TW201925071A - 膠膜滾筒及膠膜黏貼機 - Google Patents

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Abstract

[課題]欲能夠輕易地將膠膜滾筒設置於膠膜黏貼機中。[解決手段]一種膠膜滾筒2，其包含：捲筒20，以及被捲繞在捲筒20上的帶狀膠膜21，其中，捲筒20比帶狀膠膜21的寬度長，並具有捲筒20從帶狀膠膜21的寬度方向之至少一端突出的突出部200。

Description

膠膜滾筒及膠膜黏貼機
本發明是關於將膠膜黏貼至被黏貼物的膠膜黏貼機，以及帶狀的黏著膠膜被捲繞成滾筒狀的膠膜滾筒。
黏貼於被黏貼物的膠膜一般是形成為帶狀，且以捲繞在捲筒上的滾筒狀（膠膜滾筒）廣為流通。而且在使用時，藉由使膠膜滾筒旋轉的送出滾輪被貫通安裝在膠膜滾筒的捲筒內，將膠膜滾筒設置於膠膜黏貼機（例如參閱專利文獻1）上。 [習知技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2015-082642號公報
[發明所欲解決的課題] 然而，全新的膠膜滾筒的重量很重，因為以將膠膜滾筒舉起至送出滾輪的高度再貫通安裝至捲筒中的方式設置要耗費很多勞力，所以迫切期望能夠有更輕易地將膠膜滾筒設置至膠膜黏貼機的改善方法。而且，隨著被黏貼物之一例的矽晶圓之大口徑化，膠膜滾筒也變得更大，因而上述改善成為重要的課題。 因此本發明之目的為，提供一種能夠輕易地將膠膜滾筒安裝至膠膜黏貼機的膠膜滾筒。 本發明之其他目的為，提供一種膠膜黏貼機，能夠減輕操作員的負擔且更輕易地將膠膜滾筒安裝至膠膜黏貼機。
[解決課題的技術手段] 根據本發明的一個方面，提供一種膠膜滾筒，其包含捲筒以及被捲繞在該捲筒上的帶狀膠膜，該捲筒比該帶狀膠膜的寬度長，並具有該捲筒從該帶狀膠膜的寬度方向之至少一端突出的突出部。
較佳為，所述膠膜滾筒更具備底板，其配設於所述突出部的端部且延伸在與所述捲筒的延伸方向正交的方向上。
據本發明的另一方面，提供一種膠膜黏貼機，其具備：膠膜進給部，其安裝有帶狀膠膜被捲繞於捲筒上的膠膜滾筒；黏貼滾輪，其將以該膠膜進給部送出的該帶狀膠膜黏貼至被黏貼物上；以及刀具，其將被黏貼在被黏貼物上的該帶狀膠膜切斷為對應於被黏貼物的預定尺寸；其中，該捲筒比該帶狀膠膜的寬度長，且該膠膜滾筒具有該捲筒從該帶狀膠膜的寬度方向之至少一端突出的突出部，該膠膜進給部包含：第1從動皮帶輪，其具有抵接該捲筒之該突出部的第1抵接部；第2從動皮帶輪，其具有抵接該捲筒之該突出部的第2抵接部；驅動皮帶輪，其安裝在馬達的輸出軸上；以及無端皮帶，其被捲繞在該驅動皮帶輪、該第1從動皮帶輪及該第2從動皮帶輪上。
[發明功效] 本發明之膠膜滾筒，因為捲筒比帶狀膠膜的寬度長，且具有捲筒從帶狀膠膜的寬度方向之至少一端突出的突出部，所以操作員將該突出部以夾入的方式放置於膠膜黏貼機的從動皮帶輪上之後，藉由以馬達所產生的旋轉動力透過從動皮帶輪使捲筒旋轉，能夠將帶狀膠膜朝向被黏貼物送出。因此，不需要如同傳統的膠膜黏貼機，操作員要將送出滾輪貫通安裝至膠膜滾筒的捲筒中來設置，只要將膠膜滾筒放置在從動皮帶輪上即可，所以能夠更輕易地將膠膜滾筒安裝至膠膜黏貼機，且可以減輕操作員的負擔。
在搬送或保管膠膜滾筒時，以捲筒的延伸方向與放置膠膜滾筒的面平行的方式將膠膜滾筒橫躺而放置時，除了佔據很多空間之外，會因自身重量造成膠膜的漿糊層局部地變形，在使用膠膜滾筒時會有帶狀膠膜變得無法對被黏貼物平均地黏貼的風險。於是，本發明的膠膜滾筒藉由更具備底板，該底板被配設於突出部的端部且延伸在與捲筒的延伸方向正交的方向上，從而能夠將膠膜滾筒以直立的狀態穩定地放置在放置面上，且可以防止帶狀膠膜產生變形。
根據本發明之膠膜黏貼機，操作員將帶狀膠膜的突出部以夾入的方式放置於第1從動皮帶輪的第1抵接部與第2從動皮帶輪的第2抵接部上之後，藉由以馬達所產生的旋轉動力透過第1從動皮帶輪與第2從動皮帶輪使捲筒旋轉，而能夠將帶狀膠膜朝向被黏貼物送出。因此，不需要如同傳統的膠膜黏貼機，操作員要將送出滾輪貫通安裝至膠膜滾筒的捲筒中來設置，只要將膠膜滾筒放置在第1從動皮帶輪的第1抵接部與第2從動皮帶輪的第2抵接部上即可，所以能夠減輕操作員的負擔且更輕易地將膠膜滾筒安裝至膠膜黏貼機，之後，能夠將帶狀膠膜黏貼至被黏貼物上。
如圖1所示本發明的膠膜黏貼機1具備配設各構成的基台10，基台10的上表面成為水平面。在基台10的後方側（＋X方向側），配置有安裝膠膜滾筒2的膠膜進給部3。此外，基台10的上表面之中段成為放置被黏貼物W及環狀框架F的區域。
被以膠膜進給部3向－X方向側送出的膠膜滾筒2，包含捲筒20以及被捲繞至捲筒20的帶狀膠膜21。帶狀膠膜21是以具有柔軟性的樹脂製薄膜狀基材層以及設於薄膜狀基材層之單面上的漿糊層所構成，是以漿糊層所形成的黏著面上黏貼有離型膜213的狀態被捲繞成滾筒狀。離型膜213是在將帶狀膠膜21黏貼至被黏貼物W及環狀框架F之前被剝離。藉由該離型膜213保護黏貼前的帶狀膠膜21之黏著面。另外，帶狀膠膜21的寬度被構成為比環狀框架F的直徑寬，以能夠黏貼環狀框架F之整個被黏貼面。
例如由丙烯酸或聚碳酸酯等塑料所組成的圓筒狀捲筒20，在圖1是延伸於Y方向上，其長度比帶狀膠膜21的寬度長。從帶狀膠膜21的寬度方向（Y軸方向）的兩端，捲筒20僅突出預定長度（例如約15mm）而形成突出部200（在圖1中僅圖示單邊）。另外，突出部200也可以僅形成在帶狀膠膜21寬度方向的一端。
圖1所示的被黏貼物W是例如為以矽作為母材且外形為圓形板狀的半導體晶圓，成為被放置在基台10的上表面之中段的狀態。此外，在基台10的上表面也放置有為了輕易地進行被黏貼物W的處理等所用的環狀框架F。然後，被黏貼物W被定位在環狀框架F的開口內，成為環狀框架F開口的中心與被黏貼物W的中心大致重合的狀態。
膠膜進給部3具有：第1從動皮帶輪31，其具有抵接捲筒20之突出部200的第1抵接部31a；第2從動皮帶輪32，其具有抵接捲筒20之突出部200的第2抵接部32a；驅動皮帶輪34，其安裝在馬達33的輸出軸上；以及無端皮帶35，其被捲繞在驅動皮帶輪34、第1從動皮帶輪31及第2從動皮帶輪32上。
由例如不銹鋼等金屬所構成的第1從動皮帶輪31（第2從動皮帶輪32）具備：滑輪狀的被捲回部31b（32b），其捲繞有扁平狀的無端皮帶35；以及圓柱狀的第1抵接部31a（第2抵接部32a），其從被捲回部31b（32b）向＋Y方向延伸。第1抵接部31a（第2抵接部32a）的外側面，例如為了防止與相接的捲筒20之突出部200間的滑動，可以形成為糙面狀或形成為細小的凹凸。 第1從動皮帶輪31與第2從動皮帶輪32，在X軸方向上至少相隔比捲筒20直徑短的距離且配設在相同高度位置上。
驅動皮帶輪34是例如以距第1從動皮帶輪31的距離與距第2從動皮帶輪32的距離為相等的方式，配設在兩者的下方。使驅動皮帶輪34旋轉的馬達33例如為伺服馬達，膠膜進給部3是以轉矩控制來控制帶狀膠膜21的送出量。
例如圖2所示，在膠膜黏貼機1的基台10上，覆蓋基台10上的部分或全部的殼體8為可裝卸的。此外，在圖2中僅圖示殼體8及基台10的部分。殼體8具備安裝於基台10上的殼體本體80，以及能夠開關殼體本體80之上部的蓋部81。
殼體本體80具備側板80b、側板80c以及面對基台10的上表面之頂板80a。殼體本體80之上部的端側被切掉例如長方體形狀，該被切掉的部分能夠以蓋部81開關。 配合殼體本體80的缺口部分所形成的蓋部81，是藉由配設在與殼體本體80間的連結部分上的鉸鏈成為可以180度開關。此外，在蓋部81的內側，配設有具備Y軸方向軸心之圓桿狀的一對滾軸83。
在殼體本體80的側板80b上，以朝向殼體本體80的內側突出的方式配設有支撐構件31c及支撐構件32c，在支撐構件31c的前端上固定有第1從動皮帶輪31，在支撐構件32c的前端上固定有第2從動皮帶輪32。此外，在側板80b上透過未圖示的托架固定有馬達33。
在面對側板80b的側板80c上，配設有圓柱狀的一對支撐構件45，其支撐從帶狀膠膜21的＋Y方向側端突出的突出部200。每個支撐構件45具備沿徑方向外側延伸出去的凸緣狀限制部45a，限制部45a在突出部200被放置到支撐構件45上時，限制膠膜滾筒2在Y軸方向上移動。
以下，說明關於將膠膜滾筒2安裝至膠膜黏貼機1之膠膜進給部3的情況。首先，如圖2所示，藉由殼體8被安裝至膠膜黏貼機1的基台10上，膠膜進給部3被設置為能夠安裝膠膜滾筒2的狀態。此外，殼體8的蓋部81成為開啟的狀態，且膠膜進給部3成為從殼體8内露出在上方的狀態。
操作員將膠膜滾筒2舉起至比膠膜進給部3的高度位置更上方，以膠膜滾筒2之一邊的突出部200被夾入第1從動皮帶輪31的第1抵接部31a與第2從動皮帶輪32的第2抵接部32a之間的方式放置，並以另一邊的突出部200被夾入一對支撐構件45之間的方式放置。再來，藉由關閉蓋部81，如圖1所示，使配設於蓋部81內側的每個滾軸83，分別從上方抵接膠膜滾筒2一邊的突出200及另一邊的突出部200。另外，在圖1中是省略表示殼體8。
如此一來，本發明之膠膜滾筒2，因為捲筒20比帶狀膠膜21的寬度長，且具有捲筒20從帶狀膠膜21的寬度方向之至少一端突出的突出部200，所以藉由操作員將該突出部200以夾入第1從動皮帶輪31之第1抵接部31a與第2從動皮帶輪32之第2抵接部32a之間的方式放置於膠膜黏貼機1，而能夠將帶狀膠膜21朝向被黏貼物W送出。因此，不需要如同傳統的膠膜黏貼機，操作員要將送出滾輪貫通安裝至膠膜滾筒的捲筒中來設置，能夠更輕易地將膠膜滾筒2安裝至膠膜黏貼機1，且可以減輕操作員的負擔。
膠膜滾筒2被安裝至膠膜進給部3後，首先，藉由操作員將帶狀膠膜21的一端通過下述表示於圖1、3的剝離滾輪41、夾入滾輪43及防鬆弛滾輪44而引導至帶狀膠膜捲取滾輪47。之後，膠膜進給部3的馬達33藉由例如從－Y方向側（圖3中為頁面前側）看是在順時針方向上對驅動皮帶輪34進行旋轉驅動，無端皮帶35伴隨驅動皮帶輪34的旋轉而轉動。藉由無端皮帶35轉動，第1從動皮帶輪31及第2從動皮帶輪32從－Y方向側看是在順時針方向上旋轉。藉由第1從動皮帶輪31及第2從動皮帶輪32旋轉，捲筒20從－Y方向側看是在逆時針方向上旋轉，且在黏著面上黏貼有離型膜213之狀態的帶狀膠膜21被送出。此外，藉由滾軸83，旋轉中的膠膜滾筒2之上下方向上的振動被扺制。
如圖1、圖3所示在膠膜進給部3的下方配置有將離型膜213從帶狀膠膜21剝離的剝離滾輪41，以及捲取從帶狀膠膜21上剝離之離型膜213的離型膜捲取滾輪42。帶狀膠膜21是以黏著面側（離型膜213側）朝向下方的狀態從膠膜進給部3向剝離滾輪41送出。
剝離滾輪41具備在垂直方向以彼此相接方式配置的2個滾輪41a、41b。從膠膜進給部3送出且黏著面上黏貼有離型膜213之狀態的帶狀膠膜21被插入該2個滾輪41a、41b之間，藉由2個滾輪41a、41b從上下夾住帶狀膠膜21及離型膜213。
在剝離滾輪41中被剝離掉離型膜213的帶狀膠膜21被送往剝離滾輪41的下方。另一方面，從帶狀膠膜21被剝離下的離型膜213被送往＋X方向，藉由以驅動機構繞Y軸方向的軸心旋轉的離型膜捲取滾輪42捲取，該驅動機構是被定位在與剝離滾輪41相同高度的馬達等。
如圖1、圖3所示，在剝離滾輪41的下方，配置有延伸在Y軸方向上的夾入滾輪43。夾入滾輪43具備在X軸方向上彼此相接並且被配置在相同高度位置上的2個滾輪43a、43b，2個滾輪43a、43b是繞Y軸方向的軸心旋轉。從剝離滾輪41送出的已剝離掉離型膜213之狀態的帶狀膠膜21被插入在該2個滾輪43a、43b之間，藉由2個滾輪43a、43b帶狀膠膜21被從X軸方向兩側夾住。夾入滾輪43是將從剝離滾輪41送出的帶狀膠膜21，以不會鬆弛的方式在比被放置於基台10上的被黏貼物W及環狀框架F之上表面略高的高度位置中持續送出。
在從夾入滾輪43往X軸方向距離至少環狀框架F直徑以上的位置中，延伸在Y軸方向上的防鬆弛滾輪44被配置在與夾入滾輪43例如相同高度的位置。防鬆弛滾輪44具備在X軸方向上彼此相接並且被配置在相同高度位置上的2個滾輪44a、44b，2個滾輪44a、44b是繞Y軸方向的軸心旋轉。從夾入滾輪43被水平地送出的帶狀膠膜21被插入該2個滾輪44a、44b之間，藉由防鬆弛滾輪44帶狀膠膜21被從X軸方向兩側夾住。防鬆弛滾輪44是以從夾入滾輪43送出的帶狀膠膜21在放置於基台10上的被黏貼物W及環狀框架F之上方不會鬆弛的方式，持續對帶狀膠膜21施加張力並送出至後述的帶狀膠膜捲取滾輪47。
在基台10之上表面中段的上方，配設有切割手段71，其將被黏貼至被黏貼物W的帶狀膠膜21切斷為對應於被黏貼物W的預定尺寸。切割手段71具備延伸在水平方向上的刀具臂711，刀具臂711的前端下表面上配設有安裝部712，其安裝有可卸除的刀具710。安裝在安裝部712上的刀具710，以銳利的刀尖作為下端並延伸在Z軸方向上。刀具臂711的後端上表面中，連接有使刀具臂711繞Z軸方向的軸心在水平方向上回旋的旋轉軸713。此外，旋轉軸713上連接有上下移動刀具臂711的未圖示之上下移動手段。
刀具710藉由以旋轉軸713為中心之刀具臂711的回旋，在基台10上如同畫圓般移動。藉由此刀具710，能夠沿著環狀框架F切斷被黏貼在被黏貼物W及環狀框架F上的帶狀膠膜21。再者，根據被黏貼物W的直徑及環狀框架F的直徑調整刀具710相對刀具臂711之安裝位置。
在基台10上配設有黏貼滾輪70，其將由膠膜進給部3在－X方向側送出的帶狀膠膜21黏貼到被黏貼物W上。具備帶狀膠膜21寬度以上之長度的黏貼滾輪70，是以例如在Y軸方向上橫越帶狀膠膜21的方式所配設，藉由未圖示的移動手段，能夠在上下方向及X軸方向上移動。一邊以黏貼滾輪70從上方推壓帶狀膠膜21的上表面（與黏著面相反側的面），一邊藉由使黏貼滾輪70在X軸方向上移動，以使帶狀膠膜21被黏貼至被黏貼物W及環狀框架F上。
在防鬆弛滾輪44的上方配置有帶狀膠膜捲取滾輪47，其藉由馬達等驅動機構繞Y軸方向的軸心旋轉，並捲取從防鬆弛滾輪44送出的帶狀膠膜21。被切除黏貼在被黏貼物W及環狀框架F上的圓形部分之剩餘的帶狀膠膜21，以此帶狀膠膜捲取滾輪47捲取。
本發明之膠膜黏貼機1，至少具備：膠膜進給部3，其安裝有在捲筒20上捲繞有帶狀膠膜21的膠膜滾筒2；黏貼滾輪70，其將膠膜進給部3送出的帶狀膠膜21黏貼至被黏貼物W上；以及切割手段71，其將被黏貼在被黏貼物W上的帶狀膠膜21根據被黏貼物W切斷為預定尺寸；其中，捲筒20比帶狀膠膜21的寬度長，且膠膜滾筒2具有捲筒20從帶狀膠膜21的寬度方向之至少一端突出的突出部200，因為膠膜進給部3具有：第1從動皮帶輪31，其具有抵接捲筒20的突出部200之第1抵接部31a；第2從動皮帶輪32，其具有抵接捲筒20的突出部200之第2抵接部32a；驅動皮帶輪34，其安裝在馬達33的輸出軸上；以及無端皮帶35，其被捲繞在驅動皮帶輪34、第1從動皮帶輪31及第2從動皮帶輪32上；所以操作員將膠膜滾筒2的突出部200以夾入第1從動皮帶輪31的第1抵接部31a與第2從動皮帶輪32的第2抵接部32a的方式放置之後，藉由以馬達33所產生的旋轉動力透過第1從動皮帶輪31與第2從動皮帶輪32使捲筒20旋轉，能夠將帶狀膠膜21朝向被黏貼物W送出。因此，不需要如同傳統的膠膜黏貼機，操作員要將送出滾輪貫通安裝至膠膜滾筒的捲筒中來設置，只要將膠膜滾筒2放置在第1從動皮帶輪31的第1抵接部31a與第2從動皮帶輪32的第2抵接部32a上即可，所以能夠減輕操作員的負擔且更輕易地將膠膜滾筒2安裝至膠膜黏貼機1，之後，能夠將帶狀膠膜21黏貼至被黏貼物W上。
以下，說明關於保管膠膜滾筒2的情況。如圖4（A）所示，例如，膠膜滾筒2具有配設於突出部200的端部且延伸在與捲筒20的延伸方向（圖4（A）中是Z軸方向）正交的方向上之底板6。在圖4（A）所示範例中，底板6的外形為矩形，但並不限定於此，也可以成為圓形，或者也可以是將圓板的外周之部分平的切除之形狀。藉由將底板6作為矩形或者圓板的外周之部分平的切除之形狀，即使將具備底板6的膠膜滾筒2以橫的狀態放置於放置面上，也可以防止膠膜滾筒2在放置面上滾動。
底板6的厚度是例如大致與突出部200的長度相同，在其中央區域於厚度方向上貫通形成有與突出部200嵌合的嵌合孔60。在膠膜滾筒2之一邊的突出部200與另一邊的突出部200，藉由分別從上使底板6的嵌合孔60嵌合，突出部200的上端面（下端面）成為與底板6的上表面（上表面）大致齊平的狀態。然後，如圖4（B）所示，成為能夠將膠膜滾筒2以直立的狀態放置在放置面B上。再者，藉由使嵌合孔60成為具有不會貫通底板6之深度者，在將底板6的嵌合孔60嵌合至膠膜滾筒2的突出部200時，也可以成為帶狀膠膜21的端部稍微離開底板6的狀態。
將以圖4（B）所示狀態保管的膠膜滾筒2，安裝至先前所說明的膠膜黏貼機1上時，將安裝有底板6之狀態的膠膜滾筒2搬送至膠膜黏貼機1，之後，將底板6卸除並將膠膜滾筒2設置於膠膜黏貼機1上。
1‧‧‧膠膜黏貼機
10‧‧‧基台
2‧‧‧膠膜滾筒
20‧‧‧捲筒
200‧‧‧突出部
21‧‧‧帶狀膠膜
213‧‧‧離型膜
3‧‧‧膠膜進給部
31‧‧‧第1從動皮帶輪
31a‧‧‧第1抵接部
31b‧‧‧被捲回部
31c‧‧‧支撐構件
32‧‧‧第2從動皮帶輪
32a‧‧‧第2抵接部
32b‧‧‧被捲回部
32c‧‧‧支撐構件
33‧‧‧馬達
34‧‧‧驅動皮帶輪
35‧‧‧無端皮帶
8‧‧‧殼體
80‧‧‧殼體本體
81‧‧‧蓋部
83‧‧‧滾軸
41‧‧‧剝離滾輪
43‧‧‧夾入滾輪
42‧‧‧離型膜捲取滾輪
44‧‧‧防鬆弛滾輪
47‧‧‧帶狀膠膜捲取滾輪
71‧‧‧切割手段
711‧‧‧刀具臂
712‧‧‧安裝部
710‧‧‧刀具
713‧‧‧旋轉軸
70‧‧‧黏貼滾輪
6‧‧‧底板
60‧‧‧嵌合孔
W‧‧‧被黏貼物
F‧‧‧環狀框架
圖1為表示設置有膠膜滾筒狀態的膠膜黏貼機之一例的立體圖。 圖2為將膠膜滾筒安裝至膠膜黏貼機的膠膜進給部之狀態的立體圖。 圖3為說明在膠膜進給部所送出的帶狀膠膜之部分被黏貼在被黏貼物以及環狀框架上之後，剩餘的帶狀膠膜被捲繞至帶狀膠膜捲取滾輪上之狀態的側視圖。 圖4（A）為表示底板被安裝至膠膜滾筒的突出部的端部之狀態的立體圖。 圖4（B）為表示底板已安裝在膠膜滾筒的突出部的端部之狀態的立體圖。

Claims (3)

  1. 一種膠膜滾筒，其具備 捲筒，以及 被捲繞在該捲筒上的帶狀膠膜， 其中，該捲筒比該帶狀膠膜的寬度長，並具有該捲筒從該帶狀膠膜的寬度方向之至少一端突出的突出部。
  2. 如請求項1所述的膠膜滾筒，其中，更具備底板，其被配設於所述突出部的端部且延伸在與所述捲筒的延伸方向正交的方向上。
  3. 一種膠膜黏貼機，具備： 膠膜進給部，其安裝有帶狀膠膜被捲繞於捲筒上的膠膜滾筒； 黏貼滾輪，其將以該膠膜進給部送出的該帶狀膠膜黏貼至被黏貼物上；以及 刀具，其將被黏貼在被黏貼物上的該帶狀膠膜切斷為對應於被黏貼物的預定尺寸； 其中，該捲筒比該帶狀膠膜的寬度長，且該膠膜滾筒具有該捲筒從該帶狀膠膜的寬度方向之至少一端突出的突出部， 該膠膜進給部包含：第1從動皮帶輪，其具有抵接該捲筒之該突出部的第1抵接部；第2從動皮帶輪，其具有抵接該捲筒之該突出部的第2抵接部；驅動皮帶輪，其安裝在馬達的輸出軸上；以及無端皮帶，其被捲繞在該驅動皮帶輪、該第1從動皮帶輪及該第2從動皮帶輪上。
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