JP2005340311A - テープ接着装置およびテープ接着方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 ワークに対しテープ部材を良好に接着可能であり、工程の簡略化、コストの削減および接着強度の向上を図れるテープ接着装置及びテープ接着方法を提供すること。
【解決手段】 テープ部材１２をワーク１１に接着するテープ接着装置１０であり、ワーク１１を載置する伸縮シート部材２５と、伸縮シート部材２５の上面側に位置する真空室５０と、伸縮シート部材２５の下面側に位置する空気導入部５１と、伸縮シート部材２５が載置される載置部２２ｂと、真空室５０に空気の導通を防止する状態で伸縮シート部材２５を保持する保持部材と、ワーク１１の上部でテープ部材１２を保持させるテープ保持手段６６と、真空室５０の内部を真空吸引する第１の吸引手段３６と、空気導入部５１を真空吸引する第２の吸引手段３６と、空気導入部５１に空気を導入する空気導入手段４１と、真空室５０の内部に空気を加圧状態で導入する加圧手段３６と、を具備する。
【選択図】 図４

Description

本発明は、ワークに対してテープ部材を接着させるテープ接着装置およびテープ接着方法に関する。

半導体の製造工程においては、半導体ウエハ（以下、ウエハという。）の表面に回路パターンを形成した後に、ウエハ裏面を研磨して薄型化を図り、形成される半導体チップの小型化・薄型化に対応することがある。また、薬液を用いてケミカルエッチング処理を施して、該ウエハの薄型化を図る製造工程を行う場合もある。

かかる製造工程においては、ウエハ表面に粘着状の保護テープ（以下、テープ部材という。）を貼り付けている。それによって、ウエハ表面が汚染されたり、該ウエハの表面に傷がついて回路が損傷するのを防いでいる。

このようなウエハ表面に、テープ部材を接着させるテープ接着装置としては、特許文献１記載のものがある。この特許文献１記載のテープ接着装置では、本体側の部屋および上蓋側の部屋の両方とも真空にしている状態から、上蓋側の部屋を大気圧に切り替える。それによって、上蓋側の部屋と本体側の部屋との間に差圧が生じ、その差圧によって、ゴムシートが本体側の部屋に膨らむ。そして、この膨らみによって、ゴムシートがテープ部材を押し、ワークに対してテープ部材を接着させている。

また、他の貼付装置としては、特許文献２記載のものがある。この特許文献２記載のものでは、第１の真空室と第２の真空室との間の差圧を利用して、平滑性の高い基台の中央部をテープ部材側に向けて撓ませている。これと共に、中央部を撓ませた基台を、ウエハに貼付されたテープ部材に押し付けながら、昇降装置の駆動によりウエハを持ち上げている。このようにすることで、テープ部材の中央側から外方に向けて空気を押し出しながら、ウエハに対してテープ部材を接着している。

特開２００３−７８０８号公報（段落番号０００７、図２〜４参照） 特開２０００−３４９０４７号公報（要約、図１〜図５参照）

上述の特許文献１記載の構成は、着想レベルに留まっていて、その構成が具体的でない。そのため、かかる構成に基づいて実際に実施しようとした場合には、種々の不具合が生じる。例えば、特許文献１記載の構成では、ゴムシートが上部に位置しているため、該ゴムシートの自重による弛みを除去するためには、ゴムシートを張る際の張力をかなり高める必要がある。このため、ゴムシートの取付作業が困難となる、という課題を有している。

特に、テープ部材の接着を効率的に行うためには、テープ部材をウエハに接着する作業を開始する初期位置では、ゴムシートに対して接触しているテープ部材と、ウエハとの間の隙間が小さいのが通常である。かかる隙間が小さい状態において、ゴムシートに弛みが生じると、真空吸引を行う前の段階から、ウエハにテープ部材が接着し、かかる接着面に気泡が入り込む、という不具合が生じることがある。

また、特許文献１記載の構成では、複数の押しネジが設けられていて、これらの押しネジの全てを回転させる必要があり、押しネジを同時に回転させる必要がある場合、困難な作業となる。さらに、特許文献１記載の構成では、上蓋を取り除いた状態で、テープ部材やウエハを設置する必要がある。このため、工数が余分に掛かるものとなっている。

また、特許文献２記載の構成では、第１の真空室と第２の真空室との間の差圧を利用して、ガラス板等の基台を撓ませて、ウエハが貼付されたテープ部材に対して基台を接着させると共に、この接着状態から、さらにウエハが貼付されたテープ部材および基台を持ち上げている。このため、２段階の接着工程を有し、手間が掛かり、コスト的にも好ましくない。また、ウエハ等を持ち上げるために、別途昇降装置が必要となるので、構成が複雑となり、その分だけコストが掛かる。

本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、ゴムシートの弛みを除去しつつ、ワークに対してテープ部材を良好に接着できると共に、工程の簡略化、コストの削減および接着強度の向上を図ることが可能なテープ接着装置、およびテープ接着方法を提供しよう、とするものである。

上記課題を解決するために、本発明は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、上面にワークが載置される伸縮シート部材と、伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる真空室と、伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気導入部と、伸縮シート部材の下面側であって空気導入部と干渉しない部位に位置すると共に、伸縮シート部材が載置される載置部と、真空室に対して空気の導通を防止する状態で伸縮シート部材を保持する保持部材と、伸縮シート部材に載置されるワークの上部でテープ部材を保持させるテープ保持手段と、真空室の内部を真空吸引する第１の吸引手段と、空気導入部を真空吸引する第２の吸引手段と、空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、真空室の内部に空気を加圧状態で導入する加圧手段と、を具備するものである。

このような構成とすることで、ワークは伸縮シート部材の上面に載置され、その上部には、テープ保持手段によってテープ部材が保持される。そして、この状態で、第１の吸引手段および第２の吸引手段を作動させ、真空室および空気導入部の真空排気を行う。その後に、空気導入手段を作動させて、空気導入部の内部に空気を導入する。すると、真空状態が維持されている真空室と、空気が導入された空気導入部との間の差圧によって、その境界部分を保持部材で密閉している伸縮シート部材は、真空室の内部に向かって膨張する。そして、この膨張によって、伸縮シート部材はワークを持ち上げ、かかる持ち上げによってワークがテープ部材に接触する。

その状態から、さらに伸縮シート部材が膨張すると、ワークはさらに持ち上げられる。それによって、ワークの全面に対して良好にテープ部材を接着させることができる。このように、伸縮シート部材の上面にワークを載置し、かかる載置状態において伸縮シート部材を膨張させることにより、ワークに対してテープ部材を、気泡の入り込みを防ぎながら接着させることができる。かかる接着では、伸縮シート部材の下面にワークを位置させていた場合と比較して、伸縮シート部材の弛みの影響を除去することができる。そのため、伸縮シート部材に大きな張力を付与する必要がなくなり、構成が簡単となる。また、伸縮シート部材の膨張を利用する構成のため、ワークをテープ部材に向けて移動させる特別な構成が不要となる。このため、簡易な構成でワークをテープ部材に向けて移動させることができる。

また、テープ部材の接着後に加圧手段を作動させて、真空室の内部に空気を加圧状態で導入する。すると、ワークに接着しているテープ部材は、加圧によってワークに対して押し付けられる。そのため、ワークに対するテープ部材の接着性を高めることができ、テープ部材がワークから簡単に剥離するのを防ぐことができる。

また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、第１の吸引手段、第２の吸引手段、空気導入手段および加圧手段の作動を制御する制御手段を具備すると共に、この制御手段は、第１の吸引手段および第２の吸引手段を作動させて、真空室および空気導入部の真空吸引を行い、真空吸引の後に、空気導入手段を作動させて空気導入部に空気を導入し、この空気の導入によって、伸縮シート部材を真空室の内部に向けて膨張させ、伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げてテープ部材に接着させ、テープ部材の接着後に、加圧手段を作動させて真空室の内部に空気を加圧状態で導入する、こととしたものである。

このように構成した場合には、制御手段による作動制御により、まず第１の吸引手段および第２の吸引手段の作動が開始され、真空吸引が行われる。そして、かかる真空吸引の後に、制御手段による作動制御により、空気導入手段が作動する。それによって、空気導入部に空気が導入される。そして、この空気の導入により、伸縮シート部材を真空室の内部に向けて膨張させることができる。伸縮シート部材が膨張すると、ワークがテープ部材に向かって持ち上げられる。それによって、ワークをテープ部材に対して接着させることができる。また、テープ部材の接着後に、加圧手段を作動させ、ワークに対するテープ部材の接着性を高めさせることができる。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、制御手段は、真空室および空気導入部の真空吸引を行うに際して、先に第２の吸引手段を作動させ、後に第１の吸引手段を作動させるものである。

このように構成した場合には、先に第２の吸引手段が作動することによって、真空室に対して空気導入部の圧力が低下する。そのため、伸縮シート部材は、載置部に押し付けられる。このようにすれば、伸縮シート部材が、先に真空室側に向かって膨張するのを防ぐことができる。このため、空気導入手段が作動して空気を導入する前の段階で、ワークとテープ部材とが接着されるのを防ぐことができ、気泡が入り込まないように真空吸引した後にのみ、ワークとテープ部材とを接着させることができる。

また、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、テープ接着装置は、本体部と、この本体部に対して開閉自在に設けられている蓋体部とを有していて、蓋体部を本体部に対して閉じた場合に、蓋体部と本体部との間を気密に閉塞するシール部材を、これら蓋体部と本体部との境界部分に設けると共に、蓋体部の閉塞状態において、この蓋体部と伸縮シート部材との間に、真空室が形成される、こととしたものである。

このように構成した場合には、蓋体部が本体部に対して開閉自在となる。このようにすれば、蓋体部の開閉によって、ワークやテープ部材の設置、およびテープ部材が接着された状態のワークの取り出しを、容易に行うことができる。また、シール部材の存在により、蓋体部と本体部との間を気密に閉塞することができる。このため、第１の吸引手段および第２の吸引手段の作動時には、真空室および空気導入部を、真空度が高い状態まで吸引することができる。また、蓋体部を本体部に対して閉じた場合には、この蓋体部と伸縮シート部材との間に真空室が形成される。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、テープ部材を吸着する吸着部材を備えると共に、この吸着部材に対してテープ部材を真空吸引する吸引保持力を与える第３の吸引手段を備えるものである。

このように構成した場合には、吸着部材および第３の吸引手段によって、テープ部材は真空吸引される。それにより、テープ部材は、吸着部材を介して保持される。そのため、テープ部材に対して張力を加える必要がなく、張力負荷によってテープ部材が伸びてしまうのを防止することができる。また、テープ部材に対して張力を加えずに済むため、ワークに接着されたテープ部材に収縮が生じるのを防ぐことができ、テープ部材の接着状態を良好にすることが可能となる。

また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、蓋体部は、この蓋体部の閉塞状態において上方に向かって窪んでいる凹部を有すると共に、この凹部の上底面には、吸着部材が嵌め込まれていて、伸縮シート部材の膨張によるワークおよびテープ部材の上方へ向かう移動を、吸着部材によって上方から押さえるものである。

このように構成した場合には、伸縮シート部材が膨張すると、ワークおよびテープ部材が持ち上げられる。この持ち上げによって、テープ部材が所定の高さ位置に到達すると、吸着部材にぶつかって、テープ部材が上方から押さえられる。このため、テープ部材は、上方から押さえられると共に、下方からワークによって持ち上げられる状態で、接着が実行される。すなわち、テープ部材を上方から押さえながら、ワークを上方に持ち上げて押し付けるので、ワークとテープ部材との間の接着を、強固かつ確実なものとすることができる。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、吸着部材は、多孔質セラミックを材質としているものである。このように構成した場合には、第３の吸引手段を作動させると、吸着部材によりテープ部材の全面に亘って、均一に吸着保持することができる。そのため、テープ部材に弛みが生じるのを防ぐことができる。

また、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、テープ保持手段は、吸着部材と共に、テープ部材の端部を挟持する挟持部材を具備するものである。このように構成した場合には、真空室の内部が真空吸引されて、テープ部材の吸引保持力が弱まった場合でも、テープ部材は挟持部材によって挟持されるため、該テープ部材が落下するのを防ぐことができる。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、蓋体部と本体部の間には、蓋体部を本体部に向けて押圧し、かつ蓋体部が開くのを防止する開閉ロック手段が設けられているものである。

このように構成した場合には、蓋体部が開くのが開閉ロック手段によって防止される。このため、加圧手段によって真空室の内部を加圧した場合でも、蓋体部が開くのが防止され、真空室の内部を良好に加圧することができる。

また、他の発明は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法において、ワークの上部側に位置するテープ部材を、テープ保持手段に保持させるテープ保持ステップと、伸縮シート部材の上面にワークが載置され、かつテープ保持手段によって該ワークの上部にテープ部材を張設状態で位置させた状態で、伸縮シート部材の上面側に位置する真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、伸縮シート部材により真空室から仕切られると共に該伸縮シート部材の下面側に位置する空気導入部を第２の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、吸引ステップによって、真空室および空気導入部が設定された真空度に到達したことを検出する真空到達度検出ステップと、真空到達度検出ステップによって設定された真空度に到達したことを検出した後に、第２の吸引手段の作動停止により空気導入部の真空吸引を停止すると共に、空気導入手段を作動させて該空気導入部に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げてテープ部材に接着させる接着ステップと、接着ステップを予め設定された時間だけ実行した後に、加圧手段を作動させて真空室の内部に空気を加圧状態で導入する加圧ステップと、を具備するものである。

このようにした場合には、吸引ステップにおいては、真空室と空気導入部の両方の真空吸引が為される。かかる吸引ステップの後に、真空到達度検出ステップにおいて真空度の到達の検出を行う。そして、設定された真空度に到達したことが検出されると、今度は空気導入ステップにおいて空気導入手段を作動させて、空気導入部に空気を導入する。それによって、伸縮シート部材は、その上面側である真空室側に向かって膨張を開始する。

この後に、接着ステップが開始され、伸縮シート部材の膨張によってワークが持ち上げられて、テープ部材に接着される。かかる膨張を、所定時間だけ継続実行すれば、膨張の継続によって、ワークの全面に亘ってテープ部材が接着される。この接着の後に、加圧ステップにおいて加圧手段を作動させれば、真空室の内部に空気を加圧状態で導入される。それにより、ワークに接着しているテープ部材は、加圧によってワークに対して押し付けられる。

このように、伸縮シート部材の上面にワークを載置し、かかる載置状態において伸縮シート部材を膨張させることにより、ワークに対してテープ部材を、気泡の入り込みを防ぎながら接着させることができる。また、伸縮シート部材の下面にワークを位置させていた場合と比較して、該伸縮シート部材の弛みの影響を除去することができる。このように、弛みが除去されるため、伸縮シート部材に大きな張力を付与する必要が無くなり、接着が簡単に行え、またテープ接着装置が製造し易くなる。さらに、伸縮シート部材の膨張を利用するため、ワークを上方のテープ部材へ移動させる特別なステップを要さずに済む。このため、簡易な方法で、ワークをテープ部材に向けて移動させることができる。また、加圧ステップにおいて真空室を加圧することにより、ワークに対するテープ部材の接着性を高めることができ、テープ部材がワークから簡単に剥離するのを防ぐことができる。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、吸引ステップは、第１の吸引手段および第２の吸引手段を作動させるに際して、先に第２の吸引手段を作動させ、後に第１の吸引手段を作動させるものである。

このようにした場合には、先に第２の吸引手段が作動することによって、真空室に対して空気導入部の圧力が低下する。そのため、伸縮シート部材は、先に上面側の真空室側に向かって膨張することがなくなる。このため、空気導入手段が作動して空気を導入する前の段階で、ワークとテープ部材とが接着されるのを防ぐことができる。

本発明によると、伸縮シート部材の弛みを除去しつつ、ワークに対してテープ部材を良好に接着することが可能となる。また、工程の簡略化およびコストの削減を図ることも可能となる。さらにワークとテープ部材との間の接着強度を高めることも可能となる。

以下、本発明の一実施の形態に係るテープ接着装置１０について、図１から図１１に基づいて説明する。図１は、図２に示す蓋体部６０を透視した状態の本体部２０の平面図で、ゴムシート２５上にウエハ１１を載置した状態を示す図である。また、図２は、テープ接着装置１０において、蓋体部６０を閉じた状態を示す平面図である。また、図３はテープ接着装置１０の一部の内部構成（ゴムシート２５等）を透過した状態の側面図である。また、図４は、図１のテープ接着装置１０の排気系統及び制御系統の様子を簡略化して示す概略構成図である。

図１に示すように、本体部２０の平面形状は、例えば略正方形といった方形を為している。本体部２０の底面には、複数（例えば４本）の支持脚２１（図３参照）が取り付けられている。また、図３に示すように、テープ接着装置１０は、本体部２０と、この本体部２０に対して回動自在に設けられている蓋体部６０とを有している。

図３および図４に示すように、本体部２０の内部には、蓋体部６０に対して近接対向する本体上面部２２が設けられている。本体上面部２２は、真空吸引時に負荷される圧力（特に蓋体部６０側から負荷される垂直荷重）を受け止めるために、適切な強度を有した構成となっている。また、本体部２０を支えると共にその一部となる側壁および底壁も、真空吸引時に負荷される圧力に、十分抗し得るだけの強度を有する構成である。

また、図１、図３および図４に示すように、本体上面部２２のうち、外周側には、シールリング２３が取り付けられている。シールリング２３は、Ｏリング状の部材であり、後述する蓋体部６０のリング当接部６３に当接する。それによって、テープ接着装置１０の内部を、外部（大気）から密閉し、該テープ接着装置１０の内部を真空吸引することを可能としている。

また、本体上面部２２のうち、シールリング２３よりも中央部側（図１および図４参照；以下、内径部２２ａという）には、載置部２２ｂが設けられている（図４参照）。載置部２２ｂは、後述するゴムシート２５を載置するための部分である。なお、載置部２２ｂは、その上方側（蓋体部６０側）が吸引排気された場合でも、上方側に撓むのを防ぐため、十分な肉厚を有している。

載置部２２ｂの略中央部分には、孔部２４（図４および図６参照）が設けられている。この孔部２４は、後述する空気管路３８が嵌め込まれている。そして、この空気管路３３を介して、後述する空気導入部５１に存在する空気を吸引し、または空気導入部５１に空気を供給することを可能としている。このため、孔部２４は、ゴムシート２５で覆われる状態となる。

なお、空気導入部５１は、図４、図６等においては、孔部２４のうち、ゴムシート２５と開口部３９とで囲まれた部分となっている。しかしながら、ゴムシート２５が上底面６４ａ側に向かって膨張すると、空気導入部５１の領域も拡大され、孔部２４と開口部３９等で囲まれる部分のみならず、載置部２２ｂの上面とゴムシート２５とで囲まれる部分も、空気導入部５１となる。

また、以下の説明においては、シールリング２３、リング当接部６３、内径部２２ａおよびゴムシート２５によって囲まれる空間を、真空室５０とする。

また、載置部２２ｂには、孔部２４を覆うように、伸縮シート部材としてのゴムシート２５が設けられている。このゴムシート２５は、その上面に、ワークとしてのウエハ１１が搭載される部材である。後述するように、ゴムシート２５にウエハ１１が搭載された状態で、ゴムシート２５を上側に膨らませると、ウエハ１１が後述するテープ部材１２に向かって上昇する。

ゴムシート２５は、例えばクロロプレンといった、気泡の発生を低減できる材質によって構成されている。しかしながら、ゴムシート２５の材質は、かかるクロロプレンに限られるものではなく、通常の天然ゴム又は合成ゴム等を用いても良い。なお、ゴムシート２５の好ましい材質としては、上述のクロロプレンのような、気泡の発生を防ぐことができる材質である。

また、本実施の形態では、ゴムシート２５の上面に搭載されるウエハ１１は、その直径が１２インチとなっている。しかしながら、ウエハ１１のサイズは特に限定されず、例えば８インチウエハ等、他のサイズであっても良い。なお、ウエハ１１のサイズを変更する場合には、それに応じて他の部材（ゴムシート２５、押さえリング２６等）のサイズも変更されることになる。しかしながら、例えば８インチウエハ等の小さいサイズのウエハ１１への接着に際して、１２インチのウエハ１１の接着に対応しているテープ接着装置１０を利用しても良い。

図１および図５に示すように、ゴムシート２５の上部であって外周縁部には、外観が略リング状となっている、保持部材としての押さえリング２６が取り付けられている。押さえリング２６は、ゴムシート２５を押さえつけるためのものである。この押さえリング２６は、内径部２２ａに対して、例えばネジ２６ａ（図１参照）によって、その上方側から押さえつけるものであって、周方向に沿って適宜の間隔で固定されている。なお、このネジ２６ａによる固定に際しては、該ネジ２６ａがゴムシート２５を貫通する状態となる。そのため、ゴムシート２５に対して、予めネジ２６ａの貫通孔に対応する孔を形成するようにしても良い。

また、図４に示すように、真空室５０を真空吸引するために、該真空室５０の内部には、空気管路３３の端部側が配置されている。この空気管路３３の一端部３３ａは、４本に分岐している（図４は、断面図のため、２本のみ表示）。そして、分岐している夫々の空気管路３３の開口部３４が、図４に示すように、真空室５０の内部に存在している。なお、開口部３４は、本実施の形態では、図１に示す平面図において、略９０度間隔となるように配置されている。また、開口部３４は、シールリング２３の内部側である内径部２２ａであって押さえリング２６とシールリング２３の間に存在している。しかしながら、開口部３４の位置は、この部位には限られず、例えば押さえリング２６の上方に差し掛かる部位に設けても良い。

また、空気管路３３は、内径部２２ａを貫通していて、本体部２０の下方において、または本体部２０の外部において、分岐状態から１つに合流している（図４参照）。また、空気管路３３の他端部３３ｂは、本体上面部２２の底壁２２ｃから下方に向かって突出している。そして、この他端部３３ｂに対して、管部材３５の一端部を接続し、該管部材３５の他端部３５ｂを真空ポンプ３６に接続する。それによって、真空ポンプ３６が作動すると、真空室５０を真空吸引することが可能となっている。

また、管部材３５の中途部分には、第１の弁部材３７が設けられている。この第１の弁部材３７は、真空室５０の内部を真空吸引するために、真空ポンプ３６側と連通するように切り替える（以下、この切り替えを、吸引側への切り替えという。）ことを可能としていると共に、大気導入側へ開放するように切り替える（図３において突出管部３５ａ側への切り替え；以下、この切り替えを、大気導入側への切り替えという。）ことも可能となっている。第１の弁部材３７の切り替えにより、管部材３５が大気導入側へ開放されると、該管部材３５を介して、真空室５０の内部に、大気が導入される。また、第１の弁部材３７としては、例えば、ソレノイドにより開閉可能な、電磁弁を用いることが可能であるが、モータ等の他の駆動源を用いて開閉する方式であっても良い。

また、真空ポンプ３６は、本実施の形態では、本体部２０の外部に設けられている。しかしながら、本体部２０の内部に、真空ポンプ３６を内蔵する構成を採用しても良い。なお、この真空ポンプ３６、空気管路３３、管部材３５、第１の弁部材３７等によって、第１の吸引手段が構成される。また、第１の弁部材３７、空気管路３３、管部材３５、突出管部３５ａ等によって、第２の空気導入手段が構成される。

また、これらの真空ポンプ３６、および第１の弁部材３７は、後述する制御装置９０に接続されていて、該制御装置９０からの制御指令に対応した信号を受信した後に作動する。

また、図４および図６に示すように、ゴムシート２５の裏面側に向かうように、上述の空気管路３３と同様の、空気管路３８が設けられている。この空気管路３８は、空気管路３３とは異なり、上述の孔部２４に挿通するように、１本のみ設けられている。また、空気管路３８の開口部３９は、該孔部２４の内部に存在している（図６参照）。なお、本実施の形態では、孔部２４が内径部２２ａの中心に位置しているため、開口部３９も、内径部２２ａの中心に位置する構成となる。

また、上述の空気管路３３と同様に、空気管路３８の他端部３８ｂは、本体上面部２２の底壁２２ｃから下方に向かって突出していると共に、この他端部３８ｂに対して、管部材４０の一端側が接続されている。また、管部材４０の他端部は、真空ポンプ３６に接続されている。それにより、真空ポンプ３６が作動すると、空気導入部５１を真空吸引することを可能としている。

また、管部材４０の中途部分にも、第２の弁部材４１が設けられている。この第２の弁部材４１も、上述の第１の弁部材３７と同様に、真空ポンプ３６側と連通するように切り替える（吸引側へ切り替える）ことを可能としていると共に、突出管部４０ａを介して大気導入側へ開放するように切り替えることが可能である。第２の弁部材４１の切り替えにより、管部材４０が大気導入側へ開放されると、該管部材４０を介して、空気導入部５１に、大気が導入される。また、第２の弁部材４１も、制御装置９０に電気的に接続されている。

なお、真空ポンプ３６、第２の弁部材４１、空気管路３８、管部材４０によって、第２の吸引手段が構成される。また、第２の弁部材４１、空気管路３８、管部材４０、突出管部４０ａ等によって、空気導入手段が構成される。

さらに、図４に示すように、本体部２０の内部には、上述の管部材３５，４０と同様な管部材４２が設けられている。この管部材４２は、例えば本体部２０の後端側（蝶番６１側）に向かっていて、その一端側４２ａが本体部２０の背面から突出している。なお、管部材４２の一端側４２ａに、管継手を取り付けるようにしても良い。管部材４２の一端側４２ａには、柔軟に曲がることが可能なホース４３の一端側４３ａが連結されている。ホース４３は、本体部２０から上方の蓋体部６０側に向かって延伸していると共に、蝶番６１側から手前側（図１および図２に示す取手７３ａ側）に向かい蓋体部６０の上面側に沿って設けられている。そして、ホース４３の他端側４３ｂは、蓋体部６０の上面の径方向の略中心部分において、後述する空気管路６７の一端側と連結されている。

このように、管部材４２と空気管路６７の間に、柔軟に曲がるホース４３が設けられているため、蓋体部６０の開閉（回動）に対応可能となっている。

また、管部材４２の中途部分には、上述した第１の弁部材３７および第２の弁部材４１と同様の、第３の弁部材４４が設けられている。第３の弁部材４４も、真空ポンプ３６側と連通するように切り替える（吸引側へ切り替える）ことを可能としていると共に、突出管部４２ｂを介して大気導入側へ開放するように切り替えることが可能である。なお、管部材４２が大気導入側へ開放されると、この管部材４２を介してテープ部材１２の裏面側（図４においてテープ部材１２の上面側）に大気が導入される。それにより、テープ部材１２の保持状態が解除される。また、第３の弁部材４４も、制御装置９０に電気的に接続されている。

なお、真空ポンプ３６、管部材４２、ホース４３、第３の弁部材４４、空気管路６７によって、第３の吸引手段が構成される。また、後述する吸着部材６６、真空ポンプ３６、管部材４２、ホース４３、第３の弁部材４４、空気管路６７、挟持部材７０によって、テープ保持手段が構成される。

ここで、本実施の形態では、上述のように、柔軟なホース４３を用いることにより、真空ポンプ３６で生じる吸引力を蓋体部６０側に伝達すると共に、蓋体部６０の開閉（回動）に対応させている。しかしながら、真空ポンプ３６で生じる吸引力を蓋体部６０側に伝達するための構成は、ホース４３を用いるものには限られない。例えば、真空吸引するためのホース４３等の部材が、テープ接着装置１０から外部に突出していていない構成が望まれる場合もある。

このような場合には、例えば、蓋体部６０のリング当接部６３に蓋側開口を形成すると共に、本体上面部２２のうち蓋側開口と対向する部位に本体側開口を形成する。これらと共に、蓋側開口または本体側開口の少なくとも一方の周囲に、リング状のゴムシールを突出するように取り付ける。また、蓋側開口には、管部材の一端側を連結し、該管部材の他端側を凹部６４に連通させる。また、本体側開口には、上述したのと同様の空気管路を設ける。このようにすれば、蓋体部６０を閉じたときに、管部材と空気管路とが接続される。また、ゴムシールがリング当接部６３と本体上面部２２の間に介在して、蓋側開口と本体側開口の両者を気密に塞ぐ状態となる。

また、本体部２０と蓋体部６０とが対向する部位のうち、蝶番６１が存在する部位に、折れ曲がり自在かつ伸縮自在な、蛇腹状の管継手を設け、この管継手を介して、本体部２０の内部に設けられる管部材と、蓋体部６０の内部を進行する空気管路とを連結するようにしても良い。

また、本実施の形態では、真空ポンプ３６は１つのみ設けられている。また、第１〜第３の弁部材３７，４１，４４を大気導入側および吸引側に切り替えることによって、真空室５０、空気導入部５１、およびテープ部材１２の裏面側（上面側）の少なくとも１つの真空吸引や大気圧化を可能としている。

しかしながら、真空ポンプ３６は、１つには限られるものではなく、第１の吸引手段、第２の吸引手段および第３の吸引手段の夫々に対応させて、真空ポンプ３６を２つまたは３つ以上設けるように構成でしても良い。また、第１の弁部材３７、第２の弁部材４１および第３の弁部材４４といった三方弁を用いずに、吸引側の弁部材及び大気導入側の弁部材の両方を、夫々の管部材３５、管部材４０および管部材４２に設けるようにしても良い。このようにしても、真空室５０、空気導入部５１およびテープ部材１２の裏面側（上面側）の吸引／非吸引を良好に切り替えることができる。

さらに、図３に示すように、本体部２０の側壁の外面には、真空計４５が取り付けられている。この真空計４５は、本実施の形態では、２つ設けられている。しかしながら、本実施の形態では、管部材３５，４０，４２の個数に対応させて、３つ設けるのが好ましい。かかる真空計４５のうちの１つは、真空室５０の内部の気圧を測定するためのものである（以下、必要に応じて真空計４５ａという）。また、真空計４５のうちの他の１つは、空気導入部５１の気圧を測定するためのものである（以下、必要に応じて真空計４５ｂという。）。なお、かかる２つの真空計４５ａ，４５ｂも、制御装置９０に接続されている。

また、本体上面部２２のうち、例えば後述する蝶番６１から最も離間している２つのコーナ部分のうち、一方のコーナ部分２２ｄ（図１参照）には、センサ４６が設けられている。センサ４６は、例えば磁気センサを用いていて、本体部２０に対して蓋体部６０が、所定だけ近接するまで閉じたか否かを検出するものである。なお、このセンサ４６も、制御装置９０に接続されていて、この制御装置９０に対して蓋体部６０が閉じているか否かの検出信号を送信する。そして、制御装置９０は、蓋体部６０が閉じている状態に対応した検出信号を受信したときのみ、真空ポンプ３６等に対して作動に対応した信号を送信する。

次に蓋体部６０の構成について説明する。図１、図２および図５に示すように、蓋体部６０は、本体部２０に対して蝶番６１を介して接続されている。すなわち、蝶番６１を支点として、蓋体部６０は回動可能となっている。また、図１に示すように、蓋体部６０には、２つのダンパ部材６２の各一端側６２ａが取り付けられている。また、ダンパ部材６２の各他端側６２ｂは、本体上面部２２に取り付けられている。このダンパ部材６２は、伸縮自在となっていると共に、内部に存在する粘性体（油等）の粘性抵抗によって、急激に蓋体部６０が本体部２０に対して降下するのを防止している。

なお、ダンパ部材６２は、バネ部材（不図示）も内蔵していて、蓋体部６０が開いた状態（例えば、図７（ａ）に示す状態）を維持可能となっている。しかしながら、蓋体部６０が開いた状態を維持する必要がない場合には、バネ部材を省略する構成としても良い。

また、図３及び図４に示すように、蓋体部６０のうち、本体部２０のシールリング２３に当接する部分は、リング当接部６３となっている。リング当接部６３は、シールリング２３との当接によって、真空室５０を密閉する。なお、かかる密閉を良好にするために、リング当接部６３は、本実施の形態では同一平面をなす、平板状の部分から構成されている。

図３〜図５に示すように、蓋体部６０のうち、本体部２０と対向する対向面であって、リング当接部６３よりも内径側の部位には、凹部６４が形成されている。この凹部６４は、リング当接部６３よりも窪んだ状態に形成されている。この凹部６４は、上述の内径部２２ａに対応する大きさを有している。このため、蓋体部６０を閉じて、シールリング２３がリング当接部６３に当接する密閉状態となると、この凹部６４、シールリング２３、内径部２２ａ、およびゴムシート２５で囲まれた空間が出現する。そして、この空間が、真空室５０となる。

また、凹部６４のうち、上方に位置する底面（以下、上底面６４ａという。）は、ゴムシート２５が膨張する際に、テープ部材１２の周縁部が上方へ移動するのを押さえる（受け止める）部分となる。このため、凹部６４は、テープ部材１２の周縁部を受け止めて、該テープ部材１２のウエハ１１に対する接着を良好に行える深さに設定されている。

凹部６４には、嵌合凹部６５が設けられている。嵌合凹部６５は、凹部６４から上面側に向かって窪んでいる部位であり、また凹部６４よりも小径に設けられている。この嵌合凹部６５には、例えば多孔質セラミックスのような、多孔質の材質からなる吸着部材６６が嵌め込まれる。かかる吸着部材６６を介して、テープ部材１２は、吸引保持される。なお、吸着部材６６は、嵌合凹部６５への嵌め込みに対応して、該嵌合凹部６５より僅かに小さな寸法を有している。

また、図４および図６に示すように、蓋体部６０には、空気管路６７が設けられている。空気管路６７は、その断面形状が略Ｌ字を為すように設けられている。それにより、空気管路６７の一端側は、蓋体部６０の上面に沿う状態で設けられると共に、空気管路６７の他端側は、蓋体部６０を貫いて、嵌合凹部６５に到達する状態で設けられている。なお、空気管路６７の他端側のうち、嵌合凹部６５に対して開口している部分を、開口部６８とする。また、本実施の形態では、蓋体部６０の上面には、固定部材６７ａが設けられていて、空気管路６７は、この固定部材６７ａを介して、蓋体部６０の上面に取り付けられている。

ここで、嵌合凹部６５には、該嵌合凹部６５の上底面６５ａよりも僅かに窪んだ窪み部６９が設けられるようにするのが好ましい。この場合、窪み部６９は、嵌合凹部６５の直径よりも小さい直径を有する形状とし、吸着部材６６の外周部分を窪み部６９以外の嵌合凹部６５の上底面６５ａで受け止めるようにする。かかる窪み部６９が存在する場合、窪み部６９と吸着部材６６の間で生じている負圧が、大面積化される。そのため、吸着部材６６は、ウエハ１１に対して大面積の状態で吸着可能となる。

また、図３、図５および図８に示すように、嵌合凹部６５の外側であって、凹部６４の内部には、テープ部材１２の隅部を固定するための挟持部材７０が設けられている。図５に示すように、挟持部材７０は、板バネ７１を具備し、この板バネ７１の一端側がネジ７２によって凹部６４に取り付けられている。また、板バネ７１の他端側は、付勢力によって上底面６４ａに押し付けられているが、板バネ７１の他端側は、板バネ７１の付勢力に抗しながら開放可能となっている。なお、本実施の形態では、挟持部材７０は、凹部６４の周方向において、略９０度間隔で４つ設けられている。

また、蓋体部６０の側壁部分であって蝶番６１と対向する部分には、取手７３ａが取り付けられている。そのため、作業者は取手７３ａを把持して蓋体部６０を容易に開閉することができる。なお、本体部２０の側壁部分には、相対向するように２つずつ、計４つの取手７３ｂが設けられている。この取手７３ｂを持つことで、テープ接着装置１０を容易に移動させることができる。

また、図２、図８および図９に示すように、テープ接着装置１０には、開閉ロック手段としてのロック機構８０が設けられている。ロック機構８０は、本体部２０側に取り付けられているブロック部８１を具備している。このブロック部８１には、ネジ孔８２が設けられていて、該ネジ孔８２には、レバー部材８３のネジ部８４が捻じ込まれる。また、レバー部材８３は、ネジ部８４と、このネジ部８４の軸線からずれる方向に向かって突出する把持部８５と、を具備している。

このうち、ネジ部８４には、ネジ孔８２と螺合するためのネジ山が形成されている。このネジ部８４には、クランプ部材８６が挿通される。また、把持部８５は、作業者が把持する部分であり、かかる把持によりレバー部材８３を回転させることが可能となる。

ネジ部８４に挿通されるクランプ部材８６は、直方体部材であり、ネジ部８４に対して回動自在に設けられている。このクランプ部材８６の長手は、蓋体部６０の側縁方向に対して垂直を為す配置にすることができ、その場合には、蓋体部６０の上部にクランプ部材８６が差し掛かって、蓋体部６０の開放が阻止される。また、クランプ部材８６の長手が蓋体部６０の側縁方向に対して平行を為す配置にすることもでき、その場合には、蓋体部６０の上部にクランプ部材８６が差し掛からなく、蓋体部６０の開放を許容する状態となる。

なお、本実施の形態では、蓋体部６０のうち、クランプ部材８６と対向する部位には、ボルト８７が取り付けられていて、かかるボルト８７に対してクランプ部材８６が当接する構成となっている。

また、図４に示すように、テープ接着装置１０には、制御手段としての制御装置９０が設けられている。制御装置９０は、上述したように、真空ポンプ３６、第１〜第３の弁部材３７，４１，４４、真空計４５、センサ４６に対して電気的に接続されている。この制御装置９０には、オン作動を行うための操作ボタン（不図示）が連結されている。このため、センサ４６がオン作動を許可する蓋体部６０の閉塞状態において、作業者が操作ボタンを押すと、真空ポンプ３６が作動する。

ここで、制御装置９０は、初めに第２の弁部材４１および第３の弁部材４４を吸引側に切り替えると共に、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替えた状態を維持して、所定時間だけゴムシート２５およびウエハ１１の真空吸引を行うように、第１〜第３の弁部材３７，４１，４４の夫々に対して制御信号を発する。そして、所定時間経過後に、第１の弁部材３７に対して制御信号を発し、第１の弁部材３７を大気導入側から吸引側に切り替えて、真空室５０に対しても、真空吸引を行う。

また、制御装置９０は、真空室５０および空気導入部５１が、所定の真空度に到達したことがセンサ４６によって計測された場合に、第２の弁部材４１に対して、大気導入側に切り替えるための制御指令を発する。それによって、ゴムシート２５が膨張し、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着が開始される。さらに、この状態から所定時間経過して接着が終了した後に、制御装置９０は、第１の弁部材３７に対して大気導入側に切り替えるための制御指令を発する。かかる切り替えにより、真空室５０および空気導入部５１の両方とも、大気圧と等しい状態となり、接着動作が終了する。

さらに、制御装置９０は、真空ポンプ３６を逆回転させると共に第１の弁部材３７または第３の弁部材４４を吸引側と同じ側に切り替える。それにより、真空室５０の内部に空気が加圧状態で導入される。なお、真空ポンプ３６を逆回転させる構成を採用せずに、真空ポンプ３６の吐出側に接続されている管部材、および真空ポンプ３６の流入側に別途接続されている大気を導入可能な管部材との間の接続を切り替える等により、真空室５０の内部の加圧状態を実現するように構成しても良い。

なお、上述の所定の真空度としては、約２０Ｐａ程度とする場合が、その一例として挙げられる。しかしながら、所定の真空度はこれに限られるものではなく、大気圧よりも低い状態であれば、どのような真空度であっても良い。また、制御装置９０は、接着が終了した後には、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替える作動と共に、真空ポンプ３６を停止させるように、真空ポンプ３６に対して制御指令を発するように構成しても良い。しかしながら、この場合には、真空ポンプ３６を動作継続させる場合と比較して、次の真空吸引の際の吸引時間が、多少長くなる。

以上のような構成を有するテープ接着装置１０の作用（動作）について、以下に説明する。なお、この作用（動作）については、図１０に示す動作フローに基づいて、実行される。

最初に作業者は、蓋体部６０を開放させ、ゴムシート２５にウエハ１１を載置すると共に、テープ部材１２を挟持部材７０に取り付ける（ステップＳ１０）。この場合、テープ部材１２が板バネ７１と上底面６４ａとによって挟持される状態とする。それにより、テープ部材１２の裏面は、吸着部材６６に当接する状態となると共に、テープ部材１２の粘着面（表面）が、下方を向く状態となる。

なお、挟持部材７０によりテープ部材１２を取り付けた場合、真空ポンプ３６を作動させるようにしても良い。真空ポンプ３６を蓋体部６０の開放状態において作動させた場合には、管部材４２、空気管路６７を介して吸引保持力が吸着部材６６に伝達される。それにより、テープ部材１２が吸着部材によって吸引保持される状態となる。そして、このテープ部材１２の吸引保持によって、蓋体部６０の開放状態において、テープ部材１２にしわが存在しない状態となる。

次に、センサ４６によって蓋体部６０が閉じたことが検出されるまで、蓋体部６０を本体部２０に対して降下させる（ステップＳ１１）。そして、センサ４６がこの降下による蓋体部６０の閉塞状態を検出したか否かを、制御装置９０は判断する（ステップＳ１２）。そして、センサ４６が閉塞状態を検出した場合には、制御装置９０は真空ポンプ３６の作動を許可する。この状態において、作業者が操作ボタンを押したときに、真空ポンプ３６が作動を開始する。

また、蓋体部６０が閉じ状態となった後に、作業者は、クランプ部材８６を回転させて、該クランプ部材８６の先端部分が蓋体部６０の上面に差し掛かる状態とする。この後に、作業者がレバー部材８３を把持し、該レバー部材８３を閉じ方向に回転させ、クランプ部材８６の下面をボルト８７に当接させる。この当接状態において、さらにレバー部材８３を閉じ方向に回転させると、蓋体部６０は、クランプ部材８６によって押され、リング当接部６３がシールリング２３に押し付けられる。なお、レバー部材８３を回転させる場合、全てのレバー部材８３を順次少しずつ回転させていき、ロック状態に偏りが生じないようにするのが好ましい。

そして、所定だけレバー部材８３を閉じ回転させると、リング当接部６３によりシールリング２３が押圧されて弾性変形し、真空室５０の内部が外部から気密に閉塞される状態となる（ステップＳ１３）。このように、ロック機構８０により蓋体部６０の開放をロックすると、真空室５０の内部が加圧されても、蓋体部６０が持ち上がって開放することがなく、真空室５０を外部から封止することができる。

次に、作業者が操作ボタンを押すと、制御装置９０がその押し込みを検知して、真空ポンプ３６に対して作動のための指令を発する。それにより、真空ポンプ３６が作動して、真空室５０、テープ部材１２およびゴムシート２５の真空吸引を行う（吸引ステップに対応）。なお、蓋体部６０の開放状態において、テープ部材１２の吸引保持が為されている場合には、この吸引保持が継続される状態となる。また、上述の真空ポンプ３６の作動に際しては、初めは第２の弁部材４１および第３の弁部材４４を吸引側に切り替えると共に、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替えて、テープ部材１２およびゴムシート２５の真空吸引を先に行う（ステップＳ１４）。

そして、かかるテープ部材１２およびゴムシート２５の真空吸引を所定時間行った後に、第１の弁部材３７を大気導入側から吸引側に切り替えて、テープ部材１２およびゴムシート２５と共に、真空室５０の真空吸引行う（ステップＳ１５）。

所定時間、真空ポンプ３６が真空吸引を行うと、真空室５０およびゴムシート２５の裏面側が、所定の真空度に達したことが、真空計４５によって検出される（ステップＳ１６；真空度到達検出ステップに対応）。かかる真空計４５が所定の真空度を検出すると、所定の検出信号を制御装置９０に対して送信する。すると、制御装置９０は、真空ポンプ３６の作動を維持したままで、第２の弁部材４１を大気導入側に切り替える（ステップＳ１７；空気導入ステップに対応）。それによって、空気導入部５１には、突出管部４０ａを介して大気が導入される。

空気導入部５１に大気が導入されると、真空室５０と空気導入部５１に存在する圧力差によって、ゴムシート２５が真空室５０側に向かって膨張する。この場合、ゴムシート２５の膨張によってウエハ１１が持ち上げられ、該ウエハ１１の上面がテープ部材１２に接触する。そして、ウエハ１１の上面に対して、テープ部材１２の接着が開始される（ステップＳ１８；接着ステップに対応）。

ここで、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間における、接着の態様には、図１１（ａ），（ｂ）に示すような、２通りがある。まず、その１通り目としては、図１１（ａ）に示すような、ウエハ１１がテープ部材１２に対して傾斜せずに平行な状態を維持して、該ウエハ１１の上面の略中央部分から、テープ部材１２に接着する場合である。

この場合には、ウエハ１１がゴムシート２５の膨張により持ち上げられると、吸着部材６６での保持により弛みが解消されているテープ部材１２に対して、ウエハ１１の中央部分から接触する。この接触状態から、さらにゴムシート２５が膨張する場合、ゴムシート２５の中央部分は、ウエハ１１の中央部がテープ部材１２に触れるため、これ以上移動できないが、引き続きゴムシート２５の周辺側が、膨張により上方へ移動して、ウエハ１１をテープ部材１２に順次接触させてゆく。

このため、ウエハ１１は、ゴムシート２５が膨張するにつれて、周辺部の撓みがなくなり、テープ部材１２に対し、中心側から周辺側に向かって順次接着が進行する。なお、この状態のまま、所定時間経過すると、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着が、確実に実行された状態となる。

以上のような接着態様では、ウエハ１１（テープ部材１２）の中央部分から外方に向かって、空気を逃がしながら、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間の接着が実行される。なお、この接着態様においては、真空ポンプ３６は、真空室５０側を真空吸引している状態を継続している。このため、上述の接着態様と相俟って、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間に存在する空気が排除されることによって、ウエハ１１とテープ部材１２との接着が、良好な状態で為される。

また、接着の態様の２通り目としては、図１１（ｂ）に示すような、ウエハ１１がテープ部材１２に対して傾斜した状態で、該傾斜しているウエハ１１のうちの最も高い部分（以下、上端とする。）から、テープ部材１２に接着する場合である。この場合には、まず傾斜しているウエハ１１のうち、上端からテープ部材１２に対する接着が開始される。つまり、ウエハ１１がゴムシート２５の膨張に伴なって持ち上げられると、吸着部材６６での保持により弛みが解消されているテープ部材１２に対して、ウエハ１１のうち上端から接着が開始される。

ここで、テープ部材１２は吸着部材６６によって保持されているため、テープ部材１２がウエハ１１により押されても、テープ部材１２は上方に移動しない。そのため、ゴムシート２５が徐々に膨張すると、ウエハ１１のうちテープ部材１２への接触部分（上端部分）を支点としつつ、ウエハ１１の傾斜角度が徐々に狭まる状態で、該ウエハ１１が持ち上げられる。そして、このウエハ１１の持ち上げは、ウエハ１１の傾斜角度がゼロとなるまで実行される。なお、ウエハ１１の傾斜角度がゼロとなって所定時間経過すると、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着が、確実に実行された状態となる。

以上のような接着態様では、ウエハ１１（テープ部材１２）の上端から、他方側の端部に向かって、空気を逃がしながら、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間の接着が実行される。なお、この接着態様においても、真空ポンプ３６は、真空室５０側を真空吸引している状態を継続している。このため、上述の接着態様と相俟って、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間に存在する空気が排除されることによって、ウエハ１１とテープ部材１２との接着が、良好な状態で為される。

以上のようにして、制御装置９０は、第１の弁部材３７の吸引側への切り替え状態を継続したまま、第２の弁部材４１の大気導入側への切り替えを、所定時間継続させる（ステップＳ１９）。それによって、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着が実行された状態となる。

なお、ウエハ１１に対してテープ部材１２が接着される際に、空気管路３８と空気管路６７を介して同時に真空排気されるため、最終的には真空室５０とテープ部材１２の裏面側とが、同一の圧力となる。このため、真空吸引が進行すると、テープ部材１２は、吸着部材６６から容易に離れる状態となる。

ステップＳ１９において、制御装置９０が所定時間経過したと判断した場合には、制御装置９０は、真空ポンプ３６を逆回転させると共に、第３の弁部材４４を真空吸引と同じ側（加圧側）に切り替える。同時に、第１の弁部材３７および第２の弁部材４１を閉じるようにする。

それにより、テープ部材１２が吸着部材６６から離れると共に、真空室５０には、空気管路６７を介して空気が加圧状態で導入される。この場合、まず真空室５０の真空吸引の解除により、ゴムシート２５の膨張が解除され、ゴムシート２５が載置部２２ｂに載置される状態となる。次に、真空室５０は、大気圧よりも高い加圧状態となり、テープ部材１２は、ウエハ１１に向かって押し付けられ、加圧される（ステップＳ２０；加圧ステップに対応）。かかる加圧により、テープ部材１２とウエハ１１との間の密着性が高められる。

なお、本実施の形態では、加圧によりテープ部材１２等に付与される圧力は、１ｃｍ^２当たり４〜５ｋｇ程度となっている。また、第３の弁部材４４のみならず、第１の弁部材３７を真空吸引と同じ側（加圧側）に切り替えるようにしても良い。この場合、空気管路６７を介してのみならず、空気管路３３を介しても、真空室５０に対して加圧状態で空気が導入される。

また、真空ポンプ３６を第１〜第３の弁部材３７，４１，４４の個数分だけ設ける場合、第１の弁部材３７と第３の弁部材４１が接続される真空ポンプ３６のうち少なくとも一方を逆回転させて真空室５０の内部を加圧する。また、第２の弁部材４１を大気導入側に切り替えると共に真空ポンプ３６を停止させるか、または第２の弁部材４１を真空吸引側に切り替えると共に真空ポンプ３６を正回転させて空気導入部５１を真空吸引する。このようにすれば、ウエハ１１に対してテープ部材１２を良好に密着させることができる。

真空室５０における加圧状態が所定時間経過したと、制御装置９０が判断した場合、制御装置９０は真空ポンプ３６の作動を停止させ、第１〜第３の弁部材３７，４１，４４を大気導入側に切り替える（ステップＳ２１）。それによって、テープ部材１２の裏面側、真空室５０および空気導入部５１は、大気圧となり、上述の加圧状態が解除される。

なお、上述のステップＳ２１において、第１〜第３の弁部材３７，４１，４４を大気導入側に切り替えた場合、真空ポンプ３６の作動は継続したままの状態を維持している。それによって、次のウエハ１１に対する接着作業に、素早く対応可能となっている。しかしながら、かかる作動を停止させるようにしても良い。

その後に、作業者はレバー部材８３を開き方向に回転させて、蓋体部６０を開放させる。そして、作業者は、挟持部材７０によるテープ部材１２の保持を解いて、テープ部材１２が接着された状態のウエハ１１を取り出す（ステップＳ２２）。以上のようにして、ウエハ１１の上面に対するテープ部材１２の接着が終了する。

なお、ウエハ１１の上面に対するテープ部材１２の接着が終了した以後は、例えばダイシングプロセスといった、次工程に進行する。

このような構成のテープ接着装置１０によれば、ゴムシート２５の膨張を利用して、ウエハ１１の上面にテープ部材１２を接着させることができる。このため、簡易な構成でありながら、大気圧と真空状態との間の圧力差によって、確実にウエハ１１の上面にテープ部材１２を接着させることができる。特に、ゴムシート２５を用いていることにより、テープ部材１２に対してウエハ１１が、いわゆる片当たりの状態で接触したとしても、ゴムシート２５の弾性変形によって、容易にウエハ１１の姿勢を持ち直すことができる。このため、ウエハ１１の上面に対するテープ部材１２の接着性を、良好とすることができる。

また、上述のテープ接着装置１０を用いた場合、真空室５０の内部を加圧することができる。このため、ウエハ１１とテープ部材１２との間における密着性を一層高めることができ、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着を、一層確実にすることができる。このため、テープ部材１２がウエハ１１から簡単に剥離するのを防ぐことができる。

また、ゴムシート２５の上面に、ウエハ１１を載置している。このため、ゴムシート２５の弛みの影響を除去することができる。このように、弛みの影響が除去されるので、ゴムシート２５に大きな張力を付与する構成を備えなくて済み、構成の簡略化を図ることができる。また、ゴムシート２５に付与する張力が小さくて済むので、テープ接着装置１０を製造する作業者の工数を削減することができる。また、ゴムシート２５を押さえリング２６で押さえつける際に、気密性を向上させることができる。

さらに、ゴムシート２５の膨張を利用するため、ウエハ１１を上方のテープ部材１２へ移動させる特別な構成を要さずに済む。このため、簡易な構成で、ウエハ１１をテープ部材１２に向けて（上方へ向けて）移動させることができる。

また、テープ部材１２は、吸着部材６６によって吸着保持される。そのため、例えばテープフレームといった、テープ部材１２を張設するための部材、および張設するための部材を支持するための手段を別途設ける必要がなくなり、凹部６４の内部に存在する構成を簡略化することができる。また、テープ部材１２は吸着部材６６によって吸着保持されるため、テープ部材１２に対して張力を加える必要がなく、張力負荷によってテープ部材１２が伸びてしまうのを防止することができる。また、テープ部材１２を保持する際に、該テープ部材１２が張設されないため、テープ部材１２に対して張力を加えずに済む。このため、ウエハ１１に接着されたテープ部材１２に、張力に対応した収縮が生じるのを防ぐことができ、テープ部材１２の接着状態を良好にすることが可能となる。

また、吸着部材６６は、多孔質セラミックスから構成されている。このため、テープ部材１２の全面に亘って確実に、かつ均一に吸着保持することができる。それによって、テープ部材１２に弛みが生じるのを防ぐことができる。

さらに、テープ部材１２は、挟持部材７０によって挟持される。それにより、真空室５０の内部が真空吸引され、テープ部材１２の表面と裏面とで圧力差が生じなくなっても、テープ部材１２が吸着部材６６から落下するのを防ぐことができる。それにより、ウエハ１１に対して、テープ部材１２を良好に接着させることができる。

また、蓋体部６０と本体部２０の間には、ロック機構８０が設けられている。このロック機構８０を用いて、蓋体部６０の開放をロックすると、真空室５０の内部が加圧されても、蓋体部６０が持ち上がって開放するのを防ぐことができる。それにより、真空室５０を外部から封止することができ、加圧状態を継続することができる。

さらに、制御装置９０は、真空ポンプ３６、第１〜第３の弁部材３７，４１，４４、真空計４５、センサ４６に接続されていて、これらの作動を制御することができる。特に、制御装置９０は、真空ポンプ３６を作動させて、真空室５０および空気導入部５１の真空吸引を行い、この真空吸引の後に、第２の弁部材４１を大気導入側に作動させて、空気導入部５１に大気を導入している。それによって、ゴムシート２５を真空室５０側に向かって膨張させることができ、弛みを除去したゴムシート２５の膨張を利用して、ウエハ１１の上面に対して、確実にテープ部材１２を接着させることが可能となる。

また、制御装置９０は、真空室５０および空気導入部５１の真空吸引を行うに際して、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替えると共に、第２の弁部材４１を真空吸引側に切り替えて、先に空気導入部５１の吸引排気を行っている。このため、真空室５０に対して空気導入部５１の圧力が最初は低下する。そのため、ゴムシート２５は、載置部２２ｂに向かって押し付けられ、先に真空室５０側に向かって膨張するのが防止される。それによって、第２の弁部材４１が大気導入側に切り替え作動される前の段階で、ウエハ１１とテープ部材１２とが接着されてしまうのを防ぐことができる。

また、制御装置９０は、第２の弁部材４１を大気導入側に切り替えて所定時間経過した後に、真空ポンプ３６を逆回転させると共に、第３の弁部材４４を真空吸引と同じ側（加圧側）に切り替えるように制御している。それにより、真空室５０には、空気管路６７を介して空気が加圧状態で導入され、テープ部材１２は、ウエハ１１に向かって押し付けられる。それによって、ウエハ１１に対するテープ部材１２の接着性（密着度）を高めることができ、テープ部材１２がウエハ１１から簡単に剥離するのを防ぐことができる。

以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。

上述の実施の形態では、ゴムシート２５の上面にウエハ１１を載置している。しかしながら、かかるゴムシート２５の上面に、例えば樹脂を材質とするシート状部材を載置し、このシート状部材の上部に、ワークを載置するようにしても良い。このようにすれば、ゴムシート２５がこすれる等によって生じる、ワークに対する塵埃の付着を防止することができ、後の洗浄処理装置を用いた洗浄工程等を削減することが可能となる。

また、上述の実施の形態では、シールリング２３を本体上面部２２に取り付けている。しかしながら、シールリング２３は、蓋体部６０側に取り付けるようにしても良い。このように構成した場合には、本体上面部２２にリング当接部が設けられることになる。

さらに、上述の実施の形態では、伸縮シート部材として、ゴムシート２５を用いた場合について説明している。しかしながら、伸縮シート部材は、ゴムシート２５に限られるものではなく、例えばエラストマー樹脂等の樹脂を材質とする等、ゴム材質以外の材質から構成されていても良い。また、上述の実施の形態では、保持部材として、押さえリング２６を用いる場合について説明している。しかしながら、保持部材は押さえリング２６に限られるものではなく、例えば内径部２２ａに塗布する接着剤等の接着性を有する材質を、保持部材として用いても良い。また、保持部材の形状は、リング状に限られるものではなく、外径が多角形をなすリング形状等、種々の形状を採用することが可能である。

また、上述の実施の形態では、テープ保持手段が吸着部材６６を有し、この吸着部材６６によってテープ部材１２を吸着保持する場合について説明している。しかしながら、テープ部材１２を保持するための構成は、これには限られない。例えば、リング状のテープフレームを用いて、テープ部材１２を張設する構成を採用しても良い。

また、本実施の形態では、テープ部材１２を吸着保持するために、多孔質セラミックスを材質とする吸着部材６６を用いているが、吸着部材は、多孔質体であればどのような材質であっても良い。多孔質体の他の例としては、スポンジ体が挙げられる。

また、制御手段としては、予め制御条件が設定されているものでも良く、作業者側で任意に制御条件を設定可能な構成でも良い。さらに、シール部材は、本体部２０と蓋体部６０との間を気密に閉塞できる構成であれば、どのような形状・構成であっても良い。

また、ワークとしては、ウエハ以外に液晶等のガラス基板や特殊ガラス材、有機ＥＬ用のガラス基板等を採用しても良い。また、上述の実施の形態では、真空化後に大気（空気）を導入しているが、空気以外のもの、例えばアルゴンガス等を導入して、加圧する状態としても良い。

また、上述の実施の形態では、開閉ロック手段として、ロック機構８０を用いた場合について説明している。しかしながら、開閉ロック手段は、ロック機構８０には限られない。例えば、本体部２０側に差込穴を設けると共に、蓋体部６０側にバネによる付勢力を受けながら回動する爪部を設け、蓋体部６０を閉じた場合に爪部が差込穴に嵌まり込むようにし、爪部の差込穴の内部での係止によって、蓋体部６０の開放がロックされるように構成しても良い。また、開閉ロック手段を省略する構成を採用しても良い。

また、テープ部材１２は、上述の実施の形態のものには限られず、ＵＶ硬化型テープ、偏光フィルム、保護シート、透明電極等、ワークの表面に接着可能であれば、種々のものを用いることができる。

また、上述の実施の形態において、テープ接着装置１０の内部にワークの表面に接着されているテープ部材１２を剥離させるための剥離機構を設けるようにしても良い。この場合、例えば蓋体部６０または本体部２０の内部に、テープ部材１２を剥がすための剥離機構としての吸引保持機構、またはテープ部材１２の端部を摘んで剥がす等の機構を、テープ接着装置１０の内部に設けるようにしても良い。また、吸引保持機構を設ける場合、上述した真空ポンプ３６の吸引を利用する構成を採用しても良い。

このような剥離機構を具備することにより、真空吸引されるテープ接着装置１０の内部において、テープ部材１２を剥がすことができる。そのため、テープ剥がしが為されるに際して、ガラス基板の表面に埃が付着するのを防ぐことができる。特に、現状では、クリーンルーム内でテープ部材１２を剥離させても、ワークの表面に埃が付着するのを防止することが困難であるが、本実施の形態のテープ接着装置１０を利用する場合、真空内部においてテープ部材１２の剥離が為されるため、ワークに埃が付くのを、一層確実に防ぐことができる。

また、別途、ウエハ１１やガラス基板にテープ部材１２を接着した後に、テープ部材１２を切断するための機構を、テープ接着装置１０の内部に設けるようにしても良い。

また、上述の実施の形態におけるテープ接着装置１０は、加圧を行える蓋体部６０を具備している。しかしながら、テープ接着装置は、かかる蓋体部６０と、空気管路６７等を具備せずに加圧を行えないタイプの蓋体部とを容易に交換可能としても良い。

さらに、上述の実施の形態においては、吸着部材６６は、多孔質セラミックスから構成されている。この場合において、多孔質セラミックスを別途加熱する機構を設け、該吸着部材６６にセラミックスヒータといった、加熱のための機能を持たせるようにしても良い。この場合には、テープ部材１２が加熱されるため、テープ部材１２のウエハ１１に対する接着性（粘着性）が良好となる。このため、テープ部材１２をウエハ１１に対して一層強固に接着させることが可能となる。

本発明のテープ接着装置およびテープ接着方法は、ウエハを用いた半導体集積回路の製造過程や液晶を用いた液晶表示装置の製造過程において利用することができる。すなわち、半導体製造産業等において利用することができる。また、ガラス基板を用いたディスプレイの製造産業等において利用することもできる。

本発明の第１の実施の形態に係るテープ接着装置の構成を示す図であり、ウエハをゴムシート上に配置した状態で蓋体部を透視して示す平面図である。 図１のテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を閉じた状態を示す平面図である。 図１のテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を閉じた状態を示すと共に内部構成の一部を透視した状態について示す側面図である。 図１のテープ接着装置の排気系統及び制御系統の様子を簡略化して示す概略構成図である。 図１のテープ接着装置において、ゴムシートおよびテープ部材を保持する構成のうち、押さえリング付近を拡大して示す部分的な側断面図である。 図１のテープ接着装置において、ゴムシートおよびテープ部材を保持する構成のうち、空気導入部付近を拡大して示す部分的な側断面図である。 図１のテープ接着装置の構成を示す図であり、（ａ）は蓋体部を開いた状態を示す内部を一部透視した側面図であり、（ｂ）は蓋体部を閉じた状態を示す正面側から見た要部断面図である。 図１のテープ接着装置のうち、蓋体部の内部構成を透視して示すと共に、蓋体部と本体部との間に存在するロック機構の取り付けの様子を示す側面図である。 図１のテープ接着装置の構成を示す背面図である。 図１のテープ接着装置を用いて、ウエハに対してテープ部材を接着する場合の動作フローを示す図である。 図１のテープ接着装置を用いて、ウエハを持ち上げてテープ部材に接着させる場合の接着の態様を示すイメージ図であり、（ａ）はテープ部材に対してウエハの中央部分から接着が開始される場合を示す図であり、（ｂ）はテープ部材に対して傾斜しているウエハの上端から接着が開始される場合を示す図である。

符号の説明

１０…テープ接着装置
１１…ウエハ（ワーク）
１２…テープ部材
２０…本体部
２２…本体上面部
２２ｂ…載置部
２４…孔部
２５…ゴムシート
２６…押さえリング（保持部材）
３３…空気管路（第１の吸引手段の一部、第２の空気導入手段の一部）
３５…管部材（第１の吸引手段の一部、第２の空気導入手段の一部）
３６…真空ポンプ（第１の吸引手段の一部、第２の吸引手段の一部、第３の吸引手段の一部）
３７…第１の弁部材（第１の吸引手段の一部、第２の空気導入手段の一部）
３８…空気管路（第２の吸引手段の一部、空気導入手段の一部）
４０…管部材（第２の吸引手段の一部、空気導入手段の一部）
４１…第２の弁部材（第２の吸引手段の一部、空気導入手段の一部）
４２…管部材（テープ保持手段の一部、第３の吸引手段の一部）
４３…ホース（テープ保持手段の一部、第３の吸引手段の一部）
４４…第３の弁部材（テープ保持手段の一部、第３の吸引手段の一部）
４５（４５ａ，４５ｂ）…真空計
５０…真空室
５１…空気導入部
６０…蓋体部
６１…蝶番
６２…ダンパ部材
６３…リング当接部
６４…凹部
６４ａ…上底面
６５…嵌合凹部
６６…吸着部材（テープ保持手段の一部）
６７…空気管路（テープ保持手段の一部、第３の吸引手段の一部）
８０…ロック機構
９０…制御装置（制御手段）

Claims (11)

1. テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、
   上面に上記ワークが載置される伸縮シート部材と、
   上記伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる真空室と、
   上記伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気導入部と、
   上記伸縮シート部材の下面側であって上記空気導入部と干渉しない部位に位置すると共に、上記伸縮シート部材が載置される載置部と、
   上記真空室に対して空気の導通を防止する状態で上記伸縮シート部材を保持する保持部材と、
   上記伸縮シート部材に載置される上記ワークの上部で上記テープ部材を保持させるテープ保持手段と、
   上記真空室の内部を真空吸引する第１の吸引手段と、
   上記空気導入部を真空吸引する第２の吸引手段と、
   上記空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、
   上記真空室の内部に空気を加圧状態で導入する加圧手段と、
   を具備することを特徴とするテープ接着装置。
2. 前記第１の吸引手段、前記第２の吸引手段、前記空気導入手段および前記加圧手段の作動を制御する制御手段を具備すると共に、
   この制御手段は、
   前記第１の吸引手段および前記第２の吸引手段を作動させて、前記真空室および前記空気導入部の真空吸引を行い、
   上記真空吸引の後に、前記空気導入手段を作動させて前記空気導入部に空気を導入し、
   この空気の導入によって、前記伸縮シート部材を前記真空室の内部に向けて膨張させ、
   前記伸縮シート部材の膨張によって、前記ワークを前記テープ部材に向かって持ち上げて前記テープ部材に接着させ、
   前記テープ部材の接着後に、前記加圧手段を作動させて前記真空室の内部に空気を加圧状態で導入する、
   ことを特徴とする請求項１記載のテープ接着装置。
3. 前記制御手段は、前記真空室および前記空気導入部の真空吸引を行うに際して、先に前記第２の吸引手段を作動させ、後に前記第１の吸引手段を作動させることを特徴とする請求項２記載のテープ接着装置。
4. 前記テープ接着装置は、本体部と、この本体部に対して開閉自在に設けられている蓋体部とを有していて、
   上記蓋体部を上記本体部に対して閉じた場合に、上記蓋体部と上記本体部との間を気密に閉塞するシール部材を、これら蓋体部と本体部との境界部分に設けると共に、
   上記蓋体部の閉塞状態において、この蓋体部と前記伸縮シート部材との間に、前記真空室が形成される、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のテープ接着装置。
5. 前記テープ保持手段は、前記テープ部材を吸着する吸着部材を備えると共に、この吸着部材に対して前記テープ部材を真空吸引する吸引保持力を与える第３の吸引手段を備えることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のテープ接着装置。
6. 前記蓋体部は、この蓋体部の閉塞状態において上方に向かって窪んでいる凹部を有すると共に、この凹部の上底面には、前記吸着部材が嵌め込まれていて、前記伸縮シート部材の膨張による前記ワークおよび前記テープ部材の上方へ向かう移動を、前記吸着部材によって上方から押さえることを特徴とする請求項５記載のテープ接着装置。
7. 前記吸着部材は、多孔質セラミックを材質としていることを特徴とする請求項５または６記載のテープ接着装置。
8. 前記テープ保持手段は、前記吸着部材と共に、前記テープ部材の端部を挟持する挟持部材を具備することを特徴とする請求項５から７のいずれか１項に記載のテープ接着装置。
9. 前記蓋体部と前記本体部の間には、前記蓋体部を前記本体部に向けて押圧し、かつ前記蓋体部が開くのを防止する開閉ロック手段が設けられていることを特徴とする請求項４から８のいずれか１項に記載のテープ接着装置。
10. テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法において、
    上記ワークの上部側に位置する上記テープ部材を、テープ保持手段に保持させるテープ保持ステップと、
    伸縮シート部材の上面に上記ワークが載置され、かつテープ保持手段によって該ワークの上部に上記テープ部材を張設状態で位置させた状態で、上記伸縮シート部材の上面側に位置する真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、上記伸縮シート部材により上記真空室から仕切られると共に該伸縮シート部材の下面側に位置する空気導入部を第２の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、
    上記吸引ステップによって、上記真空室および上記空気導入部が設定された真空度に到達したことを検出する真空到達度検出ステップと、
    上記真空到達度検出ステップによって設定された真空度に到達したことを検出した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記空気導入部の真空吸引を停止すると共に、空気導入手段を作動させて該空気導入部に空気を導入する空気導入ステップと、
    上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて上記テープ部材に接着させる接着ステップと、
    上記接着ステップを予め設定された時間だけ実行した後に、加圧手段を作動させて上記真空室の内部に空気を加圧状態で導入する加圧ステップと、
    を具備することを特徴とするテープ接着方法。
11. 前記吸引ステップは、前記第１の吸引手段および前記第２の吸引手段を作動させるに際して、先に前記第２の吸引手段を作動させ、後に前記第１の吸引手段を作動させることを特徴とする請求項１０記載のテープ接着方法。

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