭構造部は、前記絶縁層を貫通する導電連絡部を介して前記フレームと電気的に接続されている、請求項4に記載のマイクロ揺動素子。
- 前記第1導体層において前記可動機能部よりも薄く成形され且つ前記絶縁層を介して前記フレームに固定されて当該フレームよりも幅狭である薄肉幅狭構造部を更に備える、請求項1から5のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
- 前記薄肉幅狭構造部は、前記絶縁層を貫通する導電連絡部を介して前記フレームと電気的に接続されている、請求項6に記載のマイクロ揺動素子。
- 前記揺動部は、前記揺動軸心の延び方向と交差する方向に前記可動機能部から延出するアーム部と、当該アーム部の延び方向と交差する方向に当該アーム部から各々が延出し且つ当該アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第1電極歯からなる、第1櫛歯電極とを更に有し、
前記アーム部の延び方向と交差する方向に前記フレームから各々が延出し且つ前記アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第2電極歯からなる、前記第1櫛歯電極と協働して前記揺動動作の駆動力を発生させるための第2櫛歯電極を、更に備える、請求項1から7のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。 - 前記複数の第1電極歯の延び方向は、前記揺動軸心に対して平行である、請求項8に記載のマイクロ揺動素子。
- 追加フレームと、当該追加フレームおよび前記フレームを連結して当該フレームの揺動動作の揺動軸心を規定する追加捩れ連結部とを更に備える、請求項1から9のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004350337A JP4365308B2 (ja) | 2004-12-02 | 2004-12-02 | マイクロ揺動素子 |
TW094136488A TWI301208B (en) | 2004-12-02 | 2005-10-19 | Micro oscillating element |
KR1020050108894A KR100825345B1 (ko) | 2004-12-02 | 2005-11-15 | 마이크로 요동 소자 |
CNB2005101250683A CN100373210C (zh) | 2004-12-02 | 2005-11-17 | 微振荡元件 |
US11/290,489 US7453182B2 (en) | 2004-12-02 | 2005-12-01 | Micro oscillating element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004350337A JP4365308B2 (ja) | 2004-12-02 | 2004-12-02 | マイクロ揺動素子 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008226760A Division JP4445027B2 (ja) | 2008-09-04 | 2008-09-04 | マイクロミラー素子およびマイクロミラーアレイ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006162699A true JP2006162699A (ja) | 2006-06-22 |
JP4365308B2 JP4365308B2 (ja) | 2009-11-18 |
Family
ID=36574163
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004350337A Active JP4365308B2 (ja) | 2004-12-02 | 2004-12-02 | マイクロ揺動素子 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7453182B2 (ja) |
JP (1) | JP4365308B2 (ja) |
KR (1) | KR100825345B1 (ja) |
CN (1) | CN100373210C (ja) |
TW (1) | TWI301208B (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006162663A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子 |
JP2008116978A (ja) * | 2007-12-07 | 2008-05-22 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子および可動機能素子 |
JP2008134643A (ja) * | 2007-12-07 | 2008-06-12 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子 |
WO2008114330A1 (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-25 | Fujitsu Limited | Memsデバイスおよび光スイッチ |
JP2008246655A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子アレイ |
JP2009006453A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Fujitsu Ltd | マイクロ構造体製造方法およびマイクロ構造体 |
WO2009057202A1 (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-07 | Fujitsu Limited | マイクロ可動素子およびマイクロ可動素子アレイ |
JP2009210770A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Fujitsu Ltd | マイクロ可動素子、光スイッチング装置、およびマイクロ可動素子製造方法 |
WO2010001613A1 (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-07 | 富士通株式会社 | マイクロミラーアレイ、及び、光スイッチ |
JP2010020218A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子、マイクロ揺動素子アレイ、および光スイッチング装置 |
JP2010515095A (ja) * | 2006-12-26 | 2010-05-06 | ティエンシェン・ジョウ | 高フィルファクターアレイ用の微小電気機械システムマイクロミラーおよびこの方法 |
JP2010230762A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Fujitsu Ltd | マイクロ構造体 |
JP2013148707A (ja) * | 2012-01-19 | 2013-08-01 | Canon Inc | アクチュエータおよび可動ミラー |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4477659B2 (ja) * | 2007-06-29 | 2010-06-09 | 富士通株式会社 | マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子アレイ |
JP2009113128A (ja) * | 2007-11-02 | 2009-05-28 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子製造方法 |
DE102008041757B4 (de) * | 2008-09-02 | 2019-01-03 | Robert Bosch Gmbh | Herstellungsverfahren für eine Rotationssensorvorrichtung und Rotationssensorvorrichtung |
DE102008042967B4 (de) * | 2008-10-20 | 2017-04-06 | Robert Bosch Gmbh | Kaskadierte mikromechanische Aktuatorstruktur |
KR101090697B1 (ko) | 2009-04-28 | 2011-12-08 | 광주과학기술원 | 정전용량형 마이크로 경사계 및 그 제조 방법 |
US8134277B2 (en) * | 2009-12-15 | 2012-03-13 | Moidu Abdul Jaleel K | Electrostatic comb actuator |
WO2011133815A2 (en) * | 2010-04-21 | 2011-10-27 | Mezmeriz, Inc. | Composite scanning mirror systems |
JP2020137337A (ja) * | 2019-02-22 | 2020-08-31 | 株式会社鷺宮製作所 | 振動発電素子および振動発電素子の製造方法 |
US11726311B2 (en) * | 2020-09-25 | 2023-08-15 | Lumentum Operations Llc | Electrode configuration for tilting micro-electro-mechanical systems mirror |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003529108A (ja) * | 2000-03-24 | 2003-09-30 | オニックス マイクロシステムズ インコーポレイテッド | 操作及び/又は感知のための垂直静電櫛形ドライブをもつ二次元ジンバル型走査アクチュエータ |
JP2004082288A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電型アクチュエータ及びそれを用いた光スイッチ |
JP2006162663A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3560709B2 (ja) | 1995-11-24 | 2004-09-02 | 株式会社東芝 | ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置 |
US5740150A (en) | 1995-11-24 | 1998-04-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Galvanomirror and optical disk drive using the same |
JPH09146032A (ja) | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Toshiba Corp | ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置 |
JP3514349B2 (ja) * | 1996-02-13 | 2004-03-31 | 株式会社日立国際電気 | マイクロパッケージ構造 |
JPH10190007A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-21 | Mitsubishi Materials Corp | 半導体慣性センサの製造方法 |
JPH10270714A (ja) * | 1997-03-26 | 1998-10-09 | Mitsubishi Materials Corp | 半導体慣性センサの製造方法 |
US6287885B1 (en) * | 1998-05-08 | 2001-09-11 | Denso Corporation | Method for manufacturing semiconductor dynamic quantity sensor |
JP4265016B2 (ja) | 1998-05-08 | 2009-05-20 | 株式会社デンソー | 半導体力学量センサの製造方法 |
US6449406B1 (en) * | 1999-05-28 | 2002-09-10 | Omm, Inc. | Micromachined optomechanical switching devices |
JP4102037B2 (ja) * | 2001-04-26 | 2008-06-18 | 富士通株式会社 | マイクロミラー素子およびその製造方法 |
US6671078B2 (en) * | 2001-05-23 | 2003-12-30 | Axsun Technologies, Inc. | Electrostatic zipper actuator optical beam switching system and method of operation |
US6870300B2 (en) * | 2001-12-01 | 2005-03-22 | Lucent Technologies Inc. | Micro-electrical-mechanical system (MEMS) device having a plurality of pairs of reflective element actuators located on opposing sides of a reflective element and a method of manufacture therefor |
JP4140816B2 (ja) * | 2002-05-24 | 2008-08-27 | 富士通株式会社 | マイクロミラー素子 |
JP3987382B2 (ja) * | 2002-06-11 | 2007-10-10 | 富士通株式会社 | マイクロミラー素子およびその製造方法 |
JP3793125B2 (ja) * | 2002-07-18 | 2006-07-05 | 富士通株式会社 | デバイスチップの製造方法 |
-
2004
- 2004-12-02 JP JP2004350337A patent/JP4365308B2/ja active Active
-
2005
- 2005-10-19 TW TW094136488A patent/TWI301208B/zh active
- 2005-11-15 KR KR1020050108894A patent/KR100825345B1/ko active IP Right Grant
- 2005-11-17 CN CNB2005101250683A patent/CN100373210C/zh active Active
- 2005-12-01 US US11/290,489 patent/US7453182B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003529108A (ja) * | 2000-03-24 | 2003-09-30 | オニックス マイクロシステムズ インコーポレイテッド | 操作及び/又は感知のための垂直静電櫛形ドライブをもつ二次元ジンバル型走査アクチュエータ |
JP2004082288A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電型アクチュエータ及びそれを用いた光スイッチ |
JP2006162663A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子 |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006162663A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子 |
JP2010515095A (ja) * | 2006-12-26 | 2010-05-06 | ティエンシェン・ジョウ | 高フィルファクターアレイ用の微小電気機械システムマイクロミラーおよびこの方法 |
JP2013127633A (ja) * | 2006-12-26 | 2013-06-27 | Zhou Tiansheng | 高フィルファクターアレイ用の微小電気機械システムマイクロミラーおよびこの方法 |
WO2008114330A1 (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-25 | Fujitsu Limited | Memsデバイスおよび光スイッチ |
US7847995B2 (en) | 2007-02-19 | 2010-12-07 | Fujitsu Limited | MEMS device and optical switch |
US7880951B2 (en) | 2007-03-30 | 2011-02-01 | Fujitsu Limited | Micro oscillating device and micro oscillating device array |
JP2008246655A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子アレイ |
JP4598795B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2010-12-15 | 富士通株式会社 | マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子アレイ |
JP2009006453A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Fujitsu Ltd | マイクロ構造体製造方法およびマイクロ構造体 |
US7893596B2 (en) | 2007-10-31 | 2011-02-22 | Fujitsu Limited | Micro movable element and micro movable element array |
WO2009057202A1 (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-07 | Fujitsu Limited | マイクロ可動素子およびマイクロ可動素子アレイ |
JP5240203B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2013-07-17 | 富士通株式会社 | マイクロ可動素子およびマイクロ可動素子アレイ |
JP2008116978A (ja) * | 2007-12-07 | 2008-05-22 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子および可動機能素子 |
JP2008134643A (ja) * | 2007-12-07 | 2008-06-12 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子 |
JP4537439B2 (ja) * | 2007-12-07 | 2010-09-01 | 富士通株式会社 | マイクロ揺動素子 |
JP2009210770A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Fujitsu Ltd | マイクロ可動素子、光スイッチング装置、およびマイクロ可動素子製造方法 |
WO2010001613A1 (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-07 | 富士通株式会社 | マイクロミラーアレイ、及び、光スイッチ |
US8218219B2 (en) | 2008-07-02 | 2012-07-10 | Fujitsu Limited | Micro-mirror array and optical switch |
JP5321585B2 (ja) * | 2008-07-02 | 2013-10-23 | 富士通株式会社 | マイクロミラーアレイ、及び、光スイッチ |
JP2010020218A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子、マイクロ揺動素子アレイ、および光スイッチング装置 |
JP2010230762A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Fujitsu Ltd | マイクロ構造体 |
JP2013148707A (ja) * | 2012-01-19 | 2013-08-01 | Canon Inc | アクチュエータおよび可動ミラー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI301208B (en) | 2008-09-21 |
US20060120425A1 (en) | 2006-06-08 |
CN100373210C (zh) | 2008-03-05 |
TW200619677A (en) | 2006-06-16 |
US7453182B2 (en) | 2008-11-18 |
KR100825345B1 (ko) | 2008-04-28 |
JP4365308B2 (ja) | 2009-11-18 |
CN1782778A (zh) | 2006-06-07 |
KR20060061887A (ko) | 2006-06-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4365308B2 (ja) | マイクロ揺動素子 | |
KR100808999B1 (ko) | 마이크로 요동 소자 | |
US7476950B2 (en) | Micro-oscillating element and method of making the same | |
KR100702019B1 (ko) | 마이크로 미러 소자 | |
JP4573676B2 (ja) | 櫛歯電極対形成方法 | |
JP4477659B2 (ja) | マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子アレイ | |
JP4464186B2 (ja) | マイクロ揺動素子 | |
JP4252889B2 (ja) | マイクロ構造体の製造方法 | |
JP4150003B2 (ja) | マイクロ構造体の製造方法およびマイクロ構造体 | |
JP4598795B2 (ja) | マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子アレイ | |
JP4445027B2 (ja) | マイクロミラー素子およびマイクロミラーアレイ | |
JP2009113128A (ja) | マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子製造方法 | |
JP4537439B2 (ja) | マイクロ揺動素子 | |
JP2008116978A (ja) | マイクロ揺動素子および可動機能素子 | |
KR100825626B1 (ko) | 마이크로 구조체 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080226 |
|
RD13 | Notification of appointment of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7433 Effective date: 20080310 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080407 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20080310 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080428 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080513 |
|
AA91 | Notification of revocation by ex officio |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971091 Effective date: 20080527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080708 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080904 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090818 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090820 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120828 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4365308 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120828 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130828 Year of fee payment: 4 |