JP2008066478A - テープ接着方法および電子部品製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製造効率を上げると共に、ワークとテープ部材との間の気泡の発生を防ぐこと。また、気泡が発生したとしても除去可能とすること。
【解決手段】このテープ接着方法は、伸縮シート部材１２６の上面側に配置されるワーク１１に対し、テープ部材を接着する。まず、伸縮シート部材１２６の上面側に位置する第１の真空室Ｖを第１の弁部材１１４などで真空吸引を開始させ、その後、伸縮シート部材１２６の下面側に位置する第２の真空室を第２の弁部材１１５などで真空吸引を開始させ、両真空室を真空吸引する吸引ステップと、第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、伸縮シート部材１２６を膨張させ、ワーク１１をテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材がワーク１１の外縁に先に接着しないように接着させる接着ステップと、上記第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、を有する。
【選択図】図７

Description

本発明は、ワークに対してテープ部材を接着させるテープ接着方法および電子部品製造方法に関する。

半導体の製造工程においては、ウエハ表面の汚染、ウエハ表面の傷の発生を防止するために、ウエハ表面に粘着状の保護テープを貼り付ける場合がある。かかる保護テープを貼り付けるためのテープ接着方法は、現状ではローラを駆動させて貼り付ける方法が一般的である。

しかしながら、ローラ方法以外に、例えば特許文献１に示すように、真空方式のテープ接着方法も存在する。この特許文献１に開示されているテープ接着方法では、本体側の部屋および上蓋側の部屋の両方を真空とし、その状態から、上蓋側の部屋を大気圧に切り替える。それによって、上蓋側の部屋と本体側の部屋との間に差圧が生じ、その差圧によって、ゴムシートが本体側の部屋に膨らむ。そして、この膨らみによって、ゴムシートがテープ部材を押し、ワークに対して保護テープとなるテープ部材を接着させている。

また、真空方式の他のテープ接着方法としては、特許文献２に開示されているものがある。この特許文献２には、第１の真空室と第２の真空室との間の差圧を利用して、平滑性の高い基台の中央部を保護テープ側に向けて撓ませる技術に関して開示されている。これと共に、中央部を撓ませた基台を、ウエハに貼付された保護テープに押し付けながら、昇降装置の駆動によりウエハを持ち上げている。このようにすることで、保護テープの中央側から外方に向けて空気を押し出しながら、ウエハに対してテープ部材となる保護テープを接着している。

上述の特許文献１記載の構成では、ゴムシートが上部に位置しているため、該ゴムシートの弛みを除去するためには、ゴムシートを張る際の張力をかなり高める必要がある。このため、ゴムシートの取り付けが困難となる、という課題を有している。ここで、接着作業を効率的に行わせるためには、ゴムシートに対して接触している保護テープと、ウエハとの間の隙間を小さくする場合が多い。かかる隙間が小さい状態で、ゴムシートに弛みが生じると、真空吸引を行う前の段階から、ウエハに保護テープが接着し、接着面に気泡が入り込む、という不具合が生じることがある。また、特許文献１記載の構成では、複数の押しネジが設けられていて、これらの押しネジの全てを同時に回転させる必要があり、作業性が悪い。

また、特許文献２記載の構成では、第１の真空室と第２の真空室との間の差圧を利用して、ガラス板等の基台を撓ませて、ウエハが貼付された保護テープに対して基台を接着させると共に、この接着状態から、さらにウエハが貼付された保護テープおよび基台を持ち上げている。このため、２段階の接着工程を有し、手間が掛かり、コスト的にも好ましくない。また、ウエハ等を持ち上げるために、別途昇降装置が必要となるので、構成が複雑となり、その分だけコストが掛かる。

ここで、本出願人は、特許文献３の出願を行い、これら従来のテープ接着装置を改良するようにしている。これらによれば、上述の特許文献１および特許文献２等に開示されている構成が備える、不具合が除去されている。

特開２００３−７８０８号公報（段落番号０００７、図２〜４参照） 特開２０００−３４９０４７号公報（要約、図１〜図５参照） 特開２００５−９３９８７号公報（要約参照）

しかしながら、特許文献３記載のテープ接着方法においては、接着面に気泡が入り込むのを防止するという点では、非常に有用であるものの、気泡を完全に無くすには、真空の程度を強くする必要があり、製造効率が悪くなりがちである。また、特許文献３記載の技術の場合、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げようとすると、ときには、接着面に気泡が残り、接着不良が発生することも生じている。

本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、製造効率を上げることが可能になると共に、ワークとテープ部材との間の気泡の発生を防ぐことができるテープ接着方法および電子部品製造方法を提供しよう、とするものである。また、他の発明は、気泡が発生したとしても除去可能となるテープ接着方法および電子部品製造方法を提供しよう、とするものである。

上記課題を解決するために、本発明のテープ接着方法は、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着するテープ接着方法において、まず、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引を開始させ、その後、伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引を開始させ、両真空室を真空吸引する吸引ステップと、吸引ステップが所定時間実行された後または第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材がワークの外縁に先に接着し、その後、ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、を有するものである。

このような方法を採用した場合には、テープ部材側が早めに吸引されるため、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、気泡の発生も防止できる。さらに、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させているので、気泡が発生しても、その気泡を空気開放ステップで、ワーク外へ排出させることができる。なお、ワークとしては、半導体集積回路用のウエハ、液晶表示体、ディプレイ用のガラス基板、などテープ部材が接着されるものであれば、すべての部材が採用される。

また、他の発明のテープ接着方法は、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着するテープ接着方法において、まず、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引を開始させ、その後、伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引を開始させ、両真空室を真空吸引する吸引ステップと、吸引ステップが所定時間実行された後または第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、ワークをテープ部材に接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、を有するものである。

このような方法を採用すると、テープ部材側が早めに吸引されるため、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、気泡の発生も防止できる。さらに、気泡が発生しても、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。

また、他の発明のテープ接着方法は、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着するテープ接着方法において、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、伸縮シート部材の下面側に位置し、第１の真空室より大きな空間となる第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、吸引ステップが所定時間実行された後または第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材がワークの外縁に先に接着し、その後、ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、を有している。

このような方法を採用した場合には、第１の真空室が小さいため、テープ部材側が早めに吸引されることとなり、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させるので、気泡が中心部に発生するのを防止できる。さらに、気泡が発生しても、ワークの外縁が接着されていないので、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。

さらに、他の発明のテープ接着方法は、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着するテープ接着方法において、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で、少なくとも吸引当初は、第１の真空室より小さい吸引力で真空吸引させる吸引ステップと、吸引ステップが所定時間実行された後または第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材がワークの外縁に先に接着し、その後、ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、を有している。

このような方法を採用した場合には、第２の真空室が、少なくとも吸引当初は、第１の真空室より小さい吸引力で真空吸引されるので、テープ部材側が早めに吸引されることとなり、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させるので、気泡が中心部に発生するのを防止できる。さらに、気泡が発生しても、ワークの外縁が接着されていないので、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。

さらに、他の発明のテープ接着方法は、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引すると共に、伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引する吸引ステップと、吸引ステップが所定時間実行された後または第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、ワークをテープ部材に接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、を有し、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着するテープ接着方法において、伸縮シート部材の下面側に比べ、テープ部材が配置される側を早めに吸引または強く吸引し、テープ部材のワーク側への垂れ下がりを阻止している。

このような方法を採用した場合には、テープ部材側が早めに吸引され、ワーク側にテープ部材がたれてこないので、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、気泡の発生を防ぐことができる。

また、他の発明のテープ接着方法は、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引すると共に、伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引する吸引ステップと、吸引ステップが所定時間実行された後または第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、ワークをテープ部材に接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、を有し、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着するテープ接着方法において、接着ステップでは、テープ部材がワークの外縁に先に接着し、その後、ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させ、空気開放ステップでは、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出している。

このような方法を採用した場合には、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着されるので、気泡が中心部に発生するのを防止できる。さらに、気泡が発生しても、ワークの外縁が接着されていないので、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ確実に排出させることができる。

さらに、他の発明は、上述の発明に加えて更に、第１の吸引手段と第２の吸引手段は、同一の真空ポンプを駆動源としている。この方法を採用した場合には、弁部材の制御、２つの真空室の大きさを変える、真空ポンプから真空室までの距離を変える、などの各種の方法で、テープ部材側を早めに吸引させることができる。また、コストも低減される。

上記課題を解決するために、本発明の電子部品製造方法は、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着し、その後、ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、まず、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引を開始させ、その後、伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引を開始させ、両真空室を真空吸引する吸引ステップと、吸引ステップが所定時間実行された後または第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材がワークの外縁に先に接着し、その後、ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、テープ部材が接着されたワークを移動または処理するワーク処理ステップと、ワークをテープ部材から剥がすテープ剥がしステップと、を有するものである。

この電子部品製造方法を採用した場合には、テープ部材側が早めに吸引されるため、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、気泡の発生も防止できる。さらに、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させているので、気泡が発生しても、その気泡を空気開放ステップで、ワーク外へ排出させることができる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。

また、他の発明の電子部品製造方法は、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着し、その後、ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、まず、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引を開始させ、その後、伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引を開始させ、両真空室を真空吸引する吸引ステップと、吸引ステップが所定時間実行された後または第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、ワークをテープ部材に接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、テープ部材が接着されたワークを移動または処理するワーク処理ステップと、ワークをテープ部材から剥がすテープ剥がしステップと、を有している。

このような電子部品製造方法を採用すると、テープ部材側が早めに吸引されるため、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、気泡の発生も防止できる。さらに、気泡が発生しても、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。

また、他の発明の電子部品製造方法は、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着し、その後、ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、伸縮シート部材の下面側に位置し、第１の真空室より大きな空間となる第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、吸引ステップが所定時間実行された後または第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材がワークの外縁に先に接着し、その後、ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、テープ部材が接着されたワークを移動または処理するワーク処理ステップと、ワークをテープ部材から剥がすテープ剥がしステップと、を有している。

この電子部品製造方法を採用した場合には、第１の真空室が小さいため、テープ部材側が早めに吸引されることとなり、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させるので、気泡が中心部に発生するのを防止できる。さらに、気泡が発生しても、ワークの外縁が接着されていないので、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。

また、他の発明の電子部品製造方法は、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着し、その後、上記ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で、少なくとも吸引当初は、第１の真空室より小さい吸引力で真空吸引させる吸引ステップと、吸引ステップが所定時間実行された後または第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材がワークの外縁に先に接着し、その後、ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、テープ部材が接着されたワークを移動または処理するワーク処理ステップと、ワークをテープ部材から剥がすテープ剥がしステップと、を有している。

このような電子部品製造方法を採用した場合には、第２の真空室が、少なくとも吸引当初は、第１の真空室より小さい吸引力で真空吸引されるので、テープ部材側が早めに吸引されることとなり、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させるので、気泡が中心部に発生するのを防止できる。さらに、気泡が発生しても、ワークの外縁が接着されていないので、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。

また、他の発明の電子部品製造方法は、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引すると共に、伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引する吸引ステップと、吸引ステップが所定時間実行された後または第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、ワークをテープ部材に接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、を有し、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着し、その後、ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、伸縮シート部材の下面側に比べ、テープ部材が配置される側を早めに吸引または強く吸引し、テープ部材のワーク側への垂れ下がりを阻止している。

このような方法を採用した場合には、テープ部材側が早めに吸引され、ワーク側にテープ部材がたれてこないので、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、気泡の発生を防ぐことができる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。

さらに、他の発明の電子部品製造方法は、伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引すると共に、伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引する吸引ステップと、吸引ステップが所定時間実行された後または第１の真空室及び第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、第２の吸引手段の作動停止により第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、ワークをテープ部材に接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、を有し、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着し、その後、ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、接着ステップでは、テープ部材がワークの外縁に先に接着し、その後、ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させ、空気開放ステップでは、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出するものとしている。

このような電子部品製造方法を採用した場合には、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着されるので、気泡が中心部に発生するのを防止できる。さらに、気泡が発生しても、ワークの外縁が接着されていないので、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ確実に排出させることができる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。

さらに、他の発明は、上述の発明に加えて更に、第１の吸引手段と第２の吸引手段は、同一の真空ポンプを駆動源としている。この方法を採用した場合には、弁部材の制御、２つの真空室の大きさを変える、真空ポンプから真空室までの距離を変える、などの各種の方法で、テープ部材側を早めに吸引させることができる。また、コストも低減される。

本発明によると、製造効率を上げることが可能になると共に、ワークとテープ部材との間の気泡の発生を防ぐことができる。また他の発明によると、気泡が発生したとしても除去可能とすることができる。

以下、本発明の一実施の形態に係るテープ接着方法について説明する。なお、テープ接着方法の説明に当たり、この方法を実施する際に利用するテープ接着装置１０の構成、作用および電子部品製造方法を、テープ接着方法と併せ、説明する。

このテープ装置１０について、図１から図３５に基づいて説明する。図１は、テープ接着装置１０の全体構成を示すと共に、上蓋ユニット２００がチャン場ンバユニット１００側に位置している状態を示す斜視図である。また、図２は、テープ接着装置１０の全体構成を示すと共に、上蓋ユニット２００が待機ユニット３００側に位置している状態を示す斜視図である。また、図３は、テープ接着装置１０の全体構成を示す側面図、図４は同じく平面図、図５は同じく正面図、図６は同じく背面図である。また、図７は、テープ接着装置１０のうち、チャンバユニット１００および上蓋ユニット２００を中心とする主要部を示す概略図である。

なお、以下の説明においては、テープ接着装置１０において、基台部１１０（図５参照）から見てチャンバプレート１２０が存在する側を上側とすると共に、チャンバプレート１２０から見て基台部１１０が存在する側を下側とする。また、以下の説明では、スライド方向とは上蓋ユニット２００がスライドする方向（図１においてＸＸで示される方向）を指す。また、前端側とは、スライド方向において待機ユニット３００からチャンバユニット１００に向かう側を指し、後端側とは、スライド方向においてチャンバユニット１００から待機ユニット３００に向かう側を指す。

上述の図１〜図６に示すように、テープ接着装置１０は、チャンバユニット１００と、このチャンバユニット１００と共に真空室Ｖ（図７等参照）を形成する上蓋ユニット２００と、チャンバユニット１００に隣接する待機ユニット３００と、を主要な構成要素としている。これらのうち、チャンバユニット１００は、基台部１１０を具備している。基台部１１０は、テープ接着装置１０のうち、最も下方側に位置する部分であり、内部スペースに真空ポンプ１１１等の構成要素を内蔵している。また、基台部１１０の上方には、後述するチャンバプレート１２０が取り付けられている。

ここで、図７においては、真空ポンプ１１１は、１つのみ用いられている。しかしながら、本実施の形態で用いられる真空ポンプ１１１は、１つには限られず、第１〜第３の弁部材１１４〜１１６の個数（３つ）に応じて、別途設けるように構成しても良い。

図７等に示すように、この基台部１１０には、吸引管路１１２と、吸引管路１１３と、第１の弁部材１１４と、第２の弁部材１１５と、第３の弁部材１１６と、突出管路１１７と、管部材１１８と、が設けられている。これらのうち、吸引管路１１２は、貫通孔１２４に向かって複数分岐している。以下、吸引管路１１２のうち、貫通孔１２４側の分岐部分を、分岐管路１１２ａとする。なお、分岐管路１１２ａの本数としては、２〜４本等が挙げられる。

また、吸引管路１１３には、上述の貫通孔１２５が接続されている。この吸引管路１１３は、上述の吸引管路１１２とは異なり、分岐せずに１本のみ設けられている。しかしながら、貫通孔１２５が複数存在する場合には、その貫通孔１２５の個数に合わせて、複数の分岐管路を設けるように構成しても良い。

また、吸引管路１１２の中途部分には、第１の弁部材１１４が設けられていて、吸引管路１１３の中途部分には、第２の弁部材１１５が設けられている。第１の弁部材１１４、第２の弁部材１１５は、代の真空室となる真空室Ｖまたは第の真空室となる空気導入部１２７の内部を真空吸引するために、真空ポンプ１１１側と連通するように切り替える（以下、この切り替えを、吸引側への切り替えという。）ことを可能としていると共に、大気導入側へ開放するように切り替える（図７において突出管路１１７側への切り替え；以下、この切り替えを、大気導入側への切り替えという。）ことも可能となっている。

さらに、基台部１１０の内部には、上述の吸引管路１１２，１１３と同様な管部材１１８が設けられている。この管部材１１８は、例えば基台部１１０の外壁に向かっていて、その一端側が基台部１１０の側面から突出している。この管部材１１８の一端側には、柔軟に曲がることが可能なホース１１９の一端側が連結されている。ホース１１９は、基台部１１０から上方の上蓋ユニット２００側に向かって延伸している。そして、ホース１１９の他端側は、後述する上蓋プレート２１０の上面の径方向の略中心部分において、後述する管継手２１５を介して、挿通孔２１４の一端側と連結されている。なお、このホース１１９は、後述する上蓋ユニット２００のスライドを許容可能な程度の長さ寸法を有している。このように、管部材１１８と管継手２１５の間に、柔軟に曲がると共に、適宜の長さを有するホース１１９が設けられているため、上蓋プレート２１０の開閉（スライド）に対応可能となっている。

また、管部材１１８の中途部分には、第３の弁部材１１６が設けられている。第３の弁部材１１６も、真空ポンプ１１１側と連通するように切り替える（吸引側へ切り替える）ことを可能としていると共に、突出管路１１７を介して大気導入側へ開放するように切り替えることが可能である。また、この第３の弁部材１１６においては、管部材１１８を気密に閉塞し、真空吸引も大気開放も行わないようにすることも可能となっている。なお、管部材１１８が大気導入側へ開放されると、この管部材１１８を介して保護テープＴＡの裏面側（図８において保護テープＴＡの上面側）に大気が導入される。それにより、保護テープＴＡの保持状態が解除される。

また、第１の弁部材１１４、第２の弁部材１１５および第３の弁部材１１６としては、例えば、ソレノイドにより開閉可能な、電磁弁を用いることが可能であるが、モータ等の他の駆動源を用いて開閉する方式であっても良い。なお、真空ポンプ１１１、吸引管路１１２、第１の弁部材１１４等によって、第１の吸引手段が構成される。また、真空ポンプ１１１、吸引管路１１３、第２の弁部材１１５によって、第２の吸引手段が構成される。また、吸引管路１１３、第２の弁部材１１５、突出管路１１７等によって、空気導入手段が構成される。

また、チャンバユニット１００の上方側には、後述する上蓋プレート２１０に近接対向可能なチャンバプレート１２０（第１の蓋部材に対応）が設けられている。チャンバプレート１２０は、真空吸引時に負荷される圧力（特に上蓋プレート２１０側から負荷される垂直荷重）を受け止めるために、適切な強度を有した構成となっている。なお、チャンバユニット１００を支えると共にその一部となる側壁および底壁も、真空吸引時に負荷される圧力に、十分抗し得るだけの強度を有する構成である。

図７等に示すように、このチャンバプレート１２０には、上面部１２１と、凹陥部１２２とが設けられている。これらのうち、上面部１２１は、凹陥部１２２よりも外径側に位置すると共に、凹陥部１２２よりも高さ位置が高く設けられている。上面部１２１のうち、凹陥部１２２の縁部から所定だけ離間する部位には、円環状の溝部１２１ａが設けられている。この溝部１２１ａには、真空室Ｖを気密に封止するパッキンとなる、シールリング１２３（Ｏリング；第１のシール部材に対応）が嵌め込まれる。シールリング１２３は、例えばニトリルゴム（ＮＢＲ）等を材質として形成されている。しかしながら、シールリング１２３は、シリコン等のような柔軟性に富む材質（柔軟部材）としても良い。

ここで、第１の真空室となる真空室Ｖとは、２つのシールリング１２３，２１６が互いに接触する場合に、これらシールリング１２３，２１６、チャンバプレート１２０の上面側および上蓋プレート２１０の下面側、ゴムシート１２６の上面側とで囲まれる部位をいい、外部の雰囲気から遮断される空間部分をいう。

また、図７に示すように、上面部１２１のうち、シールリング１２３よりも内径側の部位には、開口１２４ａが設けられている。この開口１２４ａは、チャンバプレート１２０を貫く貫通孔１２４の露出部分である。すなわち、貫通孔１２４の上端側は、上面部１２１に露出する開口１２４ａとなっている。また、貫通孔１２４の下端側は、上述の吸引管路１１２の一端側に接続されている。

また、チャンバプレート１２０のうち、上面部１２１よりも内径側の部位には、凹陥部１２２が設けられている。凹陥部１２２は、上面部１２１よりも下方に向かって窪む部位である。この凹陥部１２２も、上述の溝部１２１ａおよびシールリング１２３と同様に、平面形状が円形に設けられている。また、凹陥部１２２の中央部にも、上述の開口１２４ａと同様の開口１２５ａが設けられている。この開口１２５ａは、チャンバプレート１２０を貫く貫通孔１２５の露出部分である。また、この貫通孔１２５の下端側は、吸引管路１１３の一端側に接続されている。

なお、貫通孔１２５は、ゴムシート１２６を均等に吸引するために、凹陥部１２２の中央部分に存在することが望ましい。しかしながら、貫通孔１２５は、凹陥部１２２の所定部位に、所定の間隔毎に配置される構成を採用しても良い。また、この開口１２５ａ、ゴムシート１２６および凹陥部１２２の底面で囲まれる部位は、第２の真空室となる空気導入部１２７に対応する。この空気導入部１２７には、吸引管路１１３における大気開放により、空気が導入され、ゴムシート１２６が上方に向かって膨らむように設けられている。

また、凹陥部１２２の底面には、開口１２５ａを覆うように、伸縮シート部材に対応するゴムシート１２６が設置されている。このゴムシート１２６は、その上面に、ワークとしてのウエハ１１が搭載される。後述するように、ゴムシート１２６にウエハ１１が搭載された状態で、空気導入部１２７に空気を導入すると、ゴムシート１２６が上側に向かって膨らむ。それにより、ウエハ１１を後述する保護テープＴＡに向かって上昇させることが可能となる。

ゴムシート１２６は、例えば、ＥＰＴゴム（エチレンプロピレンゴム；Ethylene-Propylene Terpolymer Rubber）、クロロプレンといった、気泡の発生を低減できる材質によって構成されている。しかしながら、ゴムシート１２６の材質は、かかるＥＰＴゴム、クロロプレンに限られるものではなく、通常の天然ゴム又は合成ゴム等を用いても良い。なお、ゴムシート１２６の好ましい材質としては、上述のＥＰＴゴム、クロロプレンのような、気泡の発生を防ぐことができる材質である。

また、本実施の形態では、ゴムシート１２６の上面に搭載されるワークとなるウエハ１１には、その直径が１２インチのものがある。しかしながら、ウエハ１１のサイズは特に限定されず、例えば８インチウエハ、６インチウエハ等、他のサイズであっても良い。なお、ウエハ１１のサイズを変更する場合には、それに応じて他の部材（ゴムシート１２６、後述する押さえリング１３０等）のサイズも変更されることになる。しかしながら、例えば８インチウエハ等の小さいサイズのウエハ１１への接着に際して、１２インチのウエハ１１の接着に対応しているテープ接着装置１０を利用しても良い。この場合、後述するように、治具Ｊを用いるようにするのが好ましい。

また、本実施の形態で用いられるテープ部材Ｔについて、図９および図１０に基づいて説明する。このテープ部材Ｔは、保護テープＴＡと、剥離シートＴＢと、を有している。保護テープＴＡは、その一面（粘着面）に粘着材が塗布された粘着層ＴＣを有しており、この粘着層ＴＣがウエハ１１に接着されることで、保護テープＴＡがウエハ１１に貼付される。また、剥離シートＴＢは、粘着層ＴＣに貼付されている部分であり、ウエハ１１に保護テープＴＡを貼付する際に剥がされる。そして、剥がされた剥離シートＴＢは、後述する巻き取りリール２２６で巻き取られる。

ここで、本実施の形態では、２つのテープ部材Ｔ（以下、図９に示すテープ部材をＴ１とすると共に、図１０に示すテープ部材をＴ２とする。）を用いている。これらテープ部材Ｔ１，Ｔ２のうち、後述する第１テープ供給機構２２０には、図９に示すテープ部材Ｔ１がセットされる。このテープ部材Ｔ１の保護テープＴＡには、予め打ち抜き加工等が為されていない。すなわち、ロール状に巻回されているテープ部材Ｔ１を引き出し、剥離シートＴＢを剥がすと、平面状の保護テープＴＡが得られる。

また、後述する第２テープ供給機構３２０には、図１０に示すテープ部材Ｔ２がセットされる。このテープ部材Ｔ２の保護テープＴＡには、ウエハ１１の形状および大きさに対応する打ち抜き加工が為されている。すなわち、ロール状に巻回されているテープ部材Ｔ２を引き出し、剥離シートＴＢを剥がすと、ウエハ１１の形状に対応する保護テープＴＡ（本実施の形態では、略円形状）と、それ以外の周囲の保護テープＴＡとが得られる。

なお、以下の説明においては、テープ部材Ｔ１を剥がすことにより生じる保護テープＴＡを保護テープＴＡ１とすると共に、テープ部材Ｔ２を剥がすことにより生じる保護テープＴＡを保護テープＴＡ２とする。しかしながら、両者を区別して称呼する必要がない場合には、これらを単に保護テープＴＡとする。また、保護テープＴＡ１は、第１の保護テープに対応すると共に、保護テープＴＡ２は、第２の保護テープに対応する。また、テープ部材Ｔ２は、第２の保護テープを生じさせるテープ部材に対応する。

図２等に示すように、ゴムシート１２６の上部であって外周縁部には、外観が略リング状となっている、押さえリング１３０が取り付けられている。押さえリング１３０は、ゴムシート１２６を押さえ付けるためのものである。この押さえ付けにより、空気導入部１２７と真空室Ｖとの間は、略気密に封止される。この押さえリング１３０は、凹陥部１２２の上面に対して、例えばネジによって、上方側から取り付け固定される。この場合、押さえリング１３０は、その周方向に沿ってネジによって適宜の間隔で固定されている。

この押さえリング１３０には、位置決め部１３１が設けられている。位置決め部１３１は、内径側から外径側に向かって所定だけ窪んでいる部位であり、例えば１８０度間隔で配置されている。この位置決め部１３１には、後述する図３１に示すような治具（リング部材Ｊ１）の突出部１１が嵌合される。

また、図３０に示すように、テープ接着装置１０には、圧力（気圧）を測定するための真空計１３２が設けられている。この真空計１３２は、吸引管路１１２，１１３、および管部材１１８といった、合計３つの配管の個数に対応させて設けるのが好ましい。しかしながら、真空室Ｖと空気導入部１２７の圧力を測定するだけでも良く、この場合には、２つの真空計１３２のみを設けるようにすれば良い。

また、基台部１１０には、移動機構に対応する上蓋封止機構１４０が設けられている。この上蓋封止機構１４０には、図１１〜図１４に示すように、基台固定部１４１が設けられている。基台固定部１４１は、基台部１１０の幅方向の両側に、それぞれ固定的に設けられている。すなわち、基台固定部１４１は、後述するアクチュエータ１４３が作動する場合でも、移動しない部位である。この基台固定部１４１のうち、上方側かつ待機ユニット３００側の部位には、アクチュエータ取付部１４２が存在している。アクチュエータ取付部１４２は、アクチュエータ１４３を回動自在に軸支する部分である。かかる軸支を可能とするために、アクチュエータ取付部１４２には、軸孔１４２ａが設けられていると共に、この軸孔１４２ａには、支軸１４３ａが挿通されている。

また、基台固定部１４１には、下方延伸部１４４が存在している。下方延伸部１４４は、後述する上下プレート１５０よりも、基台部１１０の幅方向の中央寄りに位置している。また、この下方延伸部１４４は、その外観が略矩形状となるように設けられているが、当該下方延伸部１４４の下端側には、後述するローラ１４８を逃がすための切欠部１４４ｂが設けられている。さらに、下方延伸部１４４は、上蓋ユニット２００のスライド方向が長手となるように取り付けられると共に、スライド方向における所定の部位を境に対称となる形状に設けられている。

この下方延伸部１４４のうち、上下プレート１５０と対向する側には、一対の案内レール１４５が取り付けられている。この案内レール１４５は、例えば細長の四角柱形状に設けられていて、上下方向に沿うように取り付けられている。なお、本実施の形態では、一対の案内レール１４５は、下方延伸部１４４の中心部を挟んで対称となる位置に、それぞれ取り付けられている。

また、この下方延伸部１４４には、アーム支持部１４４ａが設けられている。アーム支持部１４４ａは、アーム部材１４７を回動自在に支持するための部位である。なお、本実施の形態では、アーム支持部１４４ａは、上下プレート１５０と対向しない側に、例えばネジ等を介して取り付けられている。

また、上述のアクチュエータ取付部１４２には、アクチュエータ１４３が連結されている。アクチュエータ１４３は、例えば電動シリンダや油圧シリンダのような駆動手段であり、作動時にはシリンダ部１４３ｂから、棒状のロッド部材１４３ｃを出入可能としている。また、ロッド部材１４３ｃは、その長手がスライド方向に沿うように設けられている。それにより、アクチュエータ１４３が作動すると、ロッド部材１４３ｃは、スライド方向に沿って出入される。

なお、アクチュエータ１４３としては、上述の電動シリンダや油圧シリンダ以外に、モータとギヤ機構を用いるようにしても良い。

また、ロッド部材１４３ｃのうち、待機ユニット３００から離間する側の先端部分には、不図示の支軸を介してアーム部材１４７が連結されている。このアーム部材１４７は、上述のアーム支持部１４４ａに回動自在に支持されている。なお、このアーム部材１４７は、アーム支持部１４４ａを境に、延伸する方向が変化している。以下の説明においては、アーム部材１４７のうち、アーム支持部１４４ａよりも上方に延伸してロッド部材１４３ｃに連結される部分をアクチュエータ連結部１４７ａとすると共に、アーム支持部１４４ａよりも下方に延伸する部分を、プレート連結部１４７ｂとする。

ここで、アクチュエータ連結部１４７ａの長手方向と、プレート連結部１４７ｂの長手方向とは、互いに所定の角度を為すように設けられている。本実施の形態では、この角度は、１８０度よりは小さいものの、所定の鈍角を為すように設けられている。この角度の範囲の好ましい具体例としては、１５０度〜１７０度とするものがある。

また、プレート連結部１４７ｂのうち、アーム支持部１４４ａから離間する先端部分（最も下端側に位置する部分）には、支軸１４８ａを介してローラ１４８が取り付けられている。このローラ１４８は、上下プレート１５０の下端側に設けられている溝部１５４に嵌まり込む。なお、ローラ１４８は、プレート連結部１４７ｂに対して回転自在に設けられるのが好ましいが、プレート連結部１４７ｂに対して固定的に設けられるように構成しても良い。

また、基台固定部１４１およびアーム部材１４７よりも基台部１１０の幅方向における外方側には、上下プレート１５０が配置される。この上下プレート１５０は、基台固定部１４１とは異なり、上下方向に移動可能に設けられている。この上下プレート１５０は、その側面形状が略Ｔ字形状を為すように設けられている。なお、以下の説明においては、略Ｔ字形状を為す上下プレート１５０のうち、上下方向に延伸する部分を上下案内部１５１とすると共に、スライド方向に延伸する部分をレール支持部１５２とする。

また、上下案内部１５１のうち、下方延伸部１４４と対向する側には、レール受け部材１５３が取り付けられている。レール受け部材１５３は、上述の案内レール１４５に対応させて、所定の個数（本実施の形態では４つ）配置されている。また、レール受け部材１５３は、断面形状が凹形状となる凹溝部１５３ａを有している。凹溝部１５３ａは、レール受け部材１５３を突っ切るように設けられている。また、この凹溝部１５３ａには、上述の案内レール１４５が嵌まり込む。そして、この嵌まり込みによって、上下プレート１５０の上下動をガイド可能となっている。

なお、この凹溝部１５３ａは、上下方向に沿って設けられている。また、レール受け部材１５３は、上下方向に沿って、２つ並べられて配置されている。それにより、レール受け部材１５３は、案内レール１４５に対して、良好に摺動され、上下プレート１５０の上下方向に沿うスライドが良好にガイドされる。

また、上下案内部１５１のうち、下方延伸部１４４およびプレート連結部１４７ｂと対向する部位であって、下方側の部位には、溝部１５４が設けられている。この溝部１５４は、対向配置されている一対の案内片１５４ａの間の部分となっている。すなわち、一対の案内片１５４ａは、上下案内部１５１に対して平行を為す状態で取り付けられているが、これらの案内片１５４ａの間の部位が、上述のローラ１４６が嵌まり込む溝部１５４となっている。

この案内片１５４ａは、断面が矩形となる細長の棒状部材である。かかる案内片１５４ａは、アクチュエータ１４３が作動してアーム部材１４７がアーム支持部１４４ａを中心として回動する場合であっても、ローラ１４８が溝部１５４から外れない程度の長さ寸法を有している。また、一対の案内片１５４ａは、それぞれがスライド方向に沿うように取り付けられる。

なお、上述のローラ１４８が回転自在に設けられている場合、案内片１５４ａ同士の間隔は、ローラ１４８が溝部１５４に入り込んだ場合に、ローラ１４８が僅かに上下方向に遊びを有する程度に設けられるのが好ましい。

また、図１２〜図１４に示すように、レール支持部１５２には、ガイドレール１５５が固定的に取り付けられている。そのため、上下プレート１５０が上下動すると、ガイドレール１５５も上下動する。ガイドレール１５５は、スライド方向に沿って設けられている。このガイドレール１５５は、チャンバユニット１００の内部において、待機ユニット３００側の後端部から、正面部に近接する部位までの長さ寸法を有している。また、本実施の形態では、ガイドレール１５５は、レール支持部１５２よりも幅方向の外方側に位置している（図１２参照）。それにより、後述するガイド車輪１６３は、上下プレート１５０と干渉することなく、スライド方向に移動可能となっている。

また、図１２に示すように、ガイドレール１５５を正面視すると、その下端側は、尖形状となるように設けられている。このガイドレール１５５の上面側および下面側では、後述するガイド車輪１６３が転動する。

また、図１１〜図１４に示すように、上蓋プレート２１０の幅方向における両端側の部位には、車輪支持部材１６０が取り付けられている。本実施の形態では、車輪支持部材１６０は、幅方向の端部側に、それぞれ２つずつ（合計４つ）設けられている。このとき、それぞれの幅方向の端部側においては、車輪支持部材１６０は、チャンバユニット１００の前端側と後端側に、それぞれ設けられている。

この車輪支持部材１６０には、鍔部１６１と、プレート部１６２とが設けられている。これらのうち、鍔部１６１は、上蓋プレート２１０の上面に対して略平行となるように設けられている。この鍔部１６１には、ネジを挿通させるための複数の孔部が設けられている。そして、この孔部にネジを挿通させると共に、上蓋プレート２１０に設けられている不図示のネジ孔にネジを捻じ込むことにより、車輪支持部材１６０は上蓋プレート２１０に対して取付固定される。

また、プレート部１６２の下方側には、回転自在となるようにガイド車輪１６３が取り付けられている。ガイド車輪１６３は、例えば回転軸を介して、プレート部１６２に回転自在に取り付けられている。なお、ガイド車輪１６３は、プレート部１６２の幅方向の両端に、それぞれ設けられている。また、ガイド車輪１６３は、ガイドレール１５５を挟み込む状態で、当該ガイドレール１５５の上下方向にそれぞれ設けられている。すなわち、ガイド車輪１６３は、車輪支持部材１６０の幅方向の両端およびガイドレール１５５の上下両端に、合計４つ設けられている。

このガイド車輪１６３の回転により、上蓋ユニット２００は、スライド方向に沿って滑らかに移動可能となっている。なお、本実施の形態では、下方側のガイド車輪１６３は、略プーリ形状に設けられている。かかるプーリ形状の車輪が、尖形状のガイドレール１５５の下端側に嵌まり込むことにより、ガイドレール１５５から上蓋ユニット２００が外れるのを防止している。

なお、これらガイドレール１５５、後述するガイドレール３１３、ガイド車輪１６３、車輪支持部材１６０は、スライド機構を構成する。

また、図３０に示すように、チャンバユニット１００と上蓋ユニット２００との間には、センサ１６４が設けられている。このセンサ１６４は、上蓋ユニット２００が前端側に向かってスライドし、例えば度当たり等する位置である規定の停止位置まで到達した場合に、その状態を検出するための検出手段である。すなわち、センサ１６４が、上蓋ユニット２００の到達を検出すると、この検出に応じた検出信号を生じさせる。また、このセンサ１６４は、制御装置４００に電気的に接続されている。そして、この制御装置４００では、センサ１６４での検出に基づいて、上述のアクチュエータ１４３の作動を制御する。

また、チャンバユニット１００には、図１、図２、図１５および図１６に示すような、環状切断機構１７０が設けられている。環状切断機構１７０は、当該環状切断機構１７０が不使用である場合、チャンバユニット１００に対して、幅方向の一端側から飛び出すように配置されている。なお、この環状切断機構１７０には、幅方向に沿うスライドをガイドする、直線状の引き出しレール１７１が設けられている。

また、環状切断機構１７０は、フレーム１７２を有している。このフレーム１７２は、その正面形状が略コ字状を為すように設けられている。そして、フレーム１７２は、略コ字状の開放部分がチャンバユニット１００側に対向するように、配置されている。また、フレーム１７２の平面形状は、略囲型形状を為すように設けられている。

このフレーム１７２の上面側には、環状レール１７３が設けられている。この環状レール１７３の外周側には、後述する車輪１７６ａを介して、回転カッター部１７４が回転自在に取り付けられている。ここで、回転カッター部１７４は、図１５に示すように、所定幅を有して平行に設けられている一対の支柱１７５を有している。なお、一対の支柱１７５は、互いに平行となるように設けられている。この支柱１７５の両端側には、それぞれ台車１７６が取り付けられている。それぞれの台車１７６には、複数（本実施の形態では２つ）の車輪１７６ａが回転自在に取り付けられている。なお、本実施の形態では、車輪１７６ａは、プーリ状に設けられていると共に、環状レール１７３は、その断面形状が、傾斜角度の緩やかな尖形状となっている。

また、回転カッター部１７４には、押入カッター部１７７が設けられている。この押入カッター部１７７は、支柱挟持部１７７ａを具備しており、例えばウエハ１１のサイズに応じた位置で、上下両方向から支柱１７５を挟み込むことにより、押入カッター部１７７の支柱１７５における位置が固定される。この押入カッター部１７７には、ロッド状部材１７８が設けられている。ロッド状部材１７８は、その長手方向が、上下方向に沿うように設けられている。また、ロッド状部材１７８は、上述の支柱１７５に対して、上下動可能に設けられている。ここで、押入カッター部１７７には、不図示のバネが設けられている。バネは、ロッド状部材１７８に対して当接しており、このロッド状部材１７８に対して、上方に向かう付勢力を与えている。

なお、ロッド状部材１７８がバネによる付勢力を受けて、上方に位置している場合、ウエハ１１に貼付された保護テープＴＡ１に対して、カッター１７９ａの刃の先端が到達しない状態となっている。しかしながら、作業者が次述する把持部１７８ａを把持し、バネによる付勢力に抗しながらロッド状部材１７８を下方に押し込むと、カッター１７９ａの刃の先端は、保護テープＴＡ１よりも下方に位置すると共に、刃の後端は保護テープＴＡ１よりも上端に位置する。そのため、保護テープＴＡ１を切断することが可能となっている。

また、ロッド状部材１７８の上端側には、作業者が把持するための把持部１７８ａが設けられている。また、ロッド状部材１７８の下端側には、カッター取付部１７９が設けられている。そして、このカッター取付部１７９を介して、保護テープＴＡ１を切断するためのカッター１７９ａが取り付けられる。なお、カッター１７９ａは、その刃先が、環状レール１７３の接線方向に沿うように取り付けられる。

また、図２、図１７〜図１９に示すように、チャンバユニット１００には、横切断機構１８０が設けられている。横切断機構１８０は、図２等に示すように、チャンバユニット１００の前端部に設けられている。この横切断機構１８０も、上述の環状切断機構１７０と同様に、保護テープＴＡ１を切断するための手段である。この横切断機構１８０は、直線状レール１８１を具備している。この直線状レール１８１には、摺動カッター部１８２がスライド自在に取り付けられている。また、摺動カッター部１８２には、上述のロッド状部材１７８と同様のロッド状部材１８３が設けられている。なお、このロッド状部材１８３の構成は、上述のロッド状部材１７８の構成と同様であるため、その詳細に関する説明は省略する。また、ロッド状部材１８３に設けられているカッター１８４は、その刃先が直線状レール１８１の長手方向に沿うと共に、上面部１２１に略平行を為すように取り付けられている。

続いて、上蓋ユニット２００について説明する。図１、図２等に示すように、上蓋ユニット２００は、チャンバユニット１００と、待機ユニット３００との間をスライド可能に設けられている。この上蓋ユニット２００は、テープ搬送手段に対応している。

図１等に示すように、上蓋ユニット２００には、その側方に、作業者が把持するための取手２０１が設けられている。また、図７等に示すように、上蓋ユニット２００は、上述のチャンバプレート１２０の上方側に位置して、真空室Ｖを形成する上蓋プレート２１０を有している。上蓋プレート２１０は、第２の蓋部材に対応する。また、上蓋プレート２１０は、平面的な寸法がチャンバプレート１２０と略同等に設けられている。この上蓋プレート２１０の下面側には、真空室Ｖを形成する際に、上述の上面部１２１と対向する下面部２１１が設けられている。また、この下面部２１１よりも内径側の部位には、凹部２１２が設けられている。凹部２１２は、下面部２１１から所定の寸法だけ、上蓋プレート２１０の上方側に向かって窪んでいる部分である。

この凹部２１２には、例えば多孔質セラミックスのような、多孔質の材質からなる吸着部材２１３が嵌め込まれる。かかる吸着部材２１３は、真空ポンプ１１１、挿通孔２１４、第３の弁部材１１６、管部材１１８、ホース１１９と共に、吸着手段を構成している。また、この吸着部材２１３は、後述する剥がし板３５３の上面３５３ｂに近接する状態となっている。このため、テープ部材Ｔ２（保護テープＴＡ２）は、吸着部材２１３を介して、吸引保持される。

ここで、吸着部材２１３の下面は、後述するシールリング２１６の下面よりも上方に位置するように設けられている。また、ゴムシート１２６が上方に向かって膨らむ場合、保護テープＴＡ１はウエハ１１によって上方に押し上げられ、ウエハ１１の上面に対して保護テープＴＡ１が貼付される。この場合、吸着部材２１３の下面に保護テープＴＡ１が接触し、当該保護テープＴＡ１の上方への移動（上方へ向かう保護テープＴＡ１の伸び）を規制する。そのため、吸着部材２１３の下面は、プレート部材Ｊ２の下面よりも、さほど上方ではなく、ゴムシート１２６がウエハ１１を上方に持ち上げる場合に、保護テープＴＡが張設状態で吸着部材２１３の下面に当接可能な程度の高さ位置に設けられている。

また、図７、図８に示すように、凹部２１２の底面の中央部分には、開口２１４ａが設けられている。この開口２１４ａは、上蓋プレート２１０を貫く挿通孔２１４の露出部分である。すなわち、挿通孔２１４の下端側は、凹部２１２の底面に露出する開口２１４ａとなっている。また、挿通孔２１４の上端側には、管継手２１５の一端側が取り付けられている。この管継手２１５の他端側は、上述のホース１１９に接続されている。それにより、真空ポンプ１１１の吸引力を、吸着部材２１３に及ぼすことを可能としている。

なお、凹部２１２の底面には、この底面よりも若干窪んでいる吸引凹部２１２ａが設けられている。この吸引凹部２１２ａは、例えば溝状かつ網目状に設けられていて、凹部２１２の底面の全体に吸引力を及ぼすことが可能となるように設けられている。それにより、吸着部材２１３には、その全体に亘って吸引力が及ぼされる。なお、吸引凹部２１２ａは、溝状かつ網目状には限られない。例えば、吸引凹部２１２ａが平面的な形状に設けられると共に、この吸引凹部２１２ａから多数の突出部を突出形成し、この突出部で吸着部材２１３を受け止めるように構成しても良い。

また、上蓋プレート２１０のうち、凹部２１２よりも外径側の下面部２１１には、円環状の溝部２１１ａが設けられている。この溝部２１１ａには、真空室Ｖを気密に封止するパッキンとなる、シールリング２１６（Ｏリング；第２のシール部材および柔軟部材に対応）が嵌め込まれる。シールリング２１６は、上述のシールリング１２３とは異なり、例えばシリコンゴム等のような柔軟性に富む材質から形成されている。しかしながら、上述のシールリング１２３が柔軟性に富む材質から形成されている場合、シールリング２１６は、例えばニトリルゴム（ＮＢＲ）等のような、若干硬質のゴムを材質として形成しても良い。また、シールリング１２３およびシールリング２１６を、共にシリコンゴム等のような柔軟性に富む材質から形成しても良い。

このシールリング２１６は、上述のシールリング１２３と同一の直径を有している。また、上蓋ユニット２００がチャンバユニット１００側に移動し、規定の位置で停止した後に、上述の上蓋封止機構１４０が作動して上蓋プレート２１０が下方に移動すると、シールリング２１６の下端側は、シールリング１２３の上端側と接触し、真空室Ｖを気密に封止するように設けられている。

また、図１〜図６等に示すように、上蓋プレート２１０の上方側であって、待機ユニット３００から離間する部位には、第１のテープ供給手段に対応する第１テープ供給機構２２０が設けられている。この第１テープ供給機構２２０は、ロール状に巻回されているテープ部材Ｔ１を巻回すると共に、テープ部材Ｔ１を剥がした後に生じる（不用となる）剥離シートＴＢを巻き取るための部分である。

図２０〜図２３に示すように、この第１テープ供給機構２２０は、支持プレート２２１と、供給リール２２２と、モータ２２３と、第１プーリ２２４と、ベルト２２５と、巻き取りリール２２６と、第２プーリ２２７と、第１ガイドローラ２２８と、第２ガイドローラ２２９と、第３ガイドローラ２３０と、第４ガイドローラ２３１と、を具備している。また、図１等に示すように、第１テープ供給機構２２０は、開閉自在なハウジング２２０ａを具備しており、これら各構成要素を覆っている。

これらのうち、支持プレート２２１は、上述の各部材を支持する部分である。なお、支持プレート２２１は、上述の供給リール２２２、巻き取りリール２２６、第１〜第４ガイドローラ２２８〜２３１等を軸支するが、これらとの間には、軸受等（図示省略）が介在する。また、供給リール２２２は、テープ部材Ｔ１を供給する部分であり、ロール状に巻回されているテープ部材Ｔ１を保持している部分である。

図２１、図２２に示すように、この供給リール２２２は、一対のローラ部材２２２Ａを有している。このローラ部材２２２Ａは、回転軸２２２Ｂと、シール係止部２２２Ｃとを有している。これらのうち、回転軸２２２Ｂは、支持プレート２２１に対して、軸受２２２Ｂ１を介して回転自在に軸支されている。また、この回転軸２２２Ｂには、シール係止部２２２Ｃが取り付けられている。シール係止部２２２Ｃは、円錐形のうち、頂点側を底面に平行に切り欠いた形状に設けられている。そのため、このシール係止部２２２Ｃには、供給リール２２２の中心側から外側に向かうにつれて大径となるテーパ部２２２Ｃ１が設けられている。このテーパ部２２２Ｃ１には、ロール状に巻回されているテープ部材Ｔ１の空芯部の縁部が係止される。

また、供給リール２２２は、テープ部材Ｔ１の幅寸法に応じて、一対のシール係止部２２２Ｃの間の間隔を可変としている。すなわち、ウエハ１１の直径が小さい場合には、幅寸法の小さなテープ部材Ｔ１を用いるため、一対のシール係止部２２２Ｃの間の間隔が小さくなる。しかしながら、ウエハ１１の直径が大きい場合には、幅寸法の大きなテープ部材Ｔ１を用いるため、一対のシール係止部２２２Ｃの間の間隔が大きくなる。

なお、一対のシール係止部２２２Ｃの間の間隔は、例えばシリンダ（アクチュエータ）の作動によって調整可能としても良い。この場合、シリンダ（アクチュエータ）の作動により、回転軸２２２Ｂを軸線方向に送ることが可能な機構を採用しても良い。また、シール係止部２２２Ｃには、例えばバネによる付勢力が及ぼされるように構成しても良い。この場合、一対のシール係止部２２２Ｃには、互いに近づく向きの付勢力が与えられる。このようにすれば、テーパ部２２２Ｃ１には、バネによる付勢力により、空芯部の縁部が係止される。また、このように付勢力を及ぼしてテープ部材Ｔ１を保持している場合、一対のシール係止部２２２Ｃの間を、ジョイント等で連結しなくても、一方のシール係止部２２２Ｃに伝達されるモータ２２３からの駆動力が、テープ部材Ｔ１を介して、他方のシール係止部２２２Ｃに伝達される。

また、支持プレート２２１のうち、供給リール２２２の一方のシール係止部２２２Ｃの近傍には、モータ２２３が取り付けられている。このモータ２２３は、一方の回転軸２２２Ｂに駆動力を伝達する。また、他方のローラ部材２２２Ａの回転軸２２２Ｂには、第１プーリ２２４が取り付けられている。この第１プーリ２２４と、後述する第２プーリ２２７との間には、ベルト２２５が掛け渡される。それにより、後述する巻き取りリール２２６側に駆動力を伝達可能としている。

また、支持プレート２２１のうち、待機ユニット３００から離間する側には、巻き取りリール２２６が取り付けられている。この巻き取りリール２２６も、一対のローラ部材２２６Ａを有している。このローラ部材２２６Ａは、回転軸２２６Ｂと、シール係止部２２６Ｃとを有している。これらのうち、回転軸２２６Ｂは、支持プレート２２１に対して、軸受２２６Ｂ１を介して回転自在に軸支されている。また、この回転軸２２６Ｂには、シール係止部２２６Ｃが取り付けられている。このシール係止部２２６Ｃも、テーパ部２２６Ｃ１を有していて、巻き取られる剥離シートＴＢの空芯部の縁部を係止可能としている。

また、他方のローラ部材２２６Ａの回転軸２２６Ｂには、第２プーリ２２７が取り付けられている。この第２プーリ２２７には、上述のベルト２２５が掛け渡されている。

また、図２０および図２３に示すように、支持プレート２２１には、第１ガイドローラ２２８、第２ガイドローラ２２９、第３ガイドローラ２３０および第４ガイドローラ２３１が、不図示の軸受を介して取り付けられている。このうち、第１ガイドローラ２２８は、最も上方側に位置している。この第１ガイドローラ２２８では、テープ部材Ｔ１が、保護テープＴＡ１と剥離シートＴＢとに剥がされる。また、第２ガイドローラ２２９と第３ガイドローラ２３０は、互いに対向して設けられている。そして、この第２ガイドローラ２２９と第３ガイドローラ２３０との間で、剥がされた保護テープＴＡ１を挟み込んで、テンションが掛かっていない状態における保護テープＴＡ１の弛みを防止している。また、第４ガイドローラ２３１は、最も下方側に位置している。この第４ガイドローラ２３１は、保護テープＴＡ１に対してテンションを及ぼしながら、当該保護テープＴＡ１の引き出しをガイドする部分である。

なお、図２３に示すように、保護テープＴＡ１が第４ガイドローラ２３１から引き出されると、その保護テープＴＡ１の先端部分が、後述する先端貼付バー３３１に貼付される。そして、この先端貼付バー３３１に保護テープＴＡ１が貼り付けられた状態で、上蓋ユニット２００が待機ユニット３００側からチャンバユニット１００側にスライドすると、保護テープＴＡ１が引き出されると共に、張力が付与された状態でシールリング１２３に貼付される。それにより、保護テープＴＡ１は凹陥部１２２（シールリング１２３）の上方に位置する状態となる。

続いて、待機ユニット３００の構成について説明する。図３、図６および図７等に示すように、待機ユニット３００は、基台部３１０を備えている。この基台部３１０には、観音開きが可能な開閉扉３１１が設けられている（図６参照）。この開閉扉３１１を開放することにより、内部スペースに存在する構成要素のメンテナンスを行ったり、内部スペースに作業に必要な用具やテープ部材Ｔ１，Ｔ２を収納することが可能となる。

この基台部３１０の上面には、開口部３１２が設けられている（図７参照）。この開口部３１２を介して、後述するシール剥がし機構３４０で剥がされた保護テープＴＡ２を、吸着部材２１３で吸着保持させることを可能としている。また、図１３および図１４に示すように、基台部３１０には、ガイドレール１５５と同様のガイドレール３１３が設けられている。このガイドレール３１３は、上蓋封止機構１４０を作動させて、上蓋ユニット３００が持ち上げられた場合、ガイドレール１５５と高さ位置が同一となる位置に設けられている。それにより、ガイド車輪１６３は、ガイドレール１５５とガイドレール３１３との間を良好に転動し、上蓋ユニット２００のスライドをガイド可能となっている。

また、図１他に示すように、開口部３１２の後端側の部位には、第２のテープ供給手段に対応する第２テープ供給機構３２０が設けられている。この第２テープ供給機構３２０は、ロール状に巻回されているテープ部材Ｔ２を供給する部分であり、このテープ部材Ｔ２を順次供給する部位である。

ここで、この第２テープ供給機構３２０に巻回されるテープ部材Ｔ２においては、保護テープＴＡ２に対して予めウエハ１１の大きさおよび形状に対応するように、打ち抜き加工が為された状態となっている（図１０参照）。そのため、後述するシール剥がし機構３４０を用いてテープ部材Ｔ２から保護テープＴＡ２を剥がすと、当該剥がした後の保護テープＴＡ２は、ウエハ１１の形状に対応する形状（略円形状）となっている。なお、剥離シートＴＢに対しては、予め打ち抜き加工は為されていない。

図２４および図２５に示すように、この第２テープ供給機構３２０には、支持プレート３２１と、供給リール３２２と、第１ガイドローラ３２３と、第２ガイドローラ３２４と、第３ガイドローラ３２５と、第４ガイドローラ３２６と、ブレーキ機構３２７と、を具備している。また、図１等に示すように、第２テープ供給機構３２０は、開閉自在なハウジング３２０ａを具備しており、これら各構成要素を覆っている。

これらのうち、支持プレート３２１は、上述の支持プレート２２１と同様に、上述の各部材を支持する部分である。また、供給リール３２２も上述の供給リール２２２と同様に、テープ部材Ｔ２を供給する部分であり、ロール状のテープ部材Ｔ２を保持している部分である。なお、この供給リール３２２も、一対のローラ部材３２２Ａを有している。また、ローラ部材３２２Ａも、回転軸３２２Ｂと、テーパ部３２２Ｃ１を備えるシール係止部３２２Ｃとを有している。また、第１〜第４ガイドローラ３２３〜３２６は、テープ部材Ｔ２の供給をガイドする部分である。

また、第２ローラ機構３２０には，ブレーキ機構３２７が設けられている。このブレーキ機構３２７は、エアブレーキを採用しており、空気圧によって摩擦部材３２８を回転軸３２２Ｂに接触／離間可能に設けられている。そのため、ブレーキ機構３２７を作動させ、摩擦部材３２８を回転軸３２２Ｂに接触させる場合、回転軸３２２Ｂの回転は停止させられる。

また、図２６に示すように、基台部３１０のうち、前端側の部位（基台部１１０の後端側の部位）には、貼付手段に対応するテープ押さえ機構３３０が設けられている。なお、テープ押さえ機構３３０は、待機ユニット３００側の基台部３１０に取り付けられる構成を採用せずに、チャンバユニット１００側の基台部１１０の前端側に取り付けられる構成を採用しても良い。

このテープ押さえ機構３３０には、先端貼付バー３３１と、ガイド軸３３２と、摺動カバー３３３と、連結バー３３４と、アクチュエータ３３５と、受け部材３３６と、ストッパ部材３３７，３３８と、が設けられている。これらのうち、先端貼付バー３３１は、所定の長さ寸法を有すると共に、略丸棒状の外観を呈している。しかしながら、先端貼付バー３３１の下方側は、平面状に切り欠かれた切り欠き部３３１ａとなっている。この切り欠き部には後述するガイド軸３３２の先端部分、および出力ロッド３３５ｂの先端部分が当接し、ネジ等の手段によって取付固定されている。

この先端貼付バー３３１は、その長手方向が待機ユニット３００の幅方向に沿うように取り付けられる。すなわち、先端貼付バー３３１は、第１テープ供給機構２２０から引き出される保護テープＴＡ１の幅方向に沿う状態で取り付けられている。また、先端貼付バー３３１は、第１テープ供給機構２２０から保護テープＴＡ１を引き出した場合に、この保護テープＴＡ１の先端部分が貼り付けられる高さ位置に取り付けられている。

この先端貼付バー３３１の両端側には、ガイド軸３３２の先端部分が取付固定されている。このガイド軸３３２も、先端貼付バー３３１と同様に、略丸棒状の部材となっている。また、ガイド軸３３２は、摺動カバー３３３によって上下方向の摺動がガイドされる。この摺動カバー３３３は、基台部３１０の前端側の外面に、ネジ等の固定手段を介して取り付けられている。この摺動カバー３３３は、その正面形状が略矩形状を為すように設けられている。また、この摺動カバー３３３には、貫通孔３３３ａが設けられている。貫通孔３３３ａは、摺動カバー３３３を貫く状態で設けられている。また、この貫通孔３３３ａは、上下方向に沿う状態で、基台部３１０に取り付けられている。

また、一対のガイド軸３３２には、連結バー３３４が取り付けられている。この連結バー３３４は、ガイド軸３３２の下方側において、ガイド軸３３２同士を掛け渡す状態で設けられている。この連結バー３３４は、アクチュエータ３３５が作動してガイド軸３３２が上下動すると、その上下動に伴って上下動可能に設けられている。

また、一対のガイド軸３３２の間の部位には、アクチュエータ３３５が配置されている。アクチュエータ３３５は、チューブ部３３５ａと出力ロッド３３５ｂとを具備している。なお、本実施の形態では、アクチュエータ３３５としては、エアシリンダを用いており、チューブ部３３５ａ内の空気圧によって、出力ロッド３３５ｂを上下動させることを可能としている。しかしながら、アクチュエータ３３５は、エアシリンダには限られず、油圧シリンダや、各種モータとギヤ機構との組合せを用いるように構成しても良い。

また、本実施の形態では、出力ロッド３３５ｂは、チューブ部３３５ａの上方側から突出すると共に、下方側からも突出している。そして、これら上方側から突出する出力ロッド３３５ｂと、下方側から突出する出力ロッド３３５ｂとは、チューブ部３３５ａから独立して出没させることが可能となっている。しかしながら、出力ロッド３３５ｂが独立して出没する構成を採用しなくても良い。

また、この出力ロッド３３５ｂの上端部分には、受け部材３３６が連結されており、この受け部材３３６は、先端貼付バー３３１の長手方向の中央部分に存在する切り欠き部３３１ａに対して、例えばスペーサ等を介して当接している。なお、この受け部材３３６は、本実施の形態では、先端貼付バー３３１とは固定的に連結されていない。しかしながら、この受け部材３３６と、先端貼付バー３３１とを、例えばネジ等の手段を用いて、連結するように構成しても良い。

また、チューブ部３３５ａの下方側から突出する出力ロッド３３５ｂには、その下端側に、ストッパ部材３３７が連結されている。このストッパ部材３３７は、上述の摺動カバー３３３と同様に、基台部３１０の前端側の外面に、ネジ等の固定手段を介して取り付けられている。また、このストッパ部材３３７を基点として、アクチュエータ３３５が作動すると、上述の先端貼付バー３３１を上方に移動させることを可能としている。また、先端貼付バー３３１が上昇すると、いずれはこのストッパ部材３３７に連結バー３３４の上面側が衝突する。それにより、先端貼付バー３３１の上方側への移動が規制される。

そのため、アクチュエータ３３５が作動し、チューブ部３３５ａの内部に空気が送り込まれると、出力ロッド３３５ｂが上方に向かって上昇し、先端貼付バー３３１を持ち上げる。この持ち上げ状態では、先端貼付バー３３１の上面は、シールリング１２３の上端部よりも上方に位置し、保護テープＴＡ１の引き出し先端部の貼り付きを可能としている。

また、連結バー３３４よりも下方側には、ストッパ部材３３８が設けられている。このストッパ部材３３８は、上述の連結バー３３４に当接可能に設けられている。すなわち、このストッパ部材３３８が、連結バー３３４の下面に当接することにより、先端貼付バー３３１の下方側に移動が規制される。

次に、シール剥がし機構３４０について説明する。図２７〜図２９に示すように、シール剥がし機構３４０は、基台部３１０の内部に設けられている。このシール剥がし機構３４０は、一対のレール３４１を有している。このレール３４１は、基台部３１０の下方側に取付固定されている。また、一対のレール３４１は、その長手方向がスライド方向に沿うように設けられていると共に、互いに所定の間隔を有する状態で離間して設けられている。

これら一対のレール３４１の間には、アクチュエータ３４２が配置されている。このアクチュエータ３４２の作動により、スライド方向に沿って移動体３４３を移動可能としている。なお、本実施の形態では、アクチュエータ３４２としては、例えばエアシリンダを用いている。しかしながら、アクチュエータ３４２はエアシリンダには限られず、油圧シリンダやモータとボールネジとの組み合わせによるネジ送り機構を採用しても良い。

また、上述のレール３４１には、移動体３４３がスライド自在に設けられている。この移動体３４３は、支持プレート３４４を具備し、この支持プレート３４４の下面側に、レール３４１と嵌合するレール嵌合部３４５、およびアクチュエータ３４２の駆動力を受け止める受け部３４６が設けられている。また、この支持プレート３４４は、基台部３１０の設置面に対して、略平行となるように設けられている。この支持プレート３４４の幅方向のうち、最も両端側には、リール支持板３４７が、上方に向かって突出する状態で取り付けられている。このリール支持板３４７は、軸受３４７ａを介して巻き取りリール３４８の回転軸３４８ａを回転自在に軸支する部分である。また、リール支持板３４７は、後述する側方支持板３５０よりも、後端側（チャンバユニット１００側）に取り付けられている。

なお、リール支持板３４７に回転自在に支持される巻き取りリール３４８は、上述の第１テープ供給機構２２０における巻き取りリール２２６と同様の構成であり、一対のローラ部材３４８Ａを有する。また、ローラ部材３４８Ａは、回転軸３４８Ｂと、シール係止部３４８Ｃとを有している。また、この回転軸３４８Ｂの一方の端部側には、第１プーリ３４９が取り付けられている。また、この巻き取りリール３４８には、テープ部材Ｔ２を剥がした後に生じる、剥離シートＴＢが巻き取られる。

また、支持プレート３４４のうち、リール支持板３４７よりも前端側には、側方支持板３５０が取り付けられている。この側方支持板３５０も、支持プレート３４４の幅方向における両端側に、それぞれ１つずつ（合計２つ）取り付けられている。また、この側方支持板３５０は、リール支持板３４７との干渉を防ぐべく、当該リール支持板３４７よりも若干だけ支持プレート３４４の幅方向の中央寄りに取り付けられている。また、この側方支持板３５０は、その上端側がリール支持板３４７よりも高くなるように設けられている。この側方支持板３５０の上端側には、ブリッジ板３５１が、それぞれの側方支持板３５０を連結する状態で掛け渡される。

このブリッジ板３５１は、上述の支持プレート３４４に略平行を為す状態で取り付けられている。また、このブリッジ板３５１には、支持脚部３５２が取り付けられている。支持脚部３５２は、ブリッジ板３５１の両端側に、例えばネジ等を介して、それぞれ取付固定されている。この支持脚部３５２の上端側は、剥がし板３５３の下面に取付固定されている。また、この支持脚部３５２に支持されている剥がし板３５３は、一対の支持脚部３５２に掛け渡されている。この剥がし板３５３は、その上面３５３ｂが、上蓋プレート２１０の凹部２１２の底面に対して、略平行となるように設けられている。また、この剥がし板３５３には、当該剥がし板３５３の前端側から下方側に向かうように、テーパ部３５３ａが設けられている。図２７に示すように、このテーパ部３５３ａと上面３５３ｂとは、鋭角である角度θを為している。

上述の剥がし板３５３の前端部分には、尖形部３５３ｃが設けられている。尖形部３５３ｃは、上面３５３ｂとテーパ部３５３ａとが交差する部分であり、尖形状に設けられている。しかしながら、この尖形部３５３ｃは、後述するモータ３５７が作動した場合であっても、剥離シートＴＢが切断されない程度の緩やかさを有している。

この尖形部３５３ｃは、供給されるテープ部材Ｔ２を剥がすための部分である。このとき、テープ部材Ｔ２の上面側には、保護テープＴＡ２が位置すると共に、テープ部材Ｔ２の下面側には、剥離シートＴＢが位置する状態で、テープ部材Ｔ２が供給される。そして、巻き取りリール３４８のロック状態で移動体３４３を前端側へ移動させ、その移動に伴って、テープ部材Ｔ２を規定の寸法（１ウエハ分）だけ引き出す。その後、ブレーキ機構３２７の作動による供給リール３２２のロック状態でモータ３５７を駆動させて、剥離シートＴＢを巻き取る。すると、その巻き取り動作によって、移動体３４３が後端側に移動しつつ、尖形部３５３ｃによって、テープ部材Ｔ２から剥離シートＴＢが剥がされる。

また、剥がし板３５３の後端側かつ側面には、ローラ支持板３５４が取り付けられている。このローラ支持板３５４には、上面３５３ｂおよびテーパ部３５３ａに剥離シートＴＢを倣わせるためのガイドローラ３５５が、回転自在に取り付けられている。なお、剥離シートＴＢをテーパ部３５３ａに倣わせるため、尖形部３５３ｃとガイドローラ３５５の上面側とを結ぶ接線と上面３５３ｂとが為す角度は、上述の角度θよりも鋭角となるように設けられている。

また、図２８等に示すように、上述の一対の側方支持板３５０のうち、第１プーリ３４９が取り付けられている側の側方支持板３５０には、モータ支持板３５６が取り付けられている。このモータ支持板３５６は、側方支持板３５０よりも前端側に突出するように取り付けられている。このモータ支持板３５６には、モータ３５７が取付固定されている。なお、モータ３５７の回転軸３５７ａは、このモータ支持板３５６を貫いて、モータ３５７が取り付けられている側とは反対側に延伸している。また、この回転軸３５７ａには、第２プーリ３５８が取り付けられている。この第２プーリ３５８と、上述の第１プーリ３４９との間には、ベルト３５９が張設状態で掛け渡されている。それにより、モータ３５７が駆動すると、その駆動力を、巻き取りリール３４８側に伝達することを可能としている。

なお、シール剥がし機構３４０には、位置検出のためのセンサ３６０が設けられている。このセンサ３６０は、移動体３４３のスライドの前端側および後端側にそれぞれ設けられるのが好ましい。

また、図３０に示すように、テープ接着装置１０には、制御手段としての制御装置４００が設けられている。この制御装置４００は、例えばＣＰＵ、所定の制御プログラムが記憶されているＲＯＭ、データの一次記憶を行うＲＡＭ、各種センサ等からの信号が入力されると共に制御信号を出力するためのインターフェース等を具備している。なお、制御装置４００として好適なものは、例えばＡ／Ｄコンバータ、Ｄ／Ａコンバータ等を具備する１チップマイコンの如きである。

この制御装置４００は、上述したように、真空ポンプ１１１、第１〜第３の弁部材１１４，１１５，１１６、アクチュエータ１４３，３３５，３４２、モータ２２３，３５７、ブレーキ機構３２７、真空計１３２、センサ１６４，３６０等に対して電気的に接続されている。この様子を、図３０に示す。また、この制御装置４００には、オン作動を行うための操作ボタン４０１が連結されている。このため、作業者が操作ボタン４０１を押すと、真空ポンプ１１１が作動する。

なお、真空室Ｖにおける所定の真空度としては、約２０Ｐａ程度とする場合が、その一例として挙げられる。しかしながら、所定の真空度はこれに限られるものではなく、大気圧よりも低い状態であれば、どのような真空度であっても良い。また、この制御装置４００の制御については、後述する。

次に、ウエハ１１に保護テープＴＡ１を貼り付けるために用いられる治具Ｊについて説明する。図３１に示すように、治具Ｊには、リング部材Ｊ１と、プレート部材Ｊ２と、テープ保持リングＪ３とが存在する。これらのうち、リング部材Ｊ１は、図３２に示すように、その外観が略リング形状に設けられている。また、このリング部材Ｊ１は、押さえリング１３０の内径に対応させて設けられている。このリング部材Ｊ１の外周部分には、略１８０度間隔で、突出部Ｊ１１が設けられている。この突出部Ｊ１１は、位置決め部１３１に嵌まり込む。それにより、リング部材Ｊ１のラジアル方向の位置決めが為される。また、このリング部材Ｊ１の内周側にも、上述の位置決め部１３１と同様の位置決め部Ｊ１２が設けられている。この位置決め部Ｊ１２も、略１８０度間隔となるように設けられている。また、このリング部材Ｊ１のリング孔Ｊ１３に近接する内周側には、ピン孔Ｊ１４が設けられている。このピン孔Ｊ１４には、ピン部材Ｊ１５が差し込まれ、このピン部材Ｊ１５によって後述するテープ保持リングＪ３を下方から保持する。

また、上述のリング部材Ｊ１のリング孔Ｊ１３には、プレート部材Ｊ２がセットされる。プレート部材Ｊ２は、リング部材Ｊ１の内周側に配置される。このプレート部材Ｊ２は、略円盤状の部材であり、ウエハ１１を載置するための部材である。このプレート部材Ｊ２は、リング孔Ｊ１３の内径に対応させて設けられている。また、このプレート部材Ｊ２の外周部分には、略１８０度間隔で、突出部Ｊ２１が設けられている。この突出部Ｊ２１は、位置決め部Ｊ１２に嵌まり込む。それにより、プレート部材Ｊ２のラジアル方向の位置決めが為される。

また、プレート部材Ｊ２の外周側には、ピン挿通孔Ｊ２２が設けられている。ピン挿通孔Ｊ２２には、位置決めピンＪ２３が差し込まれる。このピン挿通孔Ｊ２２は、ウエハ１１の外周縁部に倣うように設けられている。そして、このピン挿通孔Ｊ２２に位置決めピンＪ２３が差し込まれると、ウエハ１１の外周縁部が係止され、ウエハ１１のずれが防止される。なお、ウエハ１１のオリフラ部分１１ａを基準として、当該ウエハ１１のラジアル方向における位置決めを行わせるために、オリフラ部分１１ａには、２つの位置決めピンＪ２３が接触するように、ピン挿通孔Ｊ２２が設けられている。

また、上述のピン部材Ｊ１５のうち、高さ寸法の低いピン部材Ｊ１５の上部には、テープ保持リングＪ３が取り付けられる。テープ保持リングＪ３は、ウエハ１１よりも先に、保護テープＴＡに接触する部材である。このテープ保持リングＪ３がウエハ１１よりも先に保護テープＴＡ１に接触することにより、保護テープＴＡ１の弛みが除去されると共に、ウエハ１１の上面と保護テープＴＡ１とが略平行な状態で、貼付を実行することが可能となる。このテープ保持リングＪ３は、その外周側に複数の切欠部Ｊ３１を有している。そして、この切欠部Ｊ３１に所定のピン部材Ｊ１５を入り込ませることにより、当該テープ保持リングＪ３のラジアル方向における位置決めを行っている。また、このテープ保持リングＪ３には、上述のリング孔Ｊ１３と同等の直径のリング孔Ｊ３２が設けられている。

以上のような構成を有するテープ接着装置１０の作用（動作）について、図３４のフローチャートを参照しながら、以下に説明する。なお、最初に図９に示すテープ部材Ｔ１を、ウエハ１１に対して貼り付ける場合について説明する。

まず、作業者は、上蓋ユニット２００を待機ユニット３００側に位置させて、チャンバプレート１２０の上面側が開放する状態とする。この状態で、作業者は、ゴムシート１２６に、図３１等に示すようなリング部材Ｊ１、プレート部材Ｊ２およびテープ保持リングＪ３をセットする。そして、このセットが終了した後に、位置決めピンＪ２３を基準として、プレート部材Ｊ２の上部にワークとなるウエハ１１を載置する（ステップＳ１１）。

また、上述のウエハ１１の載置とは別に、作業者は、テープ部材Ｔ１の設置準備を行う（ステップＳ１２）。すなわち、作業者は、テープ部材Ｔ１を供給リール２２２から引き出し、そのテープ部材Ｔ１の先端部分を剥がす。そして、剥がされたテープ部材Ｔ１のうち、保護テープＴＡ１に関しては、図２３に示すように、第１〜第４ガイドローラ２２８〜２３１を通過させて、先端貼付バー３３１の上面側に貼付する。このとき、アクチュエータ３３５を作動させて、先端貼付バー３３１を上方に位置させる。なお、このとき、先端貼付バー３３１は、上蓋ユニット２００のスライドと干渉しない程度の高さ位置まで持ち上げられる。また、アクチュエータ３３５は、外部からの力が先端貼付バー３３１に作用した場合に、先端貼付バー３３１が下方に退避可能となる程度の圧力で、持ち上げられる。

また、剥がされたテープ部材Ｔ１のうち、剥離シートＴＢに関しては、巻き取りリール２２６側の保持部分に保持させる。また、保護テープＴＡ１の先端部分は、先端貼付バー３３１に貼付する。このとき、保護テープＴＡ１の先端は、先端貼付バー３３１の上面において、後端側から前端側に向かうように貼付される。

かかる保護テープＴＡ１の先端の貼付が終了すると、作業者は、取手２０１を把持して、上蓋ユニット２００を先端側に向けてスライドさせる。このとき、例えば別途のスライドを検知するセンサ１６４、またはユーザの操作ボタン４０１の押下により、モータ２２３が駆動され、剥離シートＴＢを巻き取りリール２２６で巻き取る状態となる。

また、上蓋ユニット２００を前端側へスライドさせる場合、保護テープＴＡ１の先端部分は、先端貼付バー３３１に保持されていて、移動しない。そのため、供給リール２２２がフリーに回転可能な状態で上蓋ユニット２００を前端側に向けてスライドさせると、そのスライド量に応じて、供給リール２２２から、保護テープＴＡ１が順次供給される。この場合、保護テープＴＡ１は、第４ガイドローラ２３１の下面と、先端貼付バー３３１の上面との間で、張設されている状態となる。なお、巻き取りリール２２６には、ベルト２２５を介して駆動力が伝達されるため、上蓋ユニット２００のスライドに伴って、剥離シートＴＢを順次巻き取って行く。

そして、上蓋ユニット２００が、例えば度当たり等によって規定の停止位置までスライドし、上蓋ユニット２００のスライドが停止させられると、この停止をセンサ１６４によって検出する。すると、制御装置４００は、このセンサ１６４から出力される検出信号を受信すると共に、この検出信号に基づいて、アクチュエータ１４３を作動させる。すると、このアクチュエータ１４３が備えるロッド部材１４３ｃは、前端側に向かって押し出される。それにより、アーム部材１４７は、図１４において反時計回りに回動させられる。

このアーム部材１４７が規定の停止位置まで反時計回りに回動させられると、その回動により、プレート連結部１４７ｂは、上下方向に対して斜めに傾斜している状態から、上下方向に沿う状態となる（図１４から図１３に移行する状態となる）。このとき、回動角度をθとすると、ローラ１４８は、そのプレート連結部１４７ｂの回動によって、「Ｌ×（１−ｃｏｓθ）」だけ下方に押し下げられる。また、ローラ１４８は、溝部１５４に嵌め込まれているため、上下プレート１５０は、ローラ１４８の移動に伴って、下方に移動させられる。

また、上述のように上下プレート１５０が下方に移動させられると、シールリング１２３とシールリング２１６とが衝突し、上下プレート１５０の規定の停止位置では、シールリング１２３，２１６同士が弾性変形する状態となる。それにより、シールリング１２３，２１６の間に、保護テープＴＡ１が挟み込まれる状態となる。これで、ステップＳ１３のテープ部材となる保護テープＴＡ１の設置、張設が完了する。なお、テープ部材Ｔ１の幅寸法は、シールリング１２３，２１６の直径よりも小さく設けられている。そのため、シールリング１２３，２１６には、保護テープＴＡ１を挟持する部分と、当該保護テープＴＡ１を挟持していない部分との境界部分が存在する状態となる。

ここで、本実施の形態では、シールリング２１６は、シリコン等のような、柔軟性を有する材質から形成されている。そのため、この境界部分では、当該シールリング２１６は、この境界部分において隙間が生じないように弾性変形し、真空室Ｖに向かって外気がリークするのを防止することが可能となっている。

続いて、制御装置４００は、真空ポンプ１１１および第１〜第３の弁部材１１４〜１１６を作動させて、真空室Ｖおよび空気導入部１２７の真空吸引を開始して、吸引ステップを開始する。このとき、まず、第１および第３の弁部材１１４，１１６は、吸引側となるように切り替える。しかしながら、第３の弁部材１１６を、真空吸引も大気開放を行わずに、管部材１１８を気密に閉塞するように切り替えるようにしても良い。このように、制御装置４００は、弁部材１１４，１１６を切り替えた後に、真空ポンプ１１１を作動させる。

真空ポンプ１１１を作動させると、真空室Ｖは真空吸引される（ステップＳ１４）。この真空吸引の開始後、制御装置４００は、第２の弁部材１１５を吸引側となるように切り替える。これによって、ステップＳ１５が開始される。すなわち、空気導入部１２７も真空吸引される。このように、まず、真空室Ｖの吸引が開始されるため、保護テープＴＡ１の外周、すなわち、ウエハ１１と対向していない部分が、ウエハ１１側に引かれるのを防止でき、保護テープＴＡ１の外周の垂れ下がりを防止することができる。この結果、保護テープＴＡ１は、ウエハ１１の上面と平行状態を保って接触することが可能となり、気泡の発生を防止できる。また、気泡が発生したとしても、後に、気泡をウエハ１１の外方へ排出することが可能となる。

そして、かかる真空吸引を所定時間行い、真空計１３２で所定の真空度が検出される（ステップＳ１６）と、制御装置４００は、この真空計１３２からの検出信号に基づいて、第２の弁部材１１５を大気開放側に切り替える。それによって、空気導入ステップが開始され、空気導入部１２７には、突出管路１１７を介して大気が導入される（ステップＳ１７）。このステップＳ１６では、真空度を検出することなく、所定時間経過したら、第２の弁部材１１５を大気開放側に切り替えるようにしても良い。ここで、空気導入部１２７に大気が導入されると、この空気導入部１２７と真空室Ｖに存在する圧力差によって、ゴムシート１２６が真空室Ｖ側に向かって膨張し、接着ステップが開始する。

この場合、ゴムシート１２６の膨張によって、ウエハ１１およびテープ保持リングＪ３が持ち上げられる。すると、ウエハ１１よりもテープ保持リングＪ３の高さ位置が高いため、まずテープ保持リングＪ３に保護テープＴＡ１が接触する。このように、テープ保持リングＪ３に保護テープＴＡ１が接触するので、保護テープＴＡ１に生じている弛みが除去され、保護テープＴＡ１が張設される状態となる（ステップＳ１８）。この状態は、いわゆる太鼓状態で、保護テープＴＡ１がピンと張られた状態である。

さらに、ゴムシート１２６が膨張すると、例えば保護テープＴＡ１の張力および上蓋プレート２１０の下面への接触等により、ゴムシート１２６の中央側がテープ保持リングＪ３の高さ位置に近づく。それにより、ウエハ１１の上面に、保護テープＴＡ１が接着される。このとき、製造効率を考え、真空室Ｖの真空度は強くされておらず、また、保護テープＴＡ１とウエハ１１との当初の間隔は狭くされているため、速やかに、両者は接触する。このため、保護テープＴＡ１とウエハ１１との間には、図３５に示すように、気泡Ｐが分散して発生している。逆に言えば、気泡Ｐが分散発生するように、両者を接着させる（ステップＳ１９）。気泡Ｐは、このように接着面で分散配置させるのが好ましい。以上のようにして、ウエハ１１の上面の前面に保護テープＴＡ１が接着され、接着ステップが完了する。この接着ステップでは、保護テープＴＡ１は、ウエハ１１の外縁に先に接着しないように接着させられる。このため、図３５に示すような気泡Ｐが発生していても、その気泡Ｐを空気開放ステップで、ウエハ１１外へ排出させることができる。仮に、図３６に示すように、ウエハ１１の外縁に保護テープＴＡ１が接着し、円輪状の接着域Ｓが生じていた場合、ウエハ１１の中央に発生した気泡Ｐは、ウエハ１１外へ排出できず、残存することとなる。この接着域Ｓは、完全に円輪状ではなく、外縁の一部が接着域Ｓとならない場合も、気泡Ｐは，排出されず、残存する確率が高くなる。なお、この保護テープＴＡ１へのウエハ１１の接着に前後させて、横切断機構１８０を用いて、保護テープＴＡ１を切断する。このとき、ロッド状部材１８３を押し込みつつ、直線状レール１８１に沿って、摺動カッター部１８２をスライドさせることにより、保護テープＴＡ１が切断される。

制御装置４００は、所定時間が経過するか監視し（ステップＳ２０）、所定時間が経過すると、第１の弁部材１１４と第３の弁部材１１６を大気開放側に切り替えて、真空室Ｖの圧力を低下させ、気泡Ｐをウエハ１１外に排出させる（ステップＳ２１）。この空気開放ステップＳ２１では、気泡Ｐは、図３５の矢印で示すように、ワークとなるウエハ１１の中心側から外周側に向かって、直線的に移動し、排出される。その後、真空室Ｖと空気導入部１２７との間の圧力差が解消され、ゴムシート１２６が膨張しない状態となる。なお、第３の弁部材１１６は、ステップＳ２１の以前に、真空吸引を停止するようにしても良い。そして、制御装置４００は、例えば所定時間が経過した後または真空計１３２で真空室Ｖの内部が大気圧になったことを確認すると、再びアクチュエータ１４３を作動させる。このとき、ロッド部材１４３ｃは、後端側に向かって進行し、シリンダ部１４３ｂの内部にロッド部材１４３ｃが入り込む。すると、アーム部材は、図１３において時計回りに回動させられる。

その回動により、プレート連結部１４７ｂは、上下方向に沿う状態から、上下方向に対して斜めに傾斜している状態へと移行する（図１３に示す状態から図１４に示す状態へと移行する）。このときの回動により、上蓋プレート２１０（上下プレート１５０）は、「Ｌ×（１−ｃｏｓθ）」だけ上方に持ち上げられる。それにより、シールリング１２３，２１６の間の接触が解除される。また、ガイドレール１５５も、ガイドレール３１３と同等の高さ位置に持ち上げられ、上蓋ユニット２００を待機ユニット３００側に移動させることが可能となる。

この状態で、作業者は、取手２０１を把持し、上蓋ユニット２００を待機ユニット３００側に移動させる。すると、凹陥部１２２が露呈するが、このとき、ウエハ１１が保護テープＴＡ１に接着した状態で、出現する。次に、環状切断機構１７０を用いて、テープ保持リングＪ３の内周側で、保護テープＴＡ１を切断する。この場合も、押入カッター部１７７のロッド状部材１７８を押し込みつつ、環状レール１７３に沿って回転させることにより、保護テープＴＡ１は、ウエハ１１に対応した大きさで、円形状に切断される（ステップＳ２２）。

以上のような手順を順次行うことにより、ウエハ１１に保護テープＴＡ１を良好に貼付することが可能となる。この後、保護テープＴＡ１付きのウエハ１１を作業者またはロボットが取り出す（ステップＳ２３）。以上の動作が繰り返され、次から次へと、保護テープＴＡ１付きのウエハ１１を製造することができる。取り出された保護テープＴＡ１付きのウエハ１１は、別な場所に移動され、処理される。なお、保護テープＴＡ１付きのウエハ１１を移動させることなく、その場で処理するようにしても良い。ウエハ１１は、保護テープＴＡ１付きの状態で、細かく切断され、その後、保護テープＴＡ１から、切断されたウエハ１１が剥がされる（テープ剥がしステップ）。剥がされることで、多数に分断された状態となる各小ウエハは、電子部材として利用される。なお、保護テープＴＡ１を剥がした後で、ウエハ１１を切断するようにしても良い。

続いて、図１０に示すようなテープ部材Ｔ２をウエハ１１に貼付する場合について、先の図３４のフローチャートを参照しながら説明する。この場合、まず、ステップＳ１１のウエハ１１の設置を行うと共に、作業者は、テープ部材Ｔ２の設置準備を行う（ステップＳ１２）。すなわち、作業者は、剥離シートＴＢの先端を、予め巻き取りリール３４８に保持させておく。また、この場合、最初に第３の弁部材１１６は、ステップＳ１３以前に、真空吸引側に切り替えられている。そして、真空ポンプ１１１を作動させ、吸着部材２１３に真空吸引力を及ぼさせる。この状態で、シール剥がし機構３４０を作動させる。このとき、供給リール３２２がフリーに回転可能な状態とすると共に、モータ３５７のブレーキ作用等により巻き取りリール３４８の回転が阻止される状態としておく。そして、アクチュエータ３４２を作動させ、移動体３４３をレール３４１に沿って、後端側から前端側に向けて移動させる。すると、移動体３４３の進行に伴って、テープ部材Ｔ２が引き出されて行く。

ここで、移動体３４３が移動すると、テープ部材Ｔ２は、剥がし板３５３の上面３５３ｂの上方に載せられつつ、引き出されて行く。すると、このテープ部材Ｔ２のうち、打ち抜き加工されている部分に対して、吸着部材２１３が近接する状態となるため、テープ部材Ｔ２は、吸着部材２１３によって吸引保持される。そして、移動体３４３が、前端側の規定位置まで進行すると、制御装置４００の制御指令によって、アクチュエータ３４２の作動が停止させられる。

次に、制御装置４００は、モータ３５７に対して制御指令を与え、剥離シートＴＢを巻き取る方向に駆動させる。また、ブレーキ機構３２７にも制御指令を与え、ブレーキ機構３２７を作動させて摩擦部材３２８を回転軸３２２Ｂに接触させ、供給リール３２２の回転を阻止する状態とする。すると、モータ３５７が回転し、剥離シートＴＢを巻き取るにつれて、移動体３４３は、後端側に向かって移動して行く。また、この巻き取りにより、剥離シートＴＢには、張力が与えられる。このとき、引き出されたテープ部材Ｔ２は、尖形部３５３ｃにより、急激に折り曲げられる状態となる。この状態で、モータ３５７がしばらく作動すると、尖形部３５３ｃは、テープ部材Ｔ２の打ち抜き加工に対応する部位に到達する。

ここで、テープ部材Ｔ２の打ち抜き加工では、当該テープ部材Ｔ２に対して、上方側から真空吸引力が及ぼされている。このため、打ち抜き加工が為されている保護テープＴＡ２には、尖形部３５３ｃにおける急激な折り曲げによって生じる当該保護テープＴＡ２の弾性力と、真空吸着とを合計した力が上方に向かって作用する。この上方に向かう力は、保護テープＴＡ２と剥離シートＴＢとの間の粘着力よりも大きくなる。それにより、保護テープＴＡ２は、真空吸引が為されている打ち抜き部分の端部から、徐々に剥がされて行く。

そして、移動体３４３が規定の後端位置まで到達すると、吸着部材２１３は、打ち抜き加工が為された保護テープＴＡ２を吸引保持している状態となる。そして、この状態のまま、作業者は取手２０１を把持して、上蓋ユニット２００をチャンバユニット１００側にスライドさせる。これによって、ステップＳ１３が完了する。

なお、ステップＳ１４以後の動作は、上述のテープ部材Ｔ１における説明と同様であるが、テープ部材Ｔ１の場合との相違点は、第１の弁部材１１４によっての真空室Ｖの本体委部分の真空吸引開始前に、上述したように、第３の弁部材１１６を動作させ、吸着部材２１３と上蓋プレート２１０との間の空間および吸着部材２１３について真空吸引を開始していることである。第３の弁部材１１６による真空吸引は、ステップＳ１４の際も継続する。しかし、ステップＳ１４の際、すなわち、上蓋プレート２１０を降下させ、シールリング１２３，２１６同士が接触した後には、吸着部材２１３による保護テープＴＡ２の真空吸引を停止するようにしても良い。この真空吸引の停止により、真空室Ｖが真空吸引されるにつれて、保護テープＴＡ２に対する吸引保持力が弱まる。そのため、ウエハ１１が持ち上げられて、当該ウエハ１１の上面に保護テープＴＡ２が接触すると、ウエハ１１の上面に保護テープＴＡ２が、良好に接着される場合がある。

このような構成のテープ接着装置１０によれば、ゴムシート１２６の上方にウエハ１１をセットし、保護テープＴＡ１，ＴＡ２がシールリング１２３，２１６の間に介在する状態で両者を突き合わせると、これらシールリング１２３，２１６の間に、保護テープＴＡ１，ＴＡ２が挟み込まれる状態となる。この状態で、真空室Ｖの真空吸引を開始し（ステップＳ１４）、その後、空気導入部１２７との間の真空排気を開始し（ステップＳ１５）、その後、空気導入部１２７の内部に空気を導入する（ステップＳ１７）ことにより、ゴムシート１２６は、真空室Ｖの上方に向かって膨張する。それにより、ゴムシート１２６は、ウエハ１１を持ち上げ、ステップＳ１８を経由し、当該ウエハ１１の上面に対して、保護テープＴＡ１，ＴＡ２を、気泡分散状態で接着させる（ステップＳ１９）。この場合、真空室Ｖの真空吸引が為された後に、ウエハ１１が持ち上げられる。このため、ウエハ１１に対して、気泡Ｐの入り込み過ぎを防ぎながら、気泡Ｐが適度に分散した状態で、保護テープＴＡ１，ＴＡ２を接着させることが可能となる。なお、制御装置４００は、その後、所定時間が経過するかを監視し（ステップＳ２０）、所定時間が経過すると、少なくとも第１の弁部材１１４を大気開放側に切り替えて、真空室Ｖとその上部の圧力を大きくし、気泡Ｐをウエハ１１外に排出させる（ステップＳ２１）。このため、気泡Ｐが介在しない状態で、両者を完全に接着させることができる。

また、このテープ接着装置１０によって実施される方法の場合には、気泡Ｐが残った状態でテープ部材となる保護テープＴＡ１，ＴＡ２をワークとなるウエハ１１に接着させることができるので、真空の程度を強くする必要がなく、また、テープ部材とワークとの間隔を狭くすることができる。このため、テープ部材の接着に要する時間の短縮化が可能になる。また、残った気泡Ｐは、空気開放ステップで、ワーク外へ排出されるので、ワークとテープ部材との間の気泡Ｐを確実に除去できることとなる。さらに、空気開放ステップでは、気泡Ｐがワークの中心側から外周側に向かって、直線的に移動し、排出されるものとしているので、排出の時間が短縮され、製造効率がさらにアップする。また、吸引ステップでは、テープ部材の接着面とは反対となる側を多孔質からなる吸着部材２１３を介して真空吸着しているので、テープ部材の張設状態が維持され、接着状態の不具合発生のリスクが軽減される。

また、本実施の形態では、第１テープ供給機構２２０からは、シート状の保護テープＴＡ１が供給可能であると共に、第２テープ供給機構３２０からは、予め打ち抜き加工が為されている保護テープＴＡ２が供給可能である。このため、異なる保護テープＴＡ１，ＴＡ２を真空室Ｖに供給することが可能となり、ウエハ１１に対する保護テープの貼付の多用なニーズに応えることが可能となる。

また、本実施の形態では、第１テープ供給機構２２０からは、シート状の保護テープＴＡ１が、掛け渡される状態で供給される。また、第２テープ供給機構３２０からは、保護テープＴＡ２が、上蓋ユニット２００を用いて真空室Ｖに供給される。このため、保護テープＴＡ１，ＴＡ２は、ウエハ１１に貼り付けられる状態で供給され、作業性を良好にすることが可能となる。

さらに、シールリング１２３，２１６の間で、保護テープＴＡ１を挟持できるため、チャンバプレート１２０と上蓋プレート２１０との間の突き合わせの動作を利用して、保護テープＴＡ１を簡易に保持させることが可能となる。また、この保持状態では、保護テープＴＡ１をウエハ１１の上面よりも上方に位置させることができる。それにより、ゴムシート１２６を上方に向けて膨張させれば、ウエハ１１を、保護テープＴＡ１に対して良好に接触させることができる。

また、本実施の形態では、シールリング２１６は、例えばシリコンゴムのような、柔軟性を有する柔軟部材から形成されている。このため、シールリング１２３とシールリング２１６とが突き合わされると、この柔軟部材が柔軟に弾性変形する。それにより、シールリング１２３とシールリング２１６との間に保護テープＴＡ１が介在する場合でも、保護テープＴＡ１を挟持する境界部分で隙間が形成されるのを防止することが可能となる。さらに、真空吸引時には、シールリング１２３，２１６の間には、互いに押し付ける力が一層強まり、シールリング２１６は、上述の境界部分で隙間が形成されるのを一層確実に防止する。それにより、真空室Ｖを外部から気密に封止することが可能となる。

また、特に、シールリング２１６の材質が、シリコンゴムであるため、シールリング１２３，２１６が、保護テープＴＡ１を挟持する状態で互いに突き合わされる場合、この挟持の端部において、隙間が生じるのを確実に防ぐことが可能となる。

また、本実施の形態では、チャンバユニット１００に隣り合う状態で、待機ユニット３００が設けられていて、上蓋ユニット２００は、これらチャンバユニット１００と待機ユニット３００との間をスライド可能に設けられている。そのため、この上蓋ユニット２００のスライドを利用すれば、保護テープＴＡ１，ＴＡ２を容易に引き出し／搬送可能となる。また、ウエハ１１をゴムシート１２６の上面に設置する場合には、上蓋ユニット２００がチャンバユニット１００を覆う状態から退避させ、凹陥部１２２を開放させることが可能となる。それにより、ウエハ１１を設置する際の作業性を向上させることが可能となる。

特に、上蓋ユニット２００には、第１テープ供給機構２２０が設けられているため、上蓋ユニット２００のスライドを利用して、当該上蓋ユニット２００を待機ユニット３００からチャンバユニット１００に向かってスライドさせれば、保護テープＴＡ１を容易に引き出すことが可能となる。それにより、保護テープＴＡ１を供給する際の作業効率を一層良好にすることが可能となる。

加えて、上蓋ユニット２００の前端側には、第１テープ供給機構２２０が設けられていて、さらにチャンバユニット１００の後端側には、テープ押さえ機構３３０が設けられている。そのため、保護テープＴＡ１の引き出しの先端部分を先端貼付バー３３１に貼付し、その状態で上蓋ユニット２００を前端側に向けてスライドさせるだけで、保護テープＴＡ１を、張力を有する状態でシールリング１２３，２１６の間に掛け渡すことが可能となる。すなわち、保護テープＴＡ１の引き出しの先端部分を先端貼付バー３３１に貼り付け、その後上蓋ユニット２００をスライドさせれば、保護テープＴＡ１の引き出し作業が完了するので、保護テープＴＡ１の設置作業を大幅に簡略化することができ、作業効率を一層良好にすることが可能となる。

また、本実施の形態では、待機ユニット３００には、シール剥がし機構３４０が設けられている。このため、保護テープＴＡ２は、シール剥がし機構３４０によってテープ部材Ｔ２から良好に剥がすことが可能となる。また、上蓋ユニット２００には、吸着部材２１３が設けられている。このため、上蓋ユニット２００をチャンバプレート２１０の上方に向けてスライドさせれば、剥がされた保護テープＴＡ２を、真空室Ｖに向けて搬送可能となる。それにより、真空室Ｖの内部に対して保護テープＴＡ２を設置する作業を大幅に簡略化することが可能となり、作業効率を一層良好にすることが可能となる。

さらに、シール剥がし機構３４０においては、剥がし板３５３にテープ部材Ｔ２を倣わせる状態で、移動体３４３を後端側に移動させると、テープ部材Ｔ２が尖形部３５３ｃを通過する。この場合、テープ部材Ｔ２は、尖形部３５３ｃにより、急激に折り曲げられ、折り曲げに対する反力（弾性力）が、保護テープＴＡ２に生じると共に、当該保護テープＴＡ２の上面からは、真空吸引力が及ぼされる。そのため、テープ部材Ｔ２は、尖形部３５３ｃに倣う状態で通過させれば、テープ部材Ｔ２から保護テープＴＡ２を良好に剥がすことが可能となる。それにより、ウエハ１１に保護テープＴＡ２を貼付する際の作業性を、一層良好にすることが可能となる。

また、チャンバユニット１００（チャンバプレート１２０）と上蓋ユニット２００（上蓋プレート２１０）の間には、上蓋封止機構１４０が設けられている。そのため、上蓋封止機構１４０を用いることにより、上蓋プレート２１０を上下方向に移動させることが可能となる。それにより、上蓋プレート２１０を下方に移動させると、シールリング１２３，２１６を互いに突き合わせることが可能となり、真空室Ｖの内部を、外部から気密に封止することが可能となる。

また、本実施の形態では、ウエハ１１の持ち上げに、ゴムシート１２６を用いているため、真空室Ｖおよび空気導入部１２７の圧力を種々変更することにより、該ゴムシート１２６を真空室Ｖ側に膨らませたり、逆に真空室Ｖ側に膨らんでいる状態から戻したりする動作を容易に行うことができる。それによって、ウエハ１１を保護テープＴＡに容易に接着させることが可能となる。

また、吸着部材２１３は、多孔質セラミックスから構成されている。このため、保護テープＴＡの全面に亘って確実に、かつ均一に吸着保持することができる。それによって、保護テープＴＡに弛みが生じるのを防ぐことができる。さらに、制御装置４００は、真空ポンプ１１１、第１〜第３の弁部材１１４〜１１６、真空計１３２、センサ１６４に接続されていて、これらの作動を良好に制御することができる。

以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。

上述の実施の形態においては、ワークとして、ウエハ１１を用いる場合について説明している。しかしながら、ワークとしては、ウエハ以外に液晶等のガラス基板や特殊ガラス材、有機ＥＬ用のガラス基板等、各種ＭＥＭＳ（micro electro mechanical systems）に用いられるデバイスを形成するための基板を採用しても良い。また、上述の実施の形態では、真空化後に大気（空気）を導入しているが、空気以外のもの、例えばアルゴンガス等を導入して、加圧する状態としても良い。また、テープ部材Ｔは、上述の実施の形態のものには限られず、ＵＶ硬化型（紫外線硬化型）テープ、偏光フィルム、保護シート、透明電極等、ワークの表面に接着可能であれば、種々のものを用いることができる。

上述の実施の形態では、一旦、気泡Ｐを分散配置するようにしたが、この分散配置とならない例としては、図３６に示すように、ウエハ１１の外周部分がテープ部材と確実に接着し、気泡Ｐがウエハ１１の外周部分に配置されない状況や、気泡Ｐがウエハ１１の周方向で、所定の角度範囲のみに配置される状況が上げられる。この分散配置とは、たまたま中心に位置した気泡Ｐが、他の気泡Ｐが存在することで、ウエハ１１の外周方向に拡散していき、結果として、ウエハ１１から排出される状況のものをいう。

また、上述の実施の形態において、伸縮シート部材となるゴムシート１２６の下面側に比べ、保護テープＴＡが配置される側を早めに吸引または強く吸引する方法として、第１の真空室となる真空室Ｖを、第２の真空室となる空気導入部１２７より先に真空吸引を開始させているが、真空室Ｖの体積を、空気導入部１２７の体積より小さくしたり、真空ポンプ１１１からの距離を真空室Ｖの方を短くしても良い。また、真空ポンプを２つ用意し、真空室Ｖを吸引する真空ポンプの吸引力を、空気導入部１２７を吸引する真空ポンプの吸引力に比べ、大きくしても良い。

また、上述の実施の形態において、テープ接着装置１０の内部に、ワークとしてのウエハ１１の表面に接着されている保護テープＴＡを、シール剥がし機構３４０を利用して剥離させるようにしても良い。この場合、真空吸引されるテープ接着装置１０の内部において、保護テープＴＡを剥がすことができる。そのため、テープ剥がしが為されるに際して、ウエハ１１の表面に埃が付着するのを防ぐことができる。特に、現状では、クリーンルーム内で保護テープＴＡを剥離させても、ウエハ１１の表面に埃が付着するのを防止することが困難であるが、本実施の形態のテープ接着装置１０を利用する場合、真空内部において保護テープＴＡの剥離が為されるため、ウエハ１１に埃が付くのを、一層確実に防ぐことができる。

また、上述の真空室Ｖの内部において、テープ部材Ｔをウエハ１１から剥がす場合、保護テープＴＡの剥がし時に発生する静電気による、ウエハ１１の表面への塵埃の付着を防止することができる。すなわち、保護テープＴＡの剥がしを真空室Ｖの内部で行う場合、剥がしに際して仮に静電気が発生したとしても、外部雰囲気を飛散している塵埃が、ウエハ１１の表面に付着するのを防止することができる。

また、上述のテープ接着装置１０に、イオナイザを設けるように構成しても良い。イオナイザが設けられる場合、このイオナイザによってウエハ１１またはテープ部材Ｔ１，Ｔ２にイオン化された空気を吹き付けるようにする。すると、これらウエハ１１またはテープ部材Ｔ１，Ｔ２に付着している塵埃の除去が図れる。また、ウエハ１１またはテープ部材Ｔ１，Ｔ２が除電され、帯電している塵埃等がウエハ１１またはテープ部材Ｔ１，Ｔ２に付着しないようになる。また、イオン化された空気で、ウエハ１１またはテープ部材Ｔ１，Ｔ２の殺菌処理を行うこともできる。

また、上述の環状切断機構１７０および横切断機構１８０は、例えばカッター１７９ａ，１８４の先端部を加熱するための、ヒータを内蔵する構成を採用しても良い。かかるヒータを内蔵する場合、カッター１７９ａ，１８４の先端部が保護テープＴＡに接触すると、熱によって保護テープＴＡが溶ける。そのため、先端部を保護テープＴＡに押し当てて、該先端部を保護テープＴＡに対して相対的に移動させれば、簡易に保護テープＴＡを切断することが可能となる。

ここで、カッター１７９ａ，１８４がヒータにより熱せられる場合、カッター１７９ａ，１８４の押し当てのみで保護テープＴＡを切断する方式と比較して、切り屑等の発生を防ぐことが可能となる。すなわち、カッター１７９ａ，１８４を押し当てるだけの切断方式を採用する場合、保護テープＴＡの切断箇所から細かな切り屑等が発生し、その切り屑等がウエハ１１に付着する等すると、該ウエハ１１の後処理において不良の原因となり、好ましくない。しかしながら、カッター１７９ａ，１８４がヒータにより熱せられる場合、かかる切り屑等が発生するのを防止できるため、かかる不良の原因を、除去することが可能となる。また、カッター１７９ａ，１８４を押し当てるのみで、保護テープＴＡを切断する場合、当該カッター１７９ａ，１８４の刃先には、常に鋭利さが求められ、磨耗によっていずれ刃物交換等が必要となる。しかしながら、カッター１７９ａ，１８４がヒータによって熱せられる場合、カッター１７９ａ，１８４の先端部には鋭利さが必要とされることはなく、そのため、磨耗等の問題が発生するのを抑えることが可能となる。

なお、カッター１７９ａ，１８４以外に、保護テープＴＡを切断するための手段としては、上述のヒータ以外に、レーザ光を照射するレーザ光照射装置を具備する構成を採用しても良い。レーザ光を照射する場合も、ヒータと同様に、保護テープＴＡを熱によって溶かしながら切断することが可能となる。

また、上述の上蓋ユニット２００は、作業者が取手２０１を把持してスライドさせる構成を採用せずに、シリンダやモータ等のアクチュエータを用いて、自動的にスライドするように構成しても良い。特に、上蓋ユニット２００の重量が重い場合には、当該上蓋ユニット２００をアクチュエータを用いて自動的にスライドさせることにより、作業効率を向上させることが可能となる。

また、テープ接着装置１０に対してウエハ１１を搬送するための、搬送ロボットを設置するようにしても良い。この場合、ウエハ１１に対する保護テープＴＡの接着を、一層自動化させることが可能となる。また、上述の実施の形態では、テープ接着装置１０の内部に、ウエハ１１を一枚ずつ設置している。しかしながら、ウエハ１１を複数枚収納可能なカセットをテープ接着装置１０の内部に設置し、かかるカセットからウエハ１１を順次取り出すようにしても良い。

さらに、上述の実施の形態では、第１の蓋部材としてチャンバプレート１２０、第２の蓋部材として上蓋ユニット２００を用いる場合について説明している。しかしながら、第１の蓋部材および第２の蓋部材は、これらに限られるものではない。例えば、第１の蓋部材としては、凹陥部１２２を有しないものを第１の蓋部材としても良い。また、第２の蓋部材としては、例えば吸着部材２１３およびこの吸着部材２１３を嵌め込む凹部２１２を有しないものを、第２の蓋部材としても良い。

また、本実施の形態では、シールリング１２３を第１のシール部材とすると共に、シールリング２１６を第２のシール部材としている。しかしながら、第１のシール部材および第２のシール部材は、真空室Ｖの封止性が良好であるならば、他の部材を材質としても良い。例えば、シールリングをシリコンゴムとすると共に、シールリングを、平滑性の高い平面部を有する金属製のリング等、またはその逆とするが如きである。

また、本実施の形態では、保護テープＴＡを吸着保持するための吸着手段に、多孔質セラミックスを材質とする吸着部材２１３を用いているが、吸着部材は、多孔質体であればどのような材質であっても良い。多孔質体の他の例としては、スポンジ体が挙げられる。

さらに、上述の実施の形態においては、吸着部材２１３は、多孔質セラミックスから構成されている。この場合において、多孔質セラミックスを別途加熱する機構を設け、該吸着部材２１３にセラミックスヒータといった、加熱のための機能を持たせるようにしても良い。この場合には、保護テープＴＡが加熱されるため、保護テープＴＡのウエハ１１に対する接着性（粘着性）が良好となる。このため、保護テープＴＡをウエハ１１に対して一層強固に接着させることが可能となる。

また、上述の実施の形態においては、スライド機構は、ガイドレール１５５，３１３、ガイド車輪１６３等を用いている。しかしながら、スライド機構は、これに限られるものではなく、レール同士を対向させ、これらを単純に滑らせることにより構成しても良い。また、上述の実施の形態においては、テープ搬送手段としては、上蓋ユニット２００が用いられている。しかしながら、上蓋ユニット２００とは別に保護テープＴＡを搬送するためのテープ搬送手段を設けるように構成しても良い。

また、制御装置４００は、予め制御条件が設定されているものでも良く、作業者側で任意に制御条件を設定可能な構成でも良い。また、上述の実施の形態におけるテープ接着装置１０は、加圧を行わないタイプとなっている。しかしながら、テープ接着装置１０は、真空室Ｖの内部で加圧するように構成しても良い。

本発明のテープ接着方法や電子部品製造方法は、ウエハを用いた半導体集積回路の製造過程や液晶を用いた液晶表示装置の製造過程において利用することができる。すなわち、半導体製造産業等において利用することができる。また、ガラス基板を用いたディスプレイの製造産業等において利用することもできる。

本発明の一実施の形態に係るテープ接着方法を実施するために用いられるテープ接着装置の構成を示す斜視図であり、上蓋ユニットがチャンバユニット側に位置している状態を示す図である。 図１のテープ接着装置において、上蓋ユニットが待機ユニット側に位置している状態を示す斜視図である。 図１のテープ接着装置において、側面形状を示す図である。 図１のテープ接着装置において、平面形状を示す図である。 図１のテープ接着装置において、正面形状を示す図である。 図１のテープ接着装置において、背面形状を示す図である。 図１のテープ接着装置において、チャンバユニットおよび上蓋ユニットを中心とした主要な構成を示す概略的な図である。 図１のテープ接着装置のうち、真空室および空気導入部付近を拡大して示す部分的な側断面図である。 図１のテープ接着装置において、第１テープ供給機構から供給されるテープ部材の概略を示す斜視図である。 図１のテープ接着装置において、第２テープ供給機構から供給されるテープ部材の概略を示す斜視図である。 図１のテープ接着装置において、チャンバユニットのうち上蓋封止機構を示す平面図である。 図１のテープ接着装置において、チャンバユニットのうち上下封止機構を示す正面図である。 図１のテープ接着装置において、チャンバユニットのうち上下封止機構を示すと共に、プレート連結部が上下方向に沿う状態を示す側面図である。 図１のテープ接着装置において、チャンバユニットのうち上下封止機構を示すと共に、プレート連結部が斜めとなっている状態を示す側面図である。 図１のテープ接着装置において、環状切断機構の構成を示す平面図である。 図１のテープ接着装置において、環状切断機構の構成を示す側面図である。 図１のテープ接着装置において、横切断機構の構成を示す側面図である。 図１のテープ接着装置において、横切断機構の構成を示す平面図である。 図１のテープ接着装置において、横切断機構の構成を示す正面図である。 図１のテープ接着装置において、第１テープ供給機構の構成を示す側面図である。 図１のテープ接着装置において、第１テープ供給機構の構成を示す平面図である。 図１のテープ接着装置において、第１テープ供給機構の構成を示す正面図である。 図１のテープ接着装置において、第１テープ機構から引き出されるテープ部材とガイドローラおよび先端貼付バーの関係を示す概略図である。 図１のテープ接着装置において、第２テープ供給機構の構成を示す側面図である。 図１のテープ接着装置において、第２テープ供給機構の構成を示す平面図である。 図１のテープ接着装置において、テープ押さえ機構の構成を示す図である。 図１のテープ接着装置において、シール剥がし機構の構成を示す側面図である。 図１のテープ接着装置において、シール剥がし機構の構成を示す平面図である。 図１のテープ接着装置において、シール剥がし機構の構成を示す正面図である。 図１のテープ接着装置の制御関係を示すブロック図である。 図１のテープ接着装置で用いられる治具の取付関係を示す平面図である。 図３１の治具のうち、リング部材の構成を示す平面図である。 図３１の治具のうち、テープ保持リングの構成を示す平面図である。 図１のテープ接着装置を使用してテープ部材をワークとなるウエハに接着するフローチャートを示す図である。 図１のテープ接着装置を使用してテープ部材をワークとなるウエハに接着する際に発生させる気泡の分散状態と、その気泡のウエハ外への排出を示す図である。 図１のテープ接着装置を使用してテープ部材をワークとなるウエハに接着する際に、ウエハの外縁が先に接着し、気泡がウエハ外へ排出できない状態を示す図である。

符号の説明

１０…テープ接着装置
１１…ウエハ（ワークに対応）
１００…チャンバユニット
１１０…基台部
１１１…真空ポンプ（第１の吸引手段の一部、第２の吸引手段の一部、吸着手段の一部に対応）
１１２…吸引管路（第１の吸引手段の一部、第１の空気導入手段の一部）
１１３…吸引管路（第２の吸引手段の一部、第２の空気導入手段の一部）
１１４…第１の弁部材（第１の吸引手段の一部、第１の空気導入手段の一部）
１１５…第２の弁部材（第２の吸引手段の一部、第２の空気導入手段の一部）
１１６…第３の弁部材（吸着手段の一部に対応）
１１７…突出管路（第１，第２の空気導入手段の一部）
１１８…管部材（吸着手段の一部に対応）
１１９…ホース（吸着手段の一部に対応）
１２０…チャンバプレート（第１の蓋部材に対応）
１２６…ゴムシート（伸縮シート部材に対応）
１２７…空気導入部（第２の真空室に対応）
１４０…上蓋封止機構（移動機構に対応）
１５５，３１３…ガイドレール（スライド機構の一部に対応）
１６０…車輪支持部材（スライド機構の一部に対応）
１６３…ガイド車輪（スライド機構の一部に対応）
２００…上蓋ユニット（テープ搬送手段に対応）
２１０…上蓋プレート（第２の蓋部材に対応）
２１３…吸着部材（吸着手段の一部に対応）
２１４…挿通孔（吸着手段の一部に対応）
２２０…第１テープ供給機構（第１のテープ供給手段に対応）
３００…待機ユニット
３１０…基台部
３２０…第２テープ供給機構（第２のテープ供給手段に対応）
３３０…テープ押さえ機構（貼付手段に対応）
３４０…シール剥がし機構
４００…制御装置
Ｖ…真空室（第１の真空室に対応）
Ｐ…気泡
Ｓ…接着域
Ｔ１，Ｔ２…テープ部材
ＴＡ１…保護テープ（テープ部材、第１の保護テープに対応）
ＴＡ２…保護テープ（テープ部材、第２の保護テープに対応）

Claims (14)

1. 伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着するテープ接着方法において、
   まず、上記伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引を開始させ、その後、上記伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引を開始させ、両真空室を真空吸引する吸引ステップと、
   上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、
   上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記テープ部材が上記ワークの外縁に先に接着し、その後、上記ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させる接着ステップと、
   上記接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、
   を有することを特徴とするテープ接着方法。
2. 伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着するテープ接着方法において、
   まず、上記伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引を開始させ、その後、上記伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引を開始させ、両真空室を真空吸引する吸引ステップと、
   上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、
   上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記ワークを上記テープ部材に接着させる接着ステップと、
   上記接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入し、上記テープ部材と上記ワークの間に発生した気泡を上記ワーク外へ排出する空気開放ステップと、
   を有することを特徴とするテープ接着方法。
3. 伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着するテープ接着方法において、
   上記伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、上記伸縮シート部材の下面側に位置し、上記第１の真空室より大きな空間となる第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、
   上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、
   上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記テープ部材が上記ワークの外縁に先に接着し、その後、上記ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させる接着ステップと、
   上記接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入し、上記テープ部材と上記ワークの間に発生した気泡を上記ワーク外へ排出する空気開放ステップと、
   を有することを特徴とするテープ接着方法。
4. 伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着するテープ接着方法において、
   上記伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、上記伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で、少なくとも吸引当初は、上記第１の真空室より小さい吸引力で真空吸引させる吸引ステップと、
   上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、
   上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記テープ部材が上記ワークの外縁に先に接着し、その後、上記ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させる接着ステップと、
   上記接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入し、上記テープ部材と上記ワークの間に発生した気泡を上記ワーク外へ排出する空気開放ステップと、
   を有することを特徴とするテープ接着方法。
5. 伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引すると共に、上記伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引する吸引ステップと、上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記ワークを上記テープ部材に接着させる接着ステップと、上記接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、を有し、上記伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、上記テープ部材を接着するテープ接着方法において、
   上記伸縮シート部材の下面側に比べ、上記テープ部材が配置される側を早めに吸引または強く吸引し、上記テープ部材の上記ワーク側への垂れ下がりを阻止したことを特徴とするテープ接着方法。
6. 伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引すると共に、上記伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引する吸引ステップと、上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記ワークを上記テープ部材に接着させる接着ステップと、上記接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、を有し、上記伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、上記テープ部材を接着するテープ接着方法において、
   上記接着ステップでは、上記テープ部材が上記ワークの外縁に先に接着し、その後、上記ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させ、上記空気開放ステップでは、上記テープ部材と上記ワークの間に発生した気泡を上記ワーク外へ排出することを特徴とするテープ接着方法。
7. 前記第１の吸引手段と前記第２の吸引手段は、同一の真空ポンプを駆動源とすることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項記載のテープ接着方法。
8. 伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着し、その後、上記ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、
   まず、上記伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引を開始させ、その後、上記伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引を開始させ、両真空室を真空吸引する吸引ステップと、
   上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、
   上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記テープ部材が上記ワークの外縁に先に接着し、その後、上記ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させる接着ステップと、
   上記接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、
   上記テープ部材が接着された上記ワークを移動または処理するワーク処理ステップと、
   上記ワークを上記テープ部材から剥がすテープ剥がしステップと、
   を有することを特徴とする電子部品製造方法。
9. 伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着し、その後、上記ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、
   まず、上記伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引を開始させ、その後、上記伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引を開始させ、両真空室を真空吸引する吸引ステップと、
   上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、
   上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記ワークを上記テープ部材に接着させる接着ステップと、
   上記接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入し、上記テープ部材と上記ワークの間に発生した気泡を上記ワーク外へ排出する空気開放ステップと、
   上記テープ部材が接着された上記ワークを移動または処理するワーク処理ステップと、
   上記ワークを上記テープ部材から剥がすテープ剥がしステップと、
   を有することを特徴とする電子部品製造方法。
10. 伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着し、その後、上記ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、
    上記伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、上記伸縮シート部材の下面側に位置し、上記第１の真空室より大きな空間となる第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、
    上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、
    上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記テープ部材が上記ワークの外縁に先に接着し、その後、上記ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させる接着ステップと、
    上記接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入し、上記テープ部材と上記ワークの間に発生した気泡を上記ワーク外へ排出する空気開放ステップと、
    上記テープ部材が接着された上記ワークを移動または処理するワーク処理ステップと、
    上記ワークを上記テープ部材から剥がすテープ剥がしステップと、
    を有することを特徴とする電子部品製造方法。
11. 伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着し、その後、上記ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、
    上記伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、上記伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で、少なくとも吸引当初は、上記第１の真空室より小さい吸引力で真空吸引させる吸引ステップと、
    上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、
    上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記テープ部材が上記ワークの外縁に先に接着し、その後、上記ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させる接着ステップと、
    上記接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入し、上記テープ部材と上記ワークの間に発生した気泡を上記ワーク外へ排出する空気開放ステップと、
    上記テープ部材が接着された上記ワークを移動または処理するワーク処理ステップと、
    上記ワークを上記テープ部材から剥がすテープ剥がしステップと、
    を有することを特徴とする電子部品製造方法。
12. 伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引すると共に、上記伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引する吸引ステップと、上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記ワークを上記テープ部材に接着させる接着ステップと、上記接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、を有し、上記伸縮シート部材の上面側に配置される上記ワークに対し、上記テープ部材を接着し、その後、上記ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、
    上記伸縮シート部材の下面側に比べ、上記テープ部材が配置される側を早めに吸引または強く吸引し、上記テープ部材の上記ワーク側への垂れ下がりを阻止したことを特徴とする電子部品製造方法。
13. 伸縮シート部材の上面側に位置する第１の真空室を第１の吸引手段で真空吸引すると共に、上記伸縮シート部材の下面側に位置する第２の真空室を第２の吸引手段で真空吸引する吸引ステップと、上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第１の真空室及び上記第２の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記第２の真空室の真空吸引を停止すると共に、第２の空気導入手段を作動させて該第２の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第１の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記ワークを上記テープ部材に接着させる接着ステップと、上記接着ステップを実行した後に、第１の空気導入手段を作動させて上記第１の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、を有し、上記伸縮シート部材の上面側に配置される上記ワークに対し、上記テープ部材を接着し、その後、上記ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、
    上記接着ステップでは、上記テープ部材が上記ワークの外縁に先に接着し、その後、上記ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させ、上記空気開放ステップでは、上記テープ部材と上記ワークの間に発生した気泡を上記ワーク外へ排出することを特徴とする電子部品製造方法。
14. 前記第１の吸引手段と前記第２の吸引手段は、同一の真空ポンプを駆動源とすることを特徴とする請求項８から１３のいずれか１項記載の電子部品製造方法。

Images