JP2006162663A5 - - Google Patents

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  1. フレームと、
    可動機能部、当該可動機能部に連結するアーム部、および、当該アーム部から各々が延出し且つ当該アーム部の長手方向に互いに離隔する複数の第１電極歯からなる第１櫛歯電極、を有する揺動部と、
    前記フレームおよび前記揺動部を連結して当該揺動部の回転揺動動作の揺動軸心を規定する捩れ連結部と、
    前記アーム部の長手方向に互いに離隔して前記フレームに連結する複数の第２電極歯からなる、前記第１櫛歯電極と協働して前記揺動動作の駆動力を発生させるための第２櫛歯電極と、を備えるマイクロ揺動素子。
  2. 前記複数の第１電極歯の延び方向は、前記揺動軸心に対して平行である、請求項１に記載のマイクロ揺動素子。
  3. 前記複数の第１電極歯の延び方向は、前記アーム部の長手方向および前記揺動軸心の方向とは交差する方向である、請求項１に記載のマイクロ揺動素子。
  4. 前記第１櫛歯電極は３本以上の電極歯からなり、隣り合う２つの第１電極歯間の距離は、前記揺動軸心から遠いほど長い、請求項１から３のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
  5. 前記第２櫛歯電極は３本以上の電極歯からなり、隣り合う２つの第２電極歯間の距離は、前記揺動軸心から遠いほど長い、請求項１から４のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
  6. 前記アーム部の延び方向において隣り合う２つの第２電極歯の間に位置する第１電極歯は、当該２つの第２電極歯間の中心位置から、前記揺動軸心に近付く方に偏位している、請求項１から５のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
  7. 前記アーム部の延び方向において隣り合う２つの第２電極歯の間に位置する第１電極歯は、当該２つの第２電極歯間の中心位置から、前記揺動軸心から遠ざかる方に偏位している、請求項１から５のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
  8. 前記第２櫛歯電極は、前記アーム部を挟んで対向して設けられ、
    前記対向して設けられた第２櫛歯電極は電気的に分離されている、請求項１から７のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
  9. 前記可動機能部から延出する追加アーム部と、
    前記追加アーム部の延び方向と交差する方向に当該追加アーム部から各々が延出し且つ当該追加アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第３電極歯、からなる第３櫛歯電極と、
    前記追加アーム部の延び方向と交差する方向に前記フレームから各々が延出し且つ前記追加アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第４電極歯からなる、前記第３櫛歯電極と協働して前記揺動動作の駆動力を発生させるための第４櫛歯電極と、を更に備え、
    前記第１および前記第３櫛歯電極は電気的に分離されている、請求項１から７のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
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