JP5464421B2 - ダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents
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Description
前記目的を達成するために、本発明に係るダイシング方法は、ワークが載置される複数のワークテーブルと、前記複数のワークテーブルに載置されたワークを撮像し加工領域を検出する複数のアライメント装置と、前記複数のワークテーブルに載置されたワークを回転刃によって加工する複数の加工装置と、を備え、前記複数のアライメント装置は、前記複数のワークテーブルに載置されたワークを各々撮像するように単独で移動自在に設けられ、前記複数のアライメント装置は、1つのワークテーブルに載置された1枚のワークを協働して撮像し加工領域を検出するダイシング装置のダイシング方法であって、前記複数のワークテーブルのうち一方のワークテーブルに1枚目のワークが載置されると、前記複数のアライメント装置が前記1枚目のワークを協働して撮像し加工領域を検出し、前記加工領域の検出中に、前記複数のワークテーブルのうち他方のワークテーブルに2枚目のワークを載置し、前記加工領域が検出された1枚目のワークを前記複数の加工装置によって加工し、前記1枚目のワークの加工中に、前記複数のアライメント装置が2枚目のワークを協働して撮像し加工領域を検出し、前記1枚目のワークの加工が終了すると、前記2枚目のワークを前記複数の加工装置によって加工する。
5…顕微鏡
9…回転ブレード
10…スピンドル
12、14…ワークテーブル
16、18…Xテーブル
20…オイルパン
22…ガイドレール
24…ボールねじ
26…サーボモータ
28…ボールナット
30…スライダ
32…θテーブル
34…蛇腹
36…ガイドレール
38…ボールねじ
40…サーボモータ
44…θテーブル
46…蛇腹
48…ガイドベース
50…スピンドルYガイド
52…スピンドルYテーブル
54…スピンドルZテーブル
56…ホルダ
58、60…顕微鏡駆動装置
62…顕微鏡Yガイド
64…顕微鏡Yテーブル
66…顕微鏡Zテーブル
70、74…ボールねじ
72、76…サーボモータ
Claims (4)
- ワークが載置される複数のワークテーブルと、前記複数のワークテーブルに載置されたワークを撮像し加工領域を検出する複数のアライメント装置と、前記複数のワークテーブルに載置されたワークを回転刃によって加工する複数の加工装置と、を備え、前記複数のアライメント装置は、前記複数のワークテーブルに載置されたワークを各々撮像するように単独で移動自在に設けられ、
前記複数のアライメント装置は、1つのワークテーブルに載置された1枚のワークを協働して撮像し加工領域を検出するダイシング装置であって、
前記複数のワークテーブルのうち一方のワークテーブルに1枚目のワークが載置されると、前記複数のアライメント装置が前記1枚目のワークを協働して撮像し加工領域を検出し、前記加工領域の検出中に、前記複数のワークテーブルのうち他方のワークテーブルに2枚目のワークが載置され、
前記加工領域が検出された1枚目のワークが前記複数の加工装置によって加工され、前記1枚目のワークの加工中に、前記複数のアライメント装置が2枚目のワークを協働して撮像し加工領域を検出し、
前記1枚目のワークの加工が終了すると、前記2枚目のワークが前記複数の加工装置によって加工される、ダイシング装置。 - 前記複数のアライメント装置は、ワークの加工領域を検出する他、加工途中のワークの加工品質確認を、前記複数のワークテーブル上の複数のワークに対して、又は1つのワークテーブル上の1枚のワークに対して協働して実施する、請求項1に記載のダイシング装置。
- ワークが載置される複数のワークテーブルと、前記複数のワークテーブルに載置されたワークを撮像し加工領域を検出する複数のアライメント装置と、前記複数のワークテーブルに載置されたワークを回転刃によって加工する複数の加工装置と、を備え、前記複数のアライメント装置は、前記複数のワークテーブルに載置されたワークを各々撮像するように単独で移動自在に設けられ、
前記複数のアライメント装置は、1つのワークテーブルに載置された1枚のワークを協働して撮像し加工領域を検出するダイシング装置のダイシング方法であって、
前記複数のワークテーブルのうち一方のワークテーブルに1枚目のワークが載置されると、前記複数のアライメント装置が前記1枚目のワークを協働して撮像し加工領域を検出し、前記加工領域の検出中に、前記複数のワークテーブルのうち他方のワークテーブルに2枚目のワークを載置し、
前記加工領域が検出された1枚目のワークを前記複数の加工装置によって加工し、前記1枚目のワークの加工中に、前記複数のアライメント装置が2枚目のワークを協働して撮像し加工領域を検出し、
前記1枚目のワークの加工が終了すると、前記2枚目のワークを前記複数の加工装置によって加工する、ダイシング方法。 - 前記複数のアライメント装置は、ワークの加工領域を検出する他、加工途中のワークの加工品質確認を、前記複数のワークテーブル上の複数のワークに対して、又は1つのワークテーブル上の1枚のワークに対して協働して実施する、請求項3に記載のダイシング方法。
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