JP2006156809A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 所定方向に延設された案内レールに沿って移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブルと、案内レールを跨いで配設されチャックテーブルの移動を許容する開口を備えた門型の支持フレームと、門型の支持フレームの一方の面側に配設されたアライメント手段と、門型の支持フレームの他方の面側に配設された切削手段とを具備する切削装置であって、切削手段は門型の支持フレームの他方の面側に案内レールと直交する方向に移動可能に配設された割り出し送り基台と、割り出し送り基台にチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された切り込み送り基台と、切り込み送り基台に装着され切削ブレードを備えたスピンドルユニットとを具備し、スピンドルユニットは、門型の支持フレームの開口を通してアライメント手段側に配設されている。
【選択図】 図2
Description
該切削手段は、該門型の支持フレームの他方の面側に該案内レールと直交する方向に移動可能に配設された割り出し送り基台と、該割り出し送り基台に該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された切り込み送り基台と、該切り込み送り基台に装着され切削ブレードを備えたスピンドルユニットと、を具備し、
該スピンドルユニットは、該門型の支持フレームの該開口を通して該アライメント手段側に配設されている、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
上記案内レールは互いに平行に配設された第1の案内レールと第2の案内レールを含み、上記チャックテーブルは第1の案内レールと第2の案内レールに沿ってそれぞれ移動可能に配設された第1のチャックテーブルと第2のチャックテーブルを含んでいる。
また、上記切削手段は、第1の切削手段と第2の切削手段とを備え、該第1の切削手段の切削ブレードと該第2の切削手段野切削ブレードが対向して配設されている。
上記アライメント手段は、第1のチャックテーブルに保持された被加工物を撮像し切削すべき領域を検出する第1のアライメント手段と、第2のチャックテーブルに保持された被加工物を撮像し切削すべき領域を検出する第2のアライメント手段を含んでいる。
上記門型の支持フレームは案内レールの両側方に配設された第1の柱部および第2の柱部と第1の柱部と第2の柱部の上端を連結する支持部とからなり、支持部にアライメント手段および切削手段が配設され、第1の柱部および第2の柱部には切削手段のスピンドルユニットの移動を許容する開口が設けられていることが望ましい。
また、上記アライメント手段を前面にしてオペレータの操作位置が形成され、オペレータと対面して操作パネルが配設されていることが望ましい。
図1に示された切削装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。この装置ハウジング2には、半導体ウエーハ等の被加工物を保持し矢印Xで示す切削送り方向に移動せしめるチャックテーブル機構3が配設されている。このチャックテーブル機構3について、図2を参照して説明する。
先ず、カセット機構7の図示しない昇降手段を作動してカセット71を適宜の高さに位置付ける。カセット71が適宜の高さに位置付けられたら、被加工物搬出・搬入機構9を作動しカセット71に収容された半導体ウエーハWを仮置き領域8に搬出する。仮置き領域8に搬出された半導体ウエーハWは、ここで中心位置合わせが行われる。仮置き領域8で中心位置合わせが行われた半導体ウエーハWは、被加工物搬送手段10によって第1のチャックテーブル34a上に搬送される。このとき第1のチャックテーブル34aは、図2に示す被加工物着脱位置に位置付けられている。第1のチャックテーブル34a上に載置された半導体ウエーハWは、図示しない吸引手段を作動することにより、第1のチャックテーブル34a上に吸引保持される。
先ず、第1のチャックテーブル34aに保持された被加工物を第1のアライメント手段5aによって撮像し、切削すべき領域を検出する第1のアライメント工程を実施する。また、第2のチャックテーブル34bに保持された被加工物を第2のアライメント手段5bによって撮像し、切削すべき領域を検出する第2のアライメント工程を実施する。第1のアライメント工程を実施したならば、第1のチャックテーブル34aに保持されている被加工物を第1の切削手段6aと第2の切削手段6bによって切削する第1の切削工程を実施する。この第1の切削工程の途中または終了後、第1のアライメント手段5aによって第1のチャックテーブル34aに保持された被加工物に形成された切削溝の状態を撮像して検出する第1の切削溝検出工程を実施する。また、上記第2のアライメント工程を実施したならば、第2のチャックテーブル34bに保持されている被加工物を第1の切削手段6aと第2の切削手段6bによって切削する第2の切削工程を実施する。この第2の切削工程の途中または終了後、第2のアライメント手段5bによって第2のチャックテーブル34bに保持された被加工物に形成された切削溝の状態を撮像して検出する第2の切削溝検出工程を実施する。そして、第2のアライメント工程を実施する際に上記第1の切削溝検出工程を実施し、上記第1のアライメント工程を実施する際に上記第2の切削溝検出工程を実施することが望ましい。
3: チャックテーブル機構
31a:第1の案内レール
31b:第2の案内レール
32a:第1の支持基台
32b:第2の支持基台
34a:第1のチャックテーブル
34b:第2のチャックテーブル
36a:第1のブレード検出手段
36b:第2のブレード検出手段
37a:第1の切削送り手段
37b:第2の切削送り手段
4:門型の支持フレーム
5a:第1のアライメント手段5a
5b:第2のアライメント手段
52:移動手段
53:撮像手段
6a:第1の切削手段
6b:第2の切削手段
61:割り出し移動基台
62: 切り込み移動基台
63: スピンドルユニット
632:回転スピンドル
633:切削ブレード
64:割り出し送り手段
65:切り込み送り手段
7: カセット機構
71: カセット
8:仮置き領域
9:被加工物搬出・搬入手段
10:被加工物搬送手段
11:被加工物搬送手段
12:保護テープ
13:操作パネル
14:表示手段
Claims (7)
- 所定方向に延設された案内レールと、該案内レールに沿って移動可能に配設され被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルを該案内レールに沿って切削送りする切削送り機構と、該案内レールを跨いで配設され該チャックテーブルの移動を許容する開口を備えた門型の支持フレームと、該門型の支持フレームの一方の面側に該案内レールと直交する方向に移動可能に配設されたアライメント手段と、該門型の支持フレームの他方の面側に該案内レールと直交する方向に移動可能に配設され該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、を具備する切削装置において、
該切削手段は、該門型の支持フレームの他方の面側に該案内レールと直交する方向に移動可能に配設された割り出し送り基台と、該割り出し送り基台に該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された切り込み送り基台と、該切り込む送り基台に装着され切削ブレードを備えたスピンドルユニットと、を具備し、
該スピンドルユニットは、該門型の支持フレームの該開口を通して該アライメント手段側に配設されている、
ことを特徴とする切削装置。 - 該切り込み送り基台は該門型の支持フレームの他方の面側から該開口を通して該アライメント手段側に突出する装着部を備えており、該装着部に該スピンドルユニットが配設される、請求項1記載の切削装置。
- 該案内レールは互いに平行に配設された第1の案内レールと第2の案内レールを含み、該チャックテーブルは該第1の案内レールと該第2の案内レールに沿ってそれぞれ移動可能に配設された第1のチャックテーブルと第2のチャックテーブルを含む、請求項1又は2記載の切削装置。
- 該切削手段は、第1の切削手段と第2の切削手段とを備え、該第1の切削手段の切削ブレードと該第2の切削手段野切削ブレードが対向して配設されている、請求項3記載の切削装置。
- 該アライメント手段は、該第1のチャックテーブルに保持された被加工物を撮像し切削すべき領域を検出する第1のアライメント手段と、該第2のチャックテーブルに保持された被加工物を撮像し切削すべき領域を検出する第2のアライメント手段を含んでいる、請求項3又は4記載の切削装置。
- 該門型の支持フレームは該案内レールの両側方に配設された第1の柱部および第2の柱部と該第1の柱部と該第2の柱部の上端を連結する支持部とからなり、該支持部に該アライメント手段および該切削手段が配設され、該第1の柱部および該第2の柱部には該切削手段の該スピンドルユニットの移動を許容する開口が設けられている、請求項1から5のいずれかに記載の切削装置。
- 該アライメント手段を前面にしてオペレータの操作位置が形成され、オペレータと対面して操作パネルが配設されている、請求項1から6のいずれかに記載の切削装置。
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Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008084887A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置及びダイシング方法 |
JP2008103588A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
JP2008112884A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
KR100864591B1 (ko) * | 2007-02-15 | 2008-10-22 | 주식회사 케이엔제이 | 반도체 패키지 제조용 소잉장치 및 이를 이용한 반도체패키지 제조방법 |
JP2008288257A (ja) * | 2007-05-15 | 2008-11-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
WO2009028365A1 (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-05 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | ダイシング装置 |
JP2009090402A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2011104668A (ja) * | 2009-11-12 | 2011-06-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレードの消耗量管理方法 |
US8116893B2 (en) | 2007-11-19 | 2012-02-14 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Dicing method |
US8417579B2 (en) | 2010-08-18 | 2013-04-09 | Disco Corporation | Method of managing parts |
JP2014161963A (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2014161964A (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
WO2015133436A1 (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-11 | 日本精工株式会社 | テーブル装置、測定装置、工作機械、及び半導体製造装置 |
KR20170038146A (ko) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공 장치 |
KR20170063379A (ko) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
KR20210137903A (ko) | 2020-05-11 | 2021-11-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
DE102022204694A1 (de) | 2021-05-20 | 2022-11-24 | Disco Corporation | Bildschirmtastfeld |
Families Citing this family (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4532895B2 (ja) * | 2003-12-18 | 2010-08-25 | 株式会社ディスコ | 板状物の切削装置 |
KR20080032413A (ko) * | 2006-10-09 | 2008-04-15 | 한미반도체 주식회사 | 반도체 제조장치 |
US11406791B2 (en) | 2009-04-03 | 2022-08-09 | Scientia Vascular, Inc. | Micro-fabricated guidewire devices having varying diameters |
US10363389B2 (en) * | 2009-04-03 | 2019-07-30 | Scientia Vascular, Llc | Micro-fabricated guidewire devices having varying diameters |
CN102639303B (zh) | 2008-12-08 | 2015-09-30 | 血管科学有限公司 | 用于在产品中形成切口的微切割机 |
US9072873B2 (en) * | 2009-04-03 | 2015-07-07 | Scientia Vascular, Llc | Micro-fabricated guidewire devices having elastomeric compositions |
US9067333B2 (en) * | 2009-04-03 | 2015-06-30 | Scientia Vascular, Llc | Micro-fabricated guidewire devices having elastomeric fill compositions |
US20100256604A1 (en) * | 2009-04-03 | 2010-10-07 | Scientia Vascular, Llc | Micro-fabricated Catheter Devices Formed Having Elastomeric Compositions |
US9616195B2 (en) * | 2009-04-03 | 2017-04-11 | Scientia Vascular, Llc | Micro-fabricated catheter devices having varying diameters |
US9950137B2 (en) | 2009-04-03 | 2018-04-24 | Scientia Vascular, Llc | Micro-fabricated guidewire devices formed with hybrid materials |
US8960059B2 (en) * | 2009-06-08 | 2015-02-24 | Baumuller Nurnberg Gmbh | Variable folding system comprising linear drives, especially for printing machines |
CN102059652B (zh) * | 2010-07-20 | 2012-07-18 | 浙江大学 | 导轨成形磨床双磨头热伸长非接触测量机构 |
CN102407537B (zh) * | 2011-11-24 | 2013-08-21 | 奈电软性科技电子(珠海)有限公司 | 一种电路板定位结构 |
JP2013258204A (ja) * | 2012-06-11 | 2013-12-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
CN104001941A (zh) * | 2013-02-26 | 2014-08-27 | 深圳富泰宏精密工业有限公司 | 多主轴数控加工装置 |
JP6214901B2 (ja) * | 2013-04-04 | 2017-10-18 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
US9508570B2 (en) * | 2013-10-21 | 2016-11-29 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Singulation apparatus and method |
CN104227854A (zh) * | 2014-08-22 | 2014-12-24 | 常州凌凯特电子科技有限公司 | 晶管切割装置 |
US11052228B2 (en) | 2016-07-18 | 2021-07-06 | Scientia Vascular, Llc | Guidewire devices having shapeable tips and bypass cuts |
US11207502B2 (en) | 2016-07-18 | 2021-12-28 | Scientia Vascular, Llc | Guidewire devices having shapeable tips and bypass cuts |
US10821268B2 (en) | 2016-09-14 | 2020-11-03 | Scientia Vascular, Llc | Integrated coil vascular devices |
US11452541B2 (en) | 2016-12-22 | 2022-09-27 | Scientia Vascular, Inc. | Intravascular device having a selectively deflectable tip |
JP2018181931A (ja) * | 2017-04-05 | 2018-11-15 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
EP3842091B1 (en) | 2017-05-26 | 2023-09-13 | Scientia Vascular, Inc. | Micro-fabricated medical device having a non-helical cut arrangement |
CN107498753B (zh) * | 2017-09-13 | 2023-08-04 | 华域视觉科技(上海)有限公司 | 管状光导注塑模具镶件加工方法及采用该方法制得的镶件 |
US11305095B2 (en) | 2018-02-22 | 2022-04-19 | Scientia Vascular, Llc | Microfabricated catheter having an intermediate preferred bending section |
CN108724498A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-11-02 | 昆明理工大学 | 一种靶材切割机 |
JP7313805B2 (ja) * | 2018-08-15 | 2023-07-25 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN109227641A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-01-18 | 广州亿骏科技有限公司 | 一种纸张生产用具有纸屑清理结构的切纸机 |
JP7184620B2 (ja) * | 2018-12-11 | 2022-12-06 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
US11173631B2 (en) * | 2019-06-17 | 2021-11-16 | Disco Corporation | Cutting apparatus |
CN111761618B (zh) * | 2020-07-09 | 2021-11-30 | 安徽中联汽车零部件有限公司 | 一种新能源汽车橡胶缓冲垫加工成型设备 |
CN112259475A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-01-22 | 河北圣昊光电科技有限公司 | 一种化合物半导体晶圆划片机 |
JP2022148902A (ja) * | 2021-03-24 | 2022-10-06 | Towa株式会社 | 加工装置、及び加工品の製造方法 |
CN114147868B (zh) * | 2021-11-26 | 2023-05-16 | 浙江华熔科技有限公司 | 一种用于半导体石墨棒材切割的稳定装置 |
CN114603208B (zh) * | 2022-04-08 | 2023-02-21 | 南通市紫日机械有限公司 | 一种具有自动调速功能的智能锯床及调速方法 |
CN114683423A (zh) * | 2022-06-01 | 2022-07-01 | 沈阳和研科技有限公司 | 一种划片机显微镜结构 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001298002A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2003163178A (ja) * | 2001-11-28 | 2003-06-06 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4447074B2 (ja) * | 1999-06-21 | 2010-04-07 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP3646781B2 (ja) * | 1999-11-08 | 2005-05-11 | 株式会社東京精密 | ダイシング方法及びダイシング装置のカーフチェック方法並びにカーフチェックシステム |
JP2002237472A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-08-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の切削方法 |
JP2002359211A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削機 |
JP2003039272A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
US20030056628A1 (en) * | 2001-09-27 | 2003-03-27 | Eli Razon | Coaxial spindle cutting saw |
-
2004
- 2004-11-30 JP JP2004346981A patent/JP4571851B2/ja active Active
-
2005
- 2005-11-23 SG SG200507422A patent/SG122920A1/en unknown
- 2005-11-23 TW TW94141152A patent/TWI357617B/zh active
- 2005-11-28 US US11/287,190 patent/US7338345B2/en active Active
- 2005-11-29 KR KR1020050114848A patent/KR101266373B1/ko active IP Right Grant
- 2005-11-30 CN CNB2005101285555A patent/CN100509314C/zh active Active
- 2005-11-30 DE DE102005057172.7A patent/DE102005057172B4/de active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001298002A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2003163178A (ja) * | 2001-11-28 | 2003-06-06 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008084887A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置及びダイシング方法 |
JP2008103588A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
JP2008112884A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
KR100864591B1 (ko) * | 2007-02-15 | 2008-10-22 | 주식회사 케이엔제이 | 반도체 패키지 제조용 소잉장치 및 이를 이용한 반도체패키지 제조방법 |
JP2008288257A (ja) * | 2007-05-15 | 2008-11-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP5464421B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2014-04-09 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
WO2009028365A1 (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-05 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | ダイシング装置 |
JP2009090402A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
US8116893B2 (en) | 2007-11-19 | 2012-02-14 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Dicing method |
JP2011104668A (ja) * | 2009-11-12 | 2011-06-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレードの消耗量管理方法 |
US8417579B2 (en) | 2010-08-18 | 2013-04-09 | Disco Corporation | Method of managing parts |
JP2014161963A (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2014161964A (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2015166114A (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-24 | 日本精工株式会社 | テーブル装置、測定装置、及び工作機械 |
WO2015133436A1 (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-11 | 日本精工株式会社 | テーブル装置、測定装置、工作機械、及び半導体製造装置 |
CN106061675A (zh) * | 2014-03-03 | 2016-10-26 | 日本精工株式会社 | 工作台装置、测量装置、机床和半导体制造装置 |
KR20170038146A (ko) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공 장치 |
KR102468635B1 (ko) | 2015-09-29 | 2022-11-17 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공 장치 |
KR20170063379A (ko) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
KR102463660B1 (ko) | 2015-11-30 | 2022-11-03 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
KR20210137903A (ko) | 2020-05-11 | 2021-11-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
DE102022204694A1 (de) | 2021-05-20 | 2022-11-24 | Disco Corporation | Bildschirmtastfeld |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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JP4571851B2 (ja) | 2010-10-27 |
CN100509314C (zh) | 2009-07-08 |
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