JP2005325428A - 真空処理装置および光ディスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空状態に排気可能なメインチャンバ10と、メインチャンバの真空状態を保持しつつディスク状被処理物101をメインチャンバの内外に搬出入するロードロック機構20と、メインチャンバ10内に配置され、ロードロック機構20との間でディスク状被処理物を授受し搭載する複数のサセプタ57を備え回転軸52を中心に回転しディスク状被処理物の搬送路を形成する水平回転搬送テーブル50と、前記メインチャンバ内に前記回転軸52を中心とする円周に沿って配置され回転搬送テーブルにより搬送されるディスク状被処理物に多層膜を堆積する複数の成膜室30と、成膜室間それぞれに配置されディスク状被処理物を冷却する冷却機構40とを具備してなることを特徴とする真空処理装置。
【選択図】 図1
Description
前記メインチャンバの真空状態を保持しつつ被処理物を前記メインチャンバの内外に搬出入するロードロック機構と、
前記メインチャンバ内に配置され、前記被処理物の搬送路を形成する回転搬送テーブルと、
前記メインチャンバ内に前記回転搬送テーブルの回転軸を中心とする円周に沿って配置され、前記被処理物に多層に膜を堆積する複数の成膜室と、
前記複数の成膜室間それぞれに配置され、前記被処理物を冷却する冷却機構とを具備してなることを特徴とする真空処理装置にある。
11:プッシャ
20:ロードロック機構
30(30a〜30d):成膜室
40(40a〜40e):冷却室(冷却機構)
50:水平回転搬送テーブル
51:軸
52:回転軸
56:テーブル基体
57(57a〜57j):サセプタ
43:冷却プレート(冷却体)
44:冷却ガス導入管
101:ディスク基板(被処理物)
Claims (14)
- 真空状態に排気可能なメインチャンバと、
前記メインチャンバの真空状態を保持しつつ被処理物を前記メインチャンバの内外に搬出入するロードロック機構と、
前記メインチャンバ内に配置され、前記被処理物の搬送路を形成する(水平)回転搬送テーブルと、
前記メインチャンバ内に前記回転搬送テーブルの回転軸を中心とする円周に沿って配置され、前記被処理物に多層に膜を堆積する複数の成膜室と、
前記複数の成膜室間それぞれに配置され、前記被処理物を冷却する冷却機構とを具備してなることを特徴とする真空処理装置。 - 前記ロードロック機構と前記成膜室の間に冷却機構が配置されることを特徴とする請求項1記載の真空処理装置。
- 搬送される前記被処理物の中心の軌跡を搬送路とするとき水平回転搬送テーブルの回転による搬送路が一定の円を描き、この円に沿って前記ロードロック機構、前記成膜室、前記冷却機構が前記回転軸を中心とする一定の角度間隔で配置されている請求項1記載の真空処理装置。
- 前記回転搬送テーブルの回転軸を中心とする第1の円周上に前記成膜室が配置され、第2の円周上に前記冷却機構が配置され、前記第2の円周が前記第1の円周と径が異なる請求項1記載の真空処理装置。
- 前記搬送回転テーブルに被処理物を搭載するサセプタが設けられ前記サセプタは前記第1の円周と第2の円周間を前記搬送回転テーブル上で半径方向に移動可能である請求項4記載の真空処理装置。
- 前記冷却機構は冷却室を有してなる請求項1または2記載の真空処理装置。
- 前記メインチャンバに前記1個の冷却室が占める領域が前記1個の成膜室が占める領域よりも小さい請求項6記載の真空処理装置。
- 前記冷却機構は冷却室を備え、前記メインチャンバの空間から気密に隔離可能とされた請求項6記載の真空処理装置。
- 前記搬送回転テーブルに被処理物を搭載するサセプタが配置されおりこのサセプタがプッシャにより押し上げられて前記冷却室の開口壁に押付けられ気密とされるものである請求項8記載の真空処理装置。
- 前記冷却機構は前記冷却室内にガスを導入する導入部を有し前記(ディスク状)被処理物からの伝熱体として作用させる請求項8記載の真空処理装置。
- 前記冷却室内に冷却面を有する冷却体を備えてなる請求項6記載の真空処理装置。
- 前記各冷却室は個別に温度設定が可能である請求項1記載の真空処理装置。
- 前記成膜室が成膜する被処理物が合成樹脂基板を有するディスク状被処理物である請求項1記載の真空処理装置。
- 排気された雰囲気内で複数のスパッタリング工程を施し合成樹脂ディスク基板上に連続的にスパッタ堆積膜を形成して多層膜を得る光ディスクの製造方法において、前記スパッタリング工程それぞれの間に冷却工程を挿入し、前記基板の温度を最高50℃に維持することを特徴とする光ディスクの製造方法。
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KR1020067022164A KR100832206B1 (ko) | 2004-05-17 | 2005-05-16 | 진공 처리 장치와 광디스크의 제조 방법 |
US11/579,881 US20080251376A1 (en) | 2004-05-17 | 2005-05-16 | Vacuum Processing Device and Method of Manufacturing Optical Disk |
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008208455A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-09-11 | Applied Materials Inc | プロセスチャンバ、インラインコーティング装置及び基板処理方法 |
US8441209B2 (en) | 2009-03-18 | 2013-05-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Lighting device having variable current source |
CN103261474A (zh) * | 2010-08-27 | 2013-08-21 | 应用材料公司 | 用于基板的载具及组装该载具的方法 |
JP2014162941A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Stanley Electric Co Ltd | 成膜装置 |
JP2015512153A (ja) * | 2012-02-06 | 2015-04-23 | ロート ウント ラウ アーゲー | 処理モジュール |
JP2015088694A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 真空処理装置 |
US9214632B2 (en) | 2009-03-18 | 2015-12-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing apparatus and manufacturing method of lighting device |
RU2651838C2 (ru) * | 2016-09-08 | 2018-04-24 | Акционерное общество "КВАРЦ" | Заслонка |
JP2018090886A (ja) * | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 株式会社神戸製鋼所 | 成膜装置およびそれを用いた成膜物の製造方法、ならびに冷却パネル |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090294073A1 (en) * | 2006-03-01 | 2009-12-03 | Yoji Takizawa | Substrate processing apparatus |
JP4693683B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2011-06-01 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 薄膜成膜方法、磁気記録媒体の成膜方法および磁気記録ディスクの製造方法 |
CN100582293C (zh) * | 2008-05-15 | 2010-01-20 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 一种溅镀方法及溅镀设备 |
US20100247747A1 (en) * | 2009-03-27 | 2010-09-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Film Deposition Apparatus, Method for Depositing Film, and Method for Manufacturing Lighting Device |
CN101761635B (zh) * | 2009-12-23 | 2012-09-05 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 真空传动装置 |
CN101831612B (zh) * | 2010-01-29 | 2012-05-02 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 精准定位溅镀装置及其定位方法 |
EP2420588A1 (en) * | 2010-08-16 | 2012-02-22 | Applied Materials, Inc. | Thermal management of film deposition processes |
JP5570359B2 (ja) * | 2010-09-10 | 2014-08-13 | キヤノンアネルバ株式会社 | ロータリージョイント、及びスパッタリング装置 |
EP2659506B1 (en) * | 2010-12-29 | 2021-08-25 | Evatec AG | Vacuum treatment apparatus and a method for manufacturing |
JP2016053202A (ja) * | 2014-09-04 | 2016-04-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置 |
WO2017104826A1 (ja) * | 2015-12-17 | 2017-06-22 | 株式会社アルバック | 真空処理装置 |
KR101796647B1 (ko) * | 2016-05-03 | 2017-11-10 | (주)에스티아이 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
JP6966227B2 (ja) * | 2016-06-28 | 2021-11-10 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 成膜装置、成膜製品の製造方法及び電子部品の製造方法 |
JP7039224B2 (ja) * | 2016-10-13 | 2022-03-22 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 電子部品の製造装置及び電子部品の製造方法 |
CN108220905B (zh) * | 2018-01-05 | 2019-12-03 | 深圳市正和忠信股份有限公司 | 一种真空镀膜设备及其使用方法 |
JP7213787B2 (ja) * | 2018-12-18 | 2023-01-27 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 成膜装置 |
JP7190386B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2022-12-15 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 成膜装置 |
CN110438473B (zh) * | 2019-09-06 | 2022-02-11 | 左然 | 一种化学气相沉积装置及方法 |
US11542604B2 (en) | 2019-11-06 | 2023-01-03 | PlayNitride Display Co., Ltd. | Heating apparatus and chemical vapor deposition system |
CN110629201A (zh) * | 2019-11-06 | 2019-12-31 | 錼创显示科技股份有限公司 | 加热装置及化学气相沉积系统 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07188914A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-07-25 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 成膜方法およびスパッター装置 |
JPH10107126A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-24 | Applied Materials Inc | 冷却チャンバ及び冷却チャンバの作動方法 |
JP2000144402A (ja) * | 1998-11-16 | 2000-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 成膜方法及び装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4331526A (en) * | 1979-09-24 | 1982-05-25 | Coulter Systems Corporation | Continuous sputtering apparatus and method |
US4874312A (en) * | 1985-03-11 | 1989-10-17 | Hailey Robert W | Heating and handling system for objects |
JPH07105345B2 (ja) * | 1985-08-08 | 1995-11-13 | 日電アネルバ株式会社 | 基体処理装置 |
US4917556A (en) * | 1986-04-28 | 1990-04-17 | Varian Associates, Inc. | Modular wafer transport and processing system |
DE3735284A1 (de) * | 1987-10-17 | 1989-04-27 | Leybold Ag | Vorrichtung nach dem karussell-prinzip zum beschichten von substraten |
KR0129663B1 (ko) * | 1988-01-20 | 1998-04-06 | 고다까 토시오 | 에칭 장치 및 방법 |
ATE208961T1 (de) * | 1988-05-24 | 2001-11-15 | Unaxis Balzers Ag | Vakuumanlage |
JPH0825151B2 (ja) * | 1988-09-16 | 1996-03-13 | 東京応化工業株式会社 | ハンドリングユニット |
JP3466607B2 (ja) * | 1989-09-13 | 2003-11-17 | ソニー株式会社 | スパッタリング装置 |
JP3398452B2 (ja) * | 1994-01-19 | 2003-04-21 | 株式会社ソニー・ディスクテクノロジー | スパッタリング装置 |
JP3043966B2 (ja) * | 1995-02-07 | 2000-05-22 | 株式会社名機製作所 | 光学的ディスク製品の製造方法 |
US5709785A (en) * | 1995-06-08 | 1998-01-20 | First Light Technology Inc. | Metallizing machine |
DE59611403D1 (de) * | 1995-10-27 | 2007-01-25 | Applied Materials Gmbh & Co Kg | Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats |
US5789878A (en) * | 1996-07-15 | 1998-08-04 | Applied Materials, Inc. | Dual plane robot |
JP4037493B2 (ja) * | 1997-10-28 | 2008-01-23 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板冷却手段を備えた成膜装置 |
DE19835154A1 (de) * | 1998-08-04 | 2000-02-10 | Leybold Systems Gmbh | Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten in einer Vakuumkammer |
US6234788B1 (en) * | 1998-11-05 | 2001-05-22 | Applied Science And Technology, Inc. | Disk furnace for thermal processing |
US6277199B1 (en) * | 1999-01-19 | 2001-08-21 | Applied Materials, Inc. | Chamber design for modular manufacturing and flexible onsite servicing |
JP2001209981A (ja) * | 1999-02-09 | 2001-08-03 | Ricoh Co Ltd | 光ディスク基板成膜装置、光ディスク基板成膜方法、基板ホルダーの製造方法、基板ホルダー、光ディスクおよび相変化記録型光ディスク |
JP2001316816A (ja) * | 2000-05-10 | 2001-11-16 | Tokyo Electron Ltd | 基板冷却装置 |
US6932871B2 (en) * | 2002-04-16 | 2005-08-23 | Applied Materials, Inc. | Multi-station deposition apparatus and method |
-
2004
- 2004-05-17 JP JP2004146416A patent/JP4653418B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-05-16 KR KR1020067022164A patent/KR100832206B1/ko active IP Right Grant
- 2005-05-16 US US11/579,881 patent/US20080251376A1/en not_active Abandoned
- 2005-05-16 CN CNB2005800152925A patent/CN100532636C/zh active Active
- 2005-05-16 WO PCT/JP2005/008881 patent/WO2005111262A1/ja active Application Filing
- 2005-05-17 TW TW094115933A patent/TW200613577A/zh unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07188914A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-07-25 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 成膜方法およびスパッター装置 |
JPH10107126A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-24 | Applied Materials Inc | 冷却チャンバ及び冷却チャンバの作動方法 |
JP2000144402A (ja) * | 1998-11-16 | 2000-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 成膜方法及び装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008208455A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-09-11 | Applied Materials Inc | プロセスチャンバ、インラインコーティング装置及び基板処理方法 |
US8441209B2 (en) | 2009-03-18 | 2013-05-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Lighting device having variable current source |
US9214632B2 (en) | 2009-03-18 | 2015-12-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing apparatus and manufacturing method of lighting device |
US9426848B2 (en) | 2009-03-18 | 2016-08-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Lighting device |
CN103261474A (zh) * | 2010-08-27 | 2013-08-21 | 应用材料公司 | 用于基板的载具及组装该载具的方法 |
CN103261474B (zh) * | 2010-08-27 | 2016-12-07 | 应用材料公司 | 用于基板的载具及组装该载具的方法 |
JP2015512153A (ja) * | 2012-02-06 | 2015-04-23 | ロート ウント ラウ アーゲー | 処理モジュール |
JP2014162941A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Stanley Electric Co Ltd | 成膜装置 |
JP2015088694A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 真空処理装置 |
RU2651838C2 (ru) * | 2016-09-08 | 2018-04-24 | Акционерное общество "КВАРЦ" | Заслонка |
JP2018090886A (ja) * | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 株式会社神戸製鋼所 | 成膜装置およびそれを用いた成膜物の製造方法、ならびに冷却パネル |
WO2018105354A1 (ja) * | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 株式会社神戸製鋼所 | 成膜装置およびそれを用いた成膜物の製造方法、ならびに冷却パネル |
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