KR20210068990A - 가공 장치 - Google Patents

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하루노부 유자와
겐이치 후지에
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

[과제] 가공 효율의 저하를 억제하는 것이 가능한 가공 장치를 제공한다.
[해결수단] 피가공물을 각각 1장씩 수용하는 복수의 수용 선반을 구비하는 카세트가 배치되는 카세트 배치대와, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 피가공물을 반송하는 반송 유닛과, 척 테이블에 의해 유지된 피가공물을 가공하는 가공 유닛과, 제어부를 구비하는 가공 장치로서, 반송 유닛은, 카세트 배치대에 배치된 카세트가 구비하는 복수의 수용 선반을 1단씩 검사하여, 복수의 수용 선반에 수용되어 있는 피가공물을 검출하는 피가공물 검출부와, 카세트 배치대에 배치된 카세트로부터 피가공물을 반출하는 반송부를 구비한다.

Description

가공 장치{MACHINING APPARATUS}
본 발명은 피가공물을 반송하여 가공하는 가공 장치에 관한 것이다.
IC(Integrated Circuit), LSI(Large Scale Integration) 등의 디바이스가 복수 형성된 반도체 웨이퍼를 분할함으로써, 디바이스를 각각 구비하는 복수의 디바이스 칩이 제조된다. 또한, 기판 상에 실장된 복수의 디바이스 칩을 수지를 포함하는 밀봉재(몰드 수지)로 피복함으로써 얻어진 패키지 기판을 분할함으로써, 복수의 디바이스 칩이 패키지화된 패키지 디바이스가 제조된다.
최근에는, 전자 기기의 소형화, 박형화에 따라, 디바이스 칩이나 패키지 디바이스에도 박형화가 요구되고 있다. 그래서, 분할 전의 반도체 웨이퍼, 패키지 기판에 연삭 가공이나 연마 가공을 실시함으로써, 반도체 웨이퍼, 패키지 기판을 박화하는 방법이 이용되고 있다.
반도체 웨이퍼나 패키지 기판의 분할에는, 환형의 절삭 블레이드로 피가공물을 가공하는 절삭 장치나, 레이저 빔의 조사에 의해 피가공물을 가공하는 레이저 가공 장치 등이 이용된다. 또한, 반도체 웨이퍼나 패키지 기판의 박화에는, 연삭 지석으로 피가공물을 연삭하는 연삭 장치나, 연마 패드로 피가공물을 연마하는 연마 장치 등이 이용된다.
상기와 같은 각종 가공 장치에는, 복수의 피가공물을 수용 가능한 카세트가 배치되는 카세트 배치대가 구비되어 있다. 그리고, 가공 장치는, 가공 전의 피가공물을 카세트로부터 반출하여, 피가공물을 가공하고, 가공 후의 피가공물의 카세트에 반입한다고 하는 일련의 처리를 자동으로 실시한다.
카세트 배치대에 배치되는 카세트는, 피가공물을 수용 가능한 복수의 수용 선반을 구비하고 있고, 각 수용 선반에 소정의 피가공물이 각각 1장씩 수용된다. 그러나, 예컨대 수용 선반에 피가공물을 잊고 넣지 않은 경우나, 잘못해서 피가공물이 기운 상태로 복수단의 수용 선반에 걸쳐 수용되어 있는 경우 등, 피가공물이 수용 선반에 적절하게 수용되지 못한 경우가 있다. 이 경우, 카세트로부터 피가공물이 적절하게 반출되지 않아, 가공 장치에 의한 피가공물의 가공에 지장을 초래할 우려가 있다.
그래서, 카세트로부터 피가공물이 반출되기 전에, 피가공물을 수용한 상태의 카세트를 검사하는 방법이 제안되어 있다. 예컨대 특허문헌 1에는, 카세트에 수용된 피가공물을 광 센서에 의해 검출함으로써, 카세트에 피가공물이 적절하게 수용되어 있는지의 여부를 확인하는 것이 가능한 절삭 장치가 개시되어 있다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2001-110756호 공보
상기한 바와 같이, 가공 장치에서 피가공물을 가공할 때에는, 먼저, 카세트 배치대에 배치된 카세트에 복수의 피가공물이 적절하게 수용되어 있는지의 여부를 확인하기 위한 검사가 실시되는 경우가 있다. 이 경우, 예컨대 센서에 의해 피가공물을 검출하는 작업이, 카세트가 구비하는 모든 수용 선반에 대하여 실시된다. 그리고, 수용 선반에 적절하게 수용되어 있는 것이 확인된 피가공물만이, 카세트로부터 반출되어 가공된다.
그러나, 카세트가 구비하는 모든 수용 선반에 대하여 검사가 완료될 때까지는 카세트로부터 피가공물을 반출할 수 없어, 피가공물의 가공이 개시되지 않는다. 그 때문에, 카세트의 검사를 실시하면, 가공이 행해지지 않는 대기 시간이 길어져, 가공 장치에 의한 피가공물의 가공 효율이 저하하여 버린다.
본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 가공 효율의 저하를 억제하는 것이 가능한 가공 장치의 제공을 목적으로 한다.
본 발명의 일양태에 따르면, 피가공물을 각각 1장씩 수용하는 복수의 수용 선반을 구비하는 카세트가 배치되는 카세트 배치대와, 상기 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 상기 피가공물을 반송하는 반송 유닛과, 상기 척 테이블에 의해 유지된 상기 피가공물을 가공하는 가공 유닛과, 제어부를 구비하는 가공 장치로서, 상기 반송 유닛은, 상기 카세트 배치대에 배치된 상기 카세트가 구비하는 복수의 상기 수용 선반을 1단씩 검사하여, 복수의 상기 수용 선반에 수용되어 있는 상기 피가공물을 검출하는 피가공물 검출부와, 상기 카세트 배치대에 배치된 상기 카세트로부터 상기 피가공물을 반출하는 반송부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 카세트에 수용된 상기 피가공물 중 상기 피가공물 검출부에 의해 가장 먼저 검출된 하나의 피가공물을, 상기 수용 선반으로부터 상기 척 테이블로 상기 반송부에 의해 반송하며, 상기 하나의 피가공물이 상기 반송 유닛에 의해 반송되고 있는 동안, 또는, 상기 하나의 피가공물이 상기 가공 유닛에 의해 가공되고 있는 동안에, 복수의 상기 수용 선반 중, 상기 하나의 피가공물이 수용되어 있던 수용 선반 이외의 수용 선반을 상기 피가공물 검출부에 의해 검사하여, 복수의 상기 수용 선반마다 상기 피가공물의 유무를 기록하는 가공 장치가 제공된다.
또한, 바람직하게는, 상기 가공 장치는, 통지부를 더 구비하고, 상기 제어부는, 상기 수용 선반에 수용된 상기 피가공물이 정상 상태인지 이상 상태인지를 판정하는 판정부를 구비하며, 상기 판정부에 의해 정상 상태라고 판정된 상기 피가공물만을 상기 반송부에 의해 상기 카세트로부터 반출하고, 복수의 상기 수용 선반에 수용된 상기 피가공물 중 어느 하나가 상기 판정부에 의해 이상 상태라고 판정되면, 상기 제어부는 이상 상태의 상기 피가공물이 존재하는 것을 상기 통지부에 통지시킨다.
본 발명의 일양태에 따른 가공 장치에서는, 피가공물 검출부에 의해 가장 먼저 검출된 하나의 피가공물이 수용 선반으로부터 반송되고, 그 피가공물의 반송 또는 가공이 행해지고 있는 동안에, 다른 수용 선반이 피가공물 검출부에 의해 검사된다. 이에 의해, 피가공물의 반출의 대기 시간이 단축되어, 가공 효율의 저하가 억제된다.
도 1은 가공 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2의 (a)는 카세트를 나타내는 사시도이고, 도 2의 (b)는 카세트를 나타내는 정면도이다.
도 3은 1단째의 수용 선반이 검사되는 모습을 나타내는 일부 단면 정면도이다.
도 4는 카세트로부터 피가공물이 반출되는 모습을 나타내는 일부 단면 정면도이다.
도 5는 2단째 이후의 수용 선반이 검사되는 모습을 나타내는 일부 단면 정면도이다.
도 6은 가공 장치의 동작 흐름을 나타내는 흐름도이다.
도 7은 제어부의 구성예를 나타내는 블록도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일양태에 따른 실시형태를 설명한다. 먼저, 본 실시형태에 따른 가공 장치의 구성예를 설명한다. 도 1은 가공 장치(2)를 나타내는 사시도이다. 가공 장치(2)는, 피가공물(11)에 절삭 가공을 실시하는 절삭 장치이다.
가공 장치(2)는, 가공 장치(2)를 구성하는 각 구성 요소를 지지하는 베이스(4)를 구비한다. 베이스(4)의 전방측의 각부에는 직사각형상의 개구(4a)가 형성되어 있고, 개구(4a)의 측방에는, 길이 방향이 X축 방향(전후 방향, 가공 이송 방향)을 따르는 직사각형상의 개구(4b)가 형성되어 있다.
개구(4a)의 내부에는, 복수의 피가공물(11)을 수용 가능한 카세트(8)가 배치되는 카세트 배치대(카세트 엘리베이터)(6)가 마련되어 있다. 카세트 배치대(6)는 승강 기구(도시하지 않음)를 구비하고 있고, 이 승강 기구에 의해 Z축 방향(연직 방향, 상하 방향)을 따라 승강한다. 또한, 도 1에서는 카세트(8)의 윤곽을 2점 쇄선으로 나타내고 있다.
카세트(8)에는, 가공 장치(2)에 의해 가공되는 복수의 피가공물(11)이 수용된다. 예컨대 피가공물(11)은, 실리콘 등을 포함하여 원반형으로 형성된 웨이퍼(13)를 구비한다. 웨이퍼(13)는, 서로 교차하도록 격자형으로 배열된 복수의 분할 예정 라인(스트리트)에 의해 복수의 영역으로 구획되어 있다. 또한, 이 영역의 표면측에는 각각, IC(Integrated Circuit), LSI(Large Scale Integration) 등의 디바이스가 형성되어 있다. 가공 장치(2)에 의해 웨이퍼(13)를 분할 예정 라인을 따라 절삭하여 분할하면, 디바이스를 각각 구비하는 복수의 디바이스 칩이 얻어진다.
웨이퍼(13)의 이면측에는, 수지 등을 포함하여 웨이퍼(13)보다 직경이 큰 원형의 테이프(다이싱 테이프)(15)가 첩부되어 있다. 또한, 테이프(15)의 외주부에는, 금속을 포함하여 중앙부에 웨이퍼(13)보다 직경이 큰 원형의 개구를 구비하는 환형의 프레임(17)이 첩부되어 있다. 이에 의해, 웨이퍼(13)는 테이프(15)를 통해 프레임(17)에 의해 지지된다. 즉, 도 1에 나타내는 피가공물(11)은, 웨이퍼(13), 테이프(15) 및 프레임(17)을 포함하는 프레임 유닛이다.
단, 가공 장치(2)에 의해 가공되는 피가공물(11)의 종류, 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예컨대 피가공물(11)은, 실리콘 이외의 반도체(GaAs, InP, GaN, SiC 등), 유리, 세라믹스, 수지, 금속 등을 포함하는 웨이퍼(13)를 구비하고 있어도 좋다. 또한, 웨이퍼(13)에 형성되는 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에도 제한은 없고, 웨이퍼(13)에는 디바이스가 형성되지 않아도 좋다.
또한, 피가공물(11)은, 프레임(17)에 지지되지 않은 웨이퍼(13), 또는, 테이프(15)가 첩부되지 않은 웨이퍼(13)를 구비하고 있어도 좋다. 또한, 피가공물(11)은, CSP(Chip Size Package) 기판, QFN(Quad Flat Non-leaded package) 기판 등의 패키지 기판이어도 좋다.
도 2의 (a)는 카세트(8)를 나타내는 사시도이고, 도 2의 (b)는 카세트(8)를 나타내는 정면도이다. 예컨대 카세트(8)는, 직방체형의 상자형으로 형성되고, 그 내부에 복수의 피가공물(11)을 수용 가능한 수용부(8a)를 구비한다. 예컨대 수용부(8a)는 직방체형으로 형성되고, 카세트(8)의 하나의 측면(8b)에서 개구하는 직사각형상의 개구를 통해, 카세트(8)의 외부의 공간에 접속되어 있다. 피가공물(11)의 반송(카세트로부터의 반출 및 카세트에의 반입)은, 이 개구를 통해 행해진다.
수용부(8a)에는, 피가공물(11)을 지지하는 한쌍의 가이드 레일(10)이 연직 방향(상하 방향)에 복수단 마련되어 있다. 한쌍의 가이드 레일(10)은 각각, 피가공물(11)이 반출 및 반입되는 방향[카세트(8)의 측면(8b)에 수직인 방향]을 따라 대략 수평으로 배치되고, 수용부(8a)의 내부에서 서로 대면하는 카세트(8)의 측벽(8c, 8d)에 고정되어 있다.
도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 한쌍의 가이드 레일(10)의 상면은 각각, 피가공물(11)의 하면측[예컨대, 프레임(17)의 하면측]을 유지하는 유지면(10a)을 구성하고 있다. 한쌍의 유지면(10a)은 대략 동일한 높이 위치에 배치되어 있고, 피가공물(11)을 대략 수평으로 유지한다.
한쌍의 가이드 레일(10) 상에는 각각, 피가공물(11)이 수용되는 수용 선반(수용 공간)(12)이 형성되어 있다. 1단째(최상단)의 수용 선반(12)[수용 선반(12a)]은, 피가공물(11)이 1단째(최상단)의 가이드 레일(10)에 의해 유지되는 공간에 상당한다. 또한, 2단째 이후의 수용 선반(12)은, 연직 방향에 있어서 인접하는 2단의 가이드 레일(10) 사이의 공간에 상당한다.
카세트(8)가 구비하는 수용 선반(12)의 수는, 카세트(8)가 수용 가능한 피가공물(11)의 매수에 상당한다. 또한, 수용 선반(12)의 수는 임의로 설정할 수 있다. 또한, 한쌍의 가이드 레일(10)의 간격이나, 연직 방향에 있어서 인접하는 가이드 레일(10)의 간격은, 피가공물(11)의 치수 등에 따라 적절하게 설정된다.
카세트(8)는, 복수의 피가공물(11)을 수용한 상태에서, 도 1에 나타내는 카세트 배치대(6) 상에 배치된다. 이때 카세트(8)는, 개구가 형성되어 있는 측면(8b)이 가공 장치(2)의 중앙측[개구(4b)측]을 향하도록 배치된다.
또한, 베이스(4)의 개구(4a)에는, 한쌍의 피가공물 검출부(센서)(14)가 마련되어 있다. 한쌍의 피가공물 검출부(14)는, 카세트 배치대(6) 상에 배치된 카세트(8)의 측면(8b)[도 2의 (a) 및 도 2의 (b) 참조]과 대향하는 위치에 배치되어 있다. 피가공물 검출부(14)는, 예컨대 광전 센서에 의해 구성되고, 카세트(8)에 수용되어 있는 피가공물(11)을 검출한다. 또한, 피가공물 검출부(14)를 이용한 수용 선반(12)의 검사의 상세에 대해서는 후술한다(도 3∼도 5 참조).
개구(4b)의 내부에는, 볼 나사식의 이동 기구(16)와, 이동 기구(16)의 일부를 덮는 방진 방적 커버(18)가 배치되어 있다. 이동 기구(16)는, 방진 방적 커버(18)로부터 노출되는 이동 테이블(16a)을 구비하고 있고, 이동 테이블(16a)을 X축 방향을 따라 이동시킨다.
이동 테이블(16a) 상에는, 피가공물(11)을 유지하는 척 테이블(유지 테이블)(20)이 마련되어 있다. 척 테이블(20)의 상면은, 피가공물(11)을 유지하는 유지면(20a)을 구성한다. 유지면(20a)은, 척 테이블(20)의 내부에 형성된 흡인로(도시하지 않음)를 통해, 이젝터 등의 흡인원(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 또한, 척 테이블(20)의 주위에는, 피가공물(11)[예컨대 프레임(17)]을 파지하여 고정하는 복수의 클램프(22)가 마려되어 있다.
이동 기구(16)는, 척 테이블(20)을 이동 테이블(16a)과 함께 X축 방향을 따라 이동시킨다(가공 이송). 또한, 척 테이블(20)은 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)에 접속되어 있고, 이 회전 구동원은 척 테이블(20)을 Z축 방향에 대략 평행한 회전축의 둘레로 회전시킨다.
개구(4b)의 상측에는, Y축 방향(좌우 방향, 인덱싱 이송 방향)과 대략 평행한 상태를 유지하면서, 서로 접근 및 이격하는 한쌍의 가이드 레일(24)이 마련되어 있다. 한쌍의 가이드 레일(24)은 각각, 피가공물(11)[예컨대 프레임(17)]의 하면측을 지지하는 지지면과, 지지면에 대략 수직이며 피가공물(11)[예컨대 프레임(17)]의 외주 가장자리와 접촉하는 측면을 구비한다. 한쌍의 가이드 레일(24)은, 피가공물(11)을 X축 방향을 따라 사이에 끼워, 피가공물(11)의 위치맞춤을 행한다.
베이스(4)의 상방에는, 도어형의 제1 지지 구조(26)가 개구(4b)를 걸치도록 배치되어 있다. 제1 지지 구조(26)의 전면측[가이드 레일(24)측]에는, 레일(28)이 Y축 방향을 따라 고정되어 있다. 이 레일(28)에는, 이동 기구(30)를 통해 제1 반송부(제1 반송 기구)(32)가 연결되어 있다.
제1 반송부(32)는, 피가공물(11)의 상면[예컨대 프레임(17)의 상면]에 접촉하여 피가공물(11)을 흡인 유지한다. 또한, 제1 반송부(32)는, 이동 기구(30)에 의해 승강하며, 레일(28)을 따라 Y축 방향으로 이동한다. 제1 반송부(32)는, 카세트(8)와 가이드 레일(24) 사이 및 가이드 레일(24)과 척 테이블(20) 사이에서, 피가공물(11)을 반송한다.
제1 반송부(32)의 개구(4a)측[카세트(8)측]의 선단부에는, 피가공물(11)을 파지하는 파지부(파지 기구)(32a)가 마련되어 있다. 카세트(8)에 수용된 피가공물(11)의 단부[예컨대 프레임(17)의 단부]를 파지부(32a)에서 파지한 상태로, 제1 반송부(32)를 Y축 방향을 따라 이동시킴으로써, 피가공물(11)이 카세트(8)로부터 한쌍의 가이드 레일(24) 상에 인출된다. 또한, 한쌍의 가이드 레일(24) 상에 배치된 피가공물(11)을 파지부(32a)에서 파지한 상태로, 제1 반송부(32)를 Y축 방향을 따라 이동시킴으로써, 피가공물(11)이 카세트(8)에 수용된다.
또한, 제1 지지 구조(26)의 전면측에는, 레일(34)이 Y축 방향을 따라 고정되어 있다. 이 레일(34)에는, 이동 기구(36)를 통해 제2 반송부(제2 반송 기구)(38)가 연결되어 있다. 제2 반송부(38)는, 피가공물(11)의 상면[예컨대 프레임(17)의 상면]에 접촉하여 피가공물(11)을 흡인 유지한다. 또한, 제2 반송부(38)는, 이동 기구(36)에 의해 승강하며, 레일(34)을 따라 Y축 방향으로 이동한다. 제2 반송부(38)는, 척 테이블(20)과 세정 유닛(50) 사이 및 세정 유닛(50)과 가이드 레일(24) 사이에서, 피가공물(11)을 반송한다.
제1 지지 구조(26)의 후방에는, 도어형의 제2 지지 구조(40)가 개구(4b)를 걸치도록 배치되어 있다. 제2 지지 구조(40)의 전면측[제1 지지 구조(26)측]의 양측 단부에는, 볼 나사식의 한쌍의 이동 기구(42a, 42b)가 고정되어 있다. 또한, 이동 기구(42a)의 하부에는 가공 유닛(44a)이 고정되어 있고, 이동 기구(42b)의 하부에는 가공 유닛(44b)이 고정되어 있다. 가공 유닛(44a, 44b)은, 환형의 절삭 블레이드(46)에 의해 피가공물(11)[예컨대 웨이퍼(13)]을 절삭하는 절삭 유닛이다.
이동 기구(42a)에 의해 가공 유닛(44a)을 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동시킴으로써, 가공 유닛(44a)의 Y축 방향 및 Z축 방향에 있어서의 위치가 조절된다. 또한, 이동 기구(42b)에 의해 가공 유닛(44b)을 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동시킴으로써, 가공 유닛(44b)의 Y축 방향 및 Z축 방향에 있어서의 위치가 조절된다.
가공 유닛(44a, 44b)은 각각 통형의 하우징을 구비하고 있고, 이 하우징에는 원통형의 스핀들(도시하지 않음)이 수용되어 있다. 스핀들은, Y축 방향을 따라 배치되어 있고, 스핀들의 선단부(일단측)는 하우징의 외부에 노출되어 있다. 스핀들의 선단부에는 환형의 절삭 블레이드(46)가 장착되고, 스핀들의 기단부(타단측)에는 스핀들을 회전시키는 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)이 연결되어 있다.
절삭 블레이드(46)는, 피가공물(11)에 절입하여 피가공물(11)을 절삭하는 가공 공구이며, 다이아몬드, 입방정 질화 붕소(cBN: cubic Boron Nitride) 등을 포함하는 지립을 본드재로 고정함으로써 형성된다. 예컨대, 절삭 블레이드(46)로서, 지립이 니켈 도금 등으로 고정된 절삭날을 구비하는 전주 허브 블레이드나, 지립이 금속, 세라믹스, 수지 등을 포함하는 본드재로 고정된 절삭날에 의해 구성되는 환형의 블레이드(와셔 블레이드)가 이용된다. 또한, 절삭 블레이드에 포함되는 지립 및 본드재의 재질에 제한은 없고, 피가공물(11)의 재질, 절삭 가공의 내용 등에 따라 적절하게 선택된다.
가공 유닛(44a, 44b)에 인접하는 위치에는 각각, 척 테이블(20)에 의해 유지된 피가공물(11) 등을 촬상하는 촬상 유닛(카메라)(48)이 마련되어 있다. 촬상 유닛(48)에 의해 취득된 화상은, 척 테이블(20)에 의해 유지된 피가공물(11)과, 가공 유닛(44a, 44b)의 위치맞춤 등에 이용된다.
예컨대, 웨이퍼(13), 테이프(15) 및 프레임(17)을 구비하는 피가공물(11)을 가공하는 경우에는, 척 테이블(20) 상에 테이프(15)를 통해 웨이퍼(13)를 배치하며, 클램프(22)로 프레임(17)을 고정한다. 이 상태에서, 유지면(20a)에 흡인원의 부압을 작용시키면, 웨이퍼(13)가 테이프(15)를 통해 척 테이블(20)에 의해 흡인 유지된다. 그리고, 웨이퍼(13)를 향하여 순수 등의 절삭액을 공급하면서, 가공 유닛(44a) 또는 가공 유닛(44b)에 장착된 절삭 블레이드(46)를 회전시켜 웨이퍼(13)에 절입시킴으로써, 웨이퍼(13)가 절삭된다.
또한, 도 1에서는, 가공 장치(2)가 2조의 가공 유닛(44a, 44b)을 구비하고, 한쌍의 절삭 블레이드(46)가 서로 대면하도록 배치되는, 소위 페이싱 듀얼 스핀들 타입의 절삭 장치인 예를 나타내고 있다. 단, 가공 장치(2)에 마련되는 가공 유닛의 수는 1조여도 좋다.
개구(4b)의 개구(4a)와는 반대측의 측방에는, 세정 유닛(50)이 배치되어 있다. 세정 유닛(50)은, 원통형의 세정 공간 내에서 피가공물(11)을 유지하는 스피너 테이블(52)을 구비한다. 스피너 테이블(52)에는, 스피너 테이블(52)을 소정의 속도로 회전시키는 회전 구동원(도시하지 않음)이 연결되어 있다.
스피너 테이블(52)의 상방에는, 스피너 테이블(52)에 의해 유지된 피가공물(11)을 향하여 세정용의 유체(예컨대, 물과 에어가 혼합된 혼합 유체)를 공급하는 노즐(54)이 배치되어 있다. 피가공물(11)을 유지한 스피너 테이블(52)을 회전시키면서, 노즐(54)로부터 피가공물(11)을 향하여 유체를 공급함으로써, 피가공물(11)이 세정된다.
가공 유닛(44a, 44b)에 의한 가공 후, 피가공물(11)은 제2 반송부(38)에 의해 세정 유닛(50)에 반송되고, 세정 유닛(50)에 의해 세정된다. 그 후, 피가공물(11)은 제2 반송부(38)에 의해 한쌍의 가이드 레일(24) 상에 반송된다. 그리고, 한쌍의 가이드 레일(24)에 의한 위치맞춤이 행해진 후, 제1 반송부(32)는 파지부(32a)에서 피가공물(11)을 파지하여, 피가공물(11)을 카세트(8)에 수용한다.
베이스(4)의 상측에는, 베이스(4) 상에 배치된 각 구성 요소를 덮는 커버(56)가 마련되어 있다. 도 1에서는, 커버(56)의 윤곽을 2점 쇄선으로 나타내고 있다. 또한, 커버(56)의 측면측에는, 소정의 정보를 표시하는 표시부(표시 유닛)(58)가 마련되어 있다. 예컨대 표시부(58)는, 사용자 인터페이스가 되는 터치 패널에 의해 구성된다. 이 경우, 표시부(58)는, 소정의 정보를 표시하는 표시부(표시 장치)로서 기능하며, 가공 장치(2)에 정보를 입력하기 위한 입력부(입력 장치)로서도 기능한다.
또한, 커버(56)의 상면측에는, 오퍼레이터에게 소정의 정보를 통지하는 통지부(통지 유닛)(60)가 마련되어 있다. 예컨대 통지부(60)는, 경고등에 의해 구성되고, 가공 장치(2)에서 이상이 발생하였을 때에 점등 또는 점멸하여 오퍼레이터에게 이상을 알린다. 단, 통지부(60)의 구성에 제한은 없다. 예컨대 통지부(60)는, 가공 장치(2)에서 이상이 발생하였을 때에 이상을 알리는 소리(경고음)를 발하는 스피커 등에 의해 구성되어 있어도 좋다. 또한, 표시부(58)에 소정의 정보를 표시시킴으로써, 표시부(58)를 통지부(60)로서 기능시킬 수도 있다.
가공 장치(2)를 구성하는 각 구성 요소[카세트 배치대(6), 피가공물 검출부(14), 이동 기구(16), 척 테이블(20), 클램프(22), 가이드 레일(24), 이동 기구(30), 제1 반송부(32), 이동 기구(36), 제2 반송부(38), 이동 기구(42a, 42b), 가공 유닛(44a, 44b), 촬상 유닛(48), 세정 유닛(50), 표시부(58), 통지부(60) 등]는, 제어부(제어 유닛)(62)에 접속되어 있다. 제어부(62)는, 가공 장치(2)의 각 구성 요소의 동작을 제어한다.
제어부(62)는, 예컨대 컴퓨터에 의해 구성된다. 구체적으로는, 제어부(62)는, 가공 장치(2)의 가동에 필요한 연산 등의 처리를 행하는 처리부와, 처리부에 의한 처리에 이용되는 각종 정보(데이터, 프로그램 등)가 기억되는 기억부를 구비한다. 처리부는, 예컨대 CPU(Central Processing Unit) 등의 프로세서를 포함하여 구성된다. 또한, 기억부는, ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 등의 메모리에 의해 구성된다. 처리부와 기억부는, 버스를 통해 서로 접속되어 있다.
카세트(8)에 수용된 피가공물(11)은, 후술하는 바와 같이 피가공물 검출부(14)에 의한 검사가 실시된 후, 제1 반송부(32)에 의해 1장씩 카세트(8)로부터 척 테이블(20)에 반송되어, 가공 유닛(44a, 44b)에 의해 가공된다. 또한, 가공 후의 피가공물(11)은, 제2 반송부(38)에 의해 세정 유닛(50)에 반송되어 세정된 후, 제1 반송부(32) 및 제2 반송부(38)에 의해 반송되어, 카세트(8)에 수용된다. 상기 피가공물 검출부(14), 제1 반송부(32), 제2 반송부(38)에 의해, 피가공물(11)을 반송하는 반송 유닛(64)이 구성된다.
여기서, 카세트(8)에 피가공물(11)이 적절하게 수용되지 않으면, 제1 반송부(32)에 의해 카세트(8)로부터 피가공물(11)을 적절하게 반출할 수 없는 경우가 있다. 예컨대 도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 피가공물(11)을 잊고 넣지 않아, 피가공물(11)이 수용되지 않은 상태의 수용 선반(12)[수용 선반(12b)]이 존재하면, 제1 반송부(32)에 의한 피가공물(11)의 반출이 의도한 대로 실시되지 않는다.
또한, 잘못해서 하나의 피가공물(11)이 기운 상태로 복수단의 수용 선반(12)[수용 선반(12c)]에 걸쳐 수용되는 경우나, 하나의 수용 선반(12)[수용 선반(12d)]에 잘못해서 복수의 피가공물(11)이 수용되는 경우에는, 제1 반송부(32)가 피가공물(11)의 유지에 실패하거나, 반송 중에 피가공물(11)을 낙하시키거나 할 우려가 있다.
그래서, 본 실시형태에 따른 가공 장치(2)에서는, 카세트(8)로부터 피가공물(11)을 제1 반송부(32)에 의해 반출하기 전에, 카세트 배치대(6)에 배치된 카세트(8)의 수용 선반(12)이 피가공물 검출부(14)에 의해 1단씩 검사된다. 구체적으로는, 피가공물 검출부(14)는, 수용 선반(12) 각각에 수용되어 있는 피가공물(11)을 검출한다.
예컨대, 도 1에 나타내는 바와 같이, 베이스(4)의 개구(4a)의 내부에는, 한쌍의 피가공물 검출부(14)가 X축 방향을 따라 설치된다. 또한, 한쌍의 피가공물 검출부(14)는, 서로 대략 동일한 높이 위치(Z축 방향에 있어서의 위치)에 설치된다. 또한, 한쌍의 피가공물 검출부(14)의 간격은, 피가공물(11)의 직경 미만으로 설정된다.
도 3은 1단째의 수용 선반(12)이 검사되는 모습을 나타내는 일부 단면 정면도이다. 수용 선반(12)의 검사를 행할 때는, 먼저, 1단째의 수용 선반(12)[수용 선반(12a)]이 한쌍의 피가공물 검출부(14)보다 하방에 배치되도록, 카세트 배치대(6)의 높이가 조정된다. 그리고, 제어부(62)는, 피가공물 검출부(14)를 작동시키면서, 카세트 배치대(6)를 소정의 속도로 상승시킨다. 그 결과, 먼저 수용 선반(12a)이, 한쌍의 피가공물 검출부(14)와 대향하는 위치(동일의 높이 위치)에 배치된다.
한쌍의 피가공물 검출부(14)는, 예컨대 반사형의 광전 센서에 의해 구성되고, 수용 선반(12)에 수용된 피가공물(11)을 검출한다. 구체적으로는, 한쌍의 피가공물 검출부(14)는 각각, 카세트 배치대(6) 상에 배치된 카세트(8)측을 향하여 광을 조사하는 투광부(발광 소자)와, 반사광을 수광하는 수광부(수광 소자)를 구비한다.
수용 선반(12a)에 피가공물(11)이 수용되어 있는 경우는, 피가공물 검출부(14)로부터 조사된 광이 피가공물(11)의 측면[예컨대 프레임(17)(도 1 참조)의 측면]에서 반사되어, 피가공물 검출부(14)에 입사된다. 한편, 수용 선반(12a)에 피가공물(11)이 수용되지 않은 경우는, 피가공물 검출부(14)로부터 조사된 광이 피가공물(11)에서 반사되는 일은 없다. 그 때문에, 수용 선반(12a)에 피가공물(11)이 수용되어 있는지의 여부에 따라, 피가공물 검출부(14)의 수광량이 다르다.
한쌍의 피가공물 검출부(14)의 수광량은, 전기 신호로 변환되어, 제어부(62)에 출력된다. 그리고, 제어부(62)는, 한쌍의 피가공물 검출부(14)로부터 입력된 신호에 기초하여, 수용 선반(12a)에 피가공물(11)이 수용되어 있는지의 여부를 판정한다.
예컨대, 제어부(62)에는 미리 소정의 임계값이 기억되어 있고, 제어부(62)는, 한쌍의 피가공물 검출부(14)로부터 입력된 신호(검출 신호)가 나타내는 값(검출값)과, 그 임계값을 비교한다. 또한, 검출값은, 피가공물 검출부(14)의 수광량에 상당한다. 그리고, 검출값이 임계값 이상인 경우(또는 임계값을 넘는 경우), 제어부(62)는 피가공물 검출부(14)에 의해 피가공물(11)이 검출되었다고 판정한다. 한편, 검출값이 임계값 미만(또는 임계값 이하)인 경우, 제어부(62)는 피가공물 검출부(14)에 의해 피가공물(11)이 검출되지 않았다고 판정한다.
한쌍의 피가공물 검출부(14)에 의해 수용 선반(12a)에 수용된 피가공물(11)이 검출되면, 수용 선반(12a)에 수용되어 있는 피가공물(11)이 카세트(8)로부터 반출된다. 도 4는 카세트(8)로부터 피가공물(11)이 반출되는 모습을 나타내는 일부 단면 정면도이다.
수용 선반(12a)에 수용된 피가공물(11)이 검출되면, 수용 선반(12a)과 제1 반송부(32)의 파지부(32a)가 동일한 높이에 배치되도록, 카세트 배치대(6)의 높이가 조정된다. 그리고, 제1 반송부(32)가 Y축 방향을 따라 카세트(8)측으로 이동하여, 제1 반송부(32)가 구비하는 파지부(32a)가 수용 선반(12a)에 삽입된다.
파지부(32a)는, 수용 선반(12a)에 수용된 피가공물(11)의 단부를 상하 방향으로부터 파지하여 유지한다. 이 상태에서, 제1 반송부(32)가 Y축 방향을 따라 카세트(8)로부터 떨어지는 방향으로 이동하면, 피가공물(11)이 카세트(8)로부터 반출되어, 한쌍의 가이드 레일(24)(도 1 참조) 상에 배치된다. 또한, 가이드 레일(24)에 의해 피가공물(11)의 위치맞춤이 행해진 후, 제1 반송부(32)에 의해 피가공물(11)이 척 테이블(20)에 반송된다. 그리고, 척 테이블(20)에 의해 유지된 피가공물(11)이, 가공 유닛(44a, 44b)에 의해 가공된다.
또한, 한쌍의 피가공물 검출부(14) 중 어느 것에 의해서도 피가공물(11)이 검출되지 않은 경우는, 수용 선반(12a)에 피가공물(11)이 수용되지 않았다고 판정된다. 이 경우에는, 피가공물 검출부(14)가 작동한 상태에서의 카세트 배치대(6)의 상승이 계속되고, 2단째 이후의 수용 선반(12)이 한쌍의 피가공물 검출부(14)에 의해 1단씩 순차 검사된다. 그리고, 한쌍의 피가공물 검출부(14)에 의해 가장 먼저 검출된 그 피가공물(11)이, 제1 반송부(32)에 의해 카세트(8)로부터 반출된다.
이와 같이, 어느 하나의 수용 선반(12)에 있어서 피가공물(11)이 검출되면, 한쌍의 피가공물 검출부(14)에 의해 나머지 수용 선반(12)이 검사되기 전에, 검출된 피가공물(11)이 카세트(8)로부터 척 테이블(20)에 반송된다. 그 때문에, 모든 수용 선반(12)의 검사가 종료되는 것을 대기하는 일없이, 1장째의 피가공물(11)의 반출이 행해진다.
그리고, 수용 선반(12a)으로부터 반출된 피가공물(11)이 제1 반송부(32)에 의해 반송되고 있는 동안, 또는, 제1 반송부(32)에 의해 반송된 피가공물(11)이 가공 유닛(44a, 44b)에 의해 가공되고 있는 동안에, 수용 선반(12a) 이외의 수용 선반(12)[2단째 이후의 수용 선반(12)]이 한쌍의 피가공물 검출부(14)에 의해 검사된다. 도 5는 2단째 이후의 수용 선반(12)이 검사되는 모습을 나타내는 일부 단면 정면도이다.
수용 선반(12a)으로부터의 피가공물(11)의 반출이 완료되면, 제어부(62)는, 피가공물 검출부(14)를 작동시키면서, 카세트 배치대(6)를 소정의 속도로 상승시킨다. 이에 의해, 2단째의 수용 선반(12)으로부터 최하단(최종단)의 수용 선반(12)이 순차 피가공물 검출부(14)와 대향하는 위치에 배치되고, 수용 선반(12a) 이외의 수용 선반(12)이 한쌍의 피가공물 검출부(14)에 의해 검사된다. 그리고, 제어부(62)는, 수용 선반(12)마다 피가공물(11)의 유무를 기록한다.
또한, 제어부(62)는, 피가공물(11)이 수용 선반(12)에 존재하는지의 여부에 더하여, 피가공물(11)이 수용 선반(12)에 적절하게 수용되어 있는지의 여부를 판별하여도 좋다. 예컨대 제어부(62)는, 한쌍의 피가공물 검출부(14) 사이에 있어서의 수광량의 차나, 피가공물 검출부(14)의 수광량의 시간적 변화에 기초하여, 피가공물(11)의 상태를 판별한다.
예컨대, 하나의 피가공물(11)이 기운 상태로 복수단의 수용 선반(12)에 걸쳐 수용되어 있는 경우[도 2의 (b)의 수용 선반(12c) 참조]에는, 수용 선반(12c)이 한쌍의 피가공물 검출부(14)에 의해 검사되었을 때, 한쪽의 피가공물 검출부(14)는 피가공물(11)을 검출하지만, 다른쪽의 피가공물 검출부(14)는 피가공물(11)을 검출하지 않는다. 이 경우, 제어부(62)는 수용 선반(12c)에 수용되어 있는 피가공물(11)을 이상 상태라고 판정한다.
또한, 하나의 수용 선반(12)에 복수의 피가공물(11)이 중첩된 상태로 수용되어 있는 경우[도 2의 (b)의 수용 선반(12d) 참조]에는, 카세트 배치대(6)를 상승시키면서 한쌍의 피가공물 검출부(14)에서 수용 선반(12d)을 검사하면, 1장의 피가공물(11)이 수용된 수용 선반(12)을 검사하는 경우와 비교하여, 한쌍의 피가공물 검출부(14)가 피가공물(11)에서 반사된 광을 수광하는 시간이 길어진다. 이 경우, 제어부(62)는 수용 선반(12d)에 수용되어 있는 피가공물(11)을 이상 상태라고 판정한다.
그리고, 한쌍의 피가공물 검출부(14)가 모두 피가공물(11)을 검출하고, 또한, 한쌍의 피가공물 검출부(14)에 의한 반사광의 수광 시간이 정상인 경우에는, 제어부(62)는 피가공물(11)을 정상 상태라고 판정한다. 이와 같이 하여, 피가공물(11)이 정상 상태인지 이상 상태인지가 판정된다. 그리고, 제어부(62)는, 수용 선반(12)마다 피가공물(11)의 상태를 기록한다.
카세트(8)로부터 2장째 이후의 피가공물(11)이 반출될 때는, 제어부(62)는 정상 상태라고 판정된 피가공물(11)만을 제1 반송부(32)에 의해 반출한다. 이에 의해, 제1 반송부(32)가 피가공물(11)을 유지하여 손상되거나, 피가공물(11)을 낙하시키거나 할 위험이 회피된다.
도 6은 가공 장치(2)의 동작 흐름을 나타내는 흐름도이다. 도 6에는 하나의 피가공물(11)이 카세트(8)로부터 반출되어, 가공 및 세정이 행해진 후, 재차 카세트(8)에 반입되기까지의 가공 장치(2)의 동작을 나타내고 있다.
먼저, 피가공물 검출부(14)에 의해, 카세트(8)가 구비하는 복수의 수용 선반(12)이 순차 검사된다. 그리고, 어느 하나의 수용 선반(12)[예컨대 수용 선반(12a), 도 3 참조]에서 정상으로 수용되어 있는 피가공물(11)이 검출되면, 피가공물 검출부(14)에 의해 다른 수용 선반(12)이 검사되기 전에, 제1 반송부(32)는 파지부(32a)를 이용하여 검출된 피가공물(11)을 카세트(8)로부터 반출하여(도 4 참조), 한쌍의 가이드 레일(24)(도 1 참조) 상에 배치한다.
한쌍의 가이드 레일(24) 상에 배치된 피가공물(11)은, 계속해서 제1 반송부(32)에 의해 척 테이블(20)(도 1 참조) 상에 반송된다. 그리고, 척 테이블(20)에 의해 유지된 피가공물(11)이 가공 유닛(44a, 44b)에 의해 가공된다.
또한, 피가공물 검출부(14)는, 제1 반송부(32)에 의해 카세트(8)로부터 반출된 피가공물(11)이, 제1 반송부(32)에 의해 척 테이블(20)에 반송되고 있는 동안, 또는, 가공 유닛(44a, 44b)에 의해 가공되고 있는 동안에, 검사가 행해지지 않은 수용 선반(12)을 검사한다(도 5 참조). 즉, 피가공물(11)의 카세트(8)로부터의 반출이 완료된 시점부터, 가공 유닛(44a, 44b)에 의한 피가공물(11)의 가공이 완료되는 시점까지의 기간(도 6의 기간 70)에, 다른 수용 선반(12)의 검사가 행해진다.
만약, 피가공물(11)이 카세트(8)로부터 반출되기 전에 모든 수용 선반(12)에 대하여 검사가 행해지면, 피가공물 검출부(14)에 의해 모든 수용 선반(12)이 검사될 때까지, 제1 반송부(32)에 의한 피가공물(11)의 반출을 개시할 수 없다. 그 결과, 피가공물(11)의 반출의 대기 시간이 길어져, 가공 장치(2)에 의한 피가공물(11)의 가공 효율이 저하한다.
한편, 본 실시형태에 따른 가공 장치(2)에서는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 정상으로 수용되어 있는 피가공물(11)이 검출되면, 즉시 그 피가공물(11)의 반출이 개시된다. 이에 의해, 피가공물(11)의 반출의 대기 시간이 대폭 단축되어, 가공 효율의 저하가 억제된다. 또한, 피가공물(11)의 반송 중 또는 가공 중에 다른 수용 선반(12)의 검사가 행해지기 때문에, 수용 선반(12)의 검사를 위해 가공 장치(2)의 반송 및 가공을 중단할 필요가 없어, 가공 효율의 저하가 억제된다.
가공 유닛(44a, 44b)에 의한 피가공물(11)의 가공이 완료되면, 피가공물(11)은 제2 반송부(38)에 의해 세정 유닛(50)에 반송되고, 세정 유닛(50)에 의해 세정된다. 그리고, 세정 후의 피가공물(11)이 제2 반송부(38)에 의해 한쌍의 가이드 레일(24) 상에 반송되고, 한쌍의 가이드 레일(24)에 의해 피가공물(11)의 위치맞춤이 행해진다. 그 후, 제1 반송부(32)는 파지부(32a)에서 피가공물(11)을 파지한 상태로, 피가공물(11)을 카세트(8)의 소정의 수용 선반(12)에 반입한다.
또한, 카세트(8)로부터 2장째 이후의 피가공물(11)이 반출되는 알맞은 시기는, 가공 장치(2)의 사양이나 동작에 따라 다르다. 그리고, 수용 선반(12a) 이외의 수용 선반(12)의 검사는, 1장째의 피가공물(11)이 카세트(8)로부터 반출된 후, 2장째의 피가공물(11)의 반출에 알맞은 시기가 도래할 때까지 완료되면 좋다. 예컨대, 가공 유닛(44a, 44b)에 의한 1장째의 피가공물(11)의 가공이 완료된 후, 일정 기간이 경과한 시점이 2장째의 피가공물(11)의 반출에 알맞은 타이밍인 경우에는, 그 일정 기간 동안에 수용 선반(12)의 검사가 행해져도 좋다.
다음에, 가공 장치(2)의 각 구성 요소의 동작을 제어하는 제어부(62)의 구성예에 대해서 설명한다. 도 7은 제어부(62)의 구성예를 나타내는 블록도이다. 또한, 도 7에는 제어부(62)의 기능적인 구성과 함께, 제어부(62) 이외의 일부의 구성 요소도 나타내고 있다.
제어부(62)는, 가공 장치(2)의 가동에 필요한 처리를 행하는 처리부(80)와, 각종 정보가 기억되는 기억부(86)를 구비한다. 처리부(80)는, 피가공물 검출부(14)로부터 입력된 신호에 기초하여, 피가공물(11)의 유무 및 상태를 판정하는 판정부(82)를 구비한다. 또한, 처리부(80)는, 가공 장치(2)의 각 구성 요소에 제어 신호를 출력하여, 각 구성 요소를 구동하는 구동부(84)를 구비한다.
가공 장치(2)에서 피가공물(11)을 가공할 때, 제어부(62)는 먼저, 카세트 배치대(6) 및 피가공물 검출부(14)를 제어하여, 피가공물 검출부(14)에 의해 카세트(8)의 수용 선반(12)을 검사한다(도 3 참조). 그리고, 피가공물(11)의 검출 결과에 대응하는 신호가 피가공물 검출부(14)로부터 판정부(82)에 입력된다.
판정부(82)는, 피가공물 검출부(14)로부터 입력된 신호에 기초하여, 수용 선반(12)에 피가공물(11)이 수용되어 있는지의 여부 및 수용 선반(12)에 수용되어 있는 피가공물(11)이 정상 상태인지 이상 상태인지를 판정한다. 또한, 피가공물(11)의 유무 및 상태의 구체적인 판정 방법은, 전술한 바와 같다.
그리고, 수용 선반(12)에 피가공물(11)이 수용되어 있지 않거나, 또는, 수용 선반(12)에 이상 상태의 피가공물(11)이 수용되어 있다고 판정하면, 판정부(82)는 구동부(84)에 소정의 신호(이상 신호)를 출력한다. 그리고, 이상 신호를 수신한 구동부(84)는, 카세트(8)에 피가공물(11)이 수용되어 있지 않은 수용 선반(12), 또는, 이상 상태의 피가공물(11)이 수용되어 있는 수용 선반(12)이 존재하는 것을, 표시부(58) 및 통지부(60)에 통지시킨다.
또한, 이상 신호를 수신한 구동부(84)는, 카세트 배치대(6) 및 피가공물 검출부(14)를 제어하여, 피가공물 검출부(14)에 의해 다른 수용 선반(12)을 순차 검사한다. 수용 선반(12)의 검사는, 정상 상태의 피가공물(11)이 검출될 때까지 계속된다.
한편, 소정의 수용 선반(12)[예컨대 수용 선반(12a), 도 3 참조]에 정상 상태의 피가공물(11)이 수용되어 있다고 판단되면, 판정부(82)는 구동부(84)에 소정의 신호(정상 신호)를 출력한다. 그리고, 정상 신호를 수신한 구동부(84)는, 피가공물 검출부(14)의 검출 동작을 정지하며, 카세트 배치대(6)를 정상 상태의 피가공물(11)의 반출에 알맞은 위치에 배치한다(도 4 참조). 그리고, 구동부(84)는 제1 반송부(32)를 제어하여, 제1 반송부(32)에 의해 수용 선반(12a)으로부터 피가공물(11)을 반출한다.
피가공물(11)의 반출이 완료되면, 구동부(84)는, 제1 반송부(32)에 의해 피가공물(11)을 척 테이블(20)로 반송하며, 가공 유닛(44a, 44b)에 피가공물(11)을 가공시킨다. 또한, 구동부(84)는 카세트 배치대(6) 및 피가공물 검출부(14)를 제어하여, 피가공물 검출부(14)에 의해 다른 수용 선반(12)을 검사한다.
이에 의해, 예컨대 1단째의 수용 선반(12a)으로부터 피가공물(11)이 반출된 경우에는, 2단째부터 최하단의 수용 선반(12)이 피가공물 검출부(14)에 의해 검사된다. 그리고, 피가공물(11)의 검출 결과에 대응하는 신호가, 피가공물 검출부(14)로부터 판정부(82)에 순차 입력된다. 또한, 전술한 바와 같이, 2단째 이후의 수용 선반(12)의 검사는, 1장째의 피가공물(11)의 반송 중 또는 가공 중에 행해진다.
판정부(82)는, 피가공물 검출부(14)로부터 입력된 신호에 기초하여, 2단째 이후의 수용 선반(12)에 각각 피가공물(11)이 수용되어 있는지의 여부 및 피가공물(11)이 정상 상태인지 이상 상태인지를 판정한다. 그리고, 판정부(82)에 의한 판정 결과[피가공물(11)의 유무 및 상태]는, 수용 선반(12)의 단마다 기억부(86)에 기억된다. 이와 같이 하여, 모든 수용 선반(12)에 대해서 피가공물 검출부(14)에 의한 검사가 행해진다.
또한, 2단째 이후의 수용 선반(12)의 검사 중, 피가공물(11)이 수용되지 않은 수용 선반(12), 또는 이상 상태의 피가공물(11)이 수용된 수용 선반(12)의 존재가 확인되면, 판정부(82)는 구동부(84)에 이상 신호를 출력한다. 그리고, 이상 신호를 수신한 구동부(84)는, 표시부(58) 및 통지부(60)에 이상이 발생한 취지를 통지시킨다. 이때, 표시부(58)에는 피가공물(11)이 수용되지 않은 수용 선반, 또는 이상 상태의 피가공물(11)이 수용되어 있는 수용 선반(12)의 번호가 표시되어도 좋다.
그리고, 가장 먼저 반출된 피가공물(11)[수용 선반(12a)에 수용되어 있던 피가공물(11)]의 처리가 소정의 단계까지 진행되면, 2장째의 피가공물(11)이 카세트(8)로부터 반출된다. 이때 구동부(84)는, 기억부(86)에 기억된 피가공물(11)의 유무 및 상태를 참조하여, 정상 상태의 피가공물(11)이 저장되어 있는 수용 선반(12)을 특정한다.
그리고, 구동부(84)는, 카세트 배치대(6) 및 제1 반송부(32)를 제어하여, 정상 상태의 피가공물(11)이 수용되어 있는 수용 선반(12)으로부터 피가공물(11)을 제1 반송부(32)에 의해 반출한다. 이에 의해, 판정부(82)에 의해 정상 상태라고 판정된 피가공물(11)만이 카세트(8)로부터 반출된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 따른 가공 장치(2)에서는, 피가공물 검출부(14)에 의해 가장 먼저 검출된 하나의 피가공물(11)이 수용 선반(12)으로부터 반송되고, 그 피가공물(11)의 반송 또는 가공이 행해지고 있는 동안에, 다른 수용 선반(12)이 피가공물 검출부(14)에 의해 검사된다. 이에 의해, 피가공물(11)의 반출의 대기 시간이 단축되어, 가공 효율의 저하가 억제된다.
또한, 본 실시형태에서는, 카세트(8)의 최상단의 수용 선반(12)부터 순서대로 검사하는 예에 대해서 설명하였지만(도 3∼도 5 참조), 수용 선반(12)의 검사의 순서에 제한은 없다. 예컨대, 최하단의 수용 선반(12)부터 최상단의 수용 선반(12)을 향하여 순서대로 검사를 행하여도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 가공 장치(2)가 피가공물(11)을 절삭하는 가공 유닛(44a, 44b)(절삭 유닛)을 구비하는 절삭 장치인 경우에 대해서 설명하였지만, 가공 장치(2)의 종류에 제한은 없다. 예컨대 가공 장치(2)는, 복수의 연삭 지석이 고정된 연삭 휠로 피가공물(11)을 연삭하는 가공 유닛(연삭 유닛)을 구비하는 연삭 장치, 연마 패드로 피가공물(11)을 연마하는 가공 유닛(연마 유닛)을 구비하는 연마 장치, 레이저 빔의 조사에 의해 피가공물(11)을 가공하는 가공 유닛(레이저 조사 유닛)을 구비하는 레이저 가공 장치 등이어도 좋다.
그 외에, 상기 실시형태에 따른 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절하게 변경하여 실시할 수 있다.
11 피가공물
13 웨이퍼
15 테이프(다이싱 테이프)
17 프레임
2 가공 장치
4 베이스
4a 개구
4b 개구
6 카세트 배치대(카세트 엘리베이터)
8 카세트
8a 수용부
8b 측면
8c, 8d 측벽
10 가이드 레일
10a 유지면
12, 12a, 12b, 12c, 12d 수용 선반(수용 공간)
14 피가공물 검출부(센서)
16 이동 기구
16a 이동 테이블
18 방진 방적 커버
20 척 테이블(유지 테이블)
20a 유지면
22 클램프
24 가이드 레일
26 제1 지지 구조
28 레일
30 이동 기구
32 제1 반송부(제1 반송 기구)
32a 파지부(파지 기구)
34 레일
36 이동 기구
38 제2 반송부(제1 반송 기구)
40 제2 지지 구조
42a, 42b 이동 기구
44a, 44b 가공 유닛
46 절삭 블레이드
48 촬상 유닛(카메라)
50 세정 유닛
52 스피너 테이블
54 노즐
56 커버
58 표시부(표시 유닛)
60 통지부(통지 유닛)
62 제어부(제어 유닛)
64 반송 유닛
70 기간
80 처리부
82 판정부
84 구동부
86 기억부

Claims (2)

  1. 피가공물을 각각 1장씩 수용하는 복수의 수용 선반을 구비하는 카세트가 배치되는 카세트 배치대와,
    상기 피가공물을 유지하는 척 테이블과,
    상기 피가공물을 반송하는 반송 유닛과,
    상기 척 테이블에 의해 유지된 상기 피가공물을 가공하는 가공 유닛과,
    제어부
    를 구비하는 가공 장치로서,
    상기 반송 유닛은,
    상기 카세트 배치대에 배치된 상기 카세트가 구비하는 복수의 상기 수용 선반을 1단씩 검사하여, 복수의 상기 수용 선반에 수용되어 있는 상기 피가공물을 검출하는 피가공물 검출부와,
    상기 카세트 배치대에 배치된 상기 카세트로부터 상기 피가공물을 반출하는 반송부
    를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 카세트에 수용된 상기 피가공물 중 상기 피가공물 검출부에 의해 가장 먼저 검출된 하나의 피가공물을, 상기 수용 선반으로부터 상기 척 테이블로 상기 반송부에 의해 반송하며, 상기 하나의 피가공물이 상기 반송 유닛에 의해 반송되고 있는 동안, 또는, 상기 하나의 피가공물이 상기 가공 유닛에 의해 가공되고 있는 동안에, 복수의 상기 수용 선반 중, 상기 하나의 피가공물이 수용되어 있던 수용 선반 이외의 수용 선반을 상기 피가공물 검출부에 의해 검사하고, 복수의 상기 수용 선반마다 상기 피가공물의 유무를 기록하는 것을 특징으로 하는 가공 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    통지부
    를 더 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 수용 선반에 수용된 상기 피가공물이 정상 상태인지 이상 상태인지를 판정하는 판정부를 구비하며, 상기 판정부에 의해 정상 상태라고 판정된 상기 피가공물만을 상기 반송부에 의해 상기 카세트로부터 반출하고,
    복수의 상기 수용 선반에 수용된 상기 피가공물 중 어느 하나가 상기 판정부에 의해 이상 상태라고 판정되면, 상기 제어부는 이상 상태의 상기 피가공물이 존재하는 것을 상기 통지부에 통지시키는 것을 특징으로 하는 가공 장치.
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