JP2005335843A - 基板取出装置およびその方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 基板に損傷を与えることなく２枚取りを防止して積載された最上位置の基板のみを取り出す基板取出装置およびその方法を提供する。
【解決手段】 本発明の基板取出装置は、粘着部材７４を下方に露出させた状態で粘着部材アーム７３を基板ケース７１の内部に突出させ（ステップＳ５１）、積載された最上位置に配置された基板Ｓの上面と粘着部材７４とを当接させる（ステップＳ５２）。そして、昇降テーブル７２を下降させ（ステップＳ５３）、挟入部材７６の他方端部を基板ケース７１の内部に突出させる（ステップＳ５４）。これによって、最上位置の基板Ｓと他の基板Ｓとの間の隙間に挟入部材７６の他方端部が挿入された状態となり、この状態で最上位置の基板ＳがＡ面検査吸着テーブル２２から吸引される（ステップＳ５８）。
【選択図】 図９

Description

本発明は、基板取出装置およびその方法に関し、より特定的には、積載された基板を１枚ずつ取り出す基板取出装置およびその方法に関する。

従来、積載されたシート状の部材から、最上位置の部材を１枚ずつ給版する装置では、２枚以上同時に給版することを防止することが必要となる。最上位置から２枚目以下の部材を分離する方法としては、２枚取り防止爪を用いる方法が周知である。また、積載された部材の側面から分離エアーを吹き付けたり、振動等を与えて振り落とす動作（捌き動作）等を用いたりする方法もある。

また、最上位置のシートとその下のシートとの間に爪部材を挿入して、それらを分離するシート分離装置も開示されている（例えば、特許文献１参照）。
特開平１１−２０８９１３号公報

ここで、図２１に示すように、上述したシート状部材の例として、半導体装置などの電子部品を実装するためのプリント基板などの基板Ｓを想定する。基板Ｓは、スルーホールＴＨ（図中の塗りつぶし領域）やスリットＳＬ（図中の斜線領域）などの表裏を貫通する複数の孔が形成されている。このような基板Ｓが積載された基板供給部から、最上位置に載置された基板Ｓを全面真空吸着することによってピックアップする場合、２枚目以下の基板Ｓにも強い吸着力が生じるときがある。

例えば、図２２に示すように、基板ケース５０２内に積載された基板Ｓが、吸着テーブル５０１の吸着面に真空吸着されるブロア吸着方式を説明する。なお、図２２は、ブロア吸着方式の概略的な装置構造を断面図で示している。吸着テーブル５０１の吸着面には、複数の吸着孔が形成されている。複数の吸着孔は、ブロア（図示せず）によって吸引されており、吸着テーブル５０１の吸着面が基板ケース５０２の開口部付近に配置された場合、基板ケース５０２の内部に負圧が発生する。そして、最上位置の基板Ｓは、吸着テーブル５０１からの吸引力によって吸着面に真空吸着され、基板ケース５０２からピックアップされる。

しかしながら、図２２（ａ）に示すように、基板ＳにはスルーホールＴＨやスリットＳＬなどの表裏を貫通する複数の孔が形成されているため、吸着テーブル５０１からの吸引力が２枚目以降の基板Ｓにも回り込んで作用する。例えば、最上位置および最上位置から２枚目の基板Ｓが互いに隙間なく密着しており、３枚目の基板Ｓに反りが生じている場合、当該２枚目の基板Ｓに対する吸引力が大きく作用する。これは、最上位置の基板Ｓと吸着テーブル５０１との間がブロア吸引によって負圧となり、２枚目と３枚目との基板Ｓの隙間が正圧（大気圧）となるため、最上位置および２枚目の基板Ｓが浮き上がりやすくなるためである。また、最上位置の基板Ｓと２枚目の基板Ｓとにずれが生じた場合も、最上位置の基板Ｓに形成されたスルーホールＴＨやスリットＳＬが吸着テーブル５０１の吸着孔と同様に作用するため、２枚目の基板Ｓが浮き上がりやすくなる。これによって、図２２（ｂ）に示すように、最上位置および２枚目の基板Ｓが同時にピックアップされて吸着テーブル５０１の吸着面に真空吸着されてしまう。このような２枚取りは、上記２枚取り防止爪や分離エアーを用いる方式では、分離が十分に行われない。また、２枚取り防止爪による分離効果を上げようとすると、基板Ｓと２枚取り防止爪との当たりが強くなるため、基板Ｓに損傷を与える可能性がある。

また、上記特許文献１で開示されたシート分離装置のように、吸着面積が小さい吸着パッドなどを用いて、基板Ｓの一部を真空吸着してピックアップする方式も考えられる。しかしながら、この方式では、スルーホールＴＨやスリットＳＬが形成されていない部位と吸着パッドとを当接させる必要があるため、供給する基板Ｓの形状に合わせて吸着パッドの位置を調整することが必要となる。したがって、この調整に要する作業が基板毎に必要となる。また、基板Ｓの一部を真空吸着するため、集中的な応力が基板Ｓに加わることとなり、基板Ｓに生じる変形や汚損の原因となる。さらに、基板Ｓの形状によっては、吸着パッドを当接するために適切な貫通孔がない部位がなく、ピックアップできない可能性もある。また、上記特許文献１で開示されたシート分離装置では、シートに曲げ応力が加わるため、プリント基板のような基板Ｓには適用が困難である。

それ故に、本発明の目的は、基板に損傷を与えることなく２枚取りを防止して積載された最上位置の基板のみを取り出す基板取出装置およびその方法を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第１の発明は、積載された基板から基板を取り出す基板取出装置である。基板取出装置は、基板ケース、粘着部材、粘着部材支持部、粘着部材移動部、挟入部材、挟入部材移動部、および吸着テーブルを備える。基板ケースは、その内部に基板を積載して収納する。粘着部材は、基板ケース内部に収納された基板と粘着する。粘着部材支持部は、粘着部材を支持する。粘着部材移動部は、粘着部材が基板ケースの内部に突出した位置と外部に退避した位置との間で粘着部材支持部を移動させる。挟入部材移動部は、基板ケースの内部に突出した位置と外部に退避した位置との間で挟入部材を移動させる。吸着テーブルは、基板ケースの上部から吸引することによって、その吸着面に基板を真空吸着する。粘着部材移動部は、粘着部材支持部の粘着部材を基板ケース内部に突出した位置に配置して、積載された最上位置の基板をその粘着部材に粘着させる。挟入部材移動部は、挟入部材を基板ケースの内部に突出した位置に移動させることによって、粘着部材と粘着した基板と他の基板との間に形成された隙間にその挟入部材を挿入する。粘着部材移動部は、隙間にその挟入部材が挿入された状態で粘着部材と粘着する最上位置の基板をその粘着から離脱させて、粘着部材支持部を外部に退避した位置に移動させる。そして、吸着テーブルは、隙間に挟入部材が挿入された状態で最上位置の基板を真空吸着する。

第２の発明は、上記第１の発明において、隙間は、最上位置の基板が粘着部材と粘着した後、粘着部材と粘着した最上位置の基板と他の基板との相対的な高さ方向の位置関係を拡大することによって形成される。

第３の発明は、上記第２の発明において、積載された基板を基板ケース内部で昇降する昇降テーブルを、さらに備える。昇降テーブルは、粘着部材移動部が粘着部材支持部の粘着部材を基板ケース内部に突出した位置に配置した状態で上昇することによって、積載された最上位置の基板をその粘着部材に粘着させる。そして、昇降テーブルは、最上位置の基板が粘着部材と粘着した状態で下降することによって、その最上位置の基板と他の基板との間に隙間を形成する。

第４の発明は、上記第１の発明において、粘着部材移動部は、粘着部材支持部をさらに所定の回転方向に回転させる。粘着部材支持部は、回転方向に対して一部の範囲のみ下方向へ露出するように粘着部材を支持する。例えば、粘着部材支持部は、その断面形状がＤ字になるようにＤカットされ、Ｄカットされた部位に粘着部材を貼着する。そして、粘着部材移動部は、隙間に挟入部材が挿入された状態で粘着部材支持部を回転方向に回転させることによって、粘着部材が粘着する最上位置の基板をその粘着から離脱させる。

第５の発明は、積載された基板から基板を取り出す基板取出装置である。基板取出装置は、基板ケース、静電吸着部材、静電吸着部材移動部、挟入部材、挟入部材移動部、および吸着テーブルを備える。基板ケースは、その内部に基板を積載して収納する。静電吸着部材は、基板ケース内部に収納された基板と静電吸着する。静電吸着部材移動部は、基板ケースの内部に突出した位置と外部に退避した位置との間で静電吸着部材を移動させる。挟入部材移動部は、基板ケースの内部に突出した位置と外部に退避した位置との間で挟入部材を移動させる。吸着テーブルは、基板ケースの上部から吸引することによって、その吸着面に基板を真空吸着する。静電吸着部材移動部は、静電吸着部材を基板ケース内部に突出した位置に配置して、積載された最上位置の基板をその静電吸着部材に静電吸着させる。挟入部材移動部は、挟入部材を基板ケースの内部に突出した位置に移動させることによって、静電吸着部材と吸着した基板と他の基板との間に形成された隙間にその挟入部材を挿入する。静電吸着部材移動部は、隙間にその挟入部材が挿入された状態で静電吸着部材と吸着する最上位置の基板をその吸着から離脱させて、静電吸着部材を外部に退避した位置に移動させる。そして、吸着テーブルは、隙間に挟入部材が挿入された状態で最上位置の基板を真空吸着する。

第６の発明は、積載された基板から基板を取り出す基板取出方法である。基板取出方法は、基板粘着ステップ、挟入部材挿入ステップ、基板粘着離脱ステップ、および真空吸着ステップを含む。基板粘着ステップは、積載された基板の上部位置に粘着部材を配置して、積載された最上位置の基板をその粘着部材に粘着させる。挟入部材挿入ステップは、基板が積載されている空間へ挟入部材を移動させることによって、粘着部材と粘着した基板と他の基板との間に形成された隙間にその挟入部材を挿入する。基板粘着離脱ステップは、隙間にその挟入部材が挿入された状態で粘着部材と粘着する最上位置の基板をその粘着から離脱させて、粘着部材を上部位置から退避させる。真空吸着ステップは、隙間に挟入部材が挿入された状態で基板の上部から吸引することによって、最上位置の基板を吸着テーブルの吸着面に真空吸着する。

第７の発明は、上記第６の発明において、隙間形成ステップを、さらに含む。隙間形成ステップは、基板粘着ステップで最上位置の基板と粘着部材とを粘着させた後、粘着部材と粘着した最上位置の基板と他の基板との相対的な高さ方向の位置関係を拡大することによって、隙間を形成する。

第８の発明は、上記第７の発明において、基板粘着ステップは、積載された基板の上部位置に粘着部材を配置して、その積載された基板を上昇させることによって、積載された最上位置の基板をその粘着部材に粘着させる。そして、隙間形成ステップは、基板粘着ステップで最上位置の基板と粘着部材とを粘着した後、積載された基板を下降させることによって、隙間を形成する。

第９の発明は、上記第６の発明において、粘着部材は、所定の回転方向に対して一部の範囲のみ下方向へ露出するように構成される。基板粘着離脱ステップは、隙間にその挟入部材が挿入された状態で粘着部材を回転方向に回転させることによって、その粘着部材が粘着する最上位置の基板をその粘着から離脱させる。

第１０の発明は、積載された基板から基板を取り出す基板取出方法である。基板取出方法は、基板静電吸着ステップ、挟入部材挿入ステップ、基板静電吸着離脱ステップ、および真空吸着ステップを含む。基板静電吸着ステップは、積載された基板の上部位置に静電吸着部材を配置して、積載された最上位置の基板をその静電吸着部材に静電吸着させる。挟入部材挿入ステップは、基板が積載されている空間へ挟入部材を移動させることによって、静電吸着部材と吸着した基板と他の基板との間に形成された隙間にその挟入部材を挿入する。基板静電吸着離脱ステップは、隙間にその挟入部材が挿入された状態で静電吸着部材と吸着する最上位置の基板をその吸着から離脱させて、静電吸着部材を上部位置から退避させる。真空吸着ステップは、隙間に挟入部材が挿入された状態で基板の上部から吸引することによって、最上位置の基板を吸着テーブルの吸着面に真空吸着する。

上記第１の発明によれば、積載された基板のうち、粘着部材を最上位置の基板と粘着させる。このとき、粘着部材における粘着の効果は、最上位置の基板のみに作用するため、この粘着によって最上位置の基板のみを他の積載された基板から容易に剥離することができる。また、最上位置の基板のみを粘着支持し、最上位置と２枚目との基板間に隙間を形成して挟入部材を挿入する。これによって、最上位置と２枚目との基板間が密着することなく隙間が形成されて、最上位置の基板のみが吸着テーブルによって吸引される。したがって、表裏を貫通する複数の孔が形成された基板であっても、積載された複数の基板のうち、２枚取りを防止して最上位置に載置された基板のみを取り出すことができる。また、積載された基板に対して大きな応力を加えることはなく、挿入する挟入部材を基板に損傷を与えにくい材質を選定することによって、基板に対して変形や損傷を与えることはない。さらに、吸着テーブルは、基板と吸着面に真空吸着するため、基板の形状に合わせて吸着パッドなどの位置を調整する作業は不要である。

上記第２の発明によれば、最上位置の基板が粘着部材と粘着した後、粘着部材と粘着した最上位置の基板と他の基板との相対的な高さ方向の位置関係を拡大するため、挟入部材を挿入するための隙間を容易に大きく形成することができ、挟入部材の挿入も容易となる。

上記第３の発明によれば、昇降テーブルによる昇降動作を利用して、粘着部材と最上位置の基板との粘着および挟入部材を挿入するための隙間の形成を容易に行うことができる。

上記第４の発明によれば、粘着部材支持部は、回転方向に対して一部の範囲のみ下方向へ露出するように粘着部材を支持しているため、粘着部材支持部を回転させることによって、粘着部材と基板との粘着状態を強制的に解消することができる。

上記第５の発明によれば、積載された基板のうち、静電吸着部材を最上位置の基板と静電吸着させる。このとき、静電吸着部材における静電吸着の効果は、粘着と同様に最上位置の基板のみに作用するため、この静電吸着によって最上位置の基板のみを他の積載された基板から容易に剥離することができる。

また、本発明の基板取出方法によれば、上述した基板取出装置と同様の効果が得られる。

図１〜図５を参照して、本発明の一実施形態に係る基板検査装置について説明する。なお、図１は、当該基板検査装置の概略的な構造を示す正面図である。図２は、当該基板検査装置の概略的な構造を示す上面図である。図３は、エアーシリンダが伸びた状態における基板検査装置の概略的な構造を示す正面図である。図４は、当該基板検査装置の空圧機構の概略的な構造を示す内部側面図である。図５は、当該基板検査装置における回転部材を回転駆動する機構の構造を示す背面図である。なお、各構成部の位置関係を明確にするために、基板検査装置１の構成の全てが、図１〜図５に示されていないことを注釈しておく。

図１において、基板検査装置１は、第１検査ステージ２、第２検査ステージ３、Ａ面検査ヘッド４、Ｂ面検査ヘッド５、フレーム６、基板供給部７、基板収納部８、および制御部（図示せず）を備えている。ここで、基板検査装置１の被検査体の一例は、半導体装置などの電子部品を実装するためのプリント基板などの基板であり、背景技術で説明したようにスルーホールＴＨやスリットＳＬなどの表裏を貫通する複数の孔が形成されている。また、上記基板は、例えば、その両面の外観検査が必要な両面基板である。そして、被検査体である基板の一方の主面をＡ面とし、他方の主面をＢ面とする。

第１検査ステージ２は、第１回転部材２１、Ａ面検査吸着テーブル２２、エアーシリンダ２３、第１回転軸２４を有している。第１回転部材２１は、略直方体形状を有し、第１回転軸２４を中心に図示Ａ方向に回転可能である。第１回転軸２４に平行な第１回転部材２１の４つの側面には、それぞれエアーシリンダ２３ａ〜２３ｄを介して４つのＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄが設けられる。図１では第１回転軸２４が紙面に対して垂直に配置され、３つのエアーシリンダ２３ａ（図１では、２つのエアーシリンダ２３ａのみ図示されている）を介して、第１回転軸２４に対して直上方向にＡ面検査吸着テーブル２２ａが設けられている。３つのエアーシリンダ２３ｂ（図１では、２つのエアーシリンダ２３ｂのみ図示されている）を介して、第１回転軸２４に対して左方向にＡ面検査吸着テーブル２２ｂが設けられている。３つのエアーシリンダ２３ｃ（図１では、２つのエアーシリンダ２３ｃのみ図示されている）を介して、第１回転軸２４に対して下方向にＡ面検査吸着テーブル２２ｃが設けられ、Ａ面検査吸着テーブル２２ａおよび２２ｃが互いに平行に配置される。そして、３つのエアーシリンダ２３ｄ（図１では、２つのエアーシリンダ２３ｄのみ図示されている）を介して、第１回転軸２４に対して右方向にＡ面検査吸着テーブル２２ｃが設けられ、Ａ面検査吸着テーブル２２ｂおよび２２ｄが互いに平行に配置される。

第２検査ステージ３は、第１検査ステージ２と並設される。第２検査ステージ３は、第２回転部材３１、Ｂ面検査吸着テーブル３２、エアーシリンダ３３、第２回転軸３４を有している。第２回転部材３１は、第１回転部材２１と同様の略直方体形状を有し、第１回転軸２４と平行な第２回転軸３４を中心に図示Ｂ方向に回転可能である。第２回転軸３４に平行な第２回転部材３１の４つの側面には、それぞれエアーシリンダ３３ａ〜３３ｄを介して４つのＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが設けられる。図１では第２回転軸３４が紙面に対して垂直に配置され、３つのエアーシリンダ３３ａ（図１では、２つのエアーシリンダ３３ａのみ図示されている）を介して、第２回転軸３４に対して直上方向にＢ面検査吸着テーブル３２ａが設けられている。３つのエアーシリンダ３３ｂ（図１では、２つのエアーシリンダ３３ｂのみ図示されている）を介して、第２回転軸３４に対して左方向にＢ面検査吸着テーブル３２ｂが設けられ、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｂとＡ面検査吸着テーブル２２ｄとが相対するように配置される。３つのエアーシリンダ３３ｃ（図１では、２つのエアーシリンダ３３ｃのみ図示されている）を介して、第２回転軸３４に対して下方向にＢ面検査吸着テーブル３２ｃが設けられ、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａおよび３２ｃが互いに平行に配置される。そして、３つのエアーシリンダ３３ｄ（図１では、２つのエアーシリンダ３３ｄのみ図示されている）を介して、第２回転軸３４に対して右方向にＢ面検査吸着テーブル３２ｃが設けられ、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｂおよび３２ｄが互いに平行に配置される。

図１および図２に示すように、大略的にフレーム６は、検査ヘッド梁６１、３つの直動軸受６２ａ〜６２ｃ、本体ベース６３、当接部材６４、およびボールネジ６５で構成されている。本体ベース６３は、所定の支持柱によって第１検査ステージ２および第２検査ステージ３の上部に位置する平面に固設されている。直動軸受６２ａ〜６２ｃは、レールとスライドブロック、軸と軸受やスリーブ、ガイドレールとガイドなど様々な組み合わせによって構成可能であるが、一例としてレールとスライドブロックとを用いる。３つの直動軸受６２ａ〜６２ｃは、それぞれレール６２１ａ〜６２１ｃとスライドブロック６２２ａ、６２２ｂ１、６２２ｂ２、および６２２ｃとを含んでおり、レール６２１ａ〜６２１ｃが本体ベース６３の上面に固設される（なお、図２においては、検査ヘッド梁６１下部に設けられたレール６２１およびスライドブロック６２２を破線で示している）。レール６２１ａ〜６２１ｃは、互いに所定の間隔を開けて平行に並設して固設され、レール６２１ｂを中心としてその両側にレール６２１ａおよび６２１ｃが配置されている。そして、レール６２１ａと６２１ｂとの間の下部空間に第１検査ステージ２が配置され、レール６２１ｂと６２１ｃとの間の下部空間に第２検査ステージ３が配置される。また、本体ベース６３には、レール６２１ｂの上部空間に、直動モータ６５１の駆動によって回転するボールネジ６５がレール６２１ｂと平行に設けられている。ここで、直動モータ６５１の駆動は、上記制御部によって制御される。なお、図１および図２においては、レール６２１ａ〜６２１ｃを支持する本体ベース６３がそれぞれ分離して記載されているが、これは他の構成部との関係を説明するためであり、それぞれの本体ベース６３は、少なくとも第１検査ステージ２および第２検査ステージ３の上部空間にそれぞれ開口部が形成されて互いに連結して固設されている。そして、複数の当接部材６４（例えば、上記開口部に対してそれぞれ３箇所）が、それぞれ同一平面上に配置され、上記開口部へ突出して本体ベース６３に固設される。

検査ヘッド梁６１は、本体ベース６３の上面に固設されたレール６２１ａ〜６２１ｃ間に架設される。検査ヘッド梁６１の下部には、スライドブロック６２２ａ、６２２ｂ１、６２２ｂ２、および６２２ｃが設けられている。そして、スライドブロック６２２ａがレール６２１ａに沿って移動可能に係合し、スライドブロック６２２ｂ１および６２２ｂ２がレール６２１ｂに沿って移動可能に係合し、スライドブロック６２２ｃがレール６２１ｃに沿って移動可能に係合している。また、検査ヘッド梁６１は、スライドブロック６２２ｂ１および６２２ｂ２の上部でボールネジ６５と螺合する。したがって、直動モータ６５１が駆動するとボールネジ６５が回転し、レール６２１ａ〜６２１ｃが並設された方向（図示Ｃ方向）に検査ヘッド梁６１が本体ベース６３上を移動する。

また、検査ヘッド梁６１には、Ａ面検査ヘッド４およびＢ面検査ヘッド５が配置される。Ａ面検査ヘッド４およびＢ面検査ヘッド５は、それぞれＣＣＤカメラなどの撮像装置（図示せず）を備えており、撮像装置が下部に向けて開口したスリット４１および５１（図２の破線で示す）を介してそれぞれ検査ヘッド梁６１の下部空間を撮像する。Ａ面検査ヘッド４は、スライドブロック６２２ａとスライドブロック６２２ｂ１および６２２ｂ２との間となる検査ヘッド梁６１に配置される。具体的には、後述により明らかとなるが、第１検査ステージ２のＡ面検査吸着テーブル２２が当接部材６４と当接する位置に固定された場合、検査ヘッド梁６１が図示Ｃ方向に移動することによってＡ面検査ヘッド４の撮像装置が当該Ａ面検査吸着テーブル２２に吸着した基板Ｓの撮像が可能となる位置にＡ面検査ヘッド４が配置される。また、Ｂ面検査ヘッド５は、スライドブロック６２２ｂ１および６２２ｂ２とスライドブロック６２２ｃとの間となる検査ヘッド梁６１に配置される。具体的には、第２検査ステージ３のＢ面検査吸着テーブル３２が当接部材６４と当接する位置に固定された場合、検査ヘッド梁６１が図示Ｃ方向に移動することによってＢ面検査ヘッド５の撮像装置が当該Ｂ面検査吸着テーブル３２に吸着した基板Ｓの撮像が可能となる位置にＢ面検査ヘッド５が配置される。

基板供給部７は、第１検査ステージ２の直下となる空間に配置される。基板供給部７は、上部が開口した基板ケース７１および昇降テーブル７２を備えている。昇降テーブル７２は基板ケース７１の内部に設けられ、昇降テーブル７２上の基板ケース７１内に基板検査装置１による検査前の基板Ｓが積載される。そして、昇降テーブル７２は、上記制御部の制御に基づいて、上下動を行い、例えば、最上部に載置された基板Ｓの上下方向の位置が一定となるように制御される。なお、基板供給部７に供給される検査前の基板Ｓは、それぞれ一方の主面であるＡ面を下に向けて基板ケース７１内に積載される。また、後述により明らかとなるが、第１検査ステージ２のＡ面検査吸着テーブル２２が下方向に降下した場合、当該Ａ面検査吸着テーブル２２の外縁部と基板ケース７１の上端部とが当接し、当該Ａ面検査吸着テーブル２２の吸着面が基板ケース７１の開口部に配置される。

基板収納部８は、３つの基板ケース８１ａ〜８１ｃ、３つの昇降テーブル８２ａ〜８２ｃ、ターンテーブル８３を備えている。昇降テーブル８２ａ〜８２ｃはそれぞれ基板ケース８１ａ〜８１ｃの内部に設けられ、昇降テーブル８２ａ〜８２ｃ上の基板ケース８１ａ〜８１ｃ内に基板検査装置１による検査後の基板Ｓが積載される。そして、昇降テーブル８２ａ〜８２ｃは、それぞれ上記制御部の制御に基づいて上下動を行い、例えば、最上部に載置された基板Ｓの上下方向の位置が一定となるように制御される。具体的には、基板ケース８１ａ〜８１ｃ内には、基板検査装置１による検査結果に応じた基板Ｓが積載され、基板ケース８１ａには基板検査装置１によるＡ面およびＢ面の検査が共に合格した基板Ｓｏｋが、基板ケース８１ｂには基板検査装置１によるＡ面および／またはＢ面の検査が不合格となった基板Ｓｎｇが、基板ケース８１ｃには基板検査装置１によるＡ面および／またはＢ面の検査が再検査要となった基板Ｓｖｆが積載される。これらの基板ケース８１ａ〜８１ｃは、ターンテーブル８３の回転平面上に配置される。ターンテーブル８３は、上記制御部によって図示Ｄ方向の回転および停止位置が制御され、基板ケース８１ａ〜８１ｃのいずれか１つを第２検査ステージ３の直下となる空間に配置する。なお、基板収納部８に収納される検査後の基板Ｓｏｋ、Ｓｎｇ、およびＳｖｆは、それぞれＡ面を上に向けて基板ケース８１ａ〜８１ｃ内に積載される。また、後述により明らかとなるが、第２検査ステージ３のＢ面検査吸着テーブル３２が下方向に降下した場合、当該Ｂ面検査吸着テーブル３２の外縁部と直下に位置する基板ケース８１ａ〜８１ｃのいずれか１つの上端部とが当接し、当該Ｂ面検査吸着テーブル３２の吸着面が基板ケース８１ａ〜８１ｃのいずれか１つの開口部に配置される。

次に、図１〜図３を参照して、第１検査ステージ２および第２検査ステージ３にそれぞれ備えられているエアーシリンダ２３および３３の伸縮動作について説明する。

上述したように、第１回転部材２１には、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄをそれぞれ支持するエアーシリンダ２３ａ〜２３ｄが設けられている。エアーシリンダ２３ａ〜２３ｄは上記制御部の制御によって伸縮可能に構成され、伸縮動作によってそれぞれ支持するＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄと第１回転軸２４との距離を変化させる。図１は、エアーシリンダ２３ａ〜２３ｄが縮んだ状態であり、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄがそれぞれ第１回転部材２１の側面近傍に配置される。また、図３は、エアーシリンダ２３ａ〜２３ｄが伸びた状態であり、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄがそれぞれ第１回転部材２１から離れた位置に配置される。

図２および図３に示すように、第１回転軸２４に対して直上方向に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ａは、エアーシリンダ２３ａが伸びたとき、その外縁部の上面（第１回転軸２４に対して外側の面）が当接部材６４と当接して位置決めされる。以下、当接部材６４と当接して位置決めされたＡ面検査吸着テーブル２２の位置をＡ面検査位置と記載する。なお、図２に示すように、本実施例では、Ａ面検査吸着テーブル２２ａをＡ面検査位置で安定して位置決めするために、当接部材６４が固設される箇所（３箇所）にエアーシリンダ２３ａがＡ面検査吸着テーブル２２ａを支持する箇所（３箇所）が含まれるように設定されている。

また、図３に示すように、第１回転軸２４に対して下方向に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ｃは、エアーシリンダ２３ｃが伸びたとき、その外縁部の下面（第１回転軸２４に対して外側の面）が基板供給部７の基板ケース７１の上端と当接し、Ａ面検査吸着テーブル２２ｃの吸着面が基板ケース７１の開口部に配置される。以下、基板ケース７１の開口部に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２の位置を基板供給位置と記載する。

さらに、図３に示すように、第１回転軸２４に対して右方向に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ｄの吸着面は、エアーシリンダ２３ｄが伸びたとき、同じくエアーシリンダ３３ｂが伸びたＢ面検査吸着テーブル３２ｂの吸着面と当接する。以下、Ａ面検査吸着テーブル２２の吸着面とＢ面検査吸着テーブル３２の吸着面とが当接する位置を基板受渡位置と記載する。

また、第２回転部材３１には、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄをそれぞれ支持するエアーシリンダ３３ａ〜３３ｄが設けられている。エアーシリンダ３３ａ〜３３ｄは上記制御部の制御によって伸縮可能に構成され、伸縮動作によってそれぞれ支持するＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄと第２回転軸３４との距離を変化させる。図１は、エアーシリンダ３３ａ〜３３ｄが縮んだ状態であり、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄがそれぞれ第２回転部材３１の側面近傍に配置される。また、図３は、エアーシリンダ３３ａ〜３３ｄが伸びた状態であり、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄがそれぞれ第２回転部材３１から離れた位置に配置される。

図２および図３に示すように、第２回転軸３４に対して直上方向に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２ａは、エアーシリンダ３３ａが伸びたとき、その外縁部の上面（第２回転軸３４に対して外側の面）が当接部材６４と当接して位置決めされる。以下、当接部材６４と当接して位置決めされたＢ面検査吸着テーブル３２の位置をＢ面検査位置と記載する。なお、図２に示すように、本実施例では、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａをＢ面検査位置で安定して位置決めするために、当接部材６４が固設される箇所（３箇所）にエアーシリンダ３３ａがＢ面検査吸着テーブル３２ａを支持する箇所（３箇所）が含まれるように設定されている。

また、図３に示すように、第２回転軸３４に対して下方向に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２ｃは、エアーシリンダ３３ｃが伸びたとき、その外縁部の下面（第２回転軸３４に対して外側の面）が基板収納部８の基板ケース８１ａ〜８１ｃのいずれか１つの上端と当接し、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｃの吸着面が基板ケース８１ａ〜８１ｃのいずれか１つの開口部に配置される。以下、基板ケース８１の開口部に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２の位置を基板排出位置と記載する。

さらに、図３に示すように、第２回転軸３４に対して左方向に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２ｂの吸着面は、エアーシリンダ３３ｂが伸びたとき、同じくエアーシリンダ２３ｄが伸びたＡ面検査吸着テーブル２２ｄの吸着面と当接する。以下、Ｂ面検査吸着テーブル３２の吸着面とＡ面検査吸着テーブル２２の吸着面とが当接する位置を基板受渡位置と記載する。

次に、図４を参照して、基板検査装置１の空圧機構について説明する。なお、図４は、第１検査ステージ２側の空圧機構のみを示しているが、第２検査ステージ３側も同様に構成され、以下、第１検査ステージ２側の空圧機構を代表的に説明する。また、図４は、第１検査ステージ２側の空圧機構を説明するために、第１検査ステージ２の構成の一部を省略し、Ａ面検査吸着テーブル２２を断面で示していることを注釈しておく。

図４において、基板検査装置１の空圧機構は、ブロア９０、コンプレッサ９５、主配管９１ａ、主配管９１ｂ、空圧切替部９２、吸着配管９３、シリンダ配管９４を備えている。第１回転軸２４は、第１回転部材２１の内部で空圧切替部９２を支持している。空圧切替部９２は上記制御部によって開閉が制御される複数の切替弁を有しており、第１回転軸２４にはその一方端部からそれぞれの切替弁まで貫通する中空経路（図４の破線で示す）が形成されている。また、第１回転軸２４の他方端部には、タイミングプーリ２５が固設されている。主配管９１ａは、第１回転軸２４の中空経路を通ってブロア９０と空圧切替部９２とを接続し、空圧制御部９２を介してブロア９０が生成する空圧をＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄに供給する。同様に、主配管９１ｂは、第１回転軸２４の中空経路を通ってコンプレッサ９５と空圧切替部９２とを接続し、空圧制御部９２を介してコンプレッサ９５が生成する空圧をエアーシリンダ２３ａ〜２３ｄに供給する。

Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄの吸着面ＡＦには、それぞれ複数の吸着穴が形成されている（図４では、Ａ面検査吸着テーブル２２ａおよび２２ｃのみを示している）。また、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄと空圧切替部９２の切替弁との間には、それぞれエアーシリンダ２３ａ〜２３ｄの伸縮動作に応じて伸縮可能な吸着配管９３ａ〜９３ｄ（図４では、吸着配管９３ａおよび９３ｃのみを示している）が接続されている。ここで、吸着配管９３ａ〜９３ｄは、それぞれ別の切替弁と接続される。また、吸着配管９３ａ〜９３ｄからＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄに供給される空圧（負圧）は、それぞれＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄに形成された吸着穴から外部に開放されている。つまり、上記制御部の制御に基づいて、吸着配管９３ａ〜９３ｄを介してＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄに負圧が供給された場合、それぞれの吸着穴に負圧が発生して吸着面ＡＦを用いた真空吸着が可能となる。

また、エアーシリンダ２３ａ〜２３ｄと空圧切替部９２の切替弁との間には、それぞれシリンダ配管９４ａ〜９４ｄ（図４では、シリンダ配管９４ａおよび９４ｃのみを示している）が接続されている。そして、上記制御部の制御に基づいてシリンダ配管９４ａ〜９４ｄへ上記コンプレッサ９５から空圧（正圧）が供給され、エアーシリンダ２３ａ〜２３ｄの伸縮動作が可能となる。なお、第２検査ステージ３側の空圧機構も第１検査ステージ２側と同様であるため、詳細な説明を省略する。なお、第２検査ステージ３の第２回転軸３４の他方端部には、タイミングプーリ３５が固設されている。なお、上記実施の形態では、空圧切替部９２がブロア９０およびコンプレッサ９５の２系統の空圧を切り替えるようにしているが、各々個別の切替部を備えていてもよい。

次に、図５を参照して、基板検査装置１における第１回転部材２１および第２回転部材３１を回転駆動する機構について説明する。なお、図５は、基板検査装置１の一部を示す背面図であり、図１および図３で示す第１検査ステージ２および第２検査ステージ３の位置関係や回転方向が左右逆になっていることを注釈しておく。

図５において、第１回転部材２１および第２回転部材３１を回転駆動する機構は、回転駆動モータ１０１と、タイミングベルト１０３と、テンションプーリ１０４および１０５とを有している。回転駆動モータ１０１の回転軸にはプーリ１０２が固設されており、回転駆動モータ１０１は、上記制御部の制御に基づいて所定の回転角度だけプーリ１０２を駆動する。タイミングベルト１０３は、テンションプーリ１０４および１０５を介して、プーリ１０２とタイミングプーリ２５および３５とによって回動可能に掛け渡される。テンションプーリ１０４および１０５は、掛け渡されたタイミングベルト１０３の張力を制御する。回転駆動モータ１０１の駆動力は、タイミングベルト１０３を介してタイミングプーリ２５および３５を同期して同じ回転角度で回転させる。そして、タイミングプーリ２５および３５がそれぞれ固設された第１回転軸２４および第２回転軸３４も回転し、第１回転軸２４および第２回転軸３４の回転に応じて、それぞれ第１回転部材２１および第２回転部材３１も図示Ａ方向およびＢ方向に回転する。なお、本実施例では、上記制御部による回転指示に応じて、第１回転部材２１および第２回転部材３１がそれぞれ図示Ａ方向およびＢ方向に９０°毎に回転する。

次に、図６〜図８を参照して、基板供給部７の詳細な構造について説明する。なお、図６は、基板供給部７の概略構造を示す上面図である。図７は、基板ケース７１の一部を削除して、基板供給部７の概略構造を示す側面図である。図８は、粘着部材アーム７３の先端部および粘着部材７４の拡大図である。なお、本発明の基板取出装置は、大略的には、基板供給部７およびブロア吸引するＡ面検査吸着テーブル２２によって構成される。

図６および図７において、基板供給部７は、上述した基板ケース７１および昇降テーブル（図１参照）の他に、粘着部材アーム７３、粘着部材７４、アクチュエータ７５および７７、挟入部材７６を有している。粘着部材アーム７３は、基板ケース７１の開口部の側面近傍に並列して複数横設されており、その先端部にそれぞれ粘着部材７４が貼着されている。粘着部材アーム７３は、エアーシリンダやモータ等で構成されるアクチュエータ７５によって、アーム長軸方向（図示Ｅ方向）に直動運動が可能に構成される。そして、粘着部材アーム７３は、上記直動運動によって、粘着部材７４を貼着した部位が基板ケース７１の開口部に突出または開口部から退避する。なお、図６および図７では、粘着部材７４を貼着した部位が基板ケース７１の開口部に突出した状態を示している。また、粘着部材アーム７３は、アクチュエータ７５によって、アーム軸を中心とした回転方向（図示Ｆ方向）に回転運動も可能に構成される。なお、アクチュエータ７５の駆動は、上述した基板検査装置１の制御部によって制御される。

挟入部材７６は、例えばテフロン（登録商標）シート等のフッ素樹脂で構成される板状部材である。一例として、挟入部材７６は、板厚１７５μｍ（マイクロメートル）以上のＬ字形状の板状部材で形成され、その一方端部が基板ケース７１等に固設されたアクチュエータ７７の回転軸７７ａに固設される。そして、挟入部材７６は、エアーシリンダやモータ等で構成されるアクチュエータ７７によって、回転軸７７ａを中心とした回転方向（図示Ｇ方向）に回転運動が可能に構成される。そして、挟入部材７６の他方端部は、上記回転運動によって、基板ケース７１の内部に突出（図６の実線で示す状態）または内部から退避（図６の破線で示す状態）する。なお、図７に示すように、挟入部材７６の他方端部が基板ケース７１の内部に突出する高さ方向の位置は、基板ケース７１の開口部に突出した粘着部材アーム７３の先端部より少なくとも下方になるように配置される。また、アクチュエータ７７の駆動は、上述した基板検査装置１の制御部によって制御される。

次に、図８を用いて、粘着部材アーム７３の先端部および粘着部材７４の詳細な構造について説明する。図８に示すように、粘着部材アーム７３は、略円柱形状を有している。そして、先端部は、その断面形状がＤ字になるように削除（Ｄカット）されている。そして、粘着部材アーム７３から上記削除された先端部の部位に、粘着部材７４が貼着されている。そして、上述したように、粘着部材アーム７３は、アクチュエータ７５によって、アーム軸を中心とした回転方向（図示Ｆ方向）に回転運動が可能に構成されている。したがって、この回転運動によって、粘着部材７４を下方に露出させて配置する状態（図８の状態）と、粘着部材７４を上方に露出させて粘着部材アーム７３の側面を下方に向けて配置する状態（図８の粘着部材アーム７３をＦ方向に１８０°回動させた状態）とに変化する。

粘着部材７４は、水洗い可能な転写用粘着シート（例えば、株式会社オーディオテクニカ製テクニクリーン（登録商標）ＡＤシート）やその他の粘着性部材（例えば軟質ゴムやアクリル系粘着剤を含む樹脂等）等が用いられる。また、粘着部材７４の再使用性が低い場合は、粘着テープを順繰りに使用する（例えば巻出、巻戻して使用する）ようにしてもかまわない。

次に、図９〜図２０を参照して、基板検査装置１の動作について説明する。なお、図９は、基板検査装置１の基板供給部７からＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄの何れかに基板Ｓを供給する動作を示すフローチャートである。図１０〜図２０は、それぞれ図９で示すフローチャートの動作に基づいて、基板供給部７およびＡ面検査吸着テーブル２２が動作する状態を段階的に示した模式図である。

図９において、基板検査装置１の制御部は、複数の基板Ｓが基板ケース７１内に積載された基板供給部７の昇降テーブル７２を下降させる（ステップＳ５０；図１０の状態）。このとき、制御部は、基板ケース７１内に積載された最上位置の基板Ｓに対する高さ方向の位置が、少なくとも粘着部材アーム７３の位置より低くなるまで昇降テーブル７２を下降させる。

次に、基板検査装置１の制御部は、アクチュエータ７５を駆動して、粘着部材７４を下方に露出させた状態（図８の状態）で粘着部材アーム７３を基板ケース７１の内部に突出させる（ステップＳ５１；図１１の状態）。このとき、制御部は、複数並設された粘着部材アーム７３を全て同様に基板ケース７１の内部に突出させる（図６参照）。

次に、基板検査装置１の制御部は、基板供給部７の昇降テーブル７２を上昇させ、積載された最上位置に配置された基板Ｓの上面と粘着部材７４とを当接させる（ステップＳ５２；図１２の状態）。これによって、粘着部材７４が最上位置に配置された基板Ｓの上面の一部に粘着し、その結果、粘着部材７４を介して最上位置の基板Ｓのみがその一方端付近を粘着部材アーム７３によって支持される。

次に、基板検査装置１の制御部は、基板供給部７の昇降テーブル７２を基板Ｓと粘着部材７４とが当接した位置から所定距離下降させる（ステップＳ５３；図１３の状態）。これによって、積載された基板Ｓが上記所定距離下降するが、粘着部材７４を介して最上位置の基板Ｓのみがその一方端付近を粘着部材アーム７３によって支持されているため、最上位置の基板Ｓと他の基板Ｓとの間に形成される隙間が拡大する。つまり、最上位置の基板Ｓが、他の積載された基板Ｓに対して分離される。なお、制御部は、基板ケース７１内に積載された２枚目以降の基板Ｓに対する高さ方向の位置が、少なくとも挟入部材７６の位置より低くなるまで昇降テーブル７２を下降させる。

なお、上記ステップＳ５３の動作において、最上位置の基板Ｓと２枚目以降の基板Ｓとが密着している場合が考えられる。このような密着状態を分離するために、例えば昇降テーブル７２の昇降運動を上下に繰り返したり、粘着部材アーム７３に振動を加えたりする、いわゆる捌き動作を行って、基板Ｓの分離を促してもかまわない。また、背景技術で説明した２枚取り防止爪を用いて、基板Ｓの分離を促してもかまわない。さらに、図１３に示す左方向から基板ケース７１の内部に分離エアーを吹き付けることによって、基板Ｓの分離を促してもかまわない。

次に、基板検査装置１の制御部は、アクチュエータ７７を駆動して、挟入部材７６の他方端部を基板ケース７１の内部に突出させる（ステップＳ５４；図１４の状態）。なお、図１４に示す塗りつぶし領域は、挟入部材７６の他方端部が基板ケース７１の内部に突出した状態を示している。これによって、上記ステップＳ５３の動作によって形成された最上位置の基板Ｓと他の基板Ｓとの間の隙間に、挟入部材７６の他方端部が挿入されて配置される。

次に、基板検査装置１の制御部は、基板供給部７の昇降テーブル７２を上昇させる（ステップＳ５５；図１５の状態）。このとき、制御部は、基板ケース７１内に積載された最上位置から２枚目の基板Ｓが、挟入部材７６の下面と当接する位置付近まで昇降テーブル７２を上昇させる。これによって、上記ステップＳ５３の動作によって形成された最上位置の基板Ｓと他の基板Ｓとの間の隙間が狭くなるが、当該隙間に挟入部材７６の他方端部が挿入された状態となる。

次に、基板検査装置１の制御部は、アクチュエータ７５を駆動して、粘着部材アーム７３を１８０°回転させ、粘着部材７４が上方に露出した状態にする（ステップＳ５６；図１６の状態）。これによって、粘着部材７４と最上位置に配置された基板Ｓとの当接ができない位置関係となり、粘着部材７４と当該基板Ｓの上面との粘着状態が強制的に解消される。つまり、粘着部材アーム７３による最上位置の基板Ｓの支持が確実に解消され、当該基板Ｓが積載された２枚目以降の基板Ｓ上に落下する。しかしながら、最上位置の基板Ｓと２枚目の基板Ｓとは、その間に挟入部材７６の他方端部が挿入されているため、密着状態とはならない。

次に、基板検査装置１の制御部は、アクチュエータ７５を駆動して、粘着部材アーム７３を基板ケース７１の内部から退避させる（ステップＳ５７；図１７の状態）。これによって、最上位置の基板Ｓの上面空間には、粘着部材アーム７３が存在しない状態となる。

次に、基板検査装置１の制御部は、全てのエアーシリンダ２３ａ〜２３ｄおよび３３ａ〜３３ｄを伸ばす方向に動作させる（図３参照）ことによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄのいずれか１つが、その外縁部の下面（第１回転軸２４に対して外側の面）が基板供給部７の基板ケース７１の上端と当接し、その吸着面が基板ケース７１の開口部に配置される（基板供給位置）。そして、基板供給位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２が最上位置に積載された基板Ｓを吸引し、当該基板Ｓの一方主面（具体的にはＢ面）が当該Ａ面検査吸着テーブル２２の吸着面に真空吸着固定される（ステップＳ５８；図１８の状態）。

ここで、基板Ｓには、背景技術で説明したようにスルーホールＴＨやスリットＳＬなどの表裏を貫通する複数の孔が形成されている。しかしながら、挟入部材７６が最上位置および最上位置から２枚目の基板Ｓとの間に挿入されているため、それらの基板Ｓが互いに隙間なく密着することはなく、当該最上位置の基板Ｓに対してのみ吸引力が大きく作用する。そして、最上位置の基板ＳとＡ面検査吸着テーブル２２との間がブロア吸引によって負圧となり、最上位置と２枚目との基板Ｓの隙間が正圧（大気圧）となるため、最上位置の基板Ｓのみが浮き上がる。

次に、基板検査装置１の制御部は、全てのエアーシリンダ２３ａ〜２３ｄおよび３３ａ〜３３ｄを縮める方向に動作させる（図１参照）。この動作によって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが全て第１回転部材２１および第２回転部材３１の側面近傍に配置され、上記ステップＳ５８においてＡ面検査吸着テーブル２２の吸着面に真空吸着固定された基板Ｓが、基板供給部７からピックアップされる（ステップＳ５９；図１９の状態）。そして、制御部は、アクチュエータ７７を駆動して、挟入部材７６の他方端部を基板ケース７１の内部から退避させる（ステップＳ６０；図２０の状態）。

次に、基板検査装置１の制御部は、基板Ｓの供給を継続するか否かを判断する（ステップＳ６１）。そして、制御部は、基板Ｓの供給を継続する場合、上記ステップＳ５０に戻って処理を繰り返し、基板Ｓの供給を終了する場合、当該フローチャートによる処理を終了する。

このように、基板供給部７では、積載された基板Ｓのうち、粘着部材７４を最上位置の基板Ｓと粘着させる。このとき、粘着部材７４における粘着の効果は、最上位置の基板Ｓのみに作用するため、この粘着によって最上位置の基板Ｓのみを容易に剥離することができる。また、最上位置の基板Ｓのみを粘着支持し、最上位置と２枚目との基板Ｓ間に隙間を形成して挟入部材７６を挿入する。これによって、最上位置と２枚目との基板Ｓ間が密着することなく隙間が形成されて、最上位置の基板Ｓのみがブロア吸着によって吸引される。したがって、本発明の基板取出装置は、表裏を貫通する複数の孔が形成された基板であっても、積載された複数の基板のうち、２枚取りを防止して最上位置に載置された基板のみを取り出すことができる。また、当該基板取出装置は、積載された基板に対して大きな応力を加えることはなく、挿入する挟入部材を基板に損傷を与えにくい材質を選定することによって、基板に対して変形や損傷を与えることはない。さらに、Ａ面検査吸着テーブル２２は、基板Ｓの一方主面の全面を真空吸着するため、基板Ｓの形状に合わせて吸着パッドなどの位置を調整する作業は不要である。

なお、上述した説明では、基板Ｓを粘着部材アーム７３に貼着された粘着部材７４を用いて、最上位置の基板Ｓを粘着して一時的に支持したが、他の方式を用いて支持してもかまわない。例えば、静電吸着を用いて、最上位置の基板Ｓを一時的に支持してもかまわない。この場合、最上位置の基板Ｓに対する静電吸着状態を強制的に解除する制御を、静電吸着を行うための静電電圧の制御（例えば、静電電圧を０Ｖにする）によって容易に行うことができるため、上記ステップＳ５６で行った回転動作が不要となる。

また、上述した説明では、昇降テーブル７２を上昇させることによって最上位置の基板Ｓを粘着部材７４に粘着させた後、昇降テーブル７２を下降させることによって最上位置の基板Ｓと２枚目の基板Ｓとの隙間を拡大したが、最上位置の基板Ｓと粘着部材７４および最上位置の基板Ｓと２枚目の基板Ｓにおける高さ方向の位置関係がそれぞれ相対的に縮小または拡大すれば、他の方法でもかまわない。例えば、粘着部材７４を有する粘着部材アーム７３が下降させることによって最上位置の基板Ｓを粘着部材７４に粘着させた後、粘着部材アーム７３が最上位置の基板Ｓと共に上昇することによって最上位置の基板Ｓと２枚目の基板Ｓとの隙間を拡大してもかまわない。この場合、挟入部材７６がこれらの基板Ｓの間に挿入された後、粘着部材アーム７３が最上位置の基板Ｓと共に下降する。

また、上述した説明では、本発明の基板取出装置を複数の検査吸着テーブルを有する基板検査装置に適用したが、他の装置に適用してもかまわない。例えば、単独の検査吸着テーブルを有する基板検査装置に適用してもいいし、描画装置や他の処理を行う装置に適用してもかまわない。また、基板取出装置によって取り出す基板は、その両面の外観検査が必要な両面基板でなくてもかまわない。

本発明に係る基板取出装置およびその方法は、積載された複数の基板のうち、２枚取りを防止して最上位置に載置された基板のみを取り出すことができ、表裏を貫通する複数の孔が形成された基板に対して処理する装置などの用途に適用することができる。

本発明の一実施形態に係る基板検査装置１の概略的な構造を示す正面図 図１の基板検査装置１の概略的な構造を示す上面図 図１のエアーシリンダ２３および３３が伸びた状態における基板検査装置１の概略的な構造を示す正面図 図１の基板検査装置１における空圧機構の概略的な構造を示す内部側面図 図１の基板検査装置１における回転部材を回転駆動する機構の構造を示す背面図 図１の基板供給部７の概略構造を示す上面図 基板ケース７１の一部を削除して、図１の基板供給部７の概略構造を示す側面図 粘着部材アーム７３の先端部および粘着部材７４の拡大図 図１の基板供給部７からＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄの何れかに基板Ｓを供給する動作を示すフローチャート 図９で示すフローチャートの動作に基づいて、基板供給部７およびＡ面検査吸着テーブル２２が動作する状態の第１段階を示した模式図 図９で示すフローチャートの動作に基づいて、基板供給部７およびＡ面検査吸着テーブル２２が動作する状態の第２段階を示した模式図 図９で示すフローチャートの動作に基づいて、基板供給部７およびＡ面検査吸着テーブル２２が動作する状態の第３段階を示した模式図 図９で示すフローチャートの動作に基づいて、基板供給部７およびＡ面検査吸着テーブル２２が動作する状態の第４段階を示した模式図 図９で示すフローチャートの動作に基づいて、基板供給部７およびＡ面検査吸着テーブル２２が動作する状態の第５段階を示した模式図 図９で示すフローチャートの動作に基づいて、基板供給部７およびＡ面検査吸着テーブル２２が動作する状態の第６段階を示した模式図 図９で示すフローチャートの動作に基づいて、基板供給部７およびＡ面検査吸着テーブル２２が動作する状態の第７段階を示した模式図 図９で示すフローチャートの動作に基づいて、基板供給部７およびＡ面検査吸着テーブル２２が動作する状態の第８段階を示した模式図 図９で示すフローチャートの動作に基づいて、基板供給部７およびＡ面検査吸着テーブル２２が動作する状態の第９段階を示した模式図 図９で示すフローチャートの動作に基づいて、基板供給部７およびＡ面検査吸着テーブル２２が動作する状態の第１０段階を示した模式図 図９で示すフローチャートの動作に基づいて、基板供給部７およびＡ面検査吸着テーブル２２が動作する状態の第１１段階を示した模式図 基板Ｓの一例を示す図 従来のブロア吸着方式の概略的な装置構造を示す断面図

符号の説明

１…基板検査装置
２…第１検査ステージ
２１…第１回転部材
２２…Ａ面検査吸着テーブル
２３、３３…エアーシリンダ
２４…第１回転軸
２５、３５…タイミングプーリ
３…第２検査ステージ
３１…第２回転部材
３２…Ｂ面検査吸着テーブル
３４…第２回転軸
４…Ａ面検査ヘッド
４１、５１…スリット
５…Ｂ面検査ヘッド
６…フレーム
６１…検査ヘッド梁
６２…直動軸受
６２１…レール
６２２…スライドブロック
６３…本体ベース
６４…当接部材
６５…ボールネジ
６５１…直動モータ
７…基板供給部
７１、８１…基板ケース
７２、８２…昇降テーブル
７３…粘着部材アーム
７４…粘着部材
７５、７７…アクチュエータ
７６…挟入部材
８…基板収納部
８３…ターンテーブル
９０…ブロア
９１…主配管
９２…空圧切替部
９３…吸着配管
９４…シリンダ配管
９５…コンプレッサ
１０１…回転駆動モータ
１０２…プーリ
１０３…タイミングベルト
１０４、１０５…テンションプーリ

Claims (10)

1. 積載された基板から基板を取り出す基板取出装置であって、
   その内部に基板を積載して収納する基板ケースと、
   前記基板ケース内部に収納された基板と粘着する粘着部材と、
   前記粘着部材を支持する粘着部材支持部と、
   前記粘着部材が前記基板ケースの内部に突出した位置と外部に退避した位置との間で前記粘着部材支持部を移動させる粘着部材移動部と、
   挟入部材と、
   前記基板ケースの内部に突出した位置と外部に退避した位置との間で前記挟入部材を移動させる挟入部材移動部と、
   前記基板ケースの上部から吸引することによって、その吸着面に基板を真空吸着する吸着テーブルとを備え、
   前記粘着部材移動部は、前記粘着部材支持部の前記粘着部材を前記基板ケース内部に突出した位置に配置して、積載された最上位置の基板を当該粘着部材に粘着させ、
   前記挟入部材移動部は、前記挟入部材を前記基板ケースの内部に突出した位置に移動させることによって、前記粘着部材と粘着した基板と他の基板との間に形成された隙間に当該挟入部材を挿入し、
   前記粘着部材移動部は、前記隙間に当該挟入部材が挿入された状態で前記粘着部材と粘着する最上位置の基板を当該粘着から離脱させて、前記粘着部材支持部を外部に退避した位置に移動させ、
   前記吸着テーブルは、前記隙間に前記挟入部材が挿入された状態で最上位置の基板を真空吸着することを特徴とする、基板取出装置。
2. 前記隙間は、最上位置の基板が前記粘着部材と粘着した後、前記粘着部材と粘着した最上位置の基板と他の基板との相対的な高さ方向の位置関係を拡大することによって形成されることを特徴とする、請求項１に記載の基板取出装置。
3. 積載された基板を前記基板ケース内部で昇降する昇降テーブルを、さらに備え、
   前記昇降テーブルは、前記粘着部材移動部が前記粘着部材支持部の前記粘着部材を前記基板ケース内部に突出した位置に配置した状態で上昇することによって、積載された最上位置の基板を当該粘着部材に粘着させ、
   前記昇降テーブルは、最上位置の基板が前記粘着部材と粘着した状態で下降することによって、当該最上位置の基板と他の基板との間に前記隙間を形成することを特徴とする、請求項２に記載の基板取出装置。
4. 前記粘着部材移動部は、前記粘着部材支持部をさらに所定の回転方向に回転させ、
   前記粘着部材支持部は、前記回転方向に対して一部の範囲のみ下方向へ露出するように前記粘着部材を支持し、
   前記粘着部材移動部は、前記隙間に前記挟入部材が挿入された状態で前記粘着部材支持部を前記回転方向に回転させることによって、前記粘着部材が粘着する最上位置の基板を当該粘着から離脱させることを特徴とする、請求項１に記載の基板取出装置。
5. 積載された基板から基板を取り出す基板取出装置であって、
   その内部に基板を積載して収納する基板ケースと、
   前記基板ケース内部に収納された基板と静電吸着する静電吸着部材と、
   前記基板ケースの内部に突出した位置と外部に退避した位置との間で前記静電吸着部材を移動させる静電吸着部材移動部と、
   挟入部材と、
   前記基板ケースの内部に突出した位置と外部に退避した位置との間で前記挟入部材を移動させる挟入部材移動部と、
   前記基板ケースの上部から吸引することによって、その吸着面に基板を真空吸着する吸着テーブルとを備え、
   前記静電吸着部材移動部は、前記静電吸着部材を前記基板ケース内部に突出した位置に配置して、積載された最上位置の基板を当該静電吸着部材に静電吸着させ、
   前記挟入部材移動部は、前記挟入部材を前記基板ケースの内部に突出した位置に移動させることによって、前記静電吸着部材と吸着した基板と他の基板との間に形成された隙間に当該挟入部材を挿入し、
   前記静電吸着部材移動部は、前記隙間に当該挟入部材が挿入された状態で前記静電吸着部材と吸着する最上位置の基板を当該吸着から離脱させて、前記静電吸着部材を外部に退避した位置に移動させ、
   前記吸着テーブルは、前記隙間に前記挟入部材が挿入された状態で最上位置の基板を真空吸着することを特徴とする、基板取出装置。
6. 積載された基板から基板を取り出す基板取出方法であって、
   積載された基板の上部位置に粘着部材を配置して、積載された最上位置の基板を当該粘着部材に粘着させる基板粘着ステップと、
   基板が積載されている空間へ挟入部材を移動させることによって、前記粘着部材と粘着した基板と他の基板との間に形成された隙間に当該挟入部材を挿入する挟入部材挿入ステップと、
   前記隙間に当該挟入部材が挿入された状態で前記粘着部材と粘着する最上位置の基板を当該粘着から離脱させて、前記粘着部材を前記上部位置から退避させる基板粘着離脱ステップと、
   前記隙間に前記挟入部材が挿入された状態で基板の上部から吸引することによって、最上位置の基板を吸着テーブルの吸着面に真空吸着する真空吸着ステップとを含む、基板取出方法。
7. 前記基板粘着ステップで最上位置の基板と前記粘着部材とを粘着させた後、前記粘着部材と粘着した最上位置の基板と他の基板との相対的な高さ方向の位置関係を拡大することによって、前記隙間を形成する隙間形成ステップを、さらに含む、請求項６に記載の基板取出方法。
8. 前記基板粘着ステップは、積載された基板の上部位置に粘着部材を配置して、当該積載された基板を上昇させることによって、積載された最上位置の基板を当該粘着部材に粘着させ、
   前記隙間形成ステップは、前記基板粘着ステップで最上位置の基板と前記粘着部材とを粘着した後、積載された基板を下降させることによって、前記隙間を形成することを特徴とする、請求項７に記載の基板取出方法。
9. 前記粘着部材は、所定の回転方向に対して一部の範囲のみ下方向へ露出するように構成され、
   前記基板粘着離脱ステップは、前記隙間に当該挟入部材が挿入された状態で前記粘着部材を前記回転方向に回転させることによって、当該粘着部材が粘着する最上位置の基板を当該粘着から離脱させることを特徴とする、請求項６に記載の基板取出方法。
10. 積載された基板から基板を取り出す基板取出方法であって、
    積載された基板の上部位置に静電吸着部材を配置して、積載された最上位置の基板を当該静電吸着部材に静電吸着させる基板静電吸着ステップと、
    基板が積載されている空間へ挟入部材を移動させることによって、前記静電吸着部材と吸着した基板と他の基板との間に形成された隙間に当該挟入部材を挿入する挟入部材挿入ステップと、
    前記隙間に当該挟入部材が挿入された状態で前記静電吸着部材と吸着する最上位置の基板を当該吸着から離脱させて、前記静電吸着部材を前記上部位置から退避させる基板静電吸着離脱ステップと、
    前記隙間に前記挟入部材が挿入された状態で基板の上部から吸引することによって、最上位置の基板を吸着テーブルの吸着面に真空吸着する真空吸着ステップとを含む、基板取出方法。

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