CN103261474A - 用于基板的载具及组装该载具的方法 - Google Patents

Abstract

本发明关于薄膜的真空沉积领域中用于基板的载具及组装该载具的方法。具体而言，本发明针对一种用于基板的载具(1)，该基板要在真空室中涂布，该载具包含：第一框架(3)，第一框架(3)包含两个垂直部分(32)及两个水平部分(31)，这些部分经尺寸调整以围绕该基板；第二框架(2)，第二框架(2)经尺寸调整以界定要涂布的基板的区域，且第二框架(2)经尺寸调整以覆盖第一框架(3)的至少第一部分(33)，从而在第二框架(2)安装至第一框架(3)时，防止第一框架(3)的第一部分(33)被涂布；以及其中第二框架(2)以可拆卸的方式安装至第一框架(3)。

Description

用于基板的载具及组装该载具的方法

发明所属的技术领域

本发明关于薄膜的真空沉积领域中用于基板的载具及组装该载具的方法。具体而言，本发明针对用于基板的载具，其中该载具包括两个框架。

发明背景

薄膜沉积技术对于众多设备的生产发挥着关键作用。在复合沉积生产线中，实现操作时间最大化（亦即，将维护及装载时间缩至最短）是十分理想的。以此方式，增加沉积生产线的效率，这对于这种系统的工业成功而言十分重要。

DE102005045718B1揭示用于基板的载具，其中该载具的至少一部分由具有一定热膨胀系数的材料组成，该材料的热膨胀系数大于基板的热膨胀系数，该载具的特征在于该载具的预定区域具有桥状物，该桥状物经中心附接，该桥状物具有的热膨胀系数小于与该桥状物附接的区域的热膨胀系数。

DE102005045717B3揭示用于基板的载具，该载具具有两个水平的及两个垂直的平板。

EP1840242A1显示经由真空室输送基板的装置，具体而言，显示具有基板载具的涂布设施，基板可附接于该基板载具上或附接于该基板载具处，其中该基板载具包括至少一个护轨，该护轨沿着该基板载具的至少一侧延伸，且其中该护轨为孔，该孔通过一个或若干间隔开的轴承而与该基板载具间隔开。

发明内容

本发明针对如权利要求1中所揭示的一种用于基板的载具及如权利要求10中所提供的一种用于组装载具的方法，该载具包括两个框架。较佳实施例描述于从属权利要求中。

在本发明的一个总体方面中，用于要在真空室中涂布的基板的载具包含：第一框架，该第一框架包含两个垂直部分及两个水平部分，该两个垂直部分及两个水平部分经尺寸调整以围绕该基板；第二框架，该第二框架经尺寸调整以界定要涂布的基板的区域，且该第二框架经尺寸调整以覆盖该第一框架的至少第一部分，从而在该第二框架安装至该第一框架时，防止该第一框架的该第一部分被涂布；以及其中该第二框架以可拆卸的方式安装至该第一框架。在沉积制程中，尤其在包括使基板移动的沉积制程中，任何框架或其他固持器构件可曝露于沉积源，且任何框架或其他固持器构件可通过沉积材料来涂布，该沉积材料在该框架或其他固持器构件上形成涂布材料的层。在执行预定次数的沉积之后，该框架或固持器上的该涂布材料可拆卸，从而形成粒子，这些粒子以未经控制的方式转移（例如）至该基板或该沉积设施的其他部分上。这些粒子可对经处理的基板造成有害影响，在某些情况下这些粒子甚至可毁坏这些经处理的基板。因此，需要对该框架或固持器进行定期清洁，以在到达可能造成脱离的临界条件（例如，经沉积材料的层的厚度）之前移除经沉积的材料。该框架的拆卸及清洁自然会导致该沉积设备停工。本发明的载具包含两个框架，该载具可确保该第二框架可较容易地拆卸且清洁，而该第一框架通过该第二框架而被部分或全部保护以免受涂布。因此，相比于该第二框架，该第一框架可能需要清洁的频率更低。在一些情况下，该第一框架可能并没有被实质上涂布，因此在任何时候皆没有经沉积的材料必须被移除。这种框架可连续地用于沉积设备，而无间歇的清洁周期。替代或另外地，此举可促进：该第一框架可永久地安装于沉积设备内部，因为该第一框架可不必定期拆卸且清洁。此举可进一步降低该沉积设备的复杂性。

“真空室”的上下文中的术语“真空”涉及以下情况：其中外壳（例如，腔室）内部的压力经调整以具有任何低于大气压力的预定压力，在较佳方面中，该压力可低于300毫巴，低于10^-3毫巴（高真空）或低于10^-7毫巴（超高真空）。

在其他方面中，该第二框架经尺寸调整以防止该基板的边缘区域被涂布。

在其他方面中，该第二框架包含两个垂直部分及两个水平部分。在较佳方面中，可由四个部分组装该第二框架，该四个部分包括这些垂直及水平部分。此举可能有利，因为认为由不同部分组装的框架比整体框架更具生产的成本效率。这些框架可具有任何预定尺寸。或者，可由单块材料整体地形成这些框架，尤其是在这些框架的尺寸小于预定尺寸的情况下。一旦该框架的尺寸超过预定限制，则由两个垂直部分及两个水平部分组装该第二框架可更高效。此举可具有以下优点：在这些部分上存在缺陷的情况下，单个部分可经迅速交换。

在该载具的其他方面中，该第一框架的这些垂直部分的材料与该第一框架的这些水平部分的材料不同；及/或该第二框架的这些垂直部分的材料与该第二框架的这些水平部分的材料不同。可通过在这些不同部分中具有不同材料，而在这些框架的不同的性能参数之间实现折衷。例如，使用具有高度结构完整性的载具且另一方面采用便宜的材料可能是理想的。在此情况下，不同的部分可包括具有预定性质的不同材料（例如，由具有预定性质的不同材料制成）。以此方式，可对于预定参数满足不同设计目标。例如，该第一框架的这些垂直部分可包含便宜且柔软的材料，其中该第二框架可包含垂直部分，这些垂直部分包括稳定且昂贵的材料。此组合可确保该载具的价格及机械性质满足预定要求。在本发明的替代性方面中，该第一及/或该第二框架的所有部分可包含不同的材料。

在该载具的其他方面中，该第一框架包含铝，及/或该第一框架的这些垂直部分包含钛。

在该载具的其他方面中，该第二框架包含钛，及/或该第二框架的这些垂直部分包含铝。钛及铝的组合可能较佳，因为铝为较轻、相对便宜的金属，其中钛可具有良好的热膨胀性质（铝的热膨胀系数比钛的热膨胀系数大略高三倍）。该两个因素可能对于较大框架皆具有增加的重要性，这些较大框架支撑较大基板（例如，大于2x1m²），在此情况下，可能更难找到机械完整性与价格之间令人满意的折衷。

在较佳实施例中，该第一框架的这些垂直部分包括钛，且该第一框架的这些水平部分包括铝，且该第二框架的这些垂直部分包括铝，且该第二框架的这些水平部分包括钛。所有部分亦可分别由铝及钛制得。此组合可提供载具，其中两个框架皆包含关于所选择材料的互补设置。因此，当接合该两个框架时，通过钛部分对基板进行无间隙地封闭。鉴于铝及钛的不同的热膨胀系数，此举可能有利。明显地，此互补设置对其他材料的配对亦可具有这些有利的影响。

在其他方面中，该第二框架包含停止器部分，以在水平方向上限制该基板。此举可防止该基板在水平方向上移动，在水平方向上的该移动可引起该基板的位移乃至损坏。因为在一些方面中，该第二框架的这些水平部分包含钛或由钛组成，钛可具有类似于典型的基板材料（例如，玻璃）的较低的热膨胀系数，所以该停止器部分可附接至该第二框架。当对该第二框架及该基板加热时，该基板将通过这些停止器仍然保持水平固定。在这些水平部分包含其他材料的载具中，可能需要采用额外的措施。因此，本发明的这些载具允许关于这些停止器的简单且高效的设计。

在其他方面中，这些停止器部分布置在该第二框架的适合的位置处，以使得该基板可在高温下限制于水平位置，尤其在接近于该真空室的处理温度的温度下，从而确保该基板的垂直边缘由该第二框架来覆盖。因为制程的温度可较高，且该框架所包含的材料的几何结构在加热时可经历实质改变，所以引入这些停止器部分以便将该基板的预定设置维持在该载具内部是有利的。

在其他方面中，该第二框架的这些水平部分在该第一框架的这些水平部分的水平范围的中部处或接近于该第一框架的这些水平部分的水平范围的中部处固定至该第一框架，以使得在加热时，该第二框架的热膨胀相对于该第一框架在水平方向上大体上对称。以此方式，可保证该两个框架的明确定义的膨胀。具体而言，若该第一框架包括水平部分及垂直部分，这些水平部分包含铝且这些垂直部分包含钛，且对于第二框架而言，第二框架包括水平部分及垂直部分，这些水平部分包含钛且这些垂直部分包含铝，则两个框架在水平方向上可存在热膨胀的实质差异。通过将这些水平部分固定于中心位置中，此差异可在这些水平部分的两侧皆对称发展。因此，不可能存在任何膨胀的非期望的不对称，这些不对称导致该基板及该框架的不对称或未经控制的曝露。因为在一些实施例中，该第二框架包含停止器，以便在水平方向上限制该基板，所以在最差情况下，该框架的热膨胀可导致膨胀，该膨胀有损该载具固定该基板的能力。另一方面，在具有明确定义的膨胀性质的系统中，制造制程的精密度及重复性可能较高，并且可用较少材料设计该载具，因为例如以确保该基板边缘的覆盖的设计余量(design margin)可减小。

在其他方面中，该第二框架的这些垂直部分在该第一框架的这些垂直部分的垂直范围的中部处或接近于该第一框架的这些垂直部分的垂直范围的中部处固定至该第一框架，以使得在加热时，该第二框架的热膨胀相对于该第一框架在垂直方向上大体上对称。如在本发明的较佳方面中，该第一框架包括水平部分及垂直部分，这些水平部分包含铝且这些垂直部分包含钛，且对于该第二框架而言，该第二框架包括水平部分及垂直部分，这些水平部分包含钛且这些垂直部分包含铝，两个框架在垂直方向上可存在热膨胀的实质差异。因此，接近于这些垂直部分的该中部处的固定具有与上文结合这些水平部分的固定所说明的相同的优点。

在其他方面中，使用锁孔螺栓接合部将该第二框架以可拆卸的方式安装至该第一框架。此特征结构可允许该第二框架迅速安装至该第一框架上。

在其他方面中，该第二框架在朝向该第一框架的一侧包含螺栓，将这些螺栓设计成与该第一框架中相应的锁孔开口啮合。

在其他方面中，将这些锁孔设计成允许处于啮合位置的这些相应的螺栓的移动。此特征结构尤其在以下系统中有利：这些框架或这些框架的部分在沉积制程期间的温度范围内经历实质的热膨胀。

在其他方面中，将这些锁孔设计成使得处于该啮合位置的这些相应的螺栓的移动相比于限制在第二空间方向，尤其是该水平方向上，而更加限制在第一空间方向上，尤其是该垂直方向上，该第一及第二空间方向两者皆在大体上平行于该第一框架的平面内。

在其他方面中，将这些锁孔设计成考虑到该第一框架相对于该第二框架的相对移动，该相对移动由在自第一温度加热至第二温度时发生的热膨胀引起，较佳的该第二温度为该真空室的处理温度。

在其他方面中，（较佳地，通过锁孔，这些锁孔形成有斜面）将这些锁孔螺栓接合部设计成在将该第二框架安装至该第一框架时，将该第二框架拉向该第一框架。在此设置中，该第二框架可经由适当定位的锁孔及螺栓而仅悬吊至该第一框架。因为这些制程可仅通过移动该第一框架来执行，而不需要其他工具，所以此举允许对该第一框架进行极有效地安装及拆卸。此举进一步减少该沉积生产线的停工时间。

在本发明的其他方面中，该第一框架可通过悬吊而安装至该第二框架。该第一及第二框架可包含相应的构件，这些构件促进该悬吊。

若这些框架包含包括不同材料的部分，则尤其在这些锁孔经额外设置以允许该第一框架相对于该第二框架在第一方向上相对移动且在第二方向上限制该相对移动时，这些锁孔可特别有用。在本发明的较佳方面中，在该第一及/或该第二框架的这些垂直及水平部分中可采用不同材料（例如，钛及铝），这些不同材料具有不同的热膨胀系数。随后，设置使锁孔各自允许该第一框架相对于该第二框架在第一方向上相对移动且在第二方向上限制该相对移动，该设置可尤其对确保该载具的明确定义的膨胀行为具有有利的影响。

在其他方面中，该载具进一步包含夹持构件，该夹持构件通过该第一框架来支撑，且该夹持构件适合于通过抵靠该第二框架夹持而固定该基板。在本发明的较佳方面中，这些夹持构件布置在该第一框架的背向该沉积源的表面处，且这些夹持构件与该基板的背向该沉积源的表面啮合。因此，可通过该沉积设施将涂层涂敷于该基板的该区域上，可避免该基板的该区域的任何减少。因为避免了基板区域的浪费(该基板区域潜在地可供在该基板区域上沉积膜)，所以此举增强该沉积设施的产量。

在其他方面中，该第一框架的这些水平部分包含水平狭槽，以减少这些水平部分的外部部分的热变形。在一些沉积设备中，加热元件可经布置与该第一及第二框架的这些垂直部分共线，且该加热元件可经布置大体上平行于基板的垂直延伸部分而延伸。此举可导致这些水平部分的内部部分加热较剧烈，且外部部分加热较微弱。这些垂直部分相比于这些水平部分可更均匀地受热，尤其若该基板在水平方向上移动，则相比于该水平部分，该垂直部分可更均匀地受热。因此，减少这些水平部分的这些内部与外部部分之间的热耦合可能有利。此外，该基板可在该沉积制程期间经实质加热。因此，归因于与该热基板的该热接触，与该基板直接接触的该第一框架的任何部分自身可呈现更多热。因为该第一框架的这些水平部分可进行热传导，所以减少与该基板进行热接触的这些部分与这些水平部分的这些外部部分之间的热耦合可能是有利的。

在其他方面中，该第二框架在真空室中曝露以待涂布的表面包含表面图案化部分，尤其是蜂巢纹图案化部分，尤其其中仅该第二框架的这些垂直部分包含这些表面图案化部分。图案化表面可增加这些部分的该表面，且图案化表面亦可增加可在产生有害的脱离影响之前而沉积至该部分上的涂布材料的量。因此，在不进行清洁的情况下可增加该第一框架的沉积执行次数。

本发明的其他方面包括一种组装载具（较佳的为以上所述载具中的任一个）的方法，该载具用于要在真空室中涂布的基板，该方法包含以下步骤：提供第一框架；提供第二框架；在将基板安装至载具之前，以可移除的方式将该第二框架安装至该第一框架；其中该第二框架经尺寸调整以界定要涂布的该基板的区域，且该第二框架经尺寸调整以覆盖该第一框架的至少第一部分，从而在该第二框架安装至该第一框架时，防止该第一框架的该第一部分被涂布。

本发明的方法的其他方面包括：该第二框架经尺寸调整以防止该基板的边缘区域被涂布。

本发明的方法的其他方面包括：将该第二框架安装至该第一框架包括使用锁孔螺栓接合部。

本发明的方法的其他方面包括：其中（较佳地，使用锁孔，这些锁孔形成有斜面）将这些锁孔螺栓接合部设计成在将该第二框架安装至该第一框架时，将该第二框架拉向该第一框架。

本发明的方法的其他方面进一步包含：在该第二框架安装至该第一框架之前，预组装该第二框架，其中预组装该第二框架包含将该第二框架的垂直部分与水平部分接合。在其他情况下，尤其若这些框架超过预定尺寸，则可将该第二框架的这些水平部分及垂直部分独立安装至该第一框架。

本发明的方法的其他方面进一步包含：尤其通过使用一或更多螺丝将该第二框架固定至该第一框架。

本发明的方法的其他方面包括：将该第二框架固定至该第一框架，以使得该第一框架相对于该第二框架相对移动，该相对移动由在自第一温度加热至第二温度时发生的热膨胀引起。较佳的该第二温度为该真空室的处理温度，通过将该第二框架固定至该第一框架来控制该相对移动。

附图说明

图1图示本发明的实施例的示意图。

图2图示处于前视图及两个侧视图的本发明的实施例的示意图。

图3图示将该两个框架拆卸开的本发明的实施例的示意图。

图4图示载具的热膨胀。

图5图示根据本发明的锁孔的示意图。

图6图示本发明的实施例的示意性剖面详图。

图7为本发明的方法的实施例的流程图。

具体实施方式

在图1中图示根据本发明的载具1。用于要在真空室中涂布的基板的载具1包含：第一框架3，第一框架3包含两个垂直部分32及两个水平部分31，两个垂直部分32及两个水平部分31经尺寸调整以围绕基板；第二框架2，第二框架2经尺寸调整以界定要涂布的基板的区域，且第二框架2经尺寸调整以覆盖第一框架3的至少第一部分33，从而在第二框架2安装至第一框架3时，防止第一框架3的第一部分33遭受涂布；以及其中第二框架2以可拆卸的方式安装至第一框架3。

术语水平及垂直部分涉及垂直沉积设备中的设置。在此设置中，沉积设备可经设置以容纳且处理大体上处于垂直位置的基板。此举意谓基板的延伸表面与重力的方向大体上共平面。在此设备中，载具及载具所具有的第一及第二框架将具有与基板大体上相同的取向。因此，形成每一框架的狭长部分可分为垂直及水平部分，其中“垂直”涉及位于大体上平行于重力的方向延伸的框架的部分上的部分，且“水平”涉及位于大体上正交于重力的方向延伸的框架的部分上的部分。然而，所有载具及用于组装载具的方法可同等地应用于以大体上水平的方式容纳且处理基板的沉积设备中，且所有载具及用于组装载具的方法亦可同等地应用于介于水平与垂直沉积设备之间的所有中间设置中。在水平沉积设备中，框架的所有部分大体上在水平面上延伸，在该水平沉积设备中，可将框架的两侧标记为“水平的”，且可将框架的另两侧标记为“垂直的”。

术语“以可拆卸的方式安装”包括通过任何可释放的构件将第一框架附接至第二框架的所有情况。在一些实施例中，此举可包括附接设备，附接设备促进将第一框架自第二框架以手动或工具辅助（例如，借助于螺丝、夹持器或夹子）的方式安装及释放。然而，术语“以可拆卸的方式安装”不限于这些实施例。

在较佳实施例中，第一框架3及第二框架2具有大体上为矩形的外部形状。此外，第二框架2及/或第一框架3可界定开放内部区域。第一框架3亦可包括封闭的内部区域，因此没有形成开口。矩形的框架通常由四个延伸部分形成。这些部分可具有预定的剖面，且这些部分可沿预定方向延伸。在垂直沉积设备中（例如，以大体上垂直的方式容纳且处理基板的设备），这些部分中的两个部分的延伸方向为大体上垂直的方向，且剩余的两个部分的延伸方向为水平方向。在图1中，部分21、22、31、32具有矩形的剖面，但是这些部分可具有任何其他的预定剖面。部分21、22、31、32的宽度及高度可经选择，以符合关于机械性质或热性质的预定标准或其他设计标准。即使在图1中，部分21、22、31、32图示为组装部分，框架亦可以整体方式形成。在这种情况下，部分21、22、31、32可单纯理解为几何结构。在本发明的其他方面中，部分21、22、31、32涉及以可释放方式或永久性组装的独立部分。载具1可用于任何沉积制程中的任何基板。然而，在本发明的较佳方面中，沉积制程为溅射制程或物理气相沉积制程。在这种沉积制程中，基板的温度及基板载具的温度可高于100℃或更高，因此本申请中所提供的框架几何结构及安装构件可能十分有利。在较佳方面中，基板为（例如）用于生产显示器或太阳能电池的较大基板（例如，第8代，即，1870×2200mm，或更大）。

在图2中，图示了根据本发明的另一载具1。在图2中，第一框架3及第二框架2两者都具有两个垂直部分22、32及两个水平部分21、31，这些部分形成各自的框架2、3。在图2中，第二框架2完全覆盖第一框架3的上表面33。以此方式，没有材料可沉积至第一框架3上，该材料自位于载具1上方的沉积源发射。此外，第一框架3及第二框架2的垂直部分22、32及水平部分21、31可具有任何适合的形式。在图2中，第二框架2的水平部分21及垂直部分22大体上为条形，且垂直部分22大体上沿垂直方向自第二框架2的一个末端延伸至另一末端。虽然第一框架3亦具有条形部分31、32，但此处水平部分31沿水平方向自第一框架3的一个末端延伸至另一末端。在图2中，水平部分21、31与垂直部分22、32大体上对接接合。在其他方面中，部分21、22、31、32亦可斜面接合。图3亦图示在经安装设置中的两个框架2、3的侧视图。即使将框架图示为直接接触，亦可以沿正交于平面的方向上的预定距离来布置框架2、3，这些平面包括第一框架3或第二框架2。

在图3中，图示根据本发明的处于拆卸状态的另一载具。尽管安装构件未图示于图3中，但可采用任何适合的连接器。图3图示以下情况：通过第二框架2来部分覆盖第一框架3，且由此防止第一框架3的经覆盖部分33（划线区域）被沉积材料覆盖。然而，在其他载具中，第二框架2可完全覆盖第一框架3的表面。如图3中所示，第二框架2可覆盖第一框架3的一部分，第一框架3的该部分沿水平方向自第一框架3的垂直部分32的内部边缘延伸至第一框架3的垂直部分32的外部边缘，且第一框架3的该部分沿垂直方向自第一框架3的水平部分31的内部边缘延伸预定长度，该预定长度小于第一框架3的水平部分31沿垂直方向的延伸长度。可通过一或更多额外的固定挡板来覆盖第一框架3未为第二框架2所覆盖的诸部分。明显地，第一框架3的哪些部分可用第二框架2来覆盖的选择视沉积设备的细节而定，且具体而言，视沉积源而定。在一些情况下，第一框架3的部分（例如，外部部分）在任何情况下可不曝露于沉积源。在这种情况下，用第二框架2覆盖第一框架3的内部部分可能已足够。在其他方面中，可能存在关于第一框架3的水平部分31及垂直部分32的曝露的不对称，例如，在水平或垂直方向上更向外延伸的曝露需要在该方向上第二框架2的较宽的部分。在具有移动基板的沉积设备中，沉积源可大体上在垂直于基板的传送方向的方向上沿着基板的完全延伸部而延伸。随后，第一框架3的一部分沿传送方向自第一框架3的水平或垂直部分的内部边缘延伸至外部边缘，且第一框架3的一部分沿垂直于传送方向的方向与基板的长度共延伸，第一框架3的该部分可暂时曝露于沉积源。然而，沉积设备的沉积分布通常是已知的，因此规划框架2、3不存在困难。因此，本申请中所揭示的其他特征结构，具体而言，用于基板及框架2、3的固定构件，可用于框架2、3的不同的几何结构。

对于每一特定的基板尺寸及沉积类型而言，框架的材料的选择亦为必须解决的设计问题。然而，存在较佳的设置及材料选择。通常，第一框架3及第二框架2将包含金属或由金属组成。较佳的金属为包含铁及铁合金(诸如，不锈钢)、铝或铝合金，或钛或钛合金的金属。

第一框架3的垂直部分32及水平部分31的材料可包括不同的材料或由不同的材料组成。归因于价格、重量或其他限制，可能不允许用第一材料制造整个第一框架。在这种情况下，垂直部分32可包括第一材料或由第一材料组成，其中水平部分31包括第二材料或由第二材料组成。在本发明的较佳的框架中，第一材料为钛，及/或第二材料为铝。

在图4中图示本发明的载具的较佳方面。由适当的固定构件6将第一框架3的水平部分31及第二框架2的水平部分21固定在沿水平方向的每一部分的约中部的位置。在第一安装温度下，第一框架3的水平部分31可具有第一长度L₁，且第二框架2的水平部分21可具有第二长度L₂。若载具随后（例如）自第一安装温度加热至第二处理温度，则认为第一及第二框架的水平部分分别膨胀至L₁+△L₁及L₂+△L₂的长度。因为移动仅由固定构件6限制，所以认为膨胀在该固定构件的左侧及右侧以对称方式发展。若第一框架的水平部分31与第二框架的水平部分21的热膨胀系数不同，则此固定设置仍然允许这些框架以受控方式膨胀。水平部分21、31可包含不同的材料，例如，具有不同热膨胀系数的金属，如铝及钛。若对载具（例如）自第一安装温度加热至第二处理温度，则垂直部分22、32亦可呈现预定膨胀（未图示于图4中）。

另外或替代地，可沿着第一框架3的垂直部分32及第二框架2的垂直部分22的垂直方向采用固定构件。较佳地，将此固定构件置放于垂直部分22、32的上三分之一处。该固定构件亦可与用于将第二框架安装至第一框架上的其他设备组合，具体而言，该固定构件亦可与以下更详细描述的锁孔接合部组合。

第一框架3及第二框架2可通过使用不同的安装方案来组装。在一些情况下，第二框架2可在预定位置处通过连接器（诸如，螺丝或螺栓）而牢固安装于第一框架3上，或第二框架2可通过适合的构件夹箍或夹持至第一框架3。例如，预定数目的螺丝可定位于围绕第一框架3及第二框架2的周围，以将第二框架2牢固安装至第一框架3上。然而，具体而言，在以下情况下其他安装方案可能有利：在变化的处理温度（例如，组装载具时的第一温度及沉积期间的第二温度）下使用载具。在本发明的较佳的载具在第一及第二框架的不同部分中采用具有不同热膨胀系数的不同材料（例如，铝及钛)时，就更是如此。在这种载具中，当对经组装载具加热时，位于第一框架上的第一点与位于第二框架上的第二点的相对位置可改变。在示例性载具中，第一框架的水平部分可包含铝或由铝组成，且第二框架的水平部分可包含钛或由钛组成。因此，第一框架的水平部分可具有较大的热膨胀。因此，本发明的第一及第二框架较佳地装备有适合的座架，座架可在多方向上活动，使得可以容许第一框架与第二框架的热膨胀的差异。根据本发明的一些载具可具有固定构件，固定构件位于水平部分的水平范围的中心区域内，及/或这些固定构件位于接近垂直部分的垂直范围的中心处。此设置可确保在加热时第二框架相对于第一框架的相对热移动在水平及/或垂直方向上大体上对称。通常，框架可在加热期间膨胀，由此增加曝露于沉积源的基板的区域。通过使得第二框架相对于第一框架对称移动，使得基板上的曝露区域亦可在水平方向及/或垂直方向上对称。

图5a图示示例性凹部61，凹部61经设置以与相应的螺丝或螺栓（未图示）组合而将第二框架安装至第一框架。例如，凹部61可定位于围绕第一框架的周围位置处，且第二框架可包含位于相应位置处的螺栓或螺丝孔。如图5a所示，凹部61具有狭长孔隙611。此举允许第一及第二框架在第一方向上移动，其中此举限制在第二方向上的移动。通常，第一方向可为以下方向：归因于第一及第二框架的不同部分的热膨胀，可发生特定较大的相对移动的方向。因此，可根据预期相对移动来选择狭长孔隙611的长度，预期相对移动因预定处理温度的热膨胀而造成。

图5b图示根据本发明的方面的替代性的安装凹部的详图，替代性的安装凹部的形式为锁孔62，用于将第二框架安装至第一框架。在这种情况下，载具亦可装备有相应的安装螺栓或螺丝。例如，螺栓可布置于围绕第二框架的周围，且锁孔可布置于第一框架的相应位置处。锁孔亦具有狭长部分623，狭长部分623允许第二框架相对于第一框架在第一方向上移动，且狭长部分623限制在正交的第二方向上的移动。两个方向可经对准以平行于水平及垂直部分，或反之亦然。亦可能有利的是，允许大体上处于第一及第二平面的平面中沿一方向的移动，以相对于水平或垂直方向形成角度。此外，图5b的锁孔62包含插入部分621，相应的螺栓可在螺栓与锁孔62啮合期间插入插入部分621中。随后，经啮合的螺栓可移动进入锁孔62的狭长部分623中。在较佳实施例中，锁孔62另外包含斜面622，以在螺栓插入锁孔中时，将第二框架自动拉向第一框架。以此方式，可简单且迅速地组装第一及第二框架。在图5c中，图5b的锁孔图示于剖视图中（剖视平面的位置图示于图5b中，如虚线cs所示）。图5c图示斜面622经斜裁，使得壁的厚度自邻近于插入部分621的第一预定厚度增加至邻近于狭长部分623的第二预定厚度。此举可促进：插入该插入部分中的螺栓可沿着斜面622拉动，以便与狭长部分623啮合。因此，可将第二框架拉向第一框架。为了确保这些框架不下降，可在围绕第一及第二框架的周围的额外位置处提供其他固定构件，例如，螺丝。具体而言，这些固定构件可与锁孔及螺栓组合，这些固定构件接近于第一框架的水平部分的水平范围的中部及/或接近于第一框架的垂直部分的垂直范围的中部。在其他载具中，锁孔及螺栓定位于接近于第一框架的水平部分的水平范围的中部及/或接近于第一框架的垂直部分的垂直范围的中部。

该基板通过采用夹持系统而固定至载具。在图6中，夹持系统8安装至第一框架3上，且夹持系统8将基板7固定抵靠于第二框架2的静止部分202。基板7亦可位于第一框架3上。在此载具中，可移除第二框架2，而基板7仍通过夹持系统8及第一框架3而固持在适当位置。在图4的载具中，经组合的第一框架3及第二框架2及夹持系统8确保基板的固定。夹持系统8可通过推动手柄82而释放，且夹持系统8可具有保持机构，保持机构将该夹持系统的远端部分压紧抵靠于要固定的基板7。夹持系统亦可通过锁定机构而紧固于预定位置中。该远端部分可包含适合的接触部分81，接触部分81可将压紧力分到基板7上，而不会（例如）由于刮擦而损坏基板7。此外，因为几何结构可因第一框架3及第二框架2的热膨胀而发生改变，所以接触部分81可经设置以具有适合的摩擦系数，以允许接触面相对于基板7的移动。此外，夹持系统8可移动或可移除，以促进轻松移除基板7。使夹持系统8作用于背向沉积源的基板的表面700上可具有以下优点：基板7的任何区域不为夹持系统8所遮蔽，且基板7的区域因此可用于涂布。明显地，此举可扩大基板7的可用于设备制造的区域。此外，在如图6所示的设置中，夹持系统8在沉积期间由第二框架2及基板7覆盖，因此夹持系统8可不受涂布。因为此夹持系统8可不需要频繁的清洁，所以此举亦十分有利。在其他情况下，亦可能需要将夹持系统8附接于第二框架2处及/或附接于朝向沉积源的表面200上。

即使图6的示例性载具图示用于基板的固定系统，该固定系统采用夹持系统8，用于固定基板7的任何其他适合的构件亦可用于本发明的载具中。在其他方面中，基板可夹在两个框架2、3之间，且基板可通过摩擦固持在适当位置，而不需要另一固定系统。

第二框架2可在第二框架2的内部区域处被斜切，第二框架2的该内部区域紧临着基板7。在图6中，斜角201将第二框架2的厚度自第二框架2的外部区域中的第一厚度减少至第二框架2的内部边缘处的第二区域。然而，鉴于第一框架3的其他几何参数，可选择第一厚度以提供具有预定机械性质的框架，鉴于沉积源的几何结构及方向特征，可选择第二厚度及斜角201的角度。可认为，尤其当在沉积设施中采用移动基板，沉积设施具有多个沉积源，沉积源接近于基板表面安装时，此斜角可通过减少或消除遮蔽效应，来减少或消除基板7的外部区域中的基板上涂布的任何不均匀性，遮蔽效应可在当第一框架3的边缘部分具有过大的第二厚度时发生。

在图6中，第二框架2包含凹部，以容纳第一框架3。此几何结构可有利于降低经组合的第一框架3及第二框架2的厚度。此外，因为在此设置中两个框架皆不可沿各个方向自由移动，所以此几何结构可进一步简化安装制程。因为两个框架的热膨胀可不同，所以可提供适当的间隙10，以允许这些框架以明确定义的方式膨胀。

此外，第二框架2的曝露于该沉积源的表面200可包括图案化部分（未图示于图6中）。这些图案化部分可增加第二框架2的表面面积，增加的表面面积可增大在达到粒子的任何脱离的临界厚度之前可沉积至这些部分上的材料量。此外，通常认为涂布可较好地黏着至图案化表面。结构化部分可具有任何适合的形状，尤其是蜂巢纹图案。

图7示意性地图示组装根据本发明的载具的方法，该方法包含以下步骤：提供第一框架1001；提供第二框架1002；在将基板安装至载具之前，将第二框架安装至第一框架1003，其中第二框架经尺寸调整以界定要涂布的基板的区域，且第二框架经尺寸调整以覆盖第一框架的至少第一部分，从而在第二框架安装至第一框架时，防止第一框架的第一部分被涂布。

在用于组装载具的较佳方法中，通过使用如上所述的锁孔螺栓接合部而将第二框架安装至第一框架。在这种情况下，尤其在锁孔包含斜面时，通过使螺栓与锁孔啮合，第二框架可刚好悬吊至第一框架。借助于斜面，可随后将第二框架拉向第一框架。第二框架的垂直及水平部分可在将第二框架安装至第一框架之前接合，或者第二框架的垂直及水平部分可在第二框架的垂直及水平部分已安装至第一框架之后接合。

作为权利要求的替代物，本发明可由以下实施例中任一个来界定：

实施例1针对一种用于在真空室中要涂布的基板的载具(1)，该载具包含：

第一框架(3)，第一框架(3)包含两个垂直部分(32)及两个水平部分(31)，这些部分经尺寸调整以围绕基板；

第二框架(2)，第二框架(2)经尺寸调整以界定要涂布的基板的区域，且第二框架(2)经尺寸调整以覆盖第一框架(3)的至少第一部分(33)，从而在第二框架(2)安装至第一框架(3)时，防止第一框架(3)的第一部分(33)被涂布；以及

其中第二框架(2)以可拆卸的方式安装至第一框架(3)。

实施例2针对实施例1所述的载具，其中第二框架(2)经尺寸调整以防止基板的边缘区域被涂布。

实施例3针对实施例1或2所述的载具，其中第二框架(2)包含两个垂直部分(22)及两个水平部分(21)。

实施例4针对实施例1至3中任一个所述的载具，其中第一框架(3)的垂直部分(32)的材料与第一框架(3)的水平部分(31)的材料不同；及/或其中第二框架(2)的垂直部分(22)的材料与第二框架(2)的水平部分(21)的材料不同。

实施例5针对实施例4所述的载具，其中第一框架(3)的水平部分(31)包含铝及/或第一框架(3)的垂直部分(32)包含钛。

实施例6针对实施例4或5所述的载具，其中第二框架(2)的水平部分(21)包含钛及/或第二框架(2)的垂直部分(22)包含铝。

实施例7针对实施例1至6中任一个所述的载具，其中第二框架(2)包含停止器部分(9)，以将基板限制在水平方向上。

实施例8针对实施例7所述的载具，其中停止器部分(9)布置在第二框架(2)的适合的位置处，以使得基板可在高温下限制于水平位置，尤其在接近于真空室的处理温度的温度下，从而确保基板的垂直边缘由第二框架(2)来覆盖。

实施例9针对实施例1至8中任一个所述的载具，其中第二框架(2)的水平部分(21)在第一框架(3)的水平部分(31)的水平范围的中部处或接近于第一框架(3)的水平部分(31)的水平范围的中部处固定至第一框架(3)，以使得在加热时，第二框架(2)的热膨胀相对于第一框架(3)在水平方向上大体上对称。

实施例10针对实施例1至9中任一个所述的载具，其中第二框架(2)的垂直部分(22)在第一框架(3)的垂直部分(32)的垂直范围的中部处或接近于第一框架(3)的垂直部分(32)的垂直范围的中部处固定至第一框架，以使得在加热时，第二框架(2)的热膨胀相对于第一框架(3)在垂直方向上大体上对称。

实施例11针对实施例1至10中任一个所述的载具，其中使用锁孔螺栓接合部将第二框架(2)以可拆卸的方式安装至第一框架。

实施例12针对实施例11所述的载具，其中第二框架(2)在朝向第一框架(3)的一侧包含螺栓，将螺栓设计成与第一框架(3)中相应的锁孔(62)开口啮合。

实施例13针对实施例11或12所述的载具，其中将锁孔(62)设计成允许处于啮合位置的相应螺栓的移动。

实施例14针对实施例13所述的载具，其中将锁孔(62)设计成使得处于啮合位置的相应螺栓的移动相比于限制在第二空间方向，尤其是水平方向上，而更加限制在第一空间方向上，尤其是垂直方向上，该第一及第二空间方向两者皆在大体上平行于第一框架的平面内。

实施例15针对实施例14所述的载具，其中将锁孔设计成考虑到第一框架(3)相对于第二框架(2)相对移动，该相对移动由在自第一温度加热至第二温度时发生的热膨胀引起，较佳的第二温度为真空室的处理温度。

实施例16针对实施例11至15中任一个所述的载具，其中（较佳地，通过锁孔(62)，锁孔形成有斜面(622)）将锁孔螺栓接合部设计成在将第二框架(2)安装至第一框架(3)时，将第二框架(2)拉向第一框架(3)。

实施例17针对实施例1至16中任一个所述的载具，载具进一步包含夹持构件(8)，夹持构件(8)通过第一框架(3)来支撑，且夹持构件(8)适合于通过夹持抵靠第二框架(2)而固定基板。

实施例18针对实施例1至17中任一个所述的载具，其中第一框架(3)的水平部分(31)包含水平狭槽，以减少水平部分(31)的外部部分的热变形。

实施例19针对实施例1至18中任一个所述的载具，其中第二框架(2)在真空室中曝露以待涂布的表面(200)包含表面图案化部分，尤其是蜂巢纹图案化部分，尤其其中仅第二框架(2)的垂直部分(22)包含表面图案化部分。

实施例20针对一种组装载具（较佳的为根据实施例1至19中任一个所述的载具）的方法，载具用于要在真空室中涂布的基板，该方法包含以下步骤：

提供第一框架(1001)；

提供第二框架(1002)；

在将基板安装至载具之前，以可移除的方式将第二框架安装至第一框架(1003)；

其中第二框架经尺寸调整以界定要涂布的基板的区域，且第二框架经尺寸调整以覆盖第一框架的至少第一部分，从而在第二框架安装至第一框架时，防止第一框架的第一部分被涂布。

实施例21针对实施例20所述的方法，其中第二框架经尺寸调整以防止基板的边缘区域被涂布。

实施例22针对实施例20或21所述的方法，其中将第二框架安装至第一框架包括使用锁孔螺栓接合部。

实施例23针对实施例22所述的方法，其中（较佳地，使用锁孔，锁孔形成有斜面）将锁孔螺栓接合部设计成在将第二框架安装至第一框架时，将第二框架拉向第一框架。

实施例24针对实施例20至23中任一个所述的方法，该方法进一步包含：在第二框架安装至第一框架之前，预组装第二框架，其中预组装第二框架包含：将第二框架的垂直部分与水平部分接合。

实施例25针对实施例20至23中任一个所述的方法，其中以可移除的方式将第二框架安装至第一框架进一步包含：将第二框架的预定部分独立安装至第一框架，较佳地，将第二框架的垂直部分及水平部分独立安装至第一框架。

实施例26针对实施例20至25任一个所述的方法，该方法进一步包含：尤其通过使用一或更多螺丝将第二框架固定至第一框架。

实施例27针对实施例26所述的方法，其中将第二框架固定至第一框架，以使得通过将第二框架固定至第一框架来控制第一框架相对于第二框架相对移动，该相对移动由在自第一温度加热至第二温度时发生的热膨胀引起，较佳的第二温度为真空室的处理温度。

Claims (15)

1.一种用于在真空室中要涂布的基板的载具(1)，所述载具包含：

第一框架(3)，所述第一框架(3)包含两个垂直部分(32)及两个水平部分(31)，这些部分经尺寸调整以围绕所述基板；

第二框架(2)，所述第二框架(2)经尺寸调整以界定要涂布的所述基板的区域，且所述第二框架(2)经尺寸调整以覆盖所述第一框架(3)的至少第一部分(33)，从而在所述第二框架(2)安装至所述第一框架(3)时，防止所述第一框架(3)的所述第一部分(33)被涂布；以及

其中所述第二框架(2)以可拆卸的方式安装至所述第一框架(3)。

2.如权利要求1所述的载具，其中所述第二框架(2)经尺寸调整以防止所述基板的边缘区域被涂布。

3.如权利要求1或2所述的载具，其中所述第二框架(2)包含两个垂直部分(22)及两个水平部分(21)。

4.如权利要求1至3中任一项所述的载具，其中所述第一框架(3)的这些垂直部分(32)的材料与所述第一框架(3)的这些水平部分(31)的材料不同；及/或

其中所述第二框架(2)的这些垂直部分(22)的材料与所述第二框架(2)的这些水平部分(21)的材料不同。

5.如权利要求4所述的载具，其中所述第一框架(3)的这些水平部分(31)包含铝及/或所述第一框架(3)的这些垂直部分(32)包含钛。

6.如权利要求4或5所述的载具，其中所述第二框架(2)的这些水平部分(21)包含钛及/或所述第二框架(2)的这些垂直部分(22)包含铝。

7.如权利要求1至6中任一项所述的载具，其中所述第二框架(2)包含停止器部分(9)，以将所述基板限制在水平方向上，其中所述停止器部分(9)布置在所述第二框架(2)的适合的位置处，以使得所述基板能够在高温下限制于水平位置，尤其在接近于所述真空室的处理温度的温度下，从而确保所述基板的垂直边缘由所述第二框架(2)来覆盖。

8.如权利要求1至7中任一项所述的载具，其中所述第二框架(2)使用锁孔螺栓接合部而以可拆卸的方式安装至所述第一框架，其中所述第二框架(2)在朝向所述第一框架(3)的一侧包含螺栓，将这些螺栓设计成与所述第一框架(3)中相应的锁孔(62)开口啮合，其中将这些锁孔(62)设计成允许处于啮合位置的这些相应的螺栓的移动。

9.如权利要求8所述的载具，其中将这些锁孔(62)设计成使得处于所述啮合位置的这些相应的螺栓的所述移动相比于限制在第二空间方向，尤其是在所述水平方向上，而更加限制在第一空间方向上，尤其是在所述垂直方向上，所述第一及第二空间方向两者皆在大体上平行于所述第一框架的平面内，较佳地，其中将这些锁孔设计成考虑到所述第一框架(3)相对于所述第二框架(2)发生相对移动，所述相对移动由在自第一温度加热至第二温度时发生的热膨胀引起，较佳的所述第二温度为所述真空室的处理温度。

10.一种用于组装载具的方法，较佳地，所述载具为如权利要求1至9中任一项所述的载具，所述载具用于要在真空室中涂布的基板，所述方法包含以下步骤：

提供第一框架(1001)；

提供第二框架(1002)；

在将基板安装至所述载具之前，以可移除的方式将所述第二框架安装至所述第一框架(1003)；

其中所述第二框架经尺寸调整以界定要涂布的所述基板的区域，且所述第二框架(2)经尺寸调整以覆盖所述第一框架的至少第一部分，从而在所述第二框架安装至所述第一框架时，防止所述第一框架的所述第一部分被涂布。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述第二框架经尺寸调整以防止所述基板的边缘区域被涂布。

12.如权利要求10或11所述的方法，其中将所述第二框架安装至所述第一框架包括使用锁孔螺栓接合部。

13.如权利要求10至12中任一项所述的方法，所述方法进一步包含：

在所述第二框架安装至所述第一框架之前，预组装所述第二框架，其中预组装所述第二框架包含：将所述第二框架的垂直部分与水平部分接合。

14.如权利要求10至12中任一项所述的方法，其中以可移除的方式将所述第二框架安装至所述第一框架进一步包含：

将所述第二框架的预定部分独立安装至所述第一框架，较佳地，将所述第二框架的垂直部分及水平部分独立安装至所述第一框架。

15.如权利要求10至14中任一项所述的方法，所述方法进一步包含：

尤其通过使用一或更多螺丝将所述第二框架固定至所述第一框架，其中所述第二框架固定至所述第一框架，使得通过将所述第二框架固定至所述第一框架来控制所述第一框架相对于所述第二框架的相对移动，所述相对移动由在自第一温度加热至第二温度时发生的热膨胀引起，较佳的所述第二温度为所述真空室的处理温度。

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