WO2005117099A1 - テープ接着装置およびテープ接着方法 - Google Patents

Abstract

　ワークに対しテープ部材を良好に接着可能であり、工程の簡略化、コストの削減および接着強度の向上を図れるテープ接着装置及びテープ接着方法を提供すること。 　テープ部材１２をワーク１１に接着するテープ接着装置１０であり、ワーク１１を載置する伸縮シート部材２５と、伸縮シート部材２５の上面側に位置する真空室５０と、伸縮シート部材２５の下面側に位置する空気導入部５１と、伸縮シート部材２５が載置される載置部２２ｂと、真空室５０に空気の導通を防止する状態で伸縮シート部材２５を保持する保持部材２６と、ワーク１１の上部でテープ部材１２を保持させるテープ保持手段６６と、真空室５０の内部を真空吸引する第１の吸引手段３６と、空気導入部５１を真空吸引する第２の吸引手段３６と、空気導入部５１に空気を導入する空気導入手段４１と、真空室５０の内部に空気を加圧状態で導入する加圧手段３６と、を具備する。

Description

明 細 書

テープ接着装置およびテープ接着方法

技術分野

[0001] 本発明は、ワークに対してテープ部材を接着させるテープ接着装置およびテープ 接着方法に関する。

背景技術

[0002] 半導体の製造工程においては、半導体ウェハ（以下、ウェハという。）の表面に回 路パターンを形成した後に、ウェハ裏面を研磨して薄型化を図り、形成される半導体 チップの小型化 ·薄型化に対応することがある。また、薬液を用いてケミカルエツチン グ処理を施して、該ウェハの薄型化を図る製造工程を行う場合もある。

[0003] かかる製造工程においては、ウェハ表面に粘着状の保護テープ (以下、テープ部 材という。）を貼り付けている。それによつて、ウェハ表面が汚染されたり、該ウェハの 表面に傷がっレ、て回路が損傷するのを防レ、でレ、る。

[0004] このようなウェハ表面に、テープ部材を接着させるテープ接着装置としては、特許 文献 1記載のものがある。この特許文献 1記載のテープ接着装置では、本体側の部 屋および上蓋側の部屋の両方とも真空にしている状態から、上蓋側の部屋を大気圧 に切り替える。それによつて、上蓋側の部屋と本体側の部屋との間に差圧が生じ、そ の差圧によって、ゴムシートが本体側の部屋に膨らむ。そして、この膨らみによって、 ゴムシートがテープ部材を押し、ワークに対してテープ部材を接着させている。

[0005] また、他の貼付装置としては、特許文献 2記載のものがある。この特許文献 2記載の ものでは、第 1の真空室と第 2の真空室との間の差圧を利用して、平滑性の高い基台 の中央部をテープ部材側に向けて橈ませている。これと共に、中央部を橈ませた基 台を、ウェハに貼付されたテープ部材に押し付けながら、昇降装置の駆動によりゥェ ハを持ち上げている。このようにすることで、テープ部材の中央側から外方に向けて 空気を押し出しながら、ウェハに対してテープ部材を接着している。

[0006] 特許文献 1 :特開 2003— 7808号公報 (段落番号 0007、図 2〜4参照）

特許文献 2 :特開 2000— 349047号公報（要約、図 1〜図 5参照） 発明の開示 発明が解決しょうとする課題

[0007] 上述の特許文献 1記載の構成は、着想レベルに留まってレ、て、その構成が具体的 でない。そのため、力かる構成に基づいて実際に実施しょうとした場合には、種々の 不具合が生じる。例えば、特許文献 1記載の構成では、ゴムシートが上部に位置して いるため、該ゴムシートの自重による弛みを除去するためには、ゴムシートを張る際の 張力をかなり高める必要がある。このため、ゴムシートの取付作業が困難となる、とい う課題を有している。

[0008] 特に、テープ部材の接着を効率的に行うためには、テープ部材をウェハに接着す る作業を開始する初期位置では、ゴムシートに対して接触しているテープ部材と、ゥ ェハとの間の隙間が小さいのが通常である。力かる隙間が小さい状態において、ゴム シートに弛みが生じると、真空吸引を行う前の段階から、ウェハにテープ部材が接着 し、力、かる接着面に気泡が入り込む、という不具合が生じることがある。

[0009] また、特許文献 1記載の構成では、複数の押しネジが設けられていて、これらの押 しネジの全てを回転させる必要があり、押しネジを同時に回転させる必要がある場合

、困難な作業となる。さらに、特許文献 1記載の構成では、上蓋を取り除いた状態で、 テープ部材ゃウェハを設置する必要がある。このため、工数が余分に掛カ、るものとな つている。

[0010] また、特許文献 2記載の構成では、第 1の真空室と第 2の真空室との間の差圧を利 用して、ガラス板等の基台を撓ませて、ウェハが貼付されたテープ部材に対して基台 を接着させると共に、この接着状態から、さらにウェハが貼付されたテープ部材およ び基台を持ち上げている。このため、 2段階の接着工程を有し、手間が掛かり、コスト 的にも好ましくない。また、ウェハ等を持ち上げるために、別途昇降装置が必要となる ので、構成が複雑となり、その分だけコストが掛かる。

[0011] 本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、ゴムシー トの弛みを除去しつつ、ワークに対してテープ部材を良好に接着できると共に、工程 の簡略化、コストの削減および接着強度の向上を図ることが可能なテープ接着装置 、およびテープ接着方法を提供しょう、とするものである。 課題を解決するための手段

[0012] 上記課題を解決するために、本発明は、テープ部材をワークに対して接着するテ ープ接着装置において、上面にワークが載置される伸縮シート部材と、伸縮シート部 材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる真空室と、伸縮 シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気 導入部と、伸縮シート部材の下面側であって空気導入部と干渉しなレ、部位に位置す ると共に、伸縮シート部材が載置される載置部と、真空室に対して空気の導通を防止 する状態で伸縮シート部材を保持する保持部材と、伸縮シート部材に載置されるヮ ークの上部でテープ部材を保持させるテープ保持手段と、真空室の内部を真空吸引 する第 1の吸引手段と、空気導入部を真空吸引する第 2の吸引手段と、空気導入部 に空気を導入する空気導入手段と、真空室の内部に空気を加圧状態で導入する加 圧手段と、を具備するものである。

[0013] このような構成とすることで、ワークは伸縮シート部材の上面に載置され、その上部 には、テープ保持手段によってテープ部材が保持される。そして、この状態で、第 1 の吸引手段および第 2の吸引手段を作動させ、真空室および空気導入部の真空排 気を行う。その後に、空気導入手段を作動させて、空気導入部の内部に空気を導入 する。すると、真空状態が維持されている真空室と、空気が導入された空気導入部と の間の差圧によって、その境界部分を保持部材で密閉している伸縮シート部材は、 真空室の内部に向かって膨張する。そして、この膨張によって、伸縮シート部材はヮ ークを持ち上げ、力、かる持ち上げによってワークがテープ部材に接触する。

[0014] その状態から、さらに伸縮シート部材が膨張すると、ワークはさらに持ち上げられる 。それによつて、ワークの全面に対して良好にテープ部材を接着させることができる。 このように、伸縮シート部材の上面にワークを載置し、かかる載置状態において伸縮 シート部材を膨張させることにより、ワークに対してテープ部材を、気泡の入り込みを 防ぎながら接着させることができる。かかる接着では、伸縮シート部材の下面にワーク を位置させてレ、た場合と比較して、伸縮シート部材の弛みの影響を除去することがで きる。そのため、伸縮シート部材に大きな張力を付与する必要がなくなり、構成が簡 単となる。また、伸縮シート部材の膨張を利用する構成のため、ワークをテープ部材 に向けて移動させる特別な構成が不要となる。このため、簡易な構成でワークをテー プ部材に向けて移動させることができる。

[0015] また、テープ部材の接着後に加圧手段を作動させて、真空室の内部に空気を加圧 状態で導入する。すると、ワークに接着しているテープ部材は、加圧によってワークに 対して押し付けられる。そのため、ワークに対するテープ部材の接着性を高めること ができ、テープ部材がワークから簡単に剥離するのを防ぐことができる。

[0016] また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、第 1の吸引手段、第 2の吸引手段、 空気導入手段および加圧手段の作動を制御する制御手段を具備すると共に、この 制御手段は、第 1の吸引手段および第 2の吸引手段を作動させて、真空室および空 気導入部の真空吸引を行い、真空吸引の後に、空気導入手段を作動させて空気導 入部に空気を導入し、この空気の導入によって、伸縮シート部材を真空室の内部に 向けて膨張させ、伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持 ち上げてテープ部材に接着させ、テープ部材の接着後に、加圧手段を作動させて真 空室の内部に空気を加圧状態で導入する、こととしたものである。

[0017] このように構成した場合には、制御手段による作動制御により、まず第 1の吸引手段 および第 2の吸引手段の作動が開始され、真空吸引が行われる。そして、かかる真空 吸引の後に、制御手段による作動制御により、空気導入手段が作動する。それによ つて、空気導入部に空気が導入される。そして、この空気の導入により、伸縮シート部 材を真空室の内部に向けて膨張させることができる。伸縮シート部材が膨張すると、 ワークがテープ部材に向かって持ち上げられる。それによつて、ワークをテープ部材 に対して接着させることができる。また、テープ部材の接着後に、加圧手段を作動さ せ、ワークに対するテープ部材の接着性を高めさせることができる。

[0018] さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、制御手段は、真空室および空 気導入部の真空吸引を行うに際して、先に第 2の吸引手段を作動させ、後に第 1の 吸弓 I手段を作動させるものである。

[0019] このように構成した場合には、先に第 2の吸引手段が作動することによって、真空室 に対して空気導入部の圧力が低下する。そのため、伸縮シート部材は、載置部に押 し付けられる。このようにすれば、伸縮シート部材が、先に真空室側に向かって膨張 するのを防ぐことができる。このため、空気導入手段が作動して空気を導入する前の 段階で、ワークとテープ部材とが接着されるのを防ぐことができ、気泡が入り込まない ように真空吸引した後にのみ、ワークとテープ部材とを接着させることができる。

[0020] また、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、テープ接着装置は、本体部と、こ の本体部に対して開閉自在に設けられている蓋体部とを有していて、蓋体部を本体 部に対して閉じた場合に、蓋体部と本体部との間を気密に閉塞するシール部材を、 これら蓋体部と本体部との境界部分に設けると共に、蓋体部の閉塞状態において、 この蓋体部と伸縮シート部材との間に、真空室が形成される、こととしたものである。

[0021] このように構成した場合には、蓋体部が本体部に対して開閉自在となる。このように すれば、蓋体部の開閉によって、ワークやテープ部材の設置、およびテープ部材が 接着された状態のワークの取り出しを、容易に行うことができる。また、シール部材の 存在により、蓋体部と本体部との間を気密に閉塞することができる。このため、第 1の 吸引手段および第 2の吸引手段の作動時には、真空室および空気導入部を、真空 度が高い状態まで吸引することができる。また、蓋体部を本体部に対して閉じた場合 には、この蓋体部と伸縮シート部材との間に真空室が形成される。

[0022] さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、テープ部材を吸着する吸着部 材を備えると共に、この吸着部材に対してテープ部材を真空吸引する吸引保持力を 与える第 3の吸引手段を備えるものである。

[0023] このように構成した場合には、吸着部材および第 3の吸引手段によって、テープ部 材は真空吸引される。それにより、テープ部材は、吸着部材を介して保持される。そ のため、テープ部材に対して張力を加える必要がなぐ張力負荷によってテープ部 材が伸びてしまうのを防止することができる。また、テープ部材に対して張力を加えず に済むため、ワークに接着されたテープ部材に収縮が生じるのを防ぐことができ、テ 一プ部材の接着状態を良好にすることが可能となる。

[0024] また、他の発明は、上述の発明にカ卩えて更に、蓋体部は、この蓋体部の閉塞状態 において上方に向かって窪んでいる凹部を有すると共に、この凹部の上底面には、 吸着部材が嵌め込まれてレ、て、伸縮シート部材の膨張によるワークおよびテープ部 材の上方へ向力 移動を、吸着部材によって上方から押さえるものである。 [0025] このように構成した場合には、伸縮シート部材が膨張すると、ワークおよびテープ部 材が持ち上げられる。この持ち上げによって、テープ部材が所定の高さ位置に到達 すると、吸着部材にぶつ力 て、テープ部材が上方から押さえられる。このため、テ 一プ部材は、上方から押さえられると共に、下方からワークによって持ち上げられる 状態で、接着が実行される。すなわち、テープ部材を上方から押さえながら、ワークを 上方に持ち上げて押し付けるので、ワークとテープ部材との間の接着を、強固かつ確 実なものとすることができる。

[0026] さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、吸着部材は、多孔質セラミックを 材質としているものである。このように構成した場合には、第 3の吸引手段を作動させ ると、吸着部材によりテープ部材の全面に亘つて、均一に吸着保持することができる 。そのため、テープ部材に弛みが生じるのを防ぐことができる。

[0027] また、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、テープ保持手段は、吸着部材と 共に、テープ部材の端部を挟持する挟持部材を具備するものである。このように構成 した場合には、真空室の内部が真空吸引されて、テープ部材の吸引保持力が弱まつ た場合でも、テープ部材は挟持部材によって挟持されるため、該テープ部材が落下 するのを防ぐことができる。

[0028] さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、蓋体部と本体部の間には、蓋体 部を本体部に向けて押圧し、かつ蓋体部が開くのを防止する開閉ロック手段が設け られているものである。

[0029] このように構成した場合には、蓋体部が開くのが開閉ロック手段によって防止される 。このため、加圧手段によって真空室の内部を加圧した場合でも、蓋体部が開くのが 防止され、真空室の内部を良好に加圧することができる。

[0030] また、他の発明は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法におい て、ワークの上部側に位置するテープ部材を、テープ保持手段に保持させるテープ 保持ステップと、伸縮シート部材の上面にワークが載置され、かつテープ保持手段に よって該ワークの上部にテープ部材を張設状態で位置させた状態で、伸縮シート部 材の上面側に位置する真空室を第 1の吸引手段で真空吸引させると共に、伸縮シー ト部材により真空室から仕切られると共に該伸縮シート部材の下面側に位置する空 気導入部を第 2の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、吸引ステップによって 、真空室および空気導入部が設定された真空度に到達したことを検出する真空到達 度検出ステップと、真空到達度検出ステップによって設定された真空度に到達したこ とを検出した後に、第 2の吸引手段の作動停止により空気導入部の真空吸引を停止 すると共に、空気導入手段を作動させて該空気導入部に空気を導入する空気導入 ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を真空室の内部に向けて膨張 させ、力かる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上 げてテープ部材に接着させる接着ステップと、接着ステップを予め設定された時間だ け実行した後に、加圧手段を作動させて真空室の内部に空気を加圧状態で導入す る加圧ステップと、を具備するものである。

[0031] このようにした場合には、吸引ステップにおいては、真空室と空気導入部の両方の 真空吸引が為される。力、かる吸引ステップの後に、真空到達度検出ステップにおい て真空度の到達の検出を行う。そして、設定された真空度に到達したことが検出され ると、今度は空気導入ステップにおいて空気導入手段を作動させて、空気導入部に 空気を導入する。それによつて、伸縮シート部材は、その上面側である真空室側に向 かって膨張を開始する。

[0032] この後に、接着ステップが開始され、伸縮シート部材の膨張によってワークが持ち 上げられて、テープ部材に接着される。かかる膨張を、所定時間だけ継続実行すれ ば、膨張の継続によって、ワークの全面に亘つてテープ部材が接着される。この接着 の後に、加圧ステップにおいて加圧手段を作動させれば、真空室の内部に空気を加 圧状態で導入される。それにより、ワークに接着しているテープ部材は、加圧によつ てワークに対して押し付けられる。

[0033] このように、伸縮シート部材の上面にワークを載置し、かかる載置状態において伸 縮シート部材を膨張させることにより、ワークに対してテープ部材を、気泡の入り込み を防ぎながら接着させることができる。また、伸縮シート部材の下面にワークを位置さ せていた場合と比較して、該伸縮シート部材の弛みの影響を除去することができる。 このように、弛みが除去されるため、伸縮シート部材に大きな張力を付与する必要が 無くなり、接着が簡単に行え、またテープ接着装置が製造し易くなる。さらに、伸縮シ 一ト部材の膨張を利用するため、ワークを上方のテープ部材へ移動させる特別なス テツプを要さずに済む。このため、簡易な方法で、ワークをテープ部材に向けて移動 させること力 Sできる。また、加圧ステップにおいて真空室を加圧することにより、ワーク に対するテープ部材の接着性を高めることができ、テープ部材がワークから簡単に剥 離するのを防ぐことができる。

[0034] さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、吸引ステップは、第 1の吸引手 段および第 2の吸引手段を作動させるに際して、先に第 2の吸引手段を作動させ、後 に第 1の吸引手段を作動させるものである。

[0035] このようにした場合には、先に第 2の吸引手段が作動することによって、真空室に対 して空気導入部の圧力が低下する。そのため、伸縮シート部材は、先に上面側の真 空室側に向かって膨張することがなくなる。このため、空気導入手段が作動して空気 を導入する前の段階で、ワークとテープ部材とが接着されるのを防ぐことができる。 発明の効果

[0036] 本発明によると、伸縮シート部材の弛みを除去しつつ、ワークに対してテープ部材 を良好に接着することが可能となる。また、工程の簡略化およびコストの削減を図るこ とも可能となる。さらにワークとテープ部材との間の接着強度を高めることも可能となる 図面の簡単な説明

[0037] [図 1]本発明の第 1の実施の形態に係るテープ接着装置の構成を示す図であり、ゥェ ハをゴムシート上に配置した状態で蓋体部を透視して示す平面図である。

[図 2]図 1のテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を閉じた状態を示す平面 図である。

[図 3]図 1のテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を閉じた状態を示すと共 に内部構成の一部を透視した状態について示す側面図である。

[図 4]図 1のテープ接着装置の排気系統及び制御系統の様子を簡略化して示す概 略構成図である。

[図 5]図 1のテープ接着装置において、ゴムシートおよびテープ部材を保持する構成 のうち、押さえリング付近を拡大して示す部分的な側断面図である。 園 6]図 1のテープ接着装置において、ゴムシートおよびテープ部材を保持する構成 のうち、空気導入部付近を拡大して示す部分的な側断面図である。

園 7]図 1のテープ接着装置の構成を示す図であり、（a)は蓋体部を開いた状態を示 す内部を一部透視した側面図であり、 (b)は蓋体部を閉じた状態を示す正面側から 見た要部断面図である。

園 8]図 1のテープ接着装置のうち、蓋体部の内部構成を透視して示すと共に、蓋体 部と本体部との間に存在するロック機構の取り付けの様子を示す側面図である。 園 9]図 1のテープ接着装置の構成を示す背面図である。

[図 10]図 1のテープ接着装置を用いて、ウェハに対してテープ部材を接着する場合 の動作フローを示す図である。

園 11]図 1のテープ接着装置を用いて、ウェハを持ち上げてテープ部材に接着させ る場合の接着の態様を示すイメージ図であり、 (a)はテープ部材に対してウェハの中 央部分力 接着が開始される場合を示す図であり、 (b)はテープ部材に対して傾斜 しているウェハの上端から接着が開始される場合を示す図である。

符号の説明

10…テープ接着装置

11…ウェハ（ワーク）

12…テープ部材

20…本体部

22…本体上面部

22b…載置部

24…孔部

25…ゴムシート

26…押さえリング (保持部材)

33…空気管路 (第 1の吸引手段の一部、第 2の空気導入手段の一部）

35…管部材 (第 1の吸引手段の一部、第 2の空気導入手段の一部）

36…真空ポンプ (第 1の吸引手段の一部、第 2の吸引手段の一部、第 3の吸引手 段の一部） 37…第 1の弁部材（第 1の吸引手段の一部、第 2の空気導入手段の一部）

38…空気管路 (第 2の吸引手段の一部、空気導入手段の一部）

40…管部材 (第 2の吸引手段の一部、空気導入手段の一部）

41 - ·■第 2の弁部材 (第 2の吸引手段の一部、空気導入手段の一部）

42…管部材 (テープ保持手段の一部、第 3の吸引手段の一部）

43…ホース（テープ保持手段の一部、第 3の吸引手段の一部）

44…第 3の弁部材 (テープ保持手段の一部、第 3の吸引手段の一部）

45 (45a, 45b)…真空計

50…真空室

51…空気導入部

60· · ·蓋体部

61…蝶番

62…ダンパ部材

63…リング当接部

64…凹部

64a…上底面

65…嵌合凹部

66…吸着部材 (テープ保持手段の一部）

67…空気管路 (テープ保持手段の一部、第 3の吸引手段の一部）

80…ロック機構

90…制御装置 (制御手段）

発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の一実施の形態に係るテープ接着装置 10について、図 1から図 11 に基づいて説明する。図 1は、図 2に示す蓋体部 60を透視した状態の本体部 20の 平面図で、ゴムシート 25上にウェハ 11を載置した状態を示す図である。また、図 2は 、テープ接着装置 10において、蓋体部 60を閉じた状態を示す平面図である。また、 図 3はテープ接着装置 10の一部の内部構成 (ゴムシート 25等）を透過した状態の側 面図である。また、図 4は、図 1のテープ接着装置 10の排気系統及び制御系統の様 子を簡略化して示す概略構成図である。

[0040] 図 1に示すように、本体部 20の平面形状は、例えば略正方形といった方形を為して いる。本体部 20の底面には、複数 (例えば 4本）の支持脚 21 (図 3参照）が取り付けら れている。また、図 3に示すように、テープ接着装置 10は、本体部 20と、この本体部 2 0に対して回動自在に設けられている蓋体部 60とを有している。

[0041] 図 3および図 4に示すように、本体部 20の内部には、蓋体部 60に対して近接対向 する本体上面部 22が設けられている。本体上面部 22は、真空吸引時に負荷される 圧力（特に蓋体部 60側から負荷される垂直荷重）を受け止めるために、適切な強度 を有した構成となっている。また、本体部 20を支えると共にその一部となる側壁およ び底壁も、真空吸引時に負荷される圧力に、十分杭し得るだけの強度を有する構成 である。

[0042] また、図 1、図 3および図 4に示すように、本体上面部 22のうち、外周側には、シー ノレリング 23が取り付けられている。シーノレリング 23は、〇リング状の部材であり、後述 する蓋体部 60のリング当接部 63に当接する。それによつて、テープ接着装置 10の 内部を、外部（大気）から密閉し、該テープ接着装置 10の内部を真空吸引することを 可能としている。

[0043] また、本体上面部 22のうち、シールリング 23よりも中央部側（図 1および図 4参照； 以下、内径部 22aという）には、載置部 22bが設けられている（図 4参照）。載置部 22 bは、後述するゴムシート 25を載置するための部分である。なお、載置部 22bは、そ の上方側（蓋体部 60側）が吸引排気された場合でも、上方側に撓むのを防ぐため、 十分な肉厚を有している。

[0044] 載置部 22bの略中央部分には、孔部 24 (図 4および図 6参照）が設けられている。こ の孔部 24は、後述する空気管路 38が嵌め込まれている。そして、この空気管路 33を 介して、後述する空気導入部 51に存在する空気を吸引し、または空気導入部 51に 空気を供給することを可能としている。このため、孔部 24は、ゴムシート 25で覆われ る状態となる。

[0045] なお、空気導入部 51は、図 4、図 6等においては、孔部 24のうち、ゴムシート 25と 開口部 39とで囲まれた部分となっている。し力、しながら、ゴムシート 25が上底面 64a 側に向かって膨張すると、空気導入部 51の領域も拡大され、孔部 24と開口部 39等 で囲まれる部分のみならず、載置部 22bの上面とゴムシート 25とで囲まれる部分も、 空気導入部 51となる。

[0046] また、以下の説明においては、シールリング 23、リング当接部 63、内径部 22aおよ びゴムシート 25によって囲まれる空間を、真空室 50とする。

[0047] また、載置部 22bには、孔部 24を覆うように、伸縮シート部材としてのゴムシート 25 が設けられている。このゴムシート 25は、その上面に、ワークとしてのウェハ 11が搭 載される部材である。後述するように、ゴムシート 25にウェハ 11が搭載された状態で 、ゴムシート 25を上側に膨らませると、ウェハ 11が後述するテープ部材 12に向かつ て上昇する。

[0048] ゴムシート 25は、例えばクロ口プレンといった、気泡の発生を低減できる材質によつ て構成されている。し力、しながら、ゴムシート 25の材質は、かかるクロ口プレンに限ら れるものではなぐ通常の天然ゴム又は合成ゴム等を用いても良い。なお、ゴムシート 25の好ましい材質としては、上述のクロ口プレンのような、気泡の発生を防ぐことがで きる材質である。

[0049] また、本実施の形態では、ゴムシート 25の上面に搭載されるウェハ 11は、その直径 力 S 12インチとなっている。しかしながら、ウェハ 11のサイズは特に限定されず、例え ば 8インチウェハ等、他のサイズであっても良い。なお、ウェハ 11のサイズを変更する 場合には、それに応じて他の部材 (ゴムシート 25、押さえリング 26等）のサイズも変更 されることになる。し力 ながら、例えば 8インチウェハ等の小さいサイズのウェハ 11 への接着に際して、 12インチのウェハ 11の接着に対応しているテープ接着装置 10 を利用しても良い。

[0050] 図 1および図 5に示すように、ゴムシート 25の上部であって外周縁部には、外観が 略リング状となっている、保持部材としての押さえリング 26が取り付けられている。押 さえリング 26は、ゴムシート 25を押さえつけるためのものである。この押さえリング 26 は、内径部 22aに対して、例えばネジ 26a (図 1参照）によって、その上方側から押さ えつけるものであって、周方向に沿って適宜の間隔で固定されている。なお、このネ ジ 26aによる固定に際しては、該ネジ 26aがゴムシート 25を貫通する状態となる。そ のため、ゴムシート 25に対して、予めネジ 26aの貫通孔に対応する孔を形成するよう にしても良い。

[0051] また、図 4に示すように、真空室 50を真空吸引するために、該真空室 50の内部に は、空気管路 33の端部側が配置されている。この空気管路 33の一端部 33aは、 4本 に分岐している（図 4は、断面図のため、 2本のみ表示）。そして、分岐している夫々 の空気管路 33の開口部 34が、図 4に示すように、真空室 50の内部に存在している。 なお、開口部 34は、本実施の形態では、図 1に示す平面図において、略 90度間隔と なるように配置されている。また、開口部 34は、シールリング 23の内部側である内径 部 22aであって押さえリング 26とシールリング 23の間に存在している。し力、しながら、 開口部 34の位置は、この部位には限られず、例えば押さえリング 26の上方に差し掛 力、る部位に設けても良い。

[0052] また、空気管路 33は、内径部 22aを貫通していて、本体部 20の下方において、ま たは本体部 20の外部において、分岐状態から 1つに合流している（図 4参照）。また、 空気管路 33の他端部 33bは、本体上面部 22の底壁 22cから下方に向かって突出し ている。そして、この他端部 33bに対して、管部材 35の一端部を接続し、該管部材 3 5の他端部 35bを真空ポンプ 36に接続する。それによつて、真空ポンプ 36が作動す ると、真空室 50を真空吸引することが可能となっている。

[0053] また、管部材 35の中途部分には、第 1の弁部材 37が設けられている。この第 1の弁 部材 37は、真空室 50の内部を真空吸引するために、真空ポンプ 36側と連通するよ うに切り替える（以下、この切り替えを、吸引側への切り替えという。）ことを可能として いると共に、大気導入側へ開放するように切り替える（図 3において突出管部 35a側 への切り替え；以下、この切り替えを、大気導入側への切り替えという。）ことも可能と なっている。第 1の弁部材 37の切り替えにより、管部材 35が大気導入側へ開放され ると、該管部材 35を介して、真空室 50の内部に、大気が導入される。また、第 1の弁 部材 37としては、例えば、ソレノイドにより開閉可能な、電磁弁を用いることが可能で あるが、モータ等の他の駆動源を用いて開閉する方式であっても良い。

[0054] また、真空ポンプ 36は、本実施の形態では、本体部 20の外部に設けられている。

し力 ながら、本体部 20の内部に、真空ポンプ 36を内蔵する構成を採用しても良い 。なお、この真空ポンプ 36、空気管路 33、管部材 35、第 1の弁部材 37等によって、 第 1の吸引手段が構成される。また、第 1の弁部材 37、空気管路 33、管部材 35、突 出管部 35a等によって、第 2の空気導入手段が構成される。

[0055] また、これらの真空ポンプ 36、および第 1の弁部材 37は、後述する制御装置 90に 接続されていて、該制御装置 90からの制御指令に対応した信号を受信した後に作 動する。

[0056] また、図 4および図 6に示すように、ゴムシート 25の裏面側に向力、うように、上述の空 気管路 33と同様の、空気管路 38が設けられている。この空気管路 38は、空気管路 3 3とは異なり、上述の孔部 24に揷通するように、 1本のみ設けられている。また、空気 管路 38の開口部 39は、該孔部 24の内部に存在している（図 6参照）。なお、本実施 の形態では、孔部 24が内径部 22aの中心に位置しているため、開口部 39も、内径 部 22aの中心に位置する構成となる。

[0057] また、上述の空気管路 33と同様に、空気管路 38の他端部 38bは、本体上面部 22 の底壁 22cから下方に向かって突出していると共に、この他端部 38bに対して、管部 材 40の一端側が接続されている。また、管部材 40の他端部は、真空ポンプ 36に接 続されている。それにより、真空ポンプ 36が作動すると、空気導入部 51を真空吸引 することを可肯 としてレ、る。

[0058] また、管部材 40の中途部分にも、第 2の弁部材 41が設けられている。この第 2の弁 部材 41も、上述の第 1の弁部材 37と同様に、真空ポンプ 36側と連通するように切り 替える（吸引側へ切り替える）ことを可能としていると共に、突出管部 40aを介して大 気導入側へ開放するように切り替えることが可能である。第 2の弁部材 41の切り替え により、管部材 40が大気導入側へ開放されると、該管部材 40を介して、空気導入部 51に、大気が導入される。また、第 2の弁部材 41も、制御装置 90に電気的に接続さ れている。

[0059] なお、真空ポンプ 36、第 2の弁部材 41、空気管路 38、管部材 40によって、第 2の 吸引手段が構成される。また、第 2の弁部材 41、空気管路 38、管部材 40、突出管部 40a等によって、空気導入手段が構成される。

[0060] さらに、図 4に示すように、本体部 20の内部には、上述の管部材 35, 40と同様な管 部材 42が設けられてレ、る。この管部材 42は、例えば本体部 20の後端側 (蝶番 61側 )に向かっていて、その一端側 42aが本体部 20の背面から突出している。なお、管部 材 42の一端側 42aに、管継手を取り付けるようにしても良レ、。管部材 42の一端側 42 aには、柔軟に曲がることが可能なホース 43の一端側 43aが連結されている。ホース 43は、本体部 20から上方の蓋体部 60側に向かって延伸していると共に、蝶番 61側 力、ら手前側（図 1および図 2に示す取手 73a側）に向かい蓋体部 60の上面側に沿つ て設けられている。そして、ホース 43の他端側 43bは、蓋体部 60の上面の径方向の 略中心部分において、後述する空気管路 67の一端側と連結されている。

[0061] このように、管部材 42と空気管路 67の間に、柔軟に曲がるホース 43が設けられて いるため、蓋体部 60の開閉（回動）に対応可能となっている。

[0062] また、管部材 42の中途部分には、上述した第 1の弁部材 37および第 2の弁部材 41 と同様の、第 3の弁部材 44が設けられている。第 3の弁部材 44も、真空ポンプ 36側と 連通するように切り替える（吸引側へ切り替える）ことを可能としていると共に、突出管 部 42bを介して大気導入側へ開放するように切り替えることが可能である。なお、管 部材 42が大気導入側へ開放されると、この管部材 42を介してテープ部材 12の裏面 側（図 4においてテープ部材 12の上面側）に大気が導入される。それにより、テープ 部材 12の保持状態が解除される。また、第 3の弁部材 44も、制御装置 90に電気的 に接続されている。

[0063] なお、真空ポンプ 36、管部材 42、ホース 43、第 3の弁部材 44、空気管路 67によつ て、第 3の吸引手段が構成される。また、後述する吸着部材 66、真空ポンプ 36、管 部材 42、ホース 43、第 3の弁部材 44、空気管路 67、挟持部材 70によって、テープ 保持手段が構成される。

[0064] ここで、本実施の形態では、上述のように、柔軟なホース 43を用いることにより、真 空ポンプ 36で生じる吸引力を蓋体部 60側に伝達すると共に、蓋体部 60の開閉（回 動）に対応させている。し力 ながら、真空ポンプ 36で生じる吸引力を蓋体部 60側に 伝達するための構成は、ホース 43を用レ、るものには限られない。例えば、真空吸引 するためのホース 43等の部材カ S、テープ接着装置 10から外部に突出していていな レヽ構成が望まれる場合もある。 [0065] このような場合には、例えば、蓋体部 60のリング当接部 63に蓋側開口を形成すると 共に、本体上面部 22のうち蓋側開口と対向する部位に本体側開口を形成する。これ らと共に、蓋側開口または本体側開口の少なくとも一方の周囲に、リング状のゴムシ ールを突出するように取り付ける。また、蓋側開口には、管部材の一端側を連結し、 該管部材の他端側を凹部 64に連通させる。また、本体側開口には、上述したのと同 様の空気管路を設ける。このようにすれば、蓋体部 60を閉じたときに、管部材と空気 管路とが接続される。また、ゴムシールがリング当接部 63と本体上面部 22の間に介 在して、蓋側開口と本体側開口の両者を気密に塞ぐ状態となる。

[0066] また、本体部 20と蓋体部 60とが対向する部位のうち、蝶番 61が存在する部位に、 折れ曲がり自在かつ伸縮自在な、蛇腹状の管継手を設け、この管継手を介して、本 体部 20の内部に設けられる管部材と、蓋体部 60の内部を進行する空気管路とを連 結するようにしても良い。

[0067] また、本実施の形態では、真空ポンプ 36は 1つのみ設けられている。また、第 1〜 第 3の弁部材 37, 41 , 44を大気導入側および吸引側に切り替えることによって、真 空室 50、空気導入部 51、およびテープ部材 12の裏面側（上面側）の少なくとも 1つ の真空吸引や大気圧化を可能としている。

[0068] し力 ながら、真空ポンプ 36は、 1つには限られるものではなぐ第 1の吸引手段、 第 2の吸引手段および第 3の吸引手段の夫々に対応させて、真空ポンプ 36を 2つま たは 3つ以上設けるように構成でしても良い。また、第 1の弁部材 37、第 2の弁部材 4 1および第 3の弁部材 44といった三方弁を用いずに、吸引側の弁部材及び大気導 入側の弁部材の両方を、夫々の管部材 35、管部材 40および管部材 42に設けるよう にしても良い。このようにしても、真空室 50、空気導入部 51およびテープ部材 12の 裏面側（上面側）の吸引 Z非吸引を良好に切り替えることができる。

[0069] さらに、図 3に示すように、本体部 20の側壁の外面には、真空計 45が取り付けられ ている。この真空計 45は、本実施の形態では、 2つ設けられている。し力、しながら、本 実施の形態では、管部材 35, 40， 42の個数に対応させて、 3つ設けるのが好ましい 。かかる真空計 45のうちの 1つは、真空室 50の内部の気圧を測定するためのもので ある（以下、必要に応じて真空計 45aという）。また、真空計 45のうちの他の 1つは、空 気導入部 51の気圧を測定するためのものである（以下、必要に応じて真空計 45bと いう。）。なお、かかる 2つの真空計 45a, 45bも、制御装置 90に接続されている。

[0070] また、本体上面部 22のうち、例えば後述する蝶番 61から最も離間している 2つのコ ーナ部分のうち、一方のコーナ部分 22d (図 1参照）には、センサ 46が設けられてい る。センサ 46は、例えば磁気センサを用いていて、本体部 20に対して蓋体部 60が、 所定だけ近接するまで閉じたか否かを検出するものである。なお、このセンサ 46も、 制御装置 90に接続されていて、この制御装置 90に対して蓋体部 60が閉じているか 否かの検出信号を送信する。そして、制御装置 90は、蓋体部 60が閉じている状態に 対応した検出信号を受信したときのみ、真空ポンプ 36等に対して作動に対応した信 号を送信する。

[0071] 次に蓋体部 60の構成について説明する。図 1、図 2および図 5に示すように、蓋体 部 60は、本体部 20に対して蝶番 61を介して接続されている。すなわち、蝶番 61を 支点として、蓋体部 60は回動可能となっている。また、図 1に示すように、蓋体部 60 には、 2つのダンパ部材 62の各一端側 62aが取り付けられている。また、ダンパ部材 62の各他端側 62bは、本体上面部 22に取り付けられている。このダンパ部材 62は、 伸縮自在となっていると共に、内部に存在する粘性体 (油等）の粘性抵抗によって、 急激に蓋体部 60が本体部 20に対して降下するのを防止している。

[0072] なお、ダンパ部材 62は、パネ部材（不図示)も内蔵していて、蓋体部 60が開いた状 態（例えば、図 7 (a)に示す状態）を維持可能となっている。し力しながら、蓋体部 60 が開いた状態を維持する必要がない場合には、パネ部材を省略する構成としても良 レ、。

[0073] また、図 3及び図 4に示すように、蓋体部 60のうち、本体部 20のシールリング 23に 当接する部分は、リング当接部 63となっている。リング当接部 63は、シールリング 23 との当接によって、真空室 50を密閉する。なお、力、かる密閉を良好にするために、リ ング当接部 63は、本実施の形態では同一平面をなす、平板状の部分から構成され ている。

[0074] 図 3〜図 5に示すように、蓋体部 60のうち、本体部 20と対向する対向面であって、リ ング当接部 63よりも内径側の部位には、凹部 64が形成されている。この凹部 64は、 リング当接部 63よりも窪んだ状態に形成されている。この凹部 64は、上述の内径部 2 2aに対応する大きさを有している。このため、蓋体部 60を閉じて、シールリング 23が リング当接部 63に当接する密閉状態となると、この凹部 64、シールリング 23、内径部 22a,およびゴムシート 25で囲まれた空間が出現する。そして、この空間が、真空室 5 0となる。

[0075] また、凹部 64のうち、上方に位置する底面（以下、上底面 64aという。）は、ゴムシー ト 25が膨張する際に、テープ部材 12の周縁部が上方へ移動するのを押さえる（受け 止める）部分となる。このため、凹部 64は、テープ部材 12の周縁部を受け止めて、該 テープ部材 12のウェハ 11に対する接着を良好に行える深さに設定されている。

[0076] 凹部 64には、嵌合凹部 65が設けられている。嵌合凹部 65は、凹部 64から上面側 に向かって窪んでいる部位であり、また凹部 64よりも小径に設けられている。この嵌 合凹部 65には、例えば多孔質セラミックスのような、多孔質の材質からなる吸着部材 66が嵌め込まれる。力かる吸着部材 66を介して、テープ部材 12は、吸引保持される 。なお、吸着部材 66は、嵌合凹部 65への嵌め込みに対応して、該嵌合凹部 65より 僅かに小さな寸法を有してレ、る。

[0077] また、図 4および図 6に示すように、蓋体部 60には、空気管路 67が設けられている 。空気管路 67は、その断面形状が略 L字を為すように設けられている。それにより、 空気管路 67の一端側は、蓋体部 60の上面に沿う状態で設けられると共に、空気管 路 67の他端側は、蓋体部 60を貫いて、嵌合凹部 65に到達する状態で設けられてい る。なお、空気管路 67の他端側のうち、嵌合凹部 65に対して開口している部分を、 開口部 68とする。また、本実施の形態では、蓋体部 60の上面には、固定部材 67aが 設けられていて、空気管路 67は、この固定部材 67aを介して、蓋体部 60の上面に取 り付けられている。

[0078] ここで、嵌合凹部 65には、該嵌合凹部 65の上底面 65aよりも僅かに窪んだ窪み部 69が設けられるようにするのが好ましい。この場合、窪み部 69は、嵌合凹部 65の直 径よりも小さい直径を有する形状とし、吸着部材 66の外周部分を窪み部 69以外の嵌 合凹部 65の上底面 65aで受け止めるようにする。かかる窪み部 69が存在する場合、 窪み部 69と吸着部材 66の間で生じている負圧力 大面積化される。そのため、吸着 部材 66は、ウェハ 11に対して大面積の状態で吸着可能となる。

[0079] また、図 3、図 5および図 8に示すように、嵌合凹部 65の外側であって、凹部 64の内 部には、テープ部材 12の隅部を固定するための挟持部材 70が設けられている。図 5 に示すように、挟持部材 70は、板パネ 71を具備し、この板パネ 71の一端側がネジ 7 2によって凹部 64に取り付けられている。また、板パネ 71の他端側は、付勢力によつ て上底面 64aに押し付けられている力 板パネ 71の他端側は、板パネ 71の付勢力 に抗しながら開放可能となっている。なお、本実施の形態では、挟持部材 70は、凹 部 64の周方向において、略 90度間隔で 4つ設けられている。

[0080] また、蓋体部 60の側壁部分であって蝶番 61と対向する部分には、取手 73aが取り 付けられている。そのため、作業者は取手 73aを把持して蓋体部 60を容易に開閉す ること力 Sできる。なお、本体部 20の側壁部分には、相対向するように 2つずつ、計 4つ の取手 73bが設けられている。この取手 73bを持つことで、テープ接着装置 10を容 易に移動させること力 Sできる。

[0081] また、図 2、図 8および図 9に示すように、テープ接着装置 10には、開閉ロック手段 としてのロック機構 80が設けられている。ロック機構 80は、本体部 20側に取り付けら れているブロック部 81を具備している。このブロック部 81には、ネジ孔 82が設けられ ていて、該ネジ孔 82には、レバー部材 83のネジ部 84が捻じ込まれる。また、レバー 部材 83は、ネジ部 84と、このネジ部 84の軸線からずれる方向に向かって突出する把 持部 85と、を具備している。

[0082] このうち、ネジ部 84には、ネジ孔 82と螺合するためのネジ山が形成されている。こ のネジ部 84には、クランプ部材 86が挿通される。また、把持部 85は、作業者が把持 する部分であり、力、かる把持によりレバー部材 83を回転させることが可能となる。

[0083] ネジ部 84に揷通されるクランプ部材 86は、直方体部材であり、ネジ部 84に対して 回動自在に設けられている。このクランプ部材 86の長手は、蓋体部 60の側縁方向に 対して垂直を為す配置にすることができ、その場合には、蓋体部 60の上部にクラン プ部材 86が差し掛かって、蓋体部 60の開放が阻止される。また、クランプ部材 86の 長手が蓋体部 60の側縁方向に対して平行を為す配置にすることもでき、その場合に は、蓋体部 60の上部にクランプ部材 86が差し掛からなぐ蓋体部 60の開放を許容 する状態となる。

[0084] なお、本実施の形態では、蓋体部 60のうち、クランプ部材 86と対向する部位には、 ボルト 87が取り付けられていて、力かるボルト 87に対してクランプ部材 86が当接する 構成となっている。

[0085] また、図 4に示すように、テープ接着装置 10には、制御手段としての制御装置 90が 設けられている。制御装置 90は、上述したように、真空ポンプ 36、第 1〜第 3の弁部 材 37, 41 , 44、真空計 45、センサ 46に対して電気的に接続されている。この制御装 置 90には、オン作動を行うための操作ボタン（不図示）が連結されている。このため、 センサ 46がオン作動を許可する蓋体部 60の閉塞状態において、作業者が操作ボタ ンを押すと、真空ポンプ 36が作動する。

[0086] ここで、制御装置 90は、初めに第 2の弁部材 41および第 3の弁部材 44を吸引側に 切り替えると共に、第 1の弁部材 37を大気導入側に切り替えた状態を維持して、所定 時間だけゴムシート 25およびウェハ 11の真空吸引を行うように、第 1〜第 3の弁部材 37, 41， 44の夫々に対して制御信号を発する。そして、所定時間経過後に、第 1の 弁部材 37に対して制御信号を発し、第 1の弁部材 37を大気導入側から吸引側に切 り替えて、真空室 50に対しても、真空吸引を行う。

[0087] また、制御装置 90は、真空室 50および空気導入部 51が、所定の真空度に到達し たことがセンサ 46によって計測された場合に、第 2の弁部材 41に対して、大気導入 側に切り替えるための制御指令を発する。それによつて、ゴムシート 25が膨張し、ゥ ェハ 11とテープ部材 12との間の接着が開始される。さらに、この状態から所定時間 経過して接着が終了した後に、制御装置 90は、第 1の弁部材 37に対して大気導入 側に切り替えるための制御指令を発する。力かる切り替えにより、真空室 50および空 気導入部 51の両方とも、大気圧と等しい状態となり、接着動作が終了する。

[0088] さらに、制御装置 90は、真空ポンプ 36を逆回転させると共に第 1の弁部材 37また は第 3の弁部材 44を吸引側と同じ側に切り替える。それにより、真空室 50の内部に 空気が加圧状態で導入される。なお、真空ポンプ 36を逆回転させる構成を採用せず に、真空ポンプ 36の吐出側に接続されている管部材、および真空ポンプ 36の流入 側に別途接続されている大気を導入可能な管部材との間の接続を切り替える等によ り、真空室 50の内部の加圧状態を実現するように構成しても良い。

[0089] なお、上述の所定の真空度としては、約 20Pa程度とする場合が、その一例として挙 げられる。し力 ながら、所定の真空度はこれに限られるものではなぐ大気圧よりも 低い状態であれば、どのような真空度であっても良い。また、制御装置 90は、接着が 終了した後には、第 1の弁部材 37を大気導入側に切り替える作動と共に、真空ボン プ 36を停止させるように、真空ポンプ 36に対して制御指令を発するように構成しても 良レ、。し力 ながら、この場合には、真空ポンプ 36を動作継続させる場合と比較して 、次の真空吸引の際の吸引時間が、多少長くなる。

[0090] 以上のような構成を有するテープ接着装置 10の作用（動作）について、以下に説 明する。なお、この作用（動作）については、図 10に示す動作フローに基づいて、実 行される。

[0091] 最初に作業者は、蓋体部 60を開放させ、ゴムシート 25にウェハ 11を載置すると共 に、テープ部材 12を挟持部材 70に取り付ける（ステップ S 10)。この場合、テープ部 材 12が板パネ 71と上底面 64aとによって挟持される状態とする。それにより、テープ 部材 12の裏面は、吸着部材 66に当接する状態となると共に、テープ部材 12の粘着 面 (表面）が、下方を向く状態となる。

[0092] なお、挟持部材 70によりテープ部材 12を取り付けた場合、真空ポンプ 36を作動さ せるようにしても良レ、。真空ポンプ 36を蓋体部 60の開放状態において作動させた場 合には、管部材 42、空気管路 67を介して吸引保持力が吸着部材 66に伝達される。 それにより、テープ部材 12が吸着部材によって吸引保持される状態となる。そして、 このテープ部材 12の吸引保持によって、蓋体部 60の開放状態において、テープ部 材 12にしわが存在しない状態となる。

[0093] 次に、センサ 46によって蓋体部 60が閉じたことが検出されるまで、蓋体部 60を本 体部 20に対して降下させる（ステップ Sl l)。そして、センサ 46がこの降下による蓋体 部 60の閉塞状態を検出したか否かを、制御装置 90は判断する（ステップ S12)。そし て、センサ 46が閉塞状態を検出した場合には、制御装置 90は真空ポンプ 36の作動 を許可する。この状態において、作業者が操作ボタンを押したときに、真空ポンプ 36 が作動を開始する。 [0094] また、蓋体部 60が閉じ状態となった後に、作業者は、クランプ部材 86を回転させて 、該クランプ部材 86の先端部分が蓋体部 60の上面に差し掛カる状態とする。この後 に、作業者がレバー部材 83を把持し、該レバー部材 83を閉じ方向に回転させ、クラ ンプ部材 86の下面をボルト 87に当接させる。この当接状態において、さらにレバー 部材 83を閉じ方向に回転させると、蓋体部 60は、クランプ部材 86によって押され、リ ング当接部 63がシールリング 23に押し付けられる。なお、レバー部材 83を回転させ る場合、全てのレバー部材 83を順次少しずつ回転させていき、ロック状態に偏りが生 じなレ、ようにするのが好ましレ、。

[0095] そして、所定だけレバー部材 83を閉じ回転させると、リング当接部 63によりシールリ ング 23が押圧されて弾性変形し、真空室 50の内部が外部から気密に閉塞される状 態となる（ステップ S13)。このように、ロック機構 80により蓋体部 60の開放をロックす ると、真空室 50の内部が加圧されても、蓋体部 60が持ち上がって開放することがなく 、真空室 50を外部から封止することができる。

[0096] 次に、作業者が操作ボタンを押すと、制御装置 90がその押し込みを検知して、真 空ポンプ 36に対して作動のための指令を発する。それにより、真空ポンプ 36が作動 して、真空室 50、テープ部材 12およびゴムシート 25の真空吸引を行う（吸引ステップ に対応）。なお、蓋体部 60の開放状態において、テープ部材 12の吸引保持が為さ れている場合には、この吸引保持が継続される状態となる。また、上述の真空ポンプ 36の作動に際しては、初めは第 2の弁部材 41および第 3の弁部材 44を吸引側に切 り替えると共に、第 1の弁部材 37を大気導入側に切り替えて、テープ部材 12および ゴムシート 25の真空吸引を先に行う（ステップ S14)。

[0097] そして、力かるテープ部材 12およびゴムシート 25の真空吸引を所定時間行った後 に、第 1の弁部材 37を大気導入側から吸引側に切り替えて、テープ部材 12およびゴ ムシート 25と共に、真空室 50の真空吸引行う（ステップ S15)。

[0098] 所定時間、真空ポンプ 36が真空吸引を行うと、真空室 50およびゴムシート 25の裏 面側が、所定の真空度に達したことが、真空計 45によって検出される (ステップ S16 ; 真空度到達検出ステップに対応)。力かる真空計 45が所定の真空度を検出すると、 所定の検出信号を制御装置 90に対して送信する。すると、制御装置 90は、真空ボン プ 36の作動を維持したままで、第 2の弁部材 41を大気導入側に切り替える（ステップ S 17 ;空気導入ステップに対応)。それによつて、空気導入部 51には、突出管部 40a を介して大気が導入される。

[0099] 空気導入部 51に大気が導入されると、真空室 50と空気導入部 51に存在する圧力 差によって、ゴムシート 25が真空室 50側に向かって膨張する。この場合、ゴムシート 25の膨張によってウェハ 11が持ち上げられ、該ウェハ 11の上面がテープ部材 12に 接触する。そして、ウェハ 11の上面に対して、テープ部材 12の接着が開始される（ス テツプ S 18；接着ステップに対応)。

[0100] ここで、ウェハ 11の上面とテープ部材 12との間における、接着の態様には、図 11 ( a) , (b)に示すような、 2通りがある。まず、その 1通り目としては、図 11 (a)に示すよう な、ウェハ 11がテープ部材 12に対して傾斜せずに平行な状態を維持して、該ウェハ 11の上面の略中央部分から、テープ部材 12に接着する場合である。

[0101] この場合には、ウェハ 11がゴムシート 25の膨張により持ち上げられると、吸着部材 66での保持により弛みが解消されてレ、るテープ部材 12に対して、ウェハ 11の中央 部分から接触する。この接触状態から、さらにゴムシート 25が膨張する場合、ゴムシ ート 25の中央部分は、ウェハ 11の中央部がテープ部材 12に触れるため、これ以上 移動できないが、引き続きゴムシート 25の周辺側が、膨張により上方へ移動して、ゥ ェハ 11をテープ部材 12に順次接触させてゆく。

[0102] このため、ウェハ 11は、ゴムシート 25が膨張するにつれて、周辺部の撓みがなくな り、テープ部材 12に対し、中心側から周辺側に向かって順次接着が進行する。なお 、この状態のまま、所定時間経過すると、ウェハ 11とテープ部材 12との間の接着力、 確実に実行された状態となる。

[0103] 以上のような接着態様では、ウェハ 11 (テープ部材 12)の中央部分から外方に向 かって、空気を逃がしながら、ウェハ 11の上面とテープ部材 12との間の接着が実行 される。なお、この接着態様においては、真空ポンプ 36は、真空室 50側を真空吸引 している状態を継続している。このため、上述の接着態様と相俟って、ウェハ 11の上 面とテープ部材 12との間に存在する空気が排除されることによって、ウェハ 11とテー プ部材 12との接着が、良好な状態で為される。 [0104] また、接着の態様の 2通り目としては、図 11 (b)に示すような、ウェハ 11がテープ部 材 12に対して傾斜した状態で、該傾斜してレ、るウェハ 11のうちの最も高レ、部分 (以 下、上端とする。）から、テープ部材 12に接着する場合である。この場合には、まず傾 斜しているウェハ 11のうち、上端からテープ部材 12に対する接着が開始される。つ まり、ウェハ 11がゴムシート 25の膨張に伴なつて持ち上げられると、吸着部材 66で の保持により弛みが解消されているテープ部材 12に対して、ウェハ 11のうち上端か ら接着が開始される。

[0105] ここで、テープ部材 12は吸着部材 66によって保持されているため、テープ部材 12 力 Sウェハ 11により押されても、テープ部材 12は上方に移動しなレ、。そのため、ゴムシ ート 25が徐々に膨張すると、ウェハ 11のうちテープ部材 12への接触部分（上端部分 )を支点としつつ、ウェハ 11の傾斜角度が徐々に狭まる状態で、該ウェハ 11が持ち 上げられる。そして、このウェハ 11の持ち上げは、ウェハ 11の傾斜角度がゼロとなる まで実行される。なお、ウェハ 11の傾斜角度がゼロとなって所定時間経過すると、ゥ ェハ 11とテープ部材 12との間の接着力、確実に実行された状態となる。

[0106] 以上のような接着態様では、ウェハ 11 (テープ部材 12)の上端から、他方側の端部 に向かって、空気を逃がしながら、ウェハ 11の上面とテープ部材 12との間の接着が 実行される。なお、この接着態様においても、真空ポンプ 36は、真空室 50側を真空 吸引している状態を継続している。このため、上述の接着態様と相俟って、ウェハ 11 の上面とテープ部材 12との間に存在する空気が排除されることによって、ウェハ 11と テープ部材 12との接着が、良好な状態で為される。

[0107] 以上のようにして、制御装置 90は、第 1の弁部材 37の吸引側への切り替え状態を 継続したまま、第 2の弁部材 41の大気導入側への切り替えを、所定時間継続させる（ ステップ S 19)。それによつて、ウェハ 11とテープ部材 12との間の接着が実行された 状態となる。

[0108] なお、ウェハ 1 1に対してテープ部材 12が接着される際に、空気管路 38と空気管路 67を介して同時に真空排気されるため、最終的には真空室 50とテープ部材 12の裏 面側とが、同一の圧力となる。このため、真空吸引が進行すると、テープ部材 12は、 吸着部材 66から容易に離れる状態となる。 [0109] ステップ SI 9において、制御装置 90が所定時間経過したと判断した場合には、制 御装置 90は、真空ポンプ 36を逆回転させると共に、第 3の弁部材 44を真空吸引と同 じ側 (加圧側）に切り替える。同時に、第 1の弁部材 37および第 2の弁部材 41を閉じ るようにする。

[0110] それにより、テープ部材 12が吸着部材 66から離れると共に、真空室 50には、空気 管路 67を介して空気が加圧状態で導入される。この場合、まず真空室 50の真空吸 引の解除により、ゴムシート 25の膨張が解除され、ゴムシート 25が載置部 22bに載置 される状態となる。次に、真空室 50は、大気圧よりも高い加圧状態となり、テープ部 材 12は、ウェハ 11に向かって押し付けられ、加圧される（ステップ S20 ;加圧ステップ に対応）。かかる加圧により、テープ部材 12とウェハ 11との間の密着性が高められる

[0111] なお、本実施の形態では、加圧によりテープ部材 12等に付与される圧力は、 1cm² 当たり 4〜5kg程度となっている。また、第 3の弁部材 44のみならず、第 1の弁部材 3 7を真空吸引と同じ側 (加圧側）に切り替えるようにしても良い。この場合、空気管路 6 7を介してのみならず、空気管路 33を介しても、真空室 50に対して加圧状態で空気 が導入される。

[0112] また、真空ポンプ 36を第 1〜第 3の弁部材 37, 41 , 44の個数分だけ設ける場合、 第 1の弁部材 37と第 3の弁部材 41が接続される真空ポンプ 36のうち少なくとも一方 を逆回転させて真空室 50の内部を加圧する。また、第 2の弁部材 41を大気導入側 に切り替えると共に真空ポンプ 36を停止させる力、または第 2の弁部材 41を真空吸 引側に切り替えると共に真空ポンプ 36を正回転させて空気導入部 51を真空吸引す る。このようにすれば、ウェハ 11に対してテープ部材 12を良好に密着させることがで きる。

[0113] 真空室 50における加圧状態が所定時間経過したと、制御装置 90が判断した場合 、制御装置 90は真空ポンプ 36の作動を停止させ、第 1〜第 3の弁部材 37， 41 , 44 を大気導入側に切り替える（ステップ S21)。それによつて、テープ部材 12の裏面側、 真空室 50および空気導入部 51は、大気圧となり、上述の加圧状態が解除される。

[0114] なお、上述のステップ S21において、第 1〜第 3の弁部材 37， 41， 44を大気導入 側に切り替えた場合、真空ポンプ 36の作動は継続したままの状態を維持している。 それによつて、次のウェハ 11に対する接着作業に、素早く対応可能となっている。し 力しながら、力かる作動を停止させるようにしても良い。

[0115] その後に、作業者はレバー部材 83を開き方向に回転させて、蓋体部 60を開放させ る。そして、作業者は、挟持部材 70によるテープ部材 12の保持を解いて、テープ部 材 12が接着された状態のウェハ 11を取り出す (ステップ S22)。以上のようにして、ゥ ェハ 11の上面に対するテープ部材 12の接着が終了する。

[0116] なお、ウェハ 11の上面に対するテープ部材 12の接着が終了した以後は、例えば ダイシングプロセスとレ、つた、次工程に進行する。

[0117] このような構成のテープ接着装置 10によれば、ゴムシート 25の膨張を利用して、ゥ ェハ 11の上面にテープ部材 12を接着させることができる。このため、簡易な構成で ありながら、大気圧と真空状態との間の圧力差によって、確実にウェハ 11の上面に テープ部材 12を接着させることができる。特に、ゴムシート 25を用いていることにより 、テープ部材 12に対してウェハ 11が、いわゆる片当たりの状態で接触したとしても、 ゴムシート 25の弾性変形によって、容易にウェハ 11の姿勢を持ち直すことができる。 このため、ウェハ 11の上面に対するテープ部材 12の接着性を、良好とすることがで きる。

[0118] また、上述のテープ接着装置 10を用いた場合、真空室 50の内部を加圧することが できる。このため、ウェハ 11とテープ部材 12との間における密着性を一層高めること ができ、ウェハ 11とテープ部材 12との間の接着を、一層確実にすることができる。こ のため、テープ部材 12がウェハ 11から簡単に剥離するのを防ぐことができる。

[0119] また、ゴムシート 25の上面に、ウェハ 11を載置している。このため、ゴムシート 25の 弛みの影響を除去することができる。このように、弛みの影響が除去されるので、ゴム シート 25に大きな張力を付与する構成を備えなくて済み、構成の簡略化を図ることが できる。また、ゴムシート 25に付与する張力が小さくて済むので、テープ接着装置 10 を製造する作業者の工数を削減することができる。また、ゴムシート 25を押さえリング 26で押さえつける際に、気密性を向上させることができる。

[0120] さらに、ゴムシート 25の膨張を利用するため、ウェハ 11を上方のテープ部材 12へ 移動させる特別な構成を要さずに済む。このため、簡易な構成で、ウェハ 11をテー プ部材 12に向けて（上方へ向けて)移動させることができる。

[0121] また、テープ部材 12は、吸着部材 66によって吸着保持される。そのため、例えばテ ープフレームといった、テープ部材 12を張設するための部材、および張設するため の部材を支持するための手段を別途設ける必要がなくなり、凹部 64の内部に存在す る構成を簡略化することができる。また、テープ部材 12は吸着部材 66によって吸着 保持されるため、テープ部材 12に対して張力を加える必要がなぐ張力負荷によつ てテープ部材 12が伸びてしまうのを防止することができる。また、テープ部材 12を保 持する際に、該テープ部材 12が張設されないため、テープ部材 12に対して張力を 加えずに済む。このため、ウェハ 11に接着されたテープ部材 12に、張力に対応した 収縮が生じるのを防ぐことができ、テープ部材 12の接着状態を良好にすることが可 能となる。

[0122] また、吸着部材 66は、多孔質セラミックスから構成されている。このため、テープ部 材 12の全面に亘つて確実に、かつ均一に吸着保持することができる。それによつて、 テープ部材 12に弛みが生じるのを防ぐことができる。

[0123] さらに、テープ部材 12は、挟持部材 70によって挟持される。それにより、真空室 50 の内部が真空吸引され、テープ部材 12の表面と裏面とで圧力差が生じなくなっても 、テープ部材 12が吸着部材 66から落下するのを防ぐことができる。それにより、ゥェ ハ 11に対して、テープ部材 12を良好に接着させることができる。

[0124] また、蓋体部 60と本体部 20の間には、ロック機構 80が設けられている。このロック 機構 80を用いて、蓋体部 60の開放をロックすると、真空室 50の内部が加圧されても 、蓋体部 60が持ち上がって開放するのを防ぐことができる。それにより、真空室 50を 外部から封止することができ、加圧状態を継続することができる。

[0125] さらに、制御装置 90は、真空ポンプ 36、第 1〜第 3の弁部材 37， 41 , 44、真空計 4 5、センサ 46に接続されていて、これらの作動を制御することができる。特に、制御装 置 90は、真空ポンプ 36を作動させて、真空室 50および空気導入部 51の真空吸引 を行い、この真空吸引の後に、第 2の弁部材 41を大気導入側に作動させて、空気導 入部 51に大気を導入している。それによつて、ゴムシート 25を真空室 50側に向かつ て膨張させることができ、弛みを除去したゴムシート 25の膨張を利用して、ウェハ 11 の上面に対して、確実にテープ部材 12を接着させることが可能となる。

[0126] また、制御装置 90は、真空室 50および空気導入部 51の真空吸引を行うに際して、 第 1の弁部材 37を大気導入側に切り替えると共に、第 2の弁部材 41を真空吸引側に 切り替えて、先に空気導入部 51の吸引排気を行っている。このため、真空室 50に対 して空気導入部 51の圧力が最初は低下する。そのため、ゴムシート 25は、載置部 2 2bに向かって押し付けられ、先に真空室 50側に向かって膨張するのが防止される。 それによつて、第 2の弁部材 41が大気導入側に切り替え作動される前の段階で、ゥ ェハ 11とテープ部材 12とが接着されてしまうのを防ぐことができる。

[0127] また、制御装置 90は、第 2の弁部材 41を大気導入側に切り替えて所定時間経過し た後に、真空ポンプ 36を逆回転させると共に、第 3の弁部材 44を真空吸引と同じ側（ 加圧側）に切り替えるように制御している。それにより、真空室 50には、空気管路 67 を介して空気が加圧状態で導入され、テープ部材 12は、ウェハ 11に向かって押し付 けられる。それによつて、ウェハ 11に対するテープ部材 12の接着性 (密着度）を高め ること力 Sでき、テープ部材 12がウェハ 11から簡単に剥離するのを防ぐことができる。

[0128] 以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変 形可能となっている。以下、それについて述べる。

[0129] 上述の実施の形態では、ゴムシート 25の上面にウェハ 11を載置している。しかしな がら、力かるゴムシート 25の上面に、例えば樹脂を材質とするシート状部材を載置し 、このシート状部材の上部に、ワークを載置するようにしても良レ、。このようにすれば、 ゴムシート 25がこすれる等によって生じる、ワークに対する塵埃の付着を防止するこ とができ、後の洗浄処理装置を用いた洗浄工程等を削減することが可能となる。

[0130] また、上述の実施の形態では、シールリング 23を本体上面部 22に取り付けている。

し力 ながら、シールリング 23は、蓋体部 60側に取り付けるようにしても良レ、。このよう に構成した場合には、本体上面部 22にリング当接部が設けられることになる。

[0131] さらに、上述の実施の形態では、伸縮シート部材として、ゴムシート 25を用いた場 合について説明している。し力 ながら、伸縮シート部材は、ゴムシート 25に限られる ものではなく、例えばエラストマ一樹脂等の樹脂を材質とする等、ゴム材質以外の材 質力 構成されていても良い。また、上述の実施の形態では、保持部材として、押さ えリング 26を用いる場合について説明している。し力 ながら、保持部材は押さえリン グ 26に限られるものではなぐ例えば内径部 22aに塗布する接着剤等の接着性を有 する材質を、保持部材として用いても良い。また、保持部材の形状は、リング状に限 られるものではなぐ外径が多角形をなすリング形状等、種々の形状を採用すること が可能である。

[0132] また、上述の実施の形態では、テープ保持手段が吸着部材 66を有し、この吸着部 材 66によってテープ部材 12を吸着保持する場合について説明している。し力 なが ら、テープ部材 12を保持するための構成は、これには限られなレ、。例えば、リング状 のテープフレームを用レ、て、テープ部材 12を張設する構成を採用しても良レ、。

[0133] また、本実施の形態では、テープ部材 12を吸着保持するために、多孔質セラミック スを材質とする吸着部材 66を用いている力 吸着部材は、多孔質体であればどのよ うな材質であっても良い。多孔質体の他の例としては、スポンジ体が挙げられる。

[0134] また、制御手段としては、予め制御条件が設定されているものでも良ぐ作業者側 で任意に制御条件を設定可能な構成でも良い。さらに、シール部材は、本体部 20と 蓋体部 60との間を気密に閉塞できる構成であれば、どのような形状 ·構成であっても 良い。

[0135] また、ワークとしては、ウェハ以外に液晶等のガラス基板や特殊ガラス材、有機 EL 用のガラス基板等を採用しても良い。また、上述の実施の形態では、真空化後に大 気（空気）を導入している力 空気以外のもの、例えばアルゴンガス等を導入して、加 圧する状態としても良い。

[0136] また、上述の実施の形態では、開閉ロック手段として、ロック機構 80を用いた場合 について説明している。し力 ながら、開閉ロック手段は、ロック機構 80には限られな レ、。例えば、本体部 20側に差込穴を設けると共に、蓋体部 60側にパネによる付勢力 を受けながら回動する爪部を設け、蓋体部 60を閉じた場合に爪部が差込穴に嵌まり 込むようにし、爪部の差込穴の内部での係止によって、蓋体部 60の開放がロックされ るように構成しても良い。また、開閉ロック手段を省略する構成を採用しても良い。

[0137] また、テープ部材 12は、上述の実施の形態のものには限られず、 UV硬化型テー プ、偏光フィルム、保護シート、透明電極等、ワークの表面に接着可能であれば、種 々のものを用いることができる。

[0138] また、上述の実施の形態において、テープ接着装置 10の内部にワークの表面に接 着されているテープ部材 12を剥離させるための剥離機構を設けるようにしても良い。 この場合、例えば蓋体部 60または本体部 20の内部に、テープ部材 12を剥がすため の剥離機構としての吸引保持機構、またはテープ部材 12の端部を摘んで剥がす等 の機構を、テープ接着装置 10の内部に設けるようにしても良い。また、吸引保持機構 を設ける場合、上述した真空ポンプ 36の吸引を利用する構成を採用しても良い。

[0139] このような剥離機構を具備することにより、真空吸引されるテープ接着装置 10の内 部において、テープ部材 12を剥がすことができる。そのため、テープ剥がしが為され るに際して、ガラス基板の表面に埃が付着するのを防ぐことができる。特に、現状では 、クリーンノレーム内でテープ部材 12を剥離させても、ワークの表面に埃が付着するの を防止することが困難であるが、本実施の形態のテープ接着装置 10を利用する場合 、真空内部においてテープ部材 12の剥離が為されるため、ワークに埃が付くのを、 一層確実に防ぐことができる。

[0140] また、別途、ウェハ 11やガラス基板にテープ部材 12を接着した後に、テープ部材 1 2を切断するための機構を、テープ接着装置 10の内部に設けるようにしても良い。

[0141] また、上述の実施の形態におけるテープ接着装置 10は、加圧を行える蓋体部 60 を具備している。し力しながら、テープ接着装置は、かかる蓋体部 60と、空気管路 67 等を具備せずに加圧を行えないタイプの蓋体部とを容易に交換可能としても良い。

[0142] さらに、上述の実施の形態においては、吸着部材 66は、多孔質セラミックスから構 成されている。この場合において、多孔質セラミックスを別途加熱する機構を設け、該 吸着部材 66にセラミックスヒータといった、加熱のための機能を持たせるようにしても 良レ、。この場合には、テープ部材 12が加熱されるため、テープ部材 12のウェハ 11に 対する接着性 (粘着性）が良好となる。このため、テープ部材 12をウェハ 11に対して 一層強固に接着させることが可能となる。

産業上の利用可能性

[0143] 本発明のテープ接着装置およびテープ接着方法は、ウェハを用いた半導体集積 回路の製造過程や液晶を用いた液晶表示装置の製造過程において利用することが できる。すなわち、半導体製造産業等において利用することができる。また、ガラス基 板を用いたディスプレイの製造産業等において利用することもできる。

Claims

請求の範囲

[1] テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、

上面に上記ワークが載置される伸縮シート部材と、

上記伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切ら れる真空室と、

上記伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切ら れる空気導入部と、

上記伸縮シート部材の下面側であって上記空気導入部と干渉しない部位に位置 すると共に、上記伸縮シート部材が載置される載置部と、

上記真空室に対して空気の導通を防止する状態で上記伸縮シート部材を保持す る保持部材と、

上記伸縮シート部材に載置される上記ワークの上部で上記テープ部材を保持させ るテープ保持手段と、

上記真空室の内部を真空吸引する第 1の吸引手段と、

上記空気導入部を真空吸引する第 2の吸引手段と、

上記空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、

上記真空室の内部に空気を加圧状態で導入する加圧手段と、

を具備することを特徴とするテープ接着装置。

[2] 前記第 1の吸引手段、前記第 2の吸引手段、前記空気導入手段および前記加圧手 段の作動を制御する制御手段を具備すると共に、

この制御手段は、

前記第 1の吸引手段および前記第 2の吸引手段を作動させて、前記真空室および 前記空気導入部の真空吸引を行レ、、

上記真空吸引の後に、前記空気導入手段を作動させて前記空気導入部に空気を 導入し、

この空気の導入によって、前記伸縮シート部材を前記真空室の内部に向けて膨張 させ、

前記伸縮シート部材の膨張によって、前記ワークを前記テープ部材に向かって持 ち上げて前記テープ部材に接着させ、

前記テープ部材の接着後に、前記加圧手段を作動させて前記真空室の内部に空 気を加圧状態で導入する、

ことを特徴とする請求項 1記載のテープ接着装置。

[3] 前記制御手段は、前記真空室および前記空気導入部の真空吸引を行うに際して、 先に前記第 2の吸引手段を作動させ、後に前記第 1の吸引手段を作動させることを 特徴とする請求項 2記載のテープ接着装置。

[4] 前記テープ接着装置は、本体部と、この本体部に対して開閉自在に設けられてい る蓋体部とを有していて、

上記蓋体部を上記本体部に対して閉じた場合に、上記蓋体部と上記本体部との間 を気密に閉塞するシール部材を、これら蓋体部と本体部との境界部分に設けると共 に、

上記蓋体部の閉塞状態において、この蓋体部と前記伸縮シート部材との間に、前 記真空室が形成される、

ことを特徴とする請求項 1から 3のいずれ力 1項に記載のテープ接着装置。

[5] 前記テープ保持手段は、前記テープ部材を吸着する吸着部材を備えると共に、こ の吸着部材に対して前記テープ部材を真空吸引する吸引保持力を与える第 3の吸 引手段を備えることを特徴とする請求項 1から 4のいずれ力 1項に記載のテープ接着 装置。

[6] 前記蓋体部は、この蓋体部の閉塞状態において上方に向かって窪んでいる凹部を 有すると共に、この凹部の上底面には、前記吸着部材が嵌め込まれていて、前記伸 縮シート部材の膨張による前記ワークおよび前記テープ部材の上方へ向力 移動を 、前記吸着部材によって上方から押さえることを特徴とする請求項 5記載のテープ接 着装置。

[7] 前記吸着部材は、多孔質セラミックを材質としてレ、ることを特徴とする請求項 5また は 6記載のテープ接着装置。

[8] 前記テープ保持手段は、前記吸着部材と共に、前記テープ部材の端部を挟持する 挟持部材を具備することを特徴とする請求項 5から 7のいずれ力 4項に記載のテープ 接着装置。

[9] 前記蓋体部と前記本体部の間には、前記蓋体部を前記本体部に向けて押圧し、か つ前記蓋体部が開くのを防止する開閉ロック手段が設けられていることを特徴とする 請求項 4から 8のいずれ力、 1項に記載のテープ接着装置。

[10] テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法において、

上記ワークの上部側に位置する上記テープ部材を、テープ保持手段に保持させる テープ保持ステップと、

伸縮シート部材の上面に上記ワークが載置され、かつテープ保持手段によって該 ワークの上部に上記テープ部材を張設状態で位置させた状態で、上記伸縮シート部 材の上面側に位置する真空室を第 1の吸引手段で真空吸引させると共に、上記伸縮 シート部材により上記真空室から仕切られると共に該伸縮シート部材の下面側に位 置する空気導入部を第 2の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、

上記吸引ステップによって、上記真空室および上記空気導入部が設定された真空 度に到達したことを検出する真空到達度検出ステップと、

上記真空到達度検出ステップによって設定された真空度に到達したことを検出した 後に、上記第 2の吸引手段の作動停止により上記空気導入部の真空吸引を停止す ると共に、空気導入手段を作動させて該空気導入部に空気を導入する空気導入ステ ップと、

上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記真空室の内部に向けて 膨張させ、力かる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向 力つて持ち上げて上記テープ部材に接着させる接着ステップと、

上記接着ステップを予め設定された時間だけ実行した後に、加圧手段を作動させ て上記真空室の内部に空気を加圧状態で導入する加圧ステップと、

を具備することを特徴とするテープ接着方法。

[11] 前記吸引ステップは、前記第 1の吸引手段および前記第 2の吸引手段を作動させ るに際して、先に前記第 2の吸引手段を作動させ、後に前記第 1の吸引手段を作動 させることを特徴とする請求項 10記載のテープ接着方法。