JP6994365B2

JP6994365B2 - テープロール及びテープマウンタ

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Publication number: JP6994365B2
Application number: JP2017225602A
Authority: JP
Inventors: 晋一藤澤
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2017-11-24
Filing date: 2017-11-24
Publication date: 2022-01-14
Anticipated expiration: 2037-11-24
Also published as: KR20190060670A; TW201925071A; JP2019096761A; CN109835763B; TWI768154B; DE102018220136A1; CN109835763A

Description

本発明は、被貼着物にテープを貼着するテープマウンタ及び帯状の粘着テープがロール状に巻かれたテープロールに関する。

被貼着物に貼着されるテープは一般的に帯状に成形され、巻筒に巻回されたロール状（テープロール）で広く流通している。そして、使用時においては、テープロールを回転させる送り出しローラがテープロールの巻筒に貫装されることで、テープマウンタ（例えば、特許文献１参照）にテープロールをセットしている。

特開２０１５－０８２６４２号公報

しかし、新品のテープロールの重量は重く、送り出しローラの高さまでテープロールを持ち上げて更に巻筒に貫装するようセットするのは多大な労力がかかるため、より容易にテープロールをテープマウンタにセットできるような改善が切望されている。そして、被貼着物の一例であるシリコンウェーハの大口径化にともないテープロールも大きくなっているため、上記改善は重要な課題となっている。

上記課題を解決するための本発明は、後述するテープマウンタ用のテープロールであって、巻筒と、該巻筒に巻回された帯状テープと、を含み、該巻筒は該帯状テープの幅よりも長く、該帯状テープの幅方向の少なくとも一端から該巻筒が突出した突出部を有するテープロールである。

前記テープロールは、前記突出部の端に配設され前記巻筒の伸長方向と直交する方向に伸長した底板を有するものとすると好ましい。

上記課題を解決するための本発明は、テープマウンタであって、巻筒に帯状テープが巻回されたテープロールが装着されるテープ送り部と、該テープ送り部で送り出された該帯状テープを被貼着物に貼着する貼着ローラと、被貼着物に貼着された該帯状テープを被貼着物に対応した所定サイズに切断するカッター手段と、を少なくとも備え、該巻筒は該帯状テープの幅よりも長く、該テープロールは該帯状テープの幅方向の少なくとも一端から該巻筒が突出した突出部を有し、該テープ送り部は、該巻筒の該突出部に当接する第１当接部を有した第１従動プーリと、該巻筒の該突出部に当接する第２当接部を有した第２従動プーリと、モータの出力軸に装着された駆動プーリと、該駆動プーリと該第１従動プーリと該第２従動プーリとに巻回された無端ベルトと、を有したテープマウンタである。

前記テープマウンタ用の本発明に係るテープロールは、巻筒は帯状テープの幅よりも長く、帯状テープの幅方向の少なくとも一端から巻筒が突出した突出部を有しているため、作業者がテープマウンタの従動プーリに該突出部を挟み込むように載置した後、モータが生み出す回転動力によって従動プーリを介して巻筒を回転させることで帯状テープを被貼着物に向けて送り出すことが可能となる。よって、従来のテープマウンタのように、作業者が送り出しローラをテープロールの巻筒に貫装してセットする必要はなく、テープロールを従動プーリ上に載置するだけでよいため、より容易にテープロールをテープマウンタに装着でき、作業者の負担も軽減することが可能となる。

テープロールの搬送時や保管時において、巻筒の伸長方向がテープロールを載置する面と平行になるようにテープロールを寝かせて載置した場合、場所を多く取る上、自重でテープの糊層が局所的に変形してしまい、テープロールの使用時に被貼着物に対して帯状テープの均一な貼着ができなくなるおそれがある。そこで、前記テープマウンタ用の本発明に係るテープロールは、突出部の端に配設され巻筒の伸長方向と直交する方向に伸長した底板を更に有することで、テープロールを立てた状態で載置面に安定して載置することができるようになり、帯状テープの変形が生じるのを防ぐことが可能となる。

本発明に係るテープマウンタは、巻筒に帯状テープが巻回されたテープロールが装着されるテープ送り部と、テープ送り部で送り出された帯状テープを被貼着物に貼着する貼着ローラと、被貼着物に貼着された帯状テープを被貼着物に対応した所定サイズに切断するカッター手段と、を少なくとも備え、巻筒は帯状テープの幅よりも長く、テープロールは帯状テープの幅方向の少なくとも一端から巻筒が突出した突出部を有し、テープ送り部は、巻筒の突出部に当接する第１当接部を有した第１従動プーリと、巻筒の突出部に当接する第２当接部を有した第２従動プーリと、モータの出力軸に装着された駆動プーリと、駆動プーリと第１従動プーリと第２従動プーリとに巻回された無端ベルトと、を有しているため、作業者がテープロールの突出部を第１従動プーリの第１当接部と第２従動プーリの第２当接部に挟み込むように載置した後、モータが生み出す回転動力によって第１従動プーリ及び第２従動プーリを介して巻筒を回転させることで帯状テープを被貼着物に向けて送り出すことが可能となる。よって、従来のテープマウンタのように、作業者が送り出しローラをテープロールの巻筒に貫装してセットする必要はなく、第１従動プーリの第１当接部上及び第２従動プーリの第２当接部上にテープロールを載置するだけでよいため、作業者の負担を軽減しつつより容易にテープロールをテープマウンタに装着でき、その後、被貼着物に帯状テープを貼着することが可能となる。

テープロールがセットされた状態のテープマウンタの一例を示す斜視図である。テープロールをテープ送り部に装着している状態を示す斜視図である。テープ送り部で送り出された帯状テープの一部が被貼着物及び環状フレームに貼着された後、残りの帯状テープが帯状テープ巻き取りローラに巻き取られている状態を説明する側面図である。図４（Ａ）は、底板がテープロールの突出部の端に装着されている状態を示す斜視図である。図４（Ｂ）は、底板がテープロールの突出部の端に装着された状態を示す斜視図である。

図１に示す本発明に係るテープマウンタ１は、各構成が配設される基台１０を備えており、基台１０の上面は水平面となっている。基台１０の後方側（＋Ｘ方向側）には、テープロール２が装着されるテープ送り部３が配置されている。また、基台１０の上面の中腹は、被貼着物Ｗ及び環状フレームＦが載置される領域となっている。

テープ送り部３で－Ｘ方向側に送り出されるテープロール２は、巻筒２０と、巻筒２０に巻回された帯状テープ２１と、を含んでいる。帯状テープ２１は、柔軟性のある樹脂製のフィルム状基材層と、フィルム状基材層の片面に設けられた糊層とで構成されており、糊層によって形成される粘着面に離型シート２１３が貼着された状態でロール状に巻回されている。離型シート２１３は、帯状テープ２１を被貼着物Ｗ及び環状フレームＦに貼着する前に剥離される。この離型シート２１３によって、貼着前の帯状テープ２１の粘着面は保護されている。なお、帯状テープ２１の幅は、環状フレームＦの被貼着面全体に貼着できるように、環状フレームＦの直径より幅広に構成されている。

例えばアクリルやポリカーボネート等のプラスチックからなる円筒状の巻筒２０は、図１においてはＹ軸方向に延在しており、その長さが帯状テープ２１の幅よりも長くなっている。帯状テープ２１の幅方向（Ｙ軸方向）の両端からは、巻筒２０が所定の長さ（例えば、約１５ｍｍ）だけ突出して突出部２００（図１においては片方のみ図示）が形成されている。なお、突出部２００が帯状テープ２１の幅方向の一端にのみ形成されていてもよい。

図１に示す被貼着物Ｗは、例えば、シリコンを母材とする外形が円形板状の半導体ウェーハであり、基台１０の上面の中腹に載置された状態になっている。また、基台１０の上面には、被貼着物Ｗのハンドリングを容易にするため等に用いられる環状フレームＦも載置されている。そして、環状フレームＦの開口内に被貼着物Ｗは位置付けられており、環状フレームＦの開口の中心と被貼着物Ｗの中心とが略合致した状態になっている。

テープ送り部３は、巻筒２０の突出部２００に当接する第１当接部３１ａを有した第１従動プーリ３１と、巻筒２０の突出部２００に当接する第２当接部３２ａを有した第２従動プーリ３２と、モータ３３の出力軸に装着された駆動プーリ３４と、駆動プーリ３４と第１従動プーリ３１と第２従動プーリ３２とに巻回された無端ベルト３５と、を有している。

例えばＳＵＳ等の金属からなる第１従動プーリ３１（第２従動プーリ３２）は、平状の無端ベルト３５が巻回される滑車状の被巻回部３１ｂ（３２ｂ）と、被巻回部３１ｂ（３２ｂ）から＋Ｙ方向に向かって伸長する円柱状の第１当接部３１ａ（第２当接部３２ａ）とを備えている。第１当接部３１ａ（第２当接部３２ａ）の外側面は、例えば、接する巻筒２０の突出部２００との滑りを防ぐために梨地状に形成されていたり微小の凹凸が形成されていたりしてもよい。
第１従動プーリ３１と第２従動プーリ３２とは、Ｘ軸方向に少なくとも巻筒２０の直径よりも短い距離だけ離れて同一の高さ位置に配設されている。

駆動プーリ３４は、例えば、第１従動プーリ３１からの距離と第２従動プーリ３２からの距離とが等しくなるように、両者の下方に配設されている。駆動プーリ３４を回転させるモータ３３は、例えば、サーボモータであり、テープ送り部３はトルク制御で帯状テープ２１の送り出し量を制御する。

例えば、図２に示すように、テープマウンタ１の基台１０上は、基台１０上の一部又は全体を覆う筐体８が着脱可能となっている。なお、図２においては筐体８及び基台１０の一部のみを図示している。筐体８は、基台１０上に装着される筐体本体８０と、筐体本体８０の上部を開閉可能とする蓋部８１とを備えている。

筐体本体８０は、側板８０ｂ、側板８０ｃ、及び基台１０の上面に対面する天板８０ａを備えている。筐体本体８０の上部の端側は例えば直方体状に切り欠かれており、この切り欠かれた部分は蓋部８１で開閉可能となっている。
筐体本体８０の切り欠き部分に合わせて形成された蓋部８１は、筐体本体８０との連結部分に配設された丁番によって１８０度開閉可能となっている。また、蓋部８１の内側には、Ｙ軸方向の軸心を備える丸棒状の一対のコロ８３が配設されている。

筐体本体８０の側板８０ｂには、支持部材３１ｃ及び支持部材３２ｃが筐体本体８０の内側に向かって突き出るように配設されており、支持部材３１ｃの先端には第１従動プーリ３１が固定されており、支持部材３２ｃの先端には第２従動プーリ３２が固定されている。また、側板８０ｂには、図示しないブラケットを介してモータ３３が固定されている。

側板８０ｂに対面する側板８０ｃには、帯状テープ２１の＋Ｙ方向側の端から突出する突出部２００を支持する円柱状の一対の支持部材４５が配設されている。各支持部材４５は、径方向外側に延出するフランジ状の規制部４５ａを備えており、規制部４５ａは、支持部材４５上に突出部２００が載せられた際に、Ｙ軸方向にテープロール２が移動してしまうことを規制する。

以下に、テープマウンタ１のテープ送り部３にテープロール２を装着する場合について説明する。まず、図２に示すように、テープマウンタ１の基台１０上に筐体８が装着されることで、テープ送り部３がテープロール２を装着できる状態にセットされる。また、筐体８の蓋部８１が開かれた状態になり、テープ送り部３が筐体８内から上方に露出した状態になる。

作業者がテープロール２をテープ送り部３の高さ位置より上方に持ち上げて、テープロール２の一方の突出部２００が第１従動プーリ３１の第１当接部３１ａと第２従動プーリ３２の第２当接部３２ａとの間に挟み込まれるように載置し、もう一方の突出部２００が一対の支持部材４５の間に挟み込まれるように載置する。さらに、蓋部８１を閉じることで、図１に示すように、蓋部８１の内側に配設された各コロ８３を、テープロール２の一方の突出部２００及び他方の突出部２００にそれぞれ上方から当接させる。なお、図１においては、筐体８については省略して示している。

このように、本発明に係るテープロール２は、巻筒２０は帯状テープ２１の幅よりも長く、帯状テープ２１の幅方向の少なくとも一端から巻筒２０が突出した突出部２００を有しているため、作業者がテープマウンタ１にこの突出部２００を第１従動プーリ３１の第１当接部３１ａと第２従動プーリ３２の第２当接部３２ａとの間に挟み込むように載置することで、帯状テープ２１を被貼着物Ｗに向けて送り出せるようになる。よって、従来のテープマウンタのように、作業者が送り出しローラをテープロールの巻筒に貫装してセットする必要はなく、より容易にテープロール２をテープマウンタ１に装着でき、作業者の負担も軽減される。

テープロール２がテープ送り部３に装着された後、まず、作業者によって帯状テープ２１の一端が、後述する図１、３に示す剥離ローラ４１、挟み込みローラ４３、弛み防止ローラ４４を通して帯状テープ巻き取りローラ４７まで導かれる。その後、テープ送り部３のモータ３３が、例えば、－Ｙ方向側（図３においては、紙面手前側）から見て駆動プーリ３４を時計回り方向に回転駆動することで、駆動プーリ３４の回転に伴って無端ベルト３５が回動する。無端ベルト３５が回動することで、第１従動プーリ３１及び第２従動プーリ３２が－Ｙ方向側から見て時計回り方向に回転する。第１従動プーリ３１及び第２従動プーリ３２が回転することで、巻筒２０が－Ｙ方向側から見て反時計回り方向に回転し、粘着面に離型シート２１３が貼着された状態の帯状テープ２１が送り出される。また、コロ８３によって、回転中のテープロール２の上下方向における振動が抑制される。

図１、３に示すようにテープ送り部３の下方には、離型シート２１３を帯状テープ２１から剥離する剥離ローラ４１と、帯状テープ２１から剥離された離型シート２１３を巻き取る離型シート巻き取りローラ４２とが配置されている。帯状テープ２１は、粘着面側（離型シート２１３側）を下側に向けた状態でテープ送り部３から剥離ローラ４１に向かって送り出される。

剥離ローラ４１は、鉛直方向において互いに接するように配置された２個のローラ４１ａ，４１ｂを備える。この２個のローラ４１ａ，４１ｂの間に、テープ送り部３から送り出され粘着面に離型シート２１３が貼着された状態の帯状テープ２１が挿通され、２個のローラ４１ａ，４１ｂによって帯状テープ２１及び離型シート２１３は上下から挟まれている。

剥離ローラ４１において離型シート２１３が剥離された帯状テープ２１は、剥離ローラ４１の下方に送られる。一方、帯状テープ２１から剥離された離型シート２１３は、＋Ｘ方向に送られ、剥離ローラ４１と同等の高さに位置付けられモータ等の駆動機構によりＹ軸方向の軸心周りに回転する離型シート巻き取りローラ４２によって巻き取られる。

図１、３に示すように、剥離ローラ４１の下方には、Ｙ軸方向に延在する挟み込みローラ４３が配置されている。挟み込みローラ４３は、Ｘ軸方向において互いに接するように、かつ同一の高さ位置に配置された２個のローラ４３ａ，４３ｂを備えており、２個のローラ４３ａ，４３ｂはＹ軸方向の軸心周りに回転する。この２個のローラ４３ａ，４３ｂの間には、剥離ローラ４１から送り出され離型シート２１３が剥離された状態の帯状テープ２１が挿通されており、２個のローラ４３ａ，４３ｂによって帯状テープ２１はＸ軸方向両側から挟まれている。挟み込みローラ４３は、剥離ローラ４１から送り出された帯状テープ２１を、基台１０上に載置された被貼着物Ｗ及び環状フレームＦの上面よりも少しだけ上方の高さ位置で弛まないようにしつつ送り出していく。

挟み込みローラ４３から、Ｘ軸方向に少なくとも環状フレームＦの直径以上離れた位置には、Ｙ軸方向に延在する弛み防止ローラ４４が挟み込みローラ４３と例えば同一の高さ位置に配置されている。弛み防止ローラ４４は、Ｘ軸方向において互いに接するように、かつ同一の高さ位置に配置された２個のローラ４４ａ，４４ｂを備えており、２個のローラ４４ａ，４４ｂはＹ軸方向の軸心周りに回転する。この２個のローラ４４ａ，４４ｂの間には、挟み込みローラ４３から水平に送り出された帯状テープ２１が挿通されており、弛み防止ローラ４４によって帯状テープ２１はＸ軸方向両側から挟まれている。弛み防止ローラ４４は、挟み込みローラ４３から送り出された帯状テープ２１が基台１０上に載置された被貼着物Ｗ及び環状フレームＦの上方で弛まないように、帯状テープ２１にテンションを掛けつつ後述する帯状テープ巻き取りローラ４７に送り出す。

基台１０の上面の中腹の上方には、被貼着物Ｗに貼着された帯状テープ２１を被貼着物Ｗに対応した所定サイズに切断するカッター手段７１が配設されている。カッター手段７１は、水平方向に延在するアーム７１１を備えており、アーム７１１の先端下面には、カッター７１０が取り外し可能に装着される装着部７１２が配設されている。装着部７１２に装着されるカッター７１０は、鋭利な刃先を下端としてＺ軸方向に延在している。アーム７１１の後端上面には、アーム７１１をＺ軸方向の軸心周りに水平方向に旋回させる回転軸７１３が接続されている。また、回転軸７１３にはアーム７１１を上下動する図示しない上下動手段が接続されている。

カッター７１０は、回転軸７１３を中心とするアーム７１１の旋回によって、基台１０上で円を描くように移動する。このカッター７１０により、被貼着物Ｗと環状フレームＦとに貼着された帯状テープ２１を環状フレームＦに沿って切断できる。なお、カッター７１０のアーム７１１に対する取り付け位置は、被貼着物Ｗの径及び環状フレームＦの径に応じて調整される。

基台１０上には、テープ送り部３で－Ｘ方向側に送り出された帯状テープ２１を被貼着物Ｗに貼着する貼着ローラ７０が配設されている。帯状テープ２１の幅以上の長さを備える貼着ローラ７０は、例えば、帯状テープ２１をＹ軸方向に横断するように配設されており、図示しない移動手段によって、上下方向及びＸ軸方向に移動可能となっている。貼着ローラ７０で帯状テープ２１の上面（粘着面と逆側の面）を上方から押圧しながら、貼着ローラ７０をＸ軸方向に移動させることで、帯状テープ２１は被貼着物Ｗ及び環状フレームＦに貼着される。

弛み防止ローラ４４の上方には、モータ等の駆動機構によりＹ軸方向の軸心周りに回転し弛み防止ローラ４４から送られた帯状テープ２１を巻き取る帯状テープ巻き取りローラ４７が配置されている。被貼着物Ｗ及び環状フレームＦに貼着された円形部分が切り出された残りの帯状テープ２１は、この帯状テープ巻き取りローラ４７で巻き取られる。

本発明に係るテープマウンタ１は、巻筒２０に帯状テープ２１が巻回されたテープロール２が装着されるテープ送り部３と、テープ送り部３で送り出された帯状テープ２１を被貼着物Ｗに貼着する貼着ローラ７０と、被貼着物Ｗに貼着された帯状テープ２１を被貼着物Ｗに対応した所定サイズに切断するカッター手段７１と、を少なくとも備え、巻筒２０は帯状テープ２１の幅よりも長く、テープロール２は帯状テープ２１の幅方向の少なくとも一端から巻筒２０が突出した突出部２００を有し、テープ送り部３は、巻筒２０の突出部２００に当接する第１当接部３１ａを有した第１従動プーリ３１と、巻筒２０の突出部２００に当接する第２当接部３２ａを有した第２従動プーリ３２と、モータ３３の出力軸に装着された駆動プーリ３４と、駆動プーリ３４と第１従動プーリ３１と第２従動プーリ３２とに巻回された無端ベルト３５と、を有しているため、作業者がテープロール２の突出部２００を第１従動プーリ３１の第１当接部３１ａと第２従動プーリ３２の第２当接部３２ａとに挟み込むように載置した後、モータ３３が生み出す回転動力によって第１従動プーリ３１及び第２従動プーリ３２を介して巻筒２０を回転させることで帯状テープ２１を被貼着物Ｗに向けて送り出すことが可能となる。よって、従来のテープマウンタのように、作業者が送り出しローラをテープロールの巻筒に貫装してセットする必要はなく、第１従動プーリ３１の第１当接部３１ａ上及び第２従動プーリ３２の第２当接部３２ａ上にテープロール２を載置するだけでよいため、作業者の負担を軽減しつつより容易にテープロール２をテープマウンタ１に装着でき、その後、被貼着物Ｗに帯状テープ２１を貼着することが可能となる。

以下に、テープロール２を保管する場合について説明する。図４（Ａ）に示すように、例えば、テープロール２は、突出部２００の端に配設され巻筒２０の伸長方向（図４（Ａ）においては、Ｚ軸方向）と直交する方向（水平方向）に伸長した底板６を有する。図４（Ａ）に示す例においては、底板６は、外形が矩形状となっているが、これに限定されるものではなく、円形となっていてもよいし、円板の外周の一部をフラットに切欠いた形状となっていてもよい。底板６を、矩形又は円板の外周の一部をフラットに切欠いた形状とすることで、底板６を備えるテープロール２を横にした状態で載置面に載置しても、載置面上をテープロール２が転がってしまうことが防がれる。

底板６の厚みは、例えば、突出部２００の長さと略同一となっており、その中央領域には、突出部２００が嵌合する嵌合孔６０が厚み方向に貫通して形成されている。テープロール２の一方の突出部２００及び他方の突出部２００に、底板６の嵌合孔６０をそれぞれ上方から嵌合させることで、突出部２００の上端面（下端面）は底板６の上面（下面）と略面一の状態になる。そして、図４（Ｂ）に示すように、載置面Ｂに対してテープロール２を立てた状態で載置できるようになる。なお、嵌合孔６０を底板６を貫通しない深さを有するものとすることで、テープロール２の突出部２００に底板６の嵌合孔６０を嵌合させた場合に、帯状テープ２１の端が底板６から少し離れた状態となってもよい。

図４（Ｂ）に示す状態で保管されたテープロール２を、先に説明したようにテープマウンタ１に装着する場合には、底板６が装着された状態のテープロール２をテープマウンタ１まで搬送し、その後、底板６を外してテープマウンタ１にテープロール２をセットする。

１：テープマウンタ１０：基台
２：テープロール２０：巻筒２００：突出部２１：帯状テープ２１３：離型シート
３：テープ送り部３１：第１従動プーリ３１ａ：第１当接部３１ｂ：被巻回部３１ｃ：支持部材３２：第２従動プーリ３２ａ：第２当接部３２ｂ：被巻回部３２ｃ：支持部材３３：モータ３４：駆動プーリ３５：無端ベルト
８：筐体８０：筐体本体８１：蓋部８３：コロ
４１：剥離ローラ４３：挟み込みローラ４２：離型シート巻き取りローラ
４４：弛み防止ローラ４７：帯状テープ巻き取りローラ
７：カッター手段７１１：アーム７１２：装着部７１０：カッター７１３：回転軸７０：貼着ローラ
６：底板６０：嵌合孔
Ｗ：被貼着物Ｆ：環状フレーム

Claims

テープマウンタであって、
巻筒に帯状テープが巻回されたテープロールが装着されるテープ送り部と、
該テープ送り部で送り出された該帯状テープを被貼着物に貼着する貼着ローラと、
被貼着物に貼着された該帯状テープを被貼着物に対応した所定サイズに切断するカッター手段と、を少なくとも備え、
該巻筒は該帯状テープの幅よりも長く、該テープロールは該帯状テープの幅方向の少なくとも一端から該巻筒が突出した突出部を有し、
該テープ送り部は、該巻筒の該突出部に当接する第１当接部を有した第１従動プーリと、該巻筒の該突出部に当接する第２当接部を有した第２従動プーリと、モータの出力軸に装着された駆動プーリと、該駆動プーリと該第１従動プーリと該第２従動プーリとに巻回された無端ベルトと、を有したテープマウンタ。
請求項１に記載のテープマウンタ用のテープロールであって、
巻筒と、
該巻筒に巻回された帯状テープと、を含み、
該巻筒は該帯状テープの幅よりも長く、
該帯状テープの幅方向の少なくとも一端から該巻筒が突出した突出部を有するテープロール。
前記突出部の端に配設され前記巻筒の伸長方向と直交する方向に伸長した底板を有する請求項２記載のテープロール。