RU2651838C2

RU2651838C2 - Заслонка

Info

Publication number: RU2651838C2
Application number: RU2016136277A
Authority: RU
Inventors: Владимир Прокопьевич Нутрихин; Вадим Анатольевич Щепкин
Original assignee: Акционерное общество "КВАРЦ"
Priority date: 2016-09-08
Filing date: 2016-09-08
Publication date: 2018-04-24
Also published as: RU2016136277A; RU2016136277A3

Abstract

Изобретение относится к заслонке устройства для напыления пленок металла, которое содержит резистивный испаритель и два электронных испарителя. Заслонка содержит две створки (1) и (2) сегментной формы, закрепленные на рычагах (3) и (4 ) винтами (5) и сидящие на общей оси (6) для их синхронного поворота в разные стороны, и механизм сведения и разведения створок. Упомянутый механизм выполнен в виде корпуса (7), внутри которого расположены ползун (8), в котором жестко закреплена гайка (10), в ней выполнены две винтовые канавки (11 и 12), а в них расположены ролики (13), вращающиеся на оси (14), запрессованной перпендикулярно на валу (15). Вал приводится во вращение по заданной программе. На торцевой поверхности ползуна (8) выполнены ушки (16), в которых на осях (17) симметрично закреплены две серьги (18 и 19). Второй конец каждой серьги (18 и 19) шарнирно соединен с осью (20). Упомянутые серьги (18 и 19) закреплены по одной на рычагах (3 и 4). Рычаги (3 и 4) снабжены втулками (21) с отверстиями (22) и установлены перпендикулярно плоскости рычага навстречу друг другу на оси (6). Заслонка позволяет открывать створки на угол более 180° с минимальными усилиями на поворот вала. 4 ил.

Description

Изобретение относится к устройствам напыления пленок металлов с помощью резистивного испарителя и двух электронных испарителей.

Напыление осуществляется с помощью двухлопастной заслонки, которая в соответствии с технологическим процессом открывает сектор над резистивным испарителем и испаряемый материал наносится в вакууме на подложки из специального материала, затем происходит полное раскрытие лопастей на максимальный угол и уже наносится другой материал с обоих электронных испарителей.

Очередность напыления с резистивных и электронных испарителей может меняться в зависимости от технологического процесса.

Известны разные конструктивные варианты задвижек (заслонок) (см. патенты №709484, №498241 и др.). Эти задвижки используются для сыпучих материалов и, имея большие габариты, не могут использоваться в вакуумной технике.

Наиболее близким из аналогов, в качестве прототипа, выбран затвор для емкостей №2070860, конструкция которого раскрыта в способе выполнения затвора для емкостей.

Сущность изобретения: способ выполнения затвора для емкостей включает монтаж на корпусе с выпускным отверстием двух створок с хвостовиками посредством общей вертикальной оси и соединение хвостовиков с приводным механизмом, обеспечивающим сведение и разведение концов хвостовиков. Корпус монтируют с двумя бортами, на одном из которых выполняют сообщенное с выпускным отверстием углубление для размещения в нем створок, а в другом - резьбовое отверстие, при этом в качестве приводного механизма используют размещенную в резьбовом отверстии винтовую штангу, снабженную квадратной гайкой, на наружной поверхности которой выполнены канавки для размещения в них концов хвостовиков.

Недостатком данного устройства является то, что раскрытие створок в нем осуществляется на незначительный угол - только для перекрытия отверстия, большие габариты устройства и использование этого устройства в области вакуумной технологи не представляется возможным.

В нашем случае необходимо открытие створок на большой внешний угол при обороте винта поворота не более чем на 180°.

Заявляемое техническое решение решает задачу устранения выше перечисленных недостатков.

Сущность изобретения состоит в том, что заслонка содержит две створки сегментной формы, сидящие на одной оси для их синхронного поворота в разные стороны, и механизм сведения и разведения створок, который выполнен в виде ползуна, представляющего собой гайку, внутри которой выполнены две винтовые канавки, в которых находятся ролики, закрепленные на оси, установленной перпендикулярно на валу, который приводится во вращение по заданной программе, а на торцевой поверхности гайки выполнены ушки, в которых на осях симметрично закреплены две серьги, при этом второй конец каждой серьги шарнирно соединен с осью закрепленной на рычаге, кроме этой оси на рычаге перпендикулярно его плоскости закреплена втулка, причем оба рычага установлены втулками навстречу друг другу на одной центральной оси для синхронного поворота в разные стороны.

При осуществлении изобретения осуществляется технический результат, а именно происходит открытие створок на больший внешний угол при повороте вала не более чем на 180°.

Сопоставительный анализ с аналогами и прототипом позволяет сделать вывод, что заявленное техническое решение отличается тем, что механизм сведения и разведения створок выполнен в виде ползуна, представляющего собой гайку, внутри которой выполнены две винтовые канавки, в которых находятся ролики, закрепленные на оси, установленной перпендикулярно на валу, который приводится во вращение по заданной программе, а на торцевой поверхности гайки выполнены ушки, в которых на осях симметрично закреплены две серьги, при этом второй конец каждой серьги шарнирно соединен с осью, закрепленной на рычагах и отстоящей от оси вращения рычагов, причем рычаги установлены на общей оси навстречу друг другу.

Таким образом, заявленное техническое решение соответствует критерию «новизна».

Предлагаемые чертежи поясняют сущность предлагаемого технического решения.

Фиг. 1 - вид заслонки сверху с разрезом в закрытом состоянии;

Фиг. 2 - вид заслонки сверху с разрезом в открытом состоянии;

Фиг. 3 - вид заслонки, главная проекция в разрезе и с сечениями;

Фиг. 4 - вид рычага заслонки в сборе.

Заслонка содержит две створки 1 и 2 сегментной формы, закрепленные на рычагах 3 и 4 винтами 5 и сидящие на общей оси 6 для их синхронного поворота в разные стороны и механизм сведения и разведения створок. Механизм сведения и разведения створок выполнен в виде корпуса 7, внутри которого расположены: ползун 8, в котором жестко закреплена винтами 9 гайка 10, в ней выполнены две винтовые канавки 11 и 12, а в них расположены ролики 13, вращающиеся на оси 14, запрессованной перпендикулярно на валу 15, последний приводится во вращение по заданной программе, а на торцевой поверхности ползуна 8 выполнены ушки 16, в которых на осях 17 симметрично закреплены две серьги 18 и 19, при этом второй конец каждой серьги 18 и 19 шарнирно соединен с осью 20, закрепленной (по одной) на рычагах 3 и 4. Кроме того, оба рычага 3 и 4 снабжены втулками 21 с отверстием 22 и установлены перпендикулярно плоскости рычага навстречу друг другу на оси 6, а сегментные створки 1 и 2 выполнены легкосъемными.

Заслонка работает следующим образом: при повороте вала 15 на некоторый угол, ролики 13, прокатываясь по винтовым канавкам 11, 12, перемещают гайку 10 с ползуном 8 вперед или назад, в зависимости от направления вращения вала.

Перемещаясь, ползун 8, посредством серег 18 и 19, шарнирно закрепленных на нем и на рычагах 3 и 4, поворачивает рычаги 18 и 19 вокруг оси 6. В свою очередь, поворачиваются в противоположные стороны и створки 1 и 2, закрепленные на рычагах.

Таким образом, данная заслонка позволяет открывать створки на большой внешний угол при обороте вала не более чем на 180°C с минимальными усилиями на поворот вала.

Заявителем изготовлен опытный образец заслонки и проведенные испытания показали ее преимущества по сравнению с аналогами и прототипом.

Claims

Заслонка устройства для напыления пленок металла, содержащая две створки сегментной формы, установленные на общей оси с возможностью синхронного поворота в разные стороны, и механизм сведения и разведения створок, отличающаяся тем, что створки закреплены на рычагах, установленных на общей оси навстречу друг другу, а механизм сведения и разведения створок выполнен в виде корпуса, внутри которого расположен ползун, в котором жестко закреплена гайка, внутри которой выполнены две винтовые канавки, в которых размещены ролики, при этом ролики установлены на оси, перпендикулярно запрессованной на валу, а на торцевой поверхности ползуна выполнены ушки, в которых на осях симметрично закреплены две серьги, другими концами шарнирно соединены с осью, закрепленной на рычагах и отстоящей от оси вращения рычагов.