KR20210137903A - 절삭 장치 - Google Patents

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사토시 미야타
마코토 기사누키
다카히로 사이토
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명은, 절삭 블레이드의 교환이 확실하게 실시되어 가공 불량의 발생을 방지하는 것이 가능한 절삭 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비하는 절삭 수단과, 절삭 블레이드의 선단 위치를 검출하는 검출 수단과, 표시 수단을 포함하여 구성되는 절삭 장치에 있어서, 표시 수단은, 블레이드 교환 화면을 표시하고, 블레이드 교환 화면은, 절삭 블레이드와 교환되는 미사용의 절삭 블레이드의 외경 및 날끝이 나오는 양을 표시하는 제1 표시부와, 절삭 블레이드의 날끝의 소모량을 표시하는 제2 표시부와, 절삭 블레이드의 교환 처리를 종료시키는 종료 키를 포함하고, 종료 키가 선택되면, 검출 수단에 의해 절삭 블레이드의 선단 위치가 검출된다.

Description

절삭 장치{CUTTING APPARATUS}
본 발명은, 웨이퍼 등의 피가공물을 절삭하는 절삭 장치에 관한 것이다.
격자형으로 배열되는 복수의 분할 예정 라인(스트리트)에 의해 구획된 영역에 각각 IC(Integrated Circuit), LSI(Large Scale Integration) 등의 디바이스가 형성된 웨이퍼를 분할하는 것에 의해, 디바이스를 각각 구비하는 복수의 디바이스칩이 제조된다. 이 디바이스칩은, 휴대전화, 퍼스널 컴퓨터 등의 여러 가지 전기 기기에 탑재된다.
웨이퍼의 분할에는, 예컨대 절삭 장치가 이용된다. 절삭 장치는, 피가공물을 유지하는 유지 수단(유지 테이블)과, 피가공물을 절삭하는 고리형의 절삭 블레이드가 장착되는 절삭 수단을 구비한다. 절삭 블레이드를 회전시켜, 유지 수단에 의해 유지되는 피가공물에 절입시키는 것에 의해, 피가공물이 절삭, 분할된다.
또한, 절삭 장치는, 절삭 가공에 관한 각종 정보를 표시하는 표시 수단과, 오퍼레이터가 절삭 장치에 소정의 정보를 입력하기 위한 조작 패널을 구비한다. 예컨대 특허문헌 1에는, 오퍼레이터가 조작을 하는 위치에 표시 수단과 조작 패널이 설치된 절삭 장치가 개시되어 있다. 오퍼레이터는, 표시 수단에 표시된 정보를 참조하면서 조작 패널을 조작하는 것에 의해, 절삭 장치에 가공 조건 등의 정보를 입력한다.
특허문헌 1 : 일본특허공개 제2006-156809호 공보
절삭 블레이드에 의한 피가공물의 절삭을 계속하면, 절삭 블레이드의 선단부(날끝)에는 마모나 이지러짐이 생긴다. 그 때문에, 절삭 블레이드를 일정 기간 사용한 후에는, 사용 완료한 절삭 블레이드를 미사용의 절삭 블레이드(교환용의 절삭 블레이드)로 교환하는 블레이드 교환 작업이 행해진다.
절삭 블레이드를 교환할 때, 오퍼레이터는, 블레이드 교환 작업을 하기 위한 화면(블레이드 교환 화면)을 표시 수단에 표시시키면서, 조작 패널을 이용하여 미사용의 절삭 블레이드의 정보를 입력한다. 또한, 사용 완료한 절삭 블레이드의 제거와 미사용의 절삭 블레이드의 장착이 수동 또는 자동으로 행해진다. 그 후, 오퍼레이터는 블레이드 교환 화면에 포함되는 종료 키(확정 키)를 선택하는 것에 의해, 절삭 블레이드의 교환 처리를 확정시킨다.
그러나, 절삭 장치의 조작 중에 여러 가지 원인으로 오퍼레이터가 블레이드 교환 화면의 종료 키를 잘못 선택해 버리는 경우가 있다. 예컨대, 표시 수단에 블레이드 교환 화면을 표시시킨 직후에 긴급 사태가 발생한 경우, 오퍼레이터는 급히 그 자리를 떠나서 긴급 사태에 대처한 후, 절삭 블레이드를 교환하는 것을 잊은 채로 블레이드 교환 화면의 종료 키를 선택해 버릴 우려가 있다. 또한, 조작 미스 등에 의해 블레이드 교환 화면이 표시 수단에 의도치 않게 표시되는 경우에, 오퍼레이터가 블레이드 교환 화면을 닫기 위해 종료 키를 잘못 선택해 버리는 경우가 있다.
절삭 블레이드의 교환이 행해지지 않은 채로 종료 키가 선택되면, 절삭 수단에 사용 완료한 절삭 블레이드가 장착된 상태임에도 불구하고, 절삭 장치는 마모나 이지러짐이 없는 미사용의 절삭 블레이드가 장착되어 있는 것을 전제로 피가공물의 가공을 시작한다. 그 결과, 절삭 블레이드의 피가공물에 대한 절입량이 부족해지는 등, 피가공물이 의도한 대로 가공되지 않는 사태가 생겨, 가공 불량이 발생할 우려가 있다.
본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 절삭 블레이드의 교환이 확실하게 실시되어 가공 불량의 발생을 방지하는 것이 가능한 절삭 장치의 제공을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 피가공물을 유지하는 유지 수단과, 상기 유지 수단에 의해 유지되는 상기 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비하는 절삭 수단과, 상기 유지 수단과 상기 절삭 수단을 가공 이송 방향을 따라 상대적으로 이동시키는 가공 이송 수단과, 상기 절삭 수단을 절입 방향을 따라 이동시키는 절입 이송 수단과, 상기 절삭 블레이드의 선단 위치를 검출하는 검출 수단과, 상기 절삭 수단이 설치된 가공 영역을 폐색하는 개폐 가능한 커버와, 표시 수단을 포함하여 구성되는 절삭 장치에 있어서, 상기 절삭 수단은, 회전축과, 상기 회전축을 회전 가능하게 지지하는 하우징과, 상기 회전축의 선단부에 설치되고 상기 절삭 블레이드가 착탈 가능하게 장착되는 플랜지를 포함하고, 상기 표시 수단은, 블레이드 교환 화면을 표시하고, 상기 블레이드 교환 화면은, 상기 절삭 블레이드와 교환되는 미사용의 절삭 블레이드의 외경 및 날끝이 나오는 양을 표시하는 제1 표시부와, 상기 절삭 블레이드의 날끝의 소모량을 표시하는 제2 표시부와, 상기 절삭 블레이드의 교환 처리를 종료시키는 종료 키를 포함하고, 상기 종료 키가 선택되면, 상기 검출 수단에 의해 상기 절삭 블레이드의 선단 위치가 검출되고, 상기 절삭 수단에 장착된 상기 절삭 블레이드의 외경이 상기 제1 표시부에 표시되는 상기 미사용의 절삭 블레이드의 외경에 대응하는 경우는 상기 절삭 블레이드의 교환을 허가하고, 상기 절삭 수단에 장착된 상기 절삭 블레이드의 외경이 상기 제1 표시부에 표시되는 상기 미사용의 절삭 블레이드의 외경에 대응하지 않는 경우는 상기 절삭 블레이드의 교환을 허가하지 않고 경고를 발하는 것인, 절삭 장치가 제공된다.
또, 바람직하게는, 상기 제2 표시부에 표시되는 상기 소모량은 백업되고, 상기 절삭 장치는, 상기 종료 키가 선택된 경우라도 상기 제2 표시부에 상기 소모량을 복귀시킬 수 있다. 또한, 바람직하게는, 상기 표시 수단에 상기 블레이드 교환 화면이 표시되면 상기 커버의 개폐가 가능해지고, 상기 절삭 장치는, 상기 커버가 개방된 정보가 없음에도 불구하고 상기 종료 키가 선택되면, 상기 검출 수단에 의해 상기 절삭 블레이드의 선단 위치가 검출되기 전에, 상기 절삭 블레이드의 교환을 허가하지 않고 경고를 발한다.
또한, 본 발명의 다른 일 양태에 의하면, 피가공물을 유지하는 유지 수단과, 상기 유지 수단에 의해 유지되는 상기 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비한 절삭 수단과, 상기 유지 수단과 상기 절삭 수단을 가공 이송 방향을 따라 상대적으로 이동시키는 가공 이송 수단과, 상기 절삭 수단을 절입 방향을 따라 이동시키는 절입 이송 수단과, 상기 절삭 수단이 설치된 가공 영역을 폐색하는 개폐 가능한 커버와, 표시 수단을 포함하여 구성되는 절삭 장치에 있어서, 상기 절삭 수단은, 회전축과, 상기 회전축을 회전 가능하게 지지하는 하우징과, 상기 회전축의 선단부에 설치되고 절삭 블레이드가 착탈 가능하게 장착되는 플랜지를 포함하고, 상기 표시 수단은, 블레이드 교환 화면을 표시하고, 상기 블레이드 교환 화면은, 상기 절삭 블레이드와 교환되는 미사용의 절삭 블레이드의 외경 및 날끝이 나오는 양을 표시하는 제1 표시부와, 상기 절삭 블레이드의 날끝의 소모량을 표시하는 제2 표시부와, 상기 절삭 블레이드의 교환 처리를 종료시키는 종료 키를 포함하고, 상기 표시 수단에 상기 블레이드 교환 화면이 표시되면 상기 커버의 개폐가 가능해지고, 상기 커버가 개방된 정보가 없음에도 불구하고 상기 종료 키가 선택되면, 상기 절삭 블레이드의 교환을 허가하지 않고 경고를 발하는 것인, 절삭 장치가 제공된다.
본 발명의 일 양태에 관한 절삭 장치에서는, 절삭 수단에 장착된 절삭 블레이드의 외경이 미사용의 절삭 블레이드의 외경에 대응하지 않는 경우, 또는, 절삭 수단을 폐색하는 커버가 개방된 정보가 없는 경우에는, 블레이드 교환 화면의 종료 키가 선택되더라도 절삭 블레이드의 교환이 허가되지 않고 경고가 발생한다. 그 때문에, 피가공물이 의도치 않게 사용 완료된 절삭 블레이드로 가공되는 것이 방지됨과 더불어, 절삭 블레이드의 교환이 바르게 행해지지 않았다는 취지를 오퍼레이터가 용이하게 인식할 수 있다. 이것에 의해, 절삭 블레이드의 교환을 확실하게 실시하는 것이 가능해져, 가공 불량의 발생이 방지된다.
도 1은 절삭 장치를 도시하는 사시도이다.
도 2의 (A)는 절삭 수단을 도시하는 사시도이고, 도 2의 (B)는 블레이드 커버가 장착된 절삭 수단을 도시하는 사시도이다.
도 3은 검출 수단을 도시하는 측면도이다.
도 4는 블레이드 교환 화면을 표시하는 표시 수단을 도시하는 정면도이다.
도 5는 절삭 장치의 동작을 도시하는 플로우차트이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일 양태에 관한 실시형태를 설명한다. 우선, 본 실시형태에 관한 절삭 장치의 구성예를 설명한다. 도 1은, 절삭 장치(2)를 도시하는 사시도이다.
절삭 장치(2)는, 절삭 장치(2)를 구성하는 각 구성 요소를 지지하는 베이스(4)를 구비한다. 베이스(4)의 전방의 모서리부에는 개구(4a)가 형성되고, 이 개구(4a)에는, 승강 기구(도시하지 않음)에 의해 Z축 방향(절입 방향, 수직 방향, 상하 방향)을 따라 이동하는 카세트 지지대(6)가 설치된다. 이 카세트 지지대(6) 상에는, 절삭 장치(2)에 의해 절삭 가공되는 복수의 피가공물(11)을 수용할 수 있는 카세트(8)가 탑재된다. 또, 도 1에서는 카세트(8)의 윤곽을 파선으로 도시하고 있다.
예컨대 피가공물(11)은, 실리콘 등으로 이루어진 원반형의 웨이퍼(13)를 구비한다. 웨이퍼(13)는, 서로 교차하도록 격자형으로 배열되는 복수의 분할 예정 라인(스트리트)에 의해 복수의 영역으로 구획된다. 또한, 이 복수의 영역의 표면측에는 각각, IC, LSI 등의 디바이스가 형성된다. 절삭 장치(2)에 의해 웨이퍼(13)를 분할 예정 라인을 따라 절삭하여 분할하면, 디바이스를 각각 구비하는 복수의 디바이스칩이 얻어진다.
웨이퍼(13)의 이면측에는, 수지 등으로 이루어지고 웨이퍼(13)보다 직경이 큰, 원형의 테이프(다이싱 테이프)(15)가 접착된다. 또한, 테이프(15)의 외주부에는, 금속 등으로 이루어지고 중앙부에 웨이퍼(13)보다 직경이 큰 원형의 개구를 구비하는, 고리형의 프레임(17)이 접착된다. 이것에 의해, 웨이퍼(13)는 테이프(15)를 통해 프레임(17)에 의해 지지된다. 즉, 도 1에 도시하는 피가공물(11)은, 웨이퍼(13), 테이프(15) 및 프레임(17)을 포함하는 프레임 유닛이다.
다만, 절삭 장치(2)에 의해 가공되는 피가공물(11)의 종류, 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예컨대 피가공물(11)은, 실리콘 이외의 반도체(GaAs, InP, GaN, SiC 등), 유리, 세라믹스, 수지, 금속 등으로 이루어진 웨이퍼(13)를 구비하고 있어도 좋다. 또한, 웨이퍼(13)에 형성되는 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에도 제한은 없고, 웨이퍼(13)에는 디바이스가 형성되어 있지 않아도 좋다.
또한, 피가공물(11)은, 프레임(17)에 지지되지 않은 웨이퍼(13), 또는, 테이프(15)가 접착되지 않은 웨이퍼(13)를 구비하고 있어도 좋다. 또한, 피가공물(11)은, CSP(Chip Size Package) 기판, QFN(Quad Flat Non-leaded package) 기판 등의 패키지 기판이어도 좋다.
개구(4a)의 후방에는, 피가공물(11)의 카세트(8)로부터의 반출과, 피가공물(11)의 카세트(8)로의 반입을 행하는 반송 수단(반송 유닛)(10)이 설치된다. 반송 수단(10)은, Y축 방향(인덱싱 이송 방향, 전후 방향)을 따라서 이동 가능한 반송 기구에 의해 구성된다. 또한, 반송 수단(10)의 개구(4a)측(카세트(8)측)에 위치하는 단부에는, 피가공물(11)(예컨대 프레임(17))의 단부를 파지하는 파지부(10a)가 설치된다.
개구(4a)와 반송 수단(10)의 사이에는, 카세트(8)로부터 반출되는 피가공물(11), 또는 카세트(8)에 반입되는 피가공물(11)을 임시로 두는, 임시 거치 영역(12)이 설치된다. 이 임시 거치 영역(12)에는, Y축 방향을 따라 서로 대략 평행하게 배치되는 한 쌍의 가이드 레일(14)이 설치된다. 한 쌍의 가이드 레일(14)은, X축 방향(가공 이송 방향, 좌우 방향)을 따라 서로 접근 및 격리되도록 이동하여, 피가공물(11)을 사이에 두고 피가공물(11)의 위치 맞춤을 행한다.
임시 거치 영역(12)의 근방에는, 피가공물(11)을 반송하는 반송 수단(반송 유닛)(16)이 설치된다. 예컨대 반송 수단(16)은, 피가공물(11)의 상면측(예컨대 프레임(17)의 상면측)을 흡인 유지하는 흡인 패드를 구비하는 반송 기구에 의해 구성된다.
개구(4a)의 측방에는, 긴 방향이 X축 방향을 따르는 직사각형의 개구(4b)가 형성된다. 이 개구(4b)의 내부에는, 가공 이송 수단(제1 이동 유닛)(18)과, 가공 이송 수단(18)의 일부를 덮는 방진 방적 커버(20)가 설치된다. 가공 이송 수단(18)은, 예컨대 볼나사식의 이동 기구에 의해 구성되며, 상면이 방진 방적 커버(20)로부터 노출되는 이동 테이블(18a)을 구비한다.
이동 테이블(18a) 상에는, 피가공물(11)을 유지하는 유지 수단(유지 테이블)(22)이 설치된다. 유지 수단(22)의 상면은, 피가공물(11)을 유지하는 유지면(22a)을 구성한다. 유지면(22a)은, 유지 수단(22)의 내부에 형성되는 흡인로(도시하지 않음)를 통해, 이젝터 등의 흡인원(도시하지 않음)에 접속된다. 또한, 유지 수단(22)의 주위에는, 피가공물(11)의 단부(예컨대 프레임(17))를 파지하여 고정하는 복수의 클램프(24)가 설치된다.
가공 이송 수단(18)은, 유지 수단(22)을 이동 테이블(18a)과 함께 X축 방향을 따라 이동시킨다. 그리고, 유지 수단(22)은 가공 이송 수단(18)에 의해, 피가공물(11)의 반송이 행해지는 반송 영역(A)과, 피가공물(11)의 가공이 행해지는 가공 영역(B)에 위치 부여된다. 또한, 유지 수단(22)에는 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)이 접속되고, 이 회전 구동원은 유지 수단(22)을 Z축 방향에 대략 평행한 회전축의 둘레에서 회전시킨다.
가공 영역(B)에는, 유지 수단(22)에 의해 유지되는 피가공물(11)을 절삭하는 절삭 수단(절삭 유닛)(26)이 설치된다. 절삭 수단(26)은, 피가공물(11)을 절삭하는 고리형의 절삭 블레이드(40)를 회전 가능하게 구비한다. 또한, 절삭 수단(26)에는, 절삭 수단(26)을 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동시키는 절입 이송 수단(제2 이동 유닛)(28)이 접속된다. 예컨대 절입 이송 수단(28)은, Y축 방향을 따르는 Y축 볼나사와 Z축 방향을 따르는 Z축 볼나사를 구비하는 볼나사식의 이동 기구에 의해 구성된다.
도 2의 (A)는, 절삭 수단(26)을 도시하는 사시도이다. 절삭 수단(26)은, 원통형의 하우징(30)을 구비하고, 이 하우징(30)에는 원통형의 회전축(스핀들)(32)이 수용된다. 회전축(32)은, 하우징(30)에 의해 회전 가능하게 지지되고, 회전축(32)의 선단부(일단측)는 하우징(30)의 외부에 노출된다.
회전축(32)의 선단부에는, 절삭 블레이드(40)를 지지하는 플랜지(마운트)(34)가 설치된다. 또한, 회전축(32)의 기단부(타단측)에는, 회전축(32)을 회전시키는 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)이 연결된다.
플랜지(34)는, 원반형의 플랜지부(36)와, 플랜지부(36)의 표면(36a)의 중앙부로부터 돌출되는 원통형의 지지축(38)을 구비한다. 플랜지부(36)의 외주부의 표면(36a)측에는, 표면(36a)으로부터 돌출되는 고리형의 볼록부(36b)가 설치된다. 또, 볼록부(36b)의 선단면은, 표면(36a)과 대략 평행하게 형성된다. 또한, 지지축(38)의 외주면에는 나사부(38a)가 형성된다.
플랜지(34)에는, 피가공물(11)을 절삭하는 고리형의 절삭 블레이드(40)가 착탈 가능하게 장착된다. 절삭 블레이드(40)는, 금속 등으로 이루어지는 고리형의 베이스(42)와, 베이스(42)의 외연부를 따라 형성되는 고리형의 절삭날(44)을 구비한다. 베이스(42)의 중앙부에는, 베이스(42)를 두께 방향으로 관통하는 원형의 개구(42a)가 설치된다. 또한, 베이스(42)의 개구(42a)의 주위에는, 베이스(42)의 두께 방향으로 돌출되는 고리형의 파지부(42b)가 형성된다. 예컨대, 오퍼레이터는 파지부(42b)를 잡고 절삭 블레이드(40)를 플랜지(34)에 장착한다.
절삭날(44)은, 베이스(42)의 외주 가장자리로부터 베이스(42)의 반경 방향 외측을 향해 돌출되도록 형성된다. 베이스(42)의 외주 가장자리로부터의 절삭날(44)의 돌출량(날끝이 나오는 양)은, 절삭 블레이드(40)의 사양에 따라서 적절하게 조정된다. 예컨대 절삭날(44)은, 다이아몬드 등으로 이루어진 지립을 니켈 도금 등의 결합재로 고정하는 것에 의해 형성된다.
다만, 절삭날(44)의 지립 및 결합재의 재질에 제한은 없고, 피가공물(11)의 재질이나 가공 내용 등에 따라서 적절하게 선택된다. 또한, 도 2의 (A)에는 베이스(42)와 절삭날(44)이 일체가 되어 구성된 허브 타입의 절삭 블레이드(40)를 도시하고 있지만, 지립이 금속, 세라믹스, 수지 등으로 이루어진 결합재에 의해 고정되는 고리형의 절삭날로 이루어지는 와셔 타입의 절삭 블레이드가 이용되어도 좋다.
지지축(38)의 나사부(38a)에는, 절삭 블레이드(40)를 고정하기 위한 고리형의 고정 너트(46)가 체결된다. 고정 너트(46)의 중앙부에는, 지지축(38)의 직경에 대응하는 원형의 개구(46a)가 형성되고, 이 개구(46a)에는 지지축(38)의 나사부(38a)에 대응하는 나사홈이 형성된다.
절삭 블레이드(40)는, 베이스(42)의 개구(42a)에 지지축(38)이 삽입되도록 플랜지(34)에 장착된다. 이 상태에서 고정 너트(46)를 지지축(38)의 나사부(38a)에 나사 결합하여 체결하면, 절삭 블레이드(40)가 플랜지부(36)의 볼록부(36b)의 선단면과 고정 너트(46) 사이에 끼워져 지지된다. 또, 지지축(38)에 체결된 고정 너트(46)를 제거하는 것에 의해, 플랜지부(36)에 장착된 절삭 블레이드(40)를 제거하는 것이 가능해진다. 이와 같이, 절삭 블레이드(40)는 회전축(32)의 선단부(플랜지(34))에 착탈 가능하게 장착된다.
도 2의 (B)는, 블레이드 커버(48)가 장착된 절삭 수단(26)을 도시하는 사시도이다. 도 2의 (B)에 도시하는 바와 같이, 하우징(30)의 선단부에는 직방체형으로 형성되는 블레이드 커버(48)가 고정되고, 절삭 수단(26)에 장착된 절삭 블레이드(40)는 블레이드 커버(48)에 의해 덮인다.
블레이드 커버(48)는, 절삭액이 공급되는 파이프(50)와, 파이프(50)에 접속되고 절삭 블레이드(40)의 이면측을 향해 개구되는 노즐(52)을 구비한다. 또한, 블레이드 커버(48)의 전면측에는 착탈 커버(54)가 장착되고, 블레이드 커버(48)의 상면측에는 착탈 커버(62)가 장착된다. 블레이드 커버(48) 및 착탈 커버(54, 62)에 의해 절삭 블레이드(40)의 상부가 덮인다.
착탈 커버(54)는, 절삭액이 공급되는 파이프(56)와, 파이프(56)에 접속되는 노즐(58)을 구비한다. 노즐(58)은, 착탈 커버(54)가 블레이드 커버(48)에 장착되었을 때에, 절삭 블레이드(40)의 표면측을 향해 개구되도록 설치된다. 착탈 커버(54)는, 나사(60)를 착탈 커버(54)에 형성되는 둥근 구멍(54a)에 삽입하여 블레이드 커버(48)에 형성되는 나사 구멍(48a)에 조이는 것에 의해, 블레이드 커버(48)에 고정된다.
또한, 착탈 커버(62)는, 나사(64)를 착탈 커버(62)에 형성되는 둥근 구멍(62a)에 삽입하여 블레이드 커버(48)에 형성되는 나사 구멍(48b)에 조이는 것에 의해, 블레이드 커버(48)에 고정된다. 또, 착탈 커버(62)의 내측에는, 절삭 블레이드(40)를 드레싱하기 위한 레이저빔을 조사하는 레이저 조사 수단(레이저 조사 유닛)이 설치되어 있어도 좋다.
절삭 수단(26)에 의해 피가공물(11)을 절삭할 때에는, 파이프(50, 56)에 순수 등의 절삭액이 공급된다. 이 절삭액은, 노즐(52, 58)을 통해 절삭 블레이드(40)의 표리면측에 공급된다. 이것에 의해, 피가공물(11) 및 절삭 블레이드(40)가 냉각됨과 더불어, 절삭에 의해 생긴 부스러기(절삭 부스러기)가 씻겨진다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 유지 수단(22)의 이동 경로(반송 영역(A)과 가공 영역(B) 사이)와 중복되는 위치에는, 촬상 수단(촬상 유닛)(66)이 설치된다. 촬상 수단(66)은, 카메라 등에 의해 구성되며, 유지 수단(22)에 의해 유지되는 피가공물(11)을 촬상한다. 촬상 수단(66)에 의해 취득되는 화상에 기초하여, 피가공물(11)과 절삭 수단(26)의 위치 맞춤 등이 행해진다.
또한, 절삭 수단(26)의 근방(예컨대 이동 테이블(18a) 상)에는, 절삭 수단(26)에 장착된 절삭 블레이드(40)의 선단 위치를 검출하는 검출 수단(검출 유닛)(68)이 설치된다. 검출 수단(68)에 의해 검출되는 절삭 블레이드(40)의 선단 위치에 기초하여, 절삭 블레이드(40)의 외경을 특정할 수 있다.
도 3은, 검출 수단(68)을 도시하는 측면도이다. 예컨대 검출 수단(68)은, 상면측에 오목부(70a)가 형성되는 직방체형의 베이스(70)를 구비한다. 이 오목부(70a)에는, 서로 대향하는 투광부(72a)와 수광부(72b)가 설치된다.
예컨대 투광부(72a)는, LED(Light Emitting Diode) 등의 광원(도시하지 않음)에 광파이버 등을 통해 접속되고, 수광부(72b)를 향해 광을 조사한다. 그리고, 투광부(72a)로부터 조사된 광은 수광부(72b)에 의해 수광된다. 예컨대 수광부(72b)는, 광전 변환 소자를 포함하여 구성되는 광전 변환부(도시하지 않음)에 광파이버 등을 통해 접속된다. 그리고, 수광부(72b)의 수광량에 대응하는 전기 신호(전압)가 광전 변환부에 의해 생성되고, 후술하는 제어부(88)(도 1 참조)에 입력된다.
검출 수단(68)이 이동 테이블(18a)(도 1 참조) 상에 설치되는 경우에는, 가공 이송 수단(18)에 의해 검출 수단(68)의 X축 방향에서의 위치가 제어된다. 그리고, 절삭 블레이드(40)의 절삭날(44)이 투광부(72a)와 수광부(72b) 사이의 영역과 중복되도록 절삭 수단(26)과 검출 수단(68)을 배치한 상태에서, 절입 이송 수단(28)에 의해 절삭 수단(26)을 하강시키면, 절삭 블레이드(40)의 선단부(날끝)가 투광부(72a)와 수광부(72b) 사이에 삽입된다.
절삭 수단(26)이 소정의 높이 위치까지 하강하면, 투광부(72a)로부터 수광부(72b)로 향하는 광이 절삭 블레이드(40)의 선단부에 의해 차단되어, 수광부(72b)의 수광량이 감소한다. 그리고, 수광량이 감소했을 때의 절삭 수단(26)의 높이 위치는, 절삭 블레이드(40)의 외경(절삭날(44)의 외경)에 따라서 상이하다. 그 때문에, 절삭 수단(26)을 하강시키면서, 수광부(72b)의 수광량과 절삭 수단(26)의 높이 위치를 모니터하는 것에 의해, 절삭 블레이드(40)의 외경을 특정할 수 있다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 유지 수단(22)의 후방에는, 피가공물(11)을 세정하는 세정 수단(세정 유닛)(74)이 설치된다. 예컨대 세정 수단(74)은, 피가공물(11)을 유지하는 스피너 테이블과, 스피너 테이블에 의해 유지되는 피가공물(11)을 향해 순수 등의 세정액을 공급하는 노즐을 구비한다. 또한, 세정 수단(74)의 상측에는, 유지 수단(22)과 세정 수단(74)의 사이에서 피가공물(11)을 반송하는 반송 수단(반송 유닛)(76)이 설치된다. 예컨대 반송 수단(76)은, 피가공물(11)의 상면측(예컨대 프레임(17)의 상면측)을 흡인 유지하는 흡인 패드를 구비하는 반송 기구에 의해 구성된다.
또한, 가공 영역(B)의 후방에 설치되는 지지대(78) 상에는, 절삭 장치(2)에 의한 절삭 가공에 관한 각종 정보(가공 조건 등)나, 촬상 수단(66)에 의해 취득되는 화상 등을 표시하는 표시 수단(표시부, 표시 유닛)(80)이 설치된다. 또한, 베이스(4)의 전면측에는, 오퍼레이터가 절삭 장치(2)에 각종 정보(가공 조건 등)를 입력하기 위한 입력 수단(입력부, 입력 유닛)(82)이 설치된다.
예컨대, 표시 수단(80)으로는 각종 디스플레이가 이용되고, 입력 수단(82)으로는 복수의 조작 키를 구비하는 조작 패널이 이용된다. 다만, 절삭 장치(2)는, 사용자 인터페이스가 되는 터치 패널을 구비하고 있어도 좋다. 이 경우, 터치 패널이 표시 수단(80) 및 입력 수단(82)으로서 기능하여, 오퍼레이터는 터치 패널의 터치 조작에 의해 정보를 입력할 수 있다.
또한, 베이스(4) 상에는, 베이스(4)의 상면측을 덮는 프레임체(84)가 설치된다. 그리고, 지지대(78)나 프레임체(84)에는, 절삭 장치(2)의 구성 요소를 덮는 개폐 가능한 커버가 부착된다.
예컨대, 카세트 지지대(6)에 배치되는 카세트(8)를 폐색하는 커버(86a)와, 반송 영역(A)을 폐색하는 커버(86b)와, 절삭 수단(26)이 설치되는 가공 영역(B)을 폐색하는 커버(86c)가, 지지대(78) 또는 프레임체(84)에 고정된다. 도 1에서는, 커버(86a, 86b, 86c)의 윤곽을 이점쇄선으로 도시하고 있다. 피가공물(11)의 가공 중에 커버(86a, 86b, 86c)는 각각 폐쇄된 상태로 잠김과 더불어, 필요에 따라서 오퍼레이터에 의해 개폐된다.
절삭 장치(2)를 구성하는 각 구성 요소(카세트 지지대(6), 반송 수단(10), 가이드 레일(14), 반송 수단(16), 가공 이송 수단(18), 유지 수단(22), 클램프(24), 절삭 수단(26), 절입 이송 수단(28), 촬상 수단(66), 검출 수단(68), 세정 수단(72), 반송 수단(76), 표시 수단(80), 입력 수단(82) 등)는, 제어부(제어 수단, 제어 유닛)(88)에 접속된다. 제어부(88)는, 절삭 장치(2)의 각 구성 요소의 동작을 제어한다.
예컨대 제어부(88)는 컴퓨터에 의해 구성된다. 구체적으로는, 제어부(88)는, 절삭 장치(2)의 가동에 필요한 연산 등의 처리를 하는 처리부와, 처리부에 의한 처리에 이용되는 각종 정보(데이터, 프로그램 등)가 기억되는 기억부를 구비한다. 처리부는, 예컨대 CPU(Central Processing Unit) 등의 프로세서를 포함하여 구성된다. 또한, 기억부는, ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 등의 메모리에 의해 구성된다. 처리부와 기억부는 버스를 통해 서로 접속된다. 또, 제어부(88)의 구성 및 기능의 상세한 것은 후술한다.
피가공물(11)을 가공할 때에는, 우선, 카세트(8)에 수용되는 하나의 피가공물(11)의 단부(예컨대 프레임(17))를, 반송 수단(10)의 파지부(10a)로 파지한다. 이 상태에서 반송 수단(10)을 Y축 방향을 따라 후방으로 이동시키면, 피가공물(11)이 카세트(8)로부터 인출되고, 한 쌍의 가이드 레일(14) 상에 배치된다.
한 쌍의 가이드 레일(14)은, 피가공물(11)(예컨대 프레임(17))을 하측으로부터 지지한 상태에서, 서로 접근하도록 X축 방향을 따라 이동한다. 이것에 의해, 피가공물(11)이 한 쌍의 가이드 레일(14) 사이에 끼워지고, 피가공물(11)의 위치 맞춤이 행해진다. 그 후, 피가공물(11)은 반송 수단(16)에 의해 흡인 유지되고, 유지 수단(22) 상으로 반송된다.
예컨대, 웨이퍼(13), 테이프(15) 및 프레임(17)을 구비하는 피가공물(11)을 가공하는 경우에는, 웨이퍼(13)가 테이프(15)를 통해 유지 수단(22) 상에 배치됨과 더불어, 프레임(17)이 클램프(24)에 의해 고정된다. 이 상태에서, 유지면(22a)에 흡인원의 부압을 작용시키면, 웨이퍼(13)가 테이프(15)를 통해 유지 수단(22)에 의해 흡인 유지된다.
그 후, 절삭 수단(26)에 장착된 절삭 블레이드(40)를 회전시켜, 유지 수단(22)에 의해 유지된 웨이퍼(13)에 절입시킨다. 예컨대, 절삭 블레이드(40)의 하단을 피가공물(11)의 상면보다 하측에 위치 부여한 상태에서, 유지 수단(22)을 가공 이송 수단(18)에 의해 이동시킨다. 이것에 의해, 유지 수단(22)과 절삭 수단(26)이 가공 이송 방향을 따라 상대적으로 이동하고, 웨이퍼(13)가 선형으로 절삭된다.
또, 절삭 수단(26)에 접속된 절입 이송 수단(28)에 의해 절삭 수단(26)을 Y축 방향으로 이동시키는 것에 의해, 인덱싱 이송이 행해진다. 또한, 절입 이송 수단(28)에 의해 절삭 수단(26)을 Z축 방향으로 이동시키는 것에 의해, 절삭 블레이드(40)의 피가공물(11)에 대한 절입량이 조정된다. 그리고, 웨이퍼(13)의 가공 중에는, 웨이퍼(13) 및 절삭 블레이드(40)에 순수 등의 절삭액이 공급된다.
피가공물(11)의 가공이 완료되면, 피가공물(11)은 반송 수단(76)에 의해 유지 수단(22) 상으로부터 세정 수단(74)으로 반송되고, 세정 수단(74)에 의해 세정된다. 그리고, 세정 후의 피가공물(11)은 반송 수단(16)에 의해 한 쌍의 가이드 레일(14) 상으로 반송된 후, 반송 수단(10)의 파지부(10a)에 파지되어 카세트(8)에 수용된다.
여기서, 절삭 블레이드(40)에 의해 피가공물(11)을 절삭하면, 절삭 블레이드(40)의 절삭날(44)이 마모되어, 베이스(42)의 외주 가장자리로부터의 절삭날(44)의 돌출량(날끝이 나오는 양)이 서서히 감소한다. 그 때문에, 절삭 블레이드(40)를 일정 기간 사용한 후에는, 사용 완료한 절삭 블레이드(40)를 미사용의 절삭 블레이드로 교환하는 블레이드 교환 작업이 행해진다. 그 때, 오퍼레이터는 입력 수단(82)을 조작하고, 절삭 블레이드(40)의 교환 작업을 행하기 위한 화면(블레이드 교환 화면)을 표시 수단(80)에 표시시킨다.
도 4는, 블레이드 교환 화면(100)을 표시하는 표시 수단(80)을 도시하는 정면도이다. 블레이드 교환 화면(100)은, 미사용의 절삭 블레이드(교환용의 절삭 블레이드)에 관한 정보를 표시하는 제1 표시부(미사용 블레이드 정보 표시부)(102)와, 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드(40)의 사용 상황에 관한 정보를 표시하는 제2 표시부(블레이드 사용 정보 표시부)(104)와, 절삭 블레이드(40)의 교환 처리를 종료시키는 종료 키(확정 키)(106)를 포함한다.
제1 표시부(102)에는, 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드(40)와 교환되는 미사용의 절삭 블레이드에 관한 각종 정보가 표시된다. 예컨대 제1 표시부(102)는, 미사용의 절삭 블레이드의 ID(명칭 등)이 표시되는 표시란(102a), 미사용의 절삭 블레이드의 품종(재질 등)이 표시되는 표시란(102b), 미사용의 절삭 블레이드에 부여되어 있는 바코드가 나타내는 ID(문자, 숫자, 기호 등)가 표시되는 표시란(102c), 절삭 블레이드(40)를 미사용의 절삭 블레이드로 교환하는 이유가 표시되는 표시란(102d)을 포함한다.
또한, 제1 표시부(102)는, 미사용의 절삭 블레이드의 외경(절삭날의 외경)이 표시되는 표시란(102e), 미사용의 절삭 블레이드의 절삭날의 두께가 표시되는 표시란(102f), 미사용의 절삭 블레이드의 타입(예컨대, 허브 타입 또는 와셔 타입)이 표시되는 표시란(102g), 미사용의 절삭 블레이드의 날끝이 나오는 양이 표시되는 표시란(102h)을 포함한다.
예컨대, 미사용의 절삭 블레이드에 부여되어 있는 바코드를 판독하는 것에 의해, 표시란(102a∼102h)에 대응하는 정보가 자동으로 입력되고, 표시란(102a∼102h)에 표시된다. 다만, 오퍼레이터는 입력 수단(82)을 조작하는 것에 의해, 표시란(102a∼102h)에 표시되는 정보를 수동으로 입력할 수도 있다.
제2 표시부(104)에는, 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드(40)(교환의 대상이 되는 절삭 블레이드)의 사용 상황이 표시된다. 예컨대 제2 표시부(104)는, 절삭 블레이드(40)에 의해 가공된 라인의 갯수(분할 예정 라인의 갯수 등)가 표시되는 표시란(104a), 절삭 블레이드(40)에 의해 가공된 영역의 거리가 표시되는 표시란(104b), 절삭 블레이드(40)의 소모량이 표시되는 표시란(104c), 절삭 블레이드(40)가 피가공물(11)을 가공했을 때의 회전축(32)(도 2의 (A) 참조)의 최대의 회전수가 표시되는 표시란(104d)을 포함한다. 또, 절삭 블레이드(40)의 소모량은, 피가공물(11)을 가공하기 전의 절삭 블레이드(40)의 외경(날끝이 나오는 양)과, 절삭 블레이드(40)의 현재의 외경(날끝이 나오는 양)의 차에 상당한다.
미사용의 절삭 블레이드에 관한 각종 정보가 절삭 장치(2)에 입력되어 제1 표시부(102)에 표시된 상태에서, 입력 수단(82)을 이용하여 종료 키(106)를 선택하면, 블레이드 교환 화면(100)이 닫힌다. 이때, 제1 표시부(102)에 표시되어 있는 정보가 확정됨과 더불어, 제2 표시부(104)에 표시되어 있는 사용 완료한 절삭 블레이드(40)의 사용 상황에 관한 정보가 리셋된다.
또, 표시 수단(80) 및 입력 수단(82)이 터치 패널에 의해 구성되는 경우에는, 오퍼레이터는 블레이드 교환 화면(100)이 표시된 터치 패널의 터치 조작에 의해 정보를 입력할 수 있다. 예컨대, 표시란(102a∼102h), 표시란(104a∼104d)이 표시된 영역을 탭하여 소정의 표시란을 선택하는 것에 의해, 선택된 표시란에 문자나 수치를 입력할 수 있는 상태가 된다. 또한, 종료 키(106)가 표시된 영역을 탭하는 것에 의해, 종료 키(106)가 선택된다.
절삭 블레이드를 교환할 때에는, 블레이드 교환 화면(100)을 표시 수단(80)에 표시시키고, 미사용의 절삭 블레이드에 관한 정보를 입력한다. 또한, 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드(40)를 제거함과 더불어, 미사용의 절삭 블레이드를 절삭 수단(26)에 장착한다. 그 후, 입력된 정보가 제1 표시부(102)에 표시된 상태에서 종료 키(106)를 선택하면, 절삭 블레이드의 교환 작업이 완료되고, 피가공물(11)의 가공이 재개된다.
여기서, 본 실시형태에 관한 절삭 장치(2)에서는, 종료 키(106)가 선택되었을 때에, 절삭 블레이드의 착탈이 실제로 행해졌는지 아닌지가 확인된다. 그리고, 절삭 블레이드의 착탈이 행해지지 않았다고 판단된 경우, 절삭 장치(2)는 절삭 블레이드의 교환 처리를 허가하지 않고 경고를 발한다. 이것에 의해, 소모된 절삭 블레이드에 의해 피가공물(11)이 잘못 가공되는 것을 방지할 수 있어, 가공 불량의 발생이 방지된다.
도 5는, 절삭 장치(2)의 동작을 도시하는 플로우차트이다. 이하, 도 1 및 도 5를 참조하여, 절삭 장치(2)의 동작의 구체예를 설명한다. 절삭 블레이드의 교환 작업 시의 절삭 장치(2)의 각 구성 요소의 동작은, 제어부(88)(도 1 참조)에 의해 제어된다.
도 1에는, 제어부(88)의 기능적인 구성을 블록도로 도시하고 있다. 제어부(88)는, 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드의 외경을 산출하는 외경 산출부(90)와, 외경 산출부(90)에 의해 산출된 외경에 기초하여, 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드가 미사용의 절삭 블레이드인지 아닌지를 판정하는 블레이드 판정부(92)를 구비한다. 또한, 제어부(88)는, 가공 영역(B)을 폐색하는 커버(86c)가 개폐되었는지 아닌지를 판정하는 커버 개폐 판정부(94)를 구비한다.
블레이드 판정부(92)에 의한 판정 결과와, 커버 개폐 판정부(94)에 의한 판정 결과는, 각각 구동부(96)에 입력된다. 그리고, 구동부(96)는, 입력된 판정 결과에 기초하여 절삭 장치(2)의 각 구성 요소를 구동시킨다. 또, 외경 산출부(90), 블레이드 판정부(92), 커버 개폐 판정부(94)는 각각 기억부(98)에 접속되고, 기억부(98)에 기억된 정보를 참조하여 처리를 한다.
도 5에 도시하는 바와 같이, 오퍼레이터는 우선, 입력 수단(82)을 조작하여 표시 수단(80)에 블레이드 교환 화면(100)(도 3 참조)을 표시시킨다(단계 S1). 그리고, 오퍼레이터는, 입력 수단(82)을 조작함으로써 미사용의 절삭 블레이드(교환용의 절삭 블레이드)에 관한 정보를 입력한다. 그 결과, 입력된 각종 정보가 블레이드 교환 화면(100)의 제1 표시부(102)(표시란(102a∼102h))에 표시된다.
또한, 표시 수단(80)에 블레이드 교환 화면(100)이 표시되면, 가공 영역(B)을 덮는 커버(86c)의 잠금이 제어부(88)에 의해 해제되어, 커버(86c)의 개폐가 가능해진다. 그리고, 오퍼레이터는, 커버(86c)를 개방하여 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 사용 완료한 절삭 블레이드(40)를 미사용의 절삭 블레이드로 교환한 후, 커버(86c)를 폐쇄한다. 그 후, 오퍼레이터는 입력 수단(82)을 조작하여 블레이드 교환 화면(100)의 종료 키(106)를 선택하고, 절삭 블레이드의 교환 처리를 완료시키는 지시를 한다.
종료 키(106)가 선택되면(단계 S2에서 YES), 제어부(88)는, 블레이드 교환 화면(100)의 제2 표시부(104)(표시란(104a∼104d))에 표시되어 있던 정보를 기억부(98)에 기억한다. 이것에 의해, 사용 완료한 절삭 블레이드(40)의 사용 상황(가공 라인수, 가공 거리, 절삭 블레이드(40)의 소모량, 회전축(32)의 최대 회전수)이 백업된다. 다만, 절삭 블레이드(40)의 사용 상황의 백업을 실시하는 타이밍에 제한은 없다.
그리고, 제어부(88)는, 전회의 절삭 블레이드의 교환 작업 후에, 절삭 수단(26)을 덮는 커버(86c)의 개폐가 있었는지 아닌지를 확인한다(단계 S3). 예컨대 절삭 장치(2)에는, 커버(86c)의 개폐 시에 오퍼레이터가 누르는 누름 버튼식의 스위치(안전 버튼)가 설치된다. 또한, 커버(86c)의 개폐를 검지하는 센서가 커버(86c)의 근방에 설치되어 있어도 좋다.
안전 버튼을 눌렀는지 아닌지의 정보나, 센서에 의한 커버(86c)의 개폐의 검지 결과는, 기억부(98)에 기억된다. 그리고, 종료 키(106)가 선택되면, 커버 개폐 판정부(94)는 기억부(98)에 액세스하고, 기억부(98)에 기억된 정보를 참조하여 커버(86c)의 개폐가 있었는지 아닌가를 판정한다.
여기서, 절삭 블레이드의 착탈 작업이 실제로 실시되지 않은 경우에는, 커버(86c)가 개방된 정보(안전 버튼을 누른 정보, 센서에 의해 검지된 커버(86c)의 개폐의 정보 등)가 기억부(98)에 기억되어 있지 않다. 이 경우, 커버 개폐 판정부(94)는 커버(86c)가 개폐되지 않았다고 판정하고(단계 S4에서 NO), 절삭 블레이드의 교환을 허가하지 않는다(단계 S5). 이 경우, 제어부(88)는, 블레이드 교환 화면(100)을 닫는 처리와, 블레이드 교환 화면(100)의 제1 표시부(102)에 표시되어 있는 정보를 확정하는 처리를 실시하지 않는다.
또한, 커버 개폐 판정부(94)에 의한 판정의 결과(커버(86c)의 개폐 없음)가 구동부(96)에 입력된다. 그리고, 상기 판정 결과가 입력된 구동부(96)는, 절삭 장치(2)의 소정의 구성 요소(표시 수단(80) 등)를 구동시키고, 절삭 블레이드의 착탈이 행해지지 않았다는 취지를 알리는 경고를 발신시킨다(단계 S6).
또, 경고의 발신 방법에 제한은 없다. 예컨대 구동부(96)는, 표시 수단(80)에 절삭 블레이드의 교환이 행해지지 않았다는 취지의 정보를 표시시킨다. 또한, 절삭 장치(2)는 경고등을 구비하고 있어도 좋고, 구동부(96)는 이 경고등을 점등 또는 점멸시켜도 좋다. 또한, 절삭 장치(2)는 스피커를 구비하고 있어도 좋고, 구동부(96)는 스피커에 경고음 또는 경고 내용을 알리는 음성을 발하도록 해도 좋다.
또한, 제어부(88)는, 기억부(98)에 백업되어 있는 절삭 블레이드(40)의 사용 상황에 관한 정보를 독출하여, 블레이드 교환 화면(100)의 제2 표시부(104)(표시란(104a∼104d))에 복귀(재표시)시킨다(단계 S7). 이것에 의해, 제2 표시부(104)가, 표시 수단(80)에 블레이드 교환 화면(100)이 표시되었을 때(단계 S1)의 상태로 되돌아간다.
한편, 커버 개폐 판정부(94)에 의해 커버(86c)가 개폐되었다고 판정된 경우(단계 S4에서 YES), 그 판정 결과가 구동부(96)에 입력된다. 그리고, 구동부(96)는 검출 수단(68) 및 절입 이송 수단(28)을 제어하고, 검출 수단(68)에 절삭 블레이드(40)의 선단 위치(하단 위치)를 검출시킨다(단계 S8). 그리고, 검출 수단(68)으로부터 외경 산출부(90)에 검출 결과가 입력됨과 더불어, 절입 이송 수단(28)으로부터 외경 산출부(90)에 검출 중의 절삭 수단(26)의 높이 위치의 정보가 입력된다.
외경 산출부(90)는, 검출 수단(68) 및 절입 이송 수단(28)으로부터 입력된 신호에 기초하여, 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드의 외경을 산출한다. 예컨대 기억부(98)에는, 검출 수단(68)의 투광부(72a)로부터 수광부(72b)에 조사된 광(도 3 참조)이 절삭 블레이드에 의해 차단되었을 때의 절삭 수단(26)의 높이 위치와, 상기 절삭 블레이드의 외경의 관계를 나타내는 정보가 미리 기억되어 있다. 그리고, 외경 산출부(90)는, 기억부(98)에 기억되어 있는 정보를 참조하여, 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드의 외경을 특정한다.
외경 산출부(90)에 의해 산출된 외경의 값은, 블레이드 판정부(92)에 입력된다. 그리고, 블레이드 판정부(92)는, 외경 산출부(90)로부터 입력된 외경에 기초하여, 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드가 미사용의 절삭 블레이드인지 아닌지를 판정한다. 구체적으로는, 기억부(98)에는, 사용 완료한 절삭 블레이드(40)와 교환되어야 하는 미사용의 절삭 블레이드의 외경의 값(기준 외경치)이 미리 기억되어 있다. 이 기준 외경치는, 블레이드 교환 화면(100)의 제1 표시부(102)(표시란(102e))에 표시되어 있는 미사용의 절삭 블레이드의 외경의 값에 상당한다.
그리고, 블레이드 판정부(92)는, 외경 산출부(90)로부터 입력된 외경의 값과 기준 외경치를 비교한다. 여기서, 절삭 수단(26)에 미사용의 절삭 블레이드가 바르게 장착되어 있는 경우에는, 외경 산출부(90)에 의해 산출된 외경의 값과 기준 외경치가 일치하거나, 또는 그 차가 소정의 오차 범위 내(예컨대 ±10 ㎛)에 들어간다. 이 경우, 블레이드 판정부(92)는 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드의 외경이 교환용의 블레이드의 외경에 대응한다고 판단하고(단계 S9에서 YES), 절삭 블레이드의 교환을 허가한다(단계 S10).
절삭 블레이드의 교환이 허가되면, 블레이드 교환 화면(100)의 제1 표시부(102)에 표시되어 있는 정보가 확정되어 기억부(98)에 기억됨과 더불어, 제2 표시부(104)에 표시되어 있는 정보가 리셋된다. 이것에 의해, 절삭 블레이드의 교환 작업이 완료된다.
한편, 절삭 블레이드의 착탈이 행해지지 않고, 사용 완료한 절삭 블레이드(40)가 절삭 수단(26)에 장착된 상태인 채로 되어 있는 경우에는, 외경 산출부(90)에 의해 산출된 외경의 값이 기준 외경치보다 작아진다. 그리고, 블레이드 판정부(92)는, 외경 산출부(90)로부터 입력된 외경의 값과 기준 외경치가 상이하거나, 또는 그 차가 소정의 오차 범위에서 벗어나는 경우, 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드의 외경이 교환용의 블레이드의 외경에 대응하지 않는다고 판단하고(단계 S9에서 NO), 블레이드의 교환을 허가하지 않는다(단계 S5). 그리고, 커버(86c)의 개폐가 확인되지 않은 경우와 마찬가지로, 경고의 발신(단계 S6) 및 제2 표시부(104)의 표시의 복귀(단계 S7)가 행해진다.
절삭 장치(2)가 경고를 발했을 때에는, 오퍼레이터는 절삭 수단(26)에 미사용의 절삭 블레이드를 바르게 장착한 후, 블레이드 교환 화면(100)의 종료 키(106)를 다시 선택한다. 이것에 의해, 절삭 블레이드의 교환 작업이 완료되고, 미사용의 절삭 블레이드를 이용한 피가공물(11)의 가공을 시작할 수 있는 상태가 된다.
상기 절삭 장치(2)의 동작은 제어부(88)에 의해 제어된다. 구체적으로는, 기억부(98)에는 도 5에 도시하는 일련의 동작을 설명하는 프로그램이 기억되어 있고, 제어부(88)는 기억부(98)로부터 상기 프로그램을 독출하여 실행한다. 이것에 의해, 절삭 장치(2)의 각 구성 요소의 동작을 제어하는 제어 신호가 생성되고, 절삭 블레이드의 교환 처리가 실현된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관한 절삭 장치(2)에서는, 절삭 수단(26)에 장착된 절삭 블레이드의 외경이 미사용의 절삭 블레이드의 외경에 대응하지 않는 경우, 또는, 절삭 수단(26)을 폐색하는 커버(86c)가 개방된 정보가 없는 경우에는, 블레이드 교환 화면(100)의 종료 키(106)가 선택되어도 절삭 블레이드의 교환이 허가되지 않고, 경고가 발생한다. 그 때문에, 피가공물(11)이 의도치 않게 사용 완료한 절삭 블레이드로 가공되는 것이 방지됨과 더불어, 절삭 블레이드의 교환이 바르게 행해지지 않았다는 취지를 오퍼레이터가 용이하게 인식할 수 있다. 이것에 의해, 절삭 블레이드의 교환을 확실하게 실시하는 것이 가능해져, 가공 불량의 발생이 방지된다.
또, 본 실시형태에서는, 커버(86c)의 개폐 유무(단계 S4)와, 절삭 블레이드의 외경의 대응 관계(단계 S9)에 기초하여, 절삭 수단(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드가 사용 완료인지 미사용인지를 판정하는 예에 관해 설명했다. 다만, 절삭 장치(2)는, 커버(86c)의 개폐 유무와 절삭 블레이드의 외경의 대응 관계의 한쪽에만 기초하여, 절삭 블레이드가 사용 완료인지 미사용인지를 판정해도 좋다.
기타, 상기 실시형태에 관한 구조, 방법 등은, 본 발명이 목적으로 하는 범위를 일탈하지 않는 한 적절하게 변경하여 실시할 수 있다.
11: 피가공물 13: 웨이퍼
15: 테이프(다이싱 테이프) 17: 프레임
2: 절삭 장치 4: 베이스
4a: 개구 4b: 개구
6: 카세트 지지대 8: 카세트
10: 반송 수단(반송 유닛) 10a: 파지부
12: 임시 거치 영역 14: 가이드 레일
16: 반송 수단(반송 유닛)
18: 가공 이송 수단(제1 이동 유닛) 18a: 이동 테이블
20: 방진 방적 커버 22: 유지 수단(유지 테이블)
22a: 유지면 24: 클램프
26: 절삭 수단(절삭 유닛)
28: 절입 이송 수단(제2 이동 유닛)
30: 하우징 32: 회전축(스핀들)
34: 플랜지(마운트) 36: 플랜지부
36a: 표면 36b: 볼록부
38: 지지축 38a: 나사부
40: 절삭 블레이드 42: 베이스
42a: 개구 42b: 파지부
44: 절삭날 46: 고정 너트
46a: 개구 48: 블레이드 커버
48a, 48b: 나사 구멍 50: 파이프
52: 노즐 54: 착탈 커버
54a: 둥근 구멍 56: 파이프
58: 노즐 60: 나사
62: 착탈 커버 62a: 둥근 구멍
64: 나사 66: 촬상 수단(촬상 유닛)
68: 검출 수단(검출 유닛) 70: 베이스
70a: 오목부 72a: 투광부
72b: 수광부 74: 세정 수단(세정 유닛)
76: 반송 수단(반송 유닛) 78: 지지대
80: 표시 수단(표시부, 표시 유닛)
82: 입력 수단(입력부, 입력 유닛) 84: 프레임체
86a, 86b, 86c: 커버
88: 제어부(제어 수단, 제어 유닛) 90: 외경 산출부
92: 블레이드 판정부 94: 커버 개폐 판정부
96: 구동부 98: 기억부
100: 블레이드 교환 화면
102: 제1 표시부(미사용 블레이드 정보 표시부)
102a, 102b, 102c, 102d, 102e, 102f, 102g, 102h: 표시란
104: 제2 표시부(블레이드 사용 정보 표시부)
104a, 104b, 104c, 104d: 표시란
106: 종료 키(확정 키)

Claims (4)

  1. 피가공물을 유지하는 유지 수단과,
    상기 유지 수단에 의해 유지되는 상기 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비하는 절삭 수단과,
    상기 유지 수단과 상기 절삭 수단을 가공 이송 방향을 따라 상대적으로 이동시키는 가공 이송 수단과,
    상기 절삭 수단을 절입 방향을 따라 이동시키는 절입 이송 수단과,
    상기 절삭 블레이드의 선단 위치를 검출하는 검출 수단과,
    상기 절삭 수단이 설치된 가공 영역을 폐색하는 개폐 가능한 커버와,
    표시 수단을 포함하여 구성되는, 절삭 장치에 있어서,
    상기 절삭 수단은, 회전축과, 상기 회전축을 회전 가능하게 지지하는 하우징과, 상기 회전축의 선단부에 설치되고 상기 절삭 블레이드가 착탈 가능하게 장착되는 플랜지를 포함하고,
    상기 표시 수단은, 블레이드 교환 화면을 표시하고,
    상기 블레이드 교환 화면은, 상기 절삭 블레이드와 교환되는 미사용의 절삭 블레이드의 외경 및 날끝이 나오는 양을 표시하는 제1 표시부와, 상기 절삭 블레이드의 날끝의 소모량을 표시하는 제2 표시부와, 상기 절삭 블레이드의 교환 처리를 종료시키는 종료 키를 포함하고,
    상기 종료 키가 선택되면, 상기 검출 수단에 의해 상기 절삭 블레이드의 선단 위치가 검출되고,
    상기 절삭 수단에 장착된 상기 절삭 블레이드의 외경이 상기 제1 표시부에 표시되는 상기 미사용의 절삭 블레이드의 외경에 대응하는 경우는 상기 절삭 블레이드의 교환을 허가하고, 상기 절삭 수단에 장착된 상기 절삭 블레이드의 외경이 상기 제1 표시부에 표시되는 상기 미사용의 절삭 블레이드의 외경에 대응하지 않는 경우는 상기 절삭 블레이드의 교환을 허가하지 않고 경고를 발하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2 표시부에 표시되는 상기 소모량은 백업되고,
    상기 종료 키가 선택된 경우에도 상기 제2 표시부에 상기 소모량을 복귀시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 표시 수단에 상기 블레이드 교환 화면이 표시되면 상기 커버의 개폐가 가능해지고,
    상기 커버가 개방된 정보가 없음에도 불구하고 상기 종료 키가 선택되면, 상기 검출 수단에 의해 상기 절삭 블레이드의 선단 위치가 검출되기 전에, 상기 절삭 블레이드의 교환을 허가하지 않고 경고를 발하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
  4. 피가공물을 유지하는 유지 수단과,
    상기 유지 수단에 의해 유지되는 상기 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 회전 가능하게 구비하는 절삭 수단과,
    상기 유지 수단과 상기 절삭 수단을 가공 이송 방향을 따라 상대적으로 이동시키는 가공 이송 수단과,
    상기 절삭 수단을 절입 방향을 따라 이동시키는 절입 이송 수단과,
    상기 절삭 수단이 설치된 가공 영역을 폐색하는 개폐 가능한 커버와,
    표시 수단을 포함하여 구성되는, 절삭 장치에 있어서,
    상기 절삭 수단은, 회전축과, 상기 회전축을 회전 가능하게 지지하는 하우징과, 상기 회전축의 선단부에 설치되고 절삭 블레이드가 착탈 가능하게 장착되는 플랜지를 포함하고,
    상기 표시 수단은, 블레이드 교환 화면을 표시하고,
    상기 블레이드 교환 화면은, 상기 절삭 블레이드와 교환되는 미사용의 절삭 블레이드의 외경 및 날끝이 나오는 양을 표시하는 제1 표시부와, 상기 절삭 블레이드의 날끝의 소모량을 표시하는 제2 표시부와, 상기 절삭 블레이드의 교환 처리를 종료시키는 종료 키를 포함하고,
    상기 표시 수단에 상기 블레이드 교환 화면이 표시되면 상기 커버의 개폐가 가능해지고,
    상기 커버가 개방된 정보가 없음에도 불구하고 상기 종료 키가 선택되면, 상기 절삭 블레이드의 교환을 허가하지 않고 경고를 발하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
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